JP6515537B2 - 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 - Google Patents
有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6515537B2 JP6515537B2 JP2015001353A JP2015001353A JP6515537B2 JP 6515537 B2 JP6515537 B2 JP 6515537B2 JP 2015001353 A JP2015001353 A JP 2015001353A JP 2015001353 A JP2015001353 A JP 2015001353A JP 6515537 B2 JP6515537 B2 JP 6515537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- organic
- film
- sealing
- sealing film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 48
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 376
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 275
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 153
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 124
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 89
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 66
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 21
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 358
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 description 77
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 46
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 46
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 41
- 230000008569 process Effects 0.000 description 26
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 21
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 17
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 10
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 8
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 7
- 239000002585 base Substances 0.000 description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- -1 acryl Chemical group 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- UNRFQJSWBQGLDR-UHFFFAOYSA-N methane trihydrofluoride Chemical compound C.F.F.F UNRFQJSWBQGLDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
- H10K71/233—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers by photolithographic etching
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/0214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being a silicon oxynitride, e.g. SiON or SiON:H
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/0217—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02172—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides
- H01L21/02175—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides characterised by the metal
- H01L21/02178—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides characterised by the metal the material containing aluminium, e.g. Al2O3
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02337—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
- H10K59/8722—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/873—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
一方、有機EL素子は、外部からの水分または酸素の影響(以下、「水分等」)を受けることも知られている。水分等が有機EL素子に入り込んだ場合、たとえば両電極と機能層との界面状態が変質し、正孔や電子を機能層へ効率的に輸送できず、結果として有機発光層で所望の輝度を得られない、いわゆるダークスポットを生じることがある。すなわち、有機EL素子において、水分等の影響を排除するための封止技術は極めて重要であり、これまでもいくつかの対策が取られていた。
例えば、有機EL素子を水分等に対するガスバリア性の高い封止膜で覆う「薄膜封止法」が提案されている。薄膜封止法では、有機EL素子が形成された領域に封止膜を成膜することにより、水分等に対するガスバリア性を担保している。そして通常、封止膜を成膜する前の段階では、有機EL素子と外部との導通を取るための実装電極の形成もすでに行われているので、実装端子にも封止膜が掛かる場合があった。そのため、あらかじめメタルマスク等で実装端子をマスキングする手法がとられていた。
メタルマスクを用いた場合には、メタルマスクの開口部の周辺における封止膜の成膜粒子の入射制限や、メタルマスクの開口部の端部直下への封止膜の回り込みなどを原因とする封止膜の膜厚ばらつきが発生していた。よって、有機EL素子を確実に封止膜で覆うために、メタルマスクの開口部と有機EL素子との間隔をある程度広く確保する必要があり、有機EL装置の小型化への阻害要因ともなっていた。
また、以下の実施形態の説明において、例えば「基板上に」との記載がある場合、基板の上に接するように配置されている場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を含むものとする。
<有機EL装置>
本実施形態における有機EL装置について、図1〜図3を用いて説明する。図1は第1実施形態に係る有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図。図2は第1実施形態に係る有機EL装置の構成を示す概略平面図である。
サブ画素18には、発光素子である有機EL素子30と、有機EL素子30の駆動を制御するための画素回路20とを含んでいる。
有機EL装置100は、素子基板10と、素子基板10に対向するように配置された封止基板41とを有している。素子基板10には、表示領域E1(図中、破線で表示)と、表示領域E1の外側にダミー領域E2(図中、2点鎖線で表示)とが設けられている。ダミー領域E2の外部は非表示領域となっている。
X方向のサブ画素18の配列について、図中R,G,Bとしているが、これに拘るものではなく、複数の組み合わせを用いることができる。また、サブ画素18の配列はストライプ方式に限定されず、モザイク方式、デルタ方式であっても良い。
X方向におけるサブ画素18R,18G,18Bの配置ピッチは、例えば5μm未満である。X方向に例えば0.5μm〜1.0μmの間隔を置いてサブ画素18R,18G,18Bが配置されている。Y方向におけるサブ画素18R,18G,18Bの配置ピッチは例えば10μm未満である。
素子基板10側の複数の実装端子101と、FPC105側の出力端子とを電気的に接続する方法は、公知の方法を用いることができ、例えば熱可塑性の異方性導電フィルムを用いる方法や熱硬化型の異方性接着剤を用いる方法が挙げられる。
封止基板41は、例えば石英ガラスなどの可視光領域に対して透明な基板からなり、素子基板10において封止層34上に形成されたカラーフィルター36を保護すべく、充填剤42を介して素子基板10に対向して配置されている。
サブ画素18R,18G,18Bの機能層32からの発光は、後述する反射層25で反射されると共に、カラーフィルター36を通過して封止基板41の側から取り出される。すなわち、有機EL装置100はトップエミッション型の発光装置である。
反射層25と第1層間絶縁膜24とを覆って10nm〜2μmの膜厚で第2層間絶縁膜26が形成される。また、後に画素電極31と駆動用トランジスター23とを電気的に接続させるためのコンタクトホールが第2層間絶縁膜26を貫通して形成される。第1絶縁膜11a、第2絶縁膜11b、第1層間絶縁膜24、第2層間絶縁膜26を構成する材料としては、例えばシリコン酸化物やシリコン窒化物、あるいはシリコン酸窒化物を用いることができる。
なお、本実施形態では、各画素電極31R,31G,31Bを互いに絶縁された状態とするために感光性樹脂からなる隔壁28を形成したが、酸化シリコンなどの無機絶縁材料を用いて各画素電極31R,31G,31Bを区画してもよい。
第1封止膜34a及び第2封止膜34cとしては、光透過性を有すると共に優れたガスバリア性を有する無機材料である例えば、シリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiXNY)、シリコン酸窒化膜(SiOXNY)およびこれらを主成分としたものが好ましい。
なお、図4では着色層36G(カラーフィルター36)を表示領域E1までとしているがこれに拘るものでは無く、ダミー領域E2(端子部11tと封止基板41との境界)まで覆いかぶせる構成であってもよい。この構成によれば、後の充填剤42を塗布して形成する工程において、充填剤42は、互いに濡れ性の異なる、着色層36G(カラーフィルター36)と第2封止膜34cとの双方に接することがなくなり、着色層36G(カラーフィルター36)の面のみに塗布することができる。つまり、充填剤42の塗布性をより良好にできるからである。
配線層103は、第1層間絶縁膜24上に形成された導電膜を利用して、反射層25と一緒にパターニングされていることが好ましいが、反射層25と異なる構成の材料で形成されていてもよい。
また、実装端子101は、第2層間絶縁膜26上に形成された導電膜を利用して、画素電極31と一緒にパターニングされていることが好ましいが、画素電極31と異なる構成の材料で形成されていてもよい。実装端子101は前述したようなFPC105との接続のみならず(図2)、ワイヤーボンディングなどで実装してもよい。実装端子101は、実装方法との相性と、のちの封止膜エッチング工程におけるフッ素系のエッチングガスを用いたドライエッチングに対する耐久性に鑑みて、アルミニウム(Al)や酸化インジウムスズ(ITO)などを用いるとよい。
次に、本実施形態の有機EL装置の製造方法について図5〜図7を参照して、本発明の特徴部分である、高い接続信頼性を有する実装端子101の形成方法を詳しく説明する。
図5は有機EL装置100の製造方法を示すフローチャート、図6(a)〜(c)および図7(d)〜(e)は有機EL装置100の製造方法を示す概略断面図である。なお、図6および図7は、図4に対応した領域の概略断面図である。
なお、基材11上に画素回路20、反射層25、有機EL素子30、その他周辺回路、信号配線などを形成する方法は、公知の成膜技術、穴埋め技術、平坦化技術その他付随するプロセスを採用することができる。
図6(a)に示すように、まず、対向電極33と端子部11t(実装端子101)とを覆う第1封止膜34aを形成する。第1封止膜34aを形成する方法としては、例えばシリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiXNY)やシリコン酸窒化物(SiOXNY)を真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、イオンプレーティング法などで成膜する方法が挙げられる。第1封止膜34aの膜厚はおよそ200nm〜1000nmの範囲であることが望ましく、この場合、400nmとした。
次に、第1封止膜34aを覆う緩衝膜34bを形成する。緩衝膜34bは、端子部11tと封止基板41との境界に掛からず、ダミー領域E2に収まるように形成することが望ましい。緩衝膜34bの形成方法としては、例えば、透明性を有するエポキシ樹脂と、エポキシ樹脂の溶媒とを含む溶液を用い、印刷法や定量吐出法で該溶液を塗布し、乾燥させることにより、エポキシ樹脂からなる緩衝膜34bを形成する。緩衝膜34bの膜厚は1μm〜5μmが好ましく、より好ましくは1.5μm〜2.0μmである。この場合、2μmとした。
なお、緩衝膜34bは、エポキシ樹脂などの有機材料を用いて形成することに限定されない。例えば、塗布型の無機材料を印刷法により塗布し、これを乾燥・焼成することによって、膜厚がおよそ2μmの酸化シリコン膜を、緩衝膜34bとして形成してもよい。
続いて、緩衝膜34bを覆う第2封止膜34cを形成する。第2封止膜34cの形成方法は、第1封止膜34aと同じであって、例えばシリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiXNY)やシリコン酸窒化物(SiOXNY)を真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、イオンプレーティング法などで成膜する方法が挙げられる。第2封止膜34cの膜厚もおよそ200nm〜1000nmの範囲であることが望ましく、この場合は800nmとした。そして、ステップS2へ進む。
図6(b)に示すように、例えば緑の色材を含む感光性樹脂をスピンコート法で塗布して乾燥させることにより感光性樹脂層を形成する。続いて、該感光性樹脂層を露光・現像することにより緑(G)の着色層36Gを形成する。本実施形態においては、適度な光学特性を得られるよう、着色層36Gの膜厚を1.0μm〜2.0μmの範囲とした。また、図示はしないが、赤および青についても同様に各色の色材を含む感光性樹脂を塗布し、露光現像を行い、着色層36R、36Bを形成する。すなわち、使用するカラーフィルターの色数に応じた回数分、塗布〜露光現像処理を行う必要がある。続いて、ステップS3へ進む。
図6(b)に示すように、着色層36G(36)を覆うように充填剤42を塗布する。充填剤42には、有機EL素子30から発せられる光の透過性およびカラーフィルター36と封止基板41との接着性を考慮して熱硬化型のエポキシ系樹脂が使用されている。その他、たとえばウレタン系、アクリル系、ポリオレフィン系などの樹脂材料でも同様の効果が得られる。充填剤42は、緩衝膜34bの効果により例えば有機EL素子30などの構造物の凹凸が低減されているため、カラーフィルター36や第2封止膜34cの表面上を流動性よく塗布することができる。なお、最終的な充填剤42の厚みはおよそ10〜100μmである。続いて、ステップS4に進む。
図6(b)にて充填剤42が塗布された基材11に対して、封止基板41を所定の位置に例えば真空吸引等で対向して配置する(図6(c))。封止基板41には光透過性やハンドリング性、後の封止膜エッチング工程による反応生成物の影響を考慮して、石英ガラスが使用されている。封止基板41の厚みは0.5mm〜1.2mmが好適である。本実施形態においては0.7mmの基板を用いている。
対向して配置された封止基板41を所定の押し圧で加圧し、基材11と封止基板41とに挟まれて、いまだ固化していない充填剤42を平面視でまんべんなく押し広げる。この際、封止基板41の端部(端子部11tとの境界面)から充填剤42がはみ出て端子部11tにかかり、実装端子101まで覆ってしまうことも懸念される。したがって、充填剤42の塗布量の調整、封止基板41の平面積、加圧の程度により、充填剤42が端子部11tにはみ出さないように管理することが好ましい。ちなみに、充填剤42の内部に気泡の残りがあると表示不良を引き起こす可能性もあるので、真空(大気圧以下)雰囲気の元で押し圧作業を行うことがより好ましい。
上記作業の後、充填剤42の硬化条件となる温度および時間にて充填剤42を固化し、素子基板10と封止基板41とを接着する。なお、封止基板41を加圧することにより充填剤42を平面的に延在させるため、前述したステップS3にて充填剤42を表示領域E1全体に塗布することは特に求めない。続いて、ステップS5に続く。
図7(d)に示すように、封止基板41をマスクとして、端子部11tを覆う第1封止膜34a及び第2封止膜34cをエッチングする。シリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiXNY)およびシリコン酸窒化膜(SiOXNY)などの無機膜からなる第1封止膜34a及び第2封止膜34cを選択的にエッチングする方法として、CHF3(三フッ化メタン)、CF4(四フッ化炭素)、NF3(三フッ化窒素)、SF6(六フッ化硫黄)などのフッ素系処理ガスを用いたドライエッチングが挙げられる。ドライエッチングは所定のガス流量、チャンバー圧力のもと高周波電圧を印加することにより行われる。ガス種に応じたプラズマ粒子(図7(d)の矢印50)が封止膜(34a,34c)や封止基板41などに照射されることで、プラズマ粒子と被照射物である封止膜(34a、34c)などとが化学反応を起こし揮発性物質を生成することにより、被照射物を削り取る。
実装端子101には先に述べたようにアルミニウム(Al)や酸化インジウムスズ(ITO)が使用されている。よって、端子部11tを覆う封止膜(34a,34c)を除去した後には、実装端子101自体が良好なエッチングストップ材となり、実装端子101は封止膜エッチング工程に対して保護される。
なお、実装端子101と封止基板41との位置する高さの違いから、一概に材質のみではエッチングレートが決まらないこともある。
SiO2+CF3+F*= SiF4↑+COX↑・・・(1)
エッチングを継続させるためにはプロセス中、エッチングガスを流入し続ける一方で、プロセス内のガスを常に排気する必要がある。そのため、封止膜エッチング工程で生じたSiF4やCOXなどの揮発性物質も、常に排気されている。よって、端子部11tにはマスクとなっている封止基板41の組成に起因した元素、その他化合物は堆積されない。つまり、封止膜(34a,34c)除去後の実装端子101の表面にも、封止基板41の組成に起因した元素等は堆積されないこととなる。よって、接続信頼性の高い実装端子101の表面状態を実現できる。
同様のプロセスで、端子部11tの封止膜(34a,34c)をエッチングしたのちに、端子部11tの確認を行った。そうすると、端子部11tには、実体顕微鏡下では認識できないが、端子部11tをエタノールなどで拭きあげた際に剥離し、視認可能となる堆積物が残存していた。そしてこの堆積物を組成分析したところ、カルシウム(Ca)、アルミニウム(Al)の酸化物、フッ化物(エッチングガスとの反応生成物)が確認された。これらの元素は当該無アルカリガラスに含有される元素であり、端子部11tの汚染原因となっていた。よって、SiO以外の成分を含むガラスを第2基板とし、封止膜エッチング工程のマスクとして使用するならば、さらに端子部11tの物理的、あるいは化学的な洗浄プロセスを付加しなければならない。
一方で、本実施形態のように石英ガラスをマスクとして用いた場合には、先に述べたように、石英ガラスの組成由来の反応生成物を端子部11tに堆積させることはない。すなわち、封止膜エッチング工程の後の状態で、すでにFPC105との接続に良好な実装端子101の表面状態を実現できる。
図8(a)は複数の素子基板10が面付け(レイアウト)され、封止基板41をそれぞれに配置したマザー基板を示す概略平面図、図8(b)は図8(a)のC−C線概略断面図、図8(c)は図8(a)における部分拡大図である。
基板貼り合わせ工程(ステップS4)では封止基板41を素子基板10にアライメントしながら重ね合せる。封止基板41は、端子部11t(実装端子101)に覆いかぶらないように配置されている(図8(a)〜(c))。そして、熱硬化型である充填剤42を加熱し硬化させることにより、素子基板10と封止基板41とを貼り合せる。
封止膜エッチング工程(ステップS5)にて、封止基板41をマスクとして、端子部11tを覆う封止膜(34a,34c)をエッチングして取り除く。この際、端子部11tを覆う封止膜(34a,34c)だけではなく、マザー基板11W上で封止基板41に覆われていない部分(スリット部45)の封止膜(34a,34c)も除去されている。すなわち、スクライブラインSL上の封止膜(34a,34c)は除去された状態となっている。
ここで、ステップS5の封止膜エッチング工程を行うためには、少なくとも端子部11tに掛かる封止用マザー基板41Wを除去する必要がある。そのために、まず端子部11tの幅程度(実装端子101のY方向両端より広め)に、ラインSL1およびラインSL2の位置を定める(図9(a),(c))。続いてラインSL1とラインSL2とに沿って、封止用マザー基板41WのX方向の一端から他端まで横断するように、スクライブする。これを実装端子101のY方向の列数ごとに繰り返す。
スクライブされたラインSL1およびラインSL2の下には、封止用マザー基板41Wの厚み方向(Z方向)に向かって亀裂が生じる。この亀裂によって、封止用マザー基板41Wは、ラインSL1とラインSL2とで複数に分断される。そして、端子部11tは充填剤42で覆われていないことから、端子部11tに掛かる封止用マザー基板41Wを吸引等により取り除くことができ、容易に端子部11tを露出させることができる(図9(b)および図9(c)のドットハッチ部)。
本スクライブは水を使用しないドライカットを適用できるため、例えば乾燥工程等を介さずに利用することもできる。なお、ウエットスクライブを排除するものでは無い。
このようにして、端子部11tに掛かる封止用マザー基板41Wを除去した後に、ステップS5の封止膜エッチング工程に進み、前述した方法で有機EL装置100を製造する。
(1)端子部11tを覆う第1封止膜34aと第2封止膜34cとをエッチングする際に、石英ガラスで構成された封止基板41をエッチングマスクとして用いている。マスクである石英ガラスの表面も一部エッチングされるが、揮発性物質となり排気される。よって、封止膜エッチング工程中、封止基板41を起因とするエッチング残留物が、端子部11tを汚染することがない。つまり、端子部11tに形成されている実装端子101の表面を汚染することもない。すなわち、実装端子101とFPC105との電気的な接続において高い信頼接続性を有する有機EL装置100を製造及び提供することができる。
(2)実装端子101の表面の汚染を防ぐことが可能であるため、追加での物理的あるいは化学的な洗浄を必要とせず、プロセス工数を削減できる。よって、より安価に有機EL装置100を製造することができる。
(3)マザー基板11Wと、封止基板41とを用いて、有機EL装置100を構成した場合(図8)、封止膜エッチング工程(ステップS5)において、端子部11tに重なる封止膜(34a,34c)のみならず、スクライブラインSLに沿ったスリット部45を覆う封止膜(34a,34c)もエッチングされる。すなわち、マザー基板11Wを切断する前の段階で、スクライブラインSL上の封止膜(34a,34c)が除去されている。つまり、マザー基板11Wの切断において、素子基板10の外縁側の封止膜(34a,34c)にクラックや剥がれの生ずることを低減することができる。よって、水分等の入り込む余地を可能な限り抑えた、ガスバリア性の良好な有機EL装置100を提供することができる。
<有機EL装置>
次に、第2実施形態にかかる有機EL装置について、図10および図11を用いて説明する。図10は第2実施形態の有機EL装置の構造を示す概略断面図、図11は第2実施形態の有機EL装置の製造方法を説明するための図である。図10は、第1実施形態の図4に相当する図であり、図11は第1実施形態の図7(d)に相当する図である。
第2実施形態の構成上、第1実施形態と異なるところは、封止基板41の上部(封止基板41に対して、充填剤42が接着する面と反対の面)に保護部材60が形成されているところである。そのため、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。
以下に、本実施形態で利用可能な保護部材60の具体的態様について述べる。
第1の構成によれば、保護部材60には感光性樹脂を用いることができる。感光性樹脂とは、炭素(C)、酸素(O)、水素(H)を主要元素として含む高分子材料をいい、ここでは封止膜エッチング工程におけるエッチング耐性の面から、ノボラック系樹脂やポリエチレン系樹脂であることがとくに好ましい。
封止膜エッチング工程に用いられるフッ素系ガスは、上記の感光性樹脂に対してもエッチャントとして機能する。そして、エッチング耐性は、含有する炭素数量の違いによって変動する。一般的に炭素数量の多い高分子材料においては、炭素(C)を含有しない無機材料に比べてフッ素系ガスに対するエッチング耐性が高い。言い換えれば、エッチングレートが低い。
そのため、炭素を主要な構成元素に含む感光性樹脂のエッチングレートは、Si系およびSiO系の無機材料で構成されている封止膜(34a,34c)に対するエッチングレートよりも低くなる。つまり、感光性樹脂は封止膜(34a,34c)のエッチング用マスクとして好適となる。
なお、仮に感光性樹脂のエッチング残留物が、実装端子101に付着したとしても、ここでのエッチング残留物は炭素(C)、酸素(O)、水素(H)を主成分とする有機物であることから、たとえばアセトンなどの有機溶剤を用いて容易に溶解し、取り除くこともできる。
第1実施形態の図9(a)で説明したように、マザー基板11Wと封止用マザー基板41Wとを、充填剤42を介して貼り合わせ固着させる。固着させた状態で、感光性樹脂と有機溶剤とを混ぜ合わせたレジスト液を、封止用マザー基板41W上に滴下し、封止用マザー基板41Wを高速回転させる。高速回転により働く遠心力によって、レジスト液は略均一な厚みで封止用マザー基板41W上に塗布される。レジスト液の膜厚は、回転数、レジスト液の滴下量、レジスト液の粘度などいくつかの条件で調整可能である。本実施形態においては、封止膜(34a、34c)に対するエッチングマスクとしての耐性の観点から、1.0μm〜5.0μmの範囲とした。
続いて、レジスト液の性質に応じた温度で加熱し、溶剤を揮発させて感光性樹脂を封止用マザー基板41W上に形成する。
なお、塗布後の感光性樹脂について、図9(a)および図9(c)に記載のスクライブライン(SL、SL1、SL2)にあたる部分を、露光〜現像により除去することも可能である。しかしながら、該感光性樹脂はその存否によってスクライブ工程の目的であるスクライブに影響を与えないため、あえて除去しなくても良い。
上記のようにして、感光性樹脂が封止用マザー基板41Wに形成される。
その後、封止用マザー基板41Wをスクライブして端子部11tを露出させ(図9(b))、封止膜エッチング工程(図11)と進み、封止膜(34a,34c)を取り除く(図10)。
続いて、第1実施形態と同様に、スクライブラインSLに沿ってダイシングを行い、小片化することによって有機EL装置200の完成となる。
なお、第1実施形態の図8に示したように、保護部材60が形成された封止基板41をマザー基板11Wの上にそれぞれ配置することにより、有機EL装置200を製造することも可能である。
保護部材60について、シリコン酸化膜(SiO2)、シリコン窒化膜(SiXNY)、
シリコン酸窒化膜(SiOXNY)(以下、シリコン酸化膜等)、およびアルミ酸化膜(Al2O3)のいずれかを用いることができる。シリコン酸化膜等はそのガスバリア性や光透過性の点から、先に述べた封止膜(34a,34c)として用いられている。そのため、封止膜(34a,34c)の製造プロセスを用いて、封止基板41上に保護部材60を形成することもできる。
エッチングガスを適宜選択することで、同一条件のもとでのエッチングレートは、下記の式(2)の関係とすることができる。
シリコン窒化膜(SiXNY) > シリコン酸化膜(SiO) ・・・(2)
よって、たとえば封止膜(34a,34c)と保護部材60とを同じ膜厚で形成したとしても、シリコン窒化膜で形成された封止膜(34a,34c)をエッチングで取り除いた時点で、シリコン酸化膜で形成された保護部材60を、封止基板41の上に残存させることができる。つまり、封止基板41を十分に保護することが可能となる。よって、封止基板41のエッチングによる残留物が生じないため、実装端子101を汚染することなく、接続信頼性の高い有機EL装置200を提供することができる。
前述のとおり、封止基板41からシリコン酸化膜等を除去する必要はないが、封止膜エッチング工程で保護部材60のエッチングのムラが生じた場合、封止基板41の屈折率と保護部材60の屈折率との差によりエッチングムラが視認される可能性がある。
したがって、エッチングムラの視認性を抑えるためには、封止基板41と保護部材60の屈折率を近しいものにするとよい。
たとえば、封止基板41が青板ガラスや無アルカリガラスである場合、保護部材60としては屈折率が近しいシリコン酸化膜が好適である。
端子部11tを覆う封止膜(34a,34c)の厚みよりも、封止基板41の上に形成された保護部材60の厚みを厚くしてもよい。
ここで、封止膜(34a,34c)の厚みとは、実装端子101の上に形成された第1封止膜34aの厚みと第2封止膜34cの厚みとの合計の厚みである。保護部材60の厚みとは、封止基板41に形成された保護部材60の厚みである。なお、それぞれの厚みの測定には透過型電子顕微鏡による断面観察、赤外線分光法による吸収特性、X線解析やX線光電子分光法による深さ分析など、種々の測定方法を採用することができる。封止膜(34a,34c)と保護部材60との測定方法を同じくして、かつ、それぞれ多点分析を行った上での平均をとることがより好ましい。
この構成によれば、例えば、同じエッチングレートを有する材料を封止膜(34a,34c)と、保護部材60とで使用した場合であっても、封止膜(34a,34c)がエッチングで除去された時点で、保護部材60はいまだ封止基板41の上に残存している。つまり、封止基板41の表面を確実に保護することが可能となる。よって、接続信頼性の高い有機EL装置200を提供することができる。
(第1の構成による効果)
(1)封止基板41に保護部材60である感光性樹脂を形成することによって、封止基板41を保護することができる。よって、封止膜エッチング工程において封止基板41がエッチングされることは無い。そのため、封止基板41からはエッチングによる残留物が生じないので、封止膜エッチング工程において実装端子101を汚染することなく、接続信頼性の高い、有機EL装置200を製造し、提供することができる。
(2)封止基板41は有機EL素子30からの発光に対して透明であれば良いので、封止基板41の材料選択の幅が広がる。よって、高い生産性と高い接続信頼性を有する有機EL装置200を提供することができる。
(3)感光性樹脂(保護部材60)のエッチングレートは、封止膜(34a,34c)のエッチングレートよりも低いので、感光性樹脂(保護部材60)からのエッチング残留物を低減できる。よって、感光性樹脂(保護部材60)のエッチング残留物によって実装端子101を汚染することはなく、接続信頼性の高い有機EL装置200を提供することができる。
(1)保護部材60をシリコン酸化膜等とすることで、封止膜(34a,34c)の製造プロセスを保護部材60の形成に転用可能となる。また、封止基板41を確実に封止膜エッチング工程から保護することができる。よって、高い生産性と高い接続信頼性を有する有機EL装置200を提供することができる。
(2)保護部材60をアルミ酸化物とすることで、封止膜エッチング工程にて保護部材60自体をエッチングから保護することができる。同時に、封止基板41を確実に封止膜エッチング工程から保護することができる。よって、高い接続信頼性を有する有機EL装置200を提供することができる。
(3)保護部材60をシリコン酸化膜等およびアルミ酸化物等とすることで、封止膜エッチング工程の後に、封止基板41から保護部材60を取り除く必要がない。つまり保護部材60を除去するための専用工程を必要とせず、高い生産性を有する有機EL装置200を提供することができる。
(4)封止膜(34a,34c)と保護部材60とを共にシリコン酸化物等とすることにより、封止膜エッチング工程で、保護部材60も封止膜(34a、34c)と同様に気化され、保護部材60の反応生成物が残留しないので、残留物が実装端子101へ影響を及ぼすことがない。
封止膜(34a,34c)の主成分をシリコン窒化膜とし、保護部材60をシリコン酸化膜とすると、エッチングガスを適宜選択することで、シリコン酸化膜のエッチングレートよりもシリコン窒化膜のエッチングレートを大きくすることができる。これによれば、封止膜(34a,34c)をエッチングで取り除いた時点で、保護部材60は、いまだ封止基板41の上に残存している。つまり、封止基板41を十分に保護することが可能となる。よって、封止基板41のエッチングによる残留物が生じないため、実装端子101を汚染することなく、接続信頼性の高い有機EL装置200を提供することができる。
封止基板41の屈折率と保護部材60の屈折率とを近しいものにすることで、封止膜エッチング工程で保護部材60のエッチングのムラが生じた場合でも、封止基板41の屈折率と保護部材60の屈折率との差によるエッチングムラが視認されることを回避できる。
端子部11tを覆う封止膜(34a,34c)の厚みよりも、封止基板41の上に形成された保護部材60の厚みを厚くしてもよい。この場合、例えば同じエッチングレートを有する材料を、封止膜(34a,34c)と保護部材60とで使用した場合であっても、封止膜(34a,34c)がエッチングで除去された時点で、保護部材60はいまだ封止基板41の上に残存している。つまり、封止基板41の表面を確実に保護することが可能となる。よって、接続信頼性の高い有機EL装置200を提供することができる。
「実装端子101の表面にフッ素がある」ことで、実装端子101の上の封止膜(第1封止膜34a、第2封止膜34c)をエッチングしたことが強く推定することができる。
<電子機器>
次に、本実施形態の電子機器について、図12を参照して説明する。図12は、電子機器としてのヘッドマウントディスプレイを示す概略図である。
図12に示すように、本実施形態の電子機器としてのヘッドマウントディスプレイ(HMD)1000は、左右の目に対応して設けられた2つの表示部1001を有している。観察者Mはヘッドマウントディスプレイ1000を眼鏡のように頭部に装着することにより、表示部1001に表示された文字や画像などを見ることができる。例えば、左右の表示部1001に視差を考慮した画像を表示すれば、立体的な映像を見て楽しむこともできる。
上記第1〜第2実施形態においては、赤(R)、緑(G)、青(B)の色表現をするためカラーフィルター36を用いた有機EL装置100,200について記載したが、これに拘るものでは無い。例えば、3原色(R,G,B)の発光をする有機EL素子30を用いたRGB塗り分け方式、青(B)発光から蛍光体の色変換層を通して赤(R)、緑(G)の発光を得る色変換方式など、その他の多様な色表現方法を有する有機EL装置に本発明を適用することが可能である。
Claims (9)
- 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記第2基板は、エッチングガスと反応して気化する石英ガラスからなり、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板をマスクとして用いることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記封止膜はシリコン酸窒化膜を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置の製造方法。
- 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板の少なくとも一部を覆う保護部材をマスクとして用い、
前記封止膜と前記保護部材とが同一の材料を主成分とすることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板の少なくとも一部を覆う保護部材をマスクとして用い、
前記保護部材はシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、アルミ酸化膜のいずれかを含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板の少なくとも一部を覆う保護部材をマスクとして用い、
前記封止膜のエッチングレートは、前記保護部材のエッチングレートより大きいことを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記封止膜はシリコン窒化膜を主成分とし、前記保護部材がシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項5に記載の有機EL装置の製造方法。
- 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板の少なくとも一部を覆う保護部材をマスクとして用い、
前記第2基板はSiO(酸化シリコン)を主成分とし、かつSiO以外の成分を含有するガラスであり、前記保護部材はシリコン酸化膜であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 第1基板上に有機EL素子と実装端子とを形成する工程と、
少なくとも前記有機EL素子と前記実装端子とを覆うように封止膜を形成する工程と、
前記第1基板に対して充填剤を介して第2基板を貼り合せる工程と、
前記実装端子の少なくとも一部を露出させるように前記封止膜をエッチングする工程と、
を有し、
前記封止膜をエッチングする工程において、前記第2基板の少なくとも一部を覆う保護部材をマスクとして用い、
前記保護部材の厚みは、前記実装端子を覆う部分の前記封止膜の厚みよりも厚いことを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記保護部材の厚みは、前記実装端子を覆う部分の前記封止膜の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項3乃至7のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015001353A JP6515537B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-01-07 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
US14/661,934 US10026897B2 (en) | 2014-04-08 | 2015-03-18 | Method for manufacturing organic EL apparatus, organic EL apparatus, and electronic device |
CN201510148092.2A CN104979493B (zh) | 2014-04-08 | 2015-03-31 | 有机el装置的制造方法、有机el装置、电子设备 |
US16/007,183 US20180294415A1 (en) | 2014-04-08 | 2018-06-13 | Method for manufacturing organic el apparatus, organic el apparatus, and electronic device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014079186 | 2014-04-08 | ||
JP2014079186 | 2014-04-08 | ||
JP2015001353A JP6515537B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-01-07 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015207551A JP2015207551A (ja) | 2015-11-19 |
JP6515537B2 true JP6515537B2 (ja) | 2019-05-22 |
Family
ID=54210511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015001353A Active JP6515537B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-01-07 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10026897B2 (ja) |
JP (1) | JP6515537B2 (ja) |
CN (1) | CN104979493B (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6462325B2 (ja) * | 2014-11-14 | 2019-01-30 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置の製造方法および表示装置の端子露出方法 |
JP6404361B2 (ja) * | 2014-11-28 | 2018-10-10 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
JP2016143606A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、及び電子機器 |
JP2017032666A (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気泳動表示装置および電子機器 |
JP6684564B2 (ja) * | 2015-10-14 | 2020-04-22 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置 |
US9923135B2 (en) * | 2015-11-23 | 2018-03-20 | Industrial Technology Research Institute | Light-emitting assembly |
KR102465377B1 (ko) | 2016-02-12 | 2022-11-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
JP6733203B2 (ja) | 2016-02-15 | 2020-07-29 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器 |
JP2017152252A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
JP2017152231A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置、表示装置の製造方法 |
JP2017168411A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置の製造方法 |
CN105977394A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-09-28 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种柔性oled器件及其封装方法 |
CN105957976A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-09-21 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种柔性oled器件及其制造方法 |
US11056673B2 (en) * | 2016-09-30 | 2021-07-06 | Pioneer Corporation | Light emitting device |
JP6930092B2 (ja) * | 2016-11-17 | 2021-09-01 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び、電子機器 |
KR102678760B1 (ko) * | 2016-12-29 | 2024-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치와 그의 제조방법 |
CN106711184B (zh) * | 2017-03-14 | 2020-01-31 | 上海天马微电子有限公司 | 显示面板制作方法、显示面板及显示装置 |
JP2019029303A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置および表示装置の製造方法 |
KR102416572B1 (ko) * | 2017-08-23 | 2022-07-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN107579103A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-01-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、显示面板、显示装置及其制作方法 |
CN110323350B (zh) * | 2018-03-29 | 2021-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种薄膜封装方法、薄膜封装结构、显示装置 |
US11362147B2 (en) * | 2018-07-31 | 2022-06-14 | Lg Display Co., Ltd. | Display device |
US11121171B2 (en) * | 2018-11-27 | 2021-09-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display apparatus and method of manufacturing the same |
CN109585682B (zh) * | 2018-12-06 | 2020-09-29 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种发光器件的封装方法、封装结构及显示装置 |
JP6881476B2 (ja) * | 2019-01-15 | 2021-06-02 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および電子機器 |
KR20200088923A (ko) * | 2019-01-15 | 2020-07-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 표시 장치 제조 방법 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60744A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | Toshiba Corp | ドライエツチング方法 |
JP2001006049A (ja) | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Toshiba Corp | 景品払い出し装置及び景品払い出し装置における景品の作成方法 |
DE60044179D1 (de) * | 1999-12-28 | 2010-05-27 | Sony Corp | System und Verfahren für den kommerziellen Verkehr von Bildern |
US20020012186A1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-01-31 | Tohoku Techno Arch Co., Ltd. | Magnetic record/reproduce apparatus for recording/reproducing large amounts of data at ultra-high-speed using a perpendicular magnetic recording mode |
TW545080B (en) * | 2000-12-28 | 2003-08-01 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device and method of manufacturing the same |
TW519770B (en) * | 2001-01-18 | 2003-02-01 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device and manufacturing method thereof |
US6949389B2 (en) * | 2002-05-02 | 2005-09-27 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Encapsulation for organic light emitting diodes devices |
JP4171258B2 (ja) | 2002-07-25 | 2008-10-22 | 三洋電機株式会社 | 有機elパネル |
JP4032909B2 (ja) * | 2002-10-01 | 2008-01-16 | ソニー株式会社 | 有機発光表示装置の製造方法 |
JP2004145092A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Seiko Epson Corp | デバイスとその製造方法及びそのデバイスを備えた電子機器 |
JP2005285659A (ja) | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Toyota Industries Corp | 有機el装置及びその製造方法 |
KR20060104531A (ko) * | 2005-03-30 | 2006-10-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광표시장치의 제조방법 |
JP2007073353A (ja) | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Toyota Industries Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP4696796B2 (ja) | 2005-09-07 | 2011-06-08 | 株式会社豊田自動織機 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2007080569A (ja) | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Toyota Industries Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
WO2007043634A1 (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Nec Corporation | 多層配線の製造方法 |
JP2007242436A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス装置 |
JP5124121B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2013-01-23 | 株式会社アルバック | ガラス基板のエッチング方法 |
US7919722B2 (en) * | 2006-10-30 | 2011-04-05 | Applied Materials, Inc. | Method for fabricating plasma reactor parts |
JP4543336B2 (ja) | 2007-05-01 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP2009049382A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-03-05 | Panasonic Corp | ドライエッチング方法およびドライエッチング装置 |
JP5268305B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2013-08-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4932758B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2012-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 発光デバイス及びその製造方法 |
JP2009216757A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP5128340B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-01-23 | 古河電気工業株式会社 | ガスバリア性フィルム状基材とそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子封止構造、およびその製造方法。 |
US8039286B2 (en) * | 2009-08-19 | 2011-10-18 | United Microelectronics Corp. | Method for fabricating optical device |
US8516039B2 (en) * | 2010-10-01 | 2013-08-20 | At&T Intellectual Property I, L.P. | Apparatus and method for managing mobile device servers |
JP5725337B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2015-05-27 | ソニー株式会社 | 表示装置、表示装置の製造方法および電子機器 |
KR101267277B1 (ko) * | 2011-05-19 | 2013-05-24 | 한국기계연구원 | 유연기판의 금속배선 형성방법 |
JP2013110377A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | ガラス基板処理装置とそのクリーニング方法、およびガラス基板処理方法 |
DE102011086689B4 (de) * | 2011-11-21 | 2017-02-16 | Osram Oled Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines opto-elektronischen Bauelements |
JP2013148748A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
KR101888447B1 (ko) * | 2012-05-22 | 2018-08-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시 패널의 제조 방법 |
JP2014002880A (ja) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Canon Inc | 有機el装置の製造方法 |
JP5773954B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2015-09-02 | 三菱電機株式会社 | ガラス基板エッチング装置およびガラス基板エッチング方法 |
JP5548795B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2014-07-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
WO2014174892A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | シャープ株式会社 | エレクトロルミネッセンス装置、その製造装置、及びその製造方法 |
US20160064695A1 (en) * | 2013-05-09 | 2016-03-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Organic electroluminescence element and method of manufacturing the same |
KR20150075367A (ko) * | 2013-12-25 | 2015-07-03 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
JP2015176766A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置および表示装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-01-07 JP JP2015001353A patent/JP6515537B2/ja active Active
- 2015-03-18 US US14/661,934 patent/US10026897B2/en active Active
- 2015-03-31 CN CN201510148092.2A patent/CN104979493B/zh active Active
-
2018
- 2018-06-13 US US16/007,183 patent/US20180294415A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10026897B2 (en) | 2018-07-17 |
JP2015207551A (ja) | 2015-11-19 |
CN104979493A (zh) | 2015-10-14 |
CN104979493B (zh) | 2019-06-18 |
US20180294415A1 (en) | 2018-10-11 |
US20150287959A1 (en) | 2015-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6515537B2 (ja) | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 | |
JP6733203B2 (ja) | 電気光学装置、電子機器 | |
TWI632676B (zh) | 有機電激發光裝置及電子機器 | |
JP6135062B2 (ja) | 発光装置、発光装置の製造方法、電子機器 | |
JP6191260B2 (ja) | 電気光学装置、及び電子機器 | |
TWI396464B (zh) | 有機電致發光顯示裝置及其製作方法 | |
KR102084395B1 (ko) | 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법 | |
WO2009110042A1 (ja) | 表示装置、液晶表示装置、有機el表示装置、薄膜基板及び表示装置の製造方法 | |
CN103794628A (zh) | 有机发光显示装置及其制造方法 | |
TW201125421A (en) | Organic EL display | |
JP5071152B2 (ja) | 表示装置の製造方法および照明装置の製造方法 | |
TWI699882B (zh) | 光電裝置、電子機器 | |
JP2008235089A (ja) | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
JP2014041776A (ja) | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 | |
CN101256980B (zh) | 有机电致发光显示装置及其制作方法 | |
JP5493791B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP2016066470A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、電子機器 | |
JP2010140786A (ja) | 有機el装置 | |
JP2016152143A (ja) | 有機el装置の製造方法 | |
CN220402275U (zh) | 显示装置 | |
JP2009238695A (ja) | 有機elパネル | |
KR102555287B1 (ko) | 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법 | |
JP2014199743A (ja) | 表示装置の製造方法およびこの方法により製造された表示装置 | |
KR20190130537A (ko) | 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법 | |
JP2017147037A (ja) | 電気光学装置、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171204 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181031 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181120 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6515537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |