JP6901557B2 - 磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体およびマイクロインダクタンス装置 - Google Patents
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Description
本発明は、マイクロエレクトロニクスの分野、特に、磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体、およびマイクロ誘導装置に関する。
科学および技術の発達により、集積回路製造工程はプロセッサのサイズを大幅に低減し得るが、集積インダクタ、ノイズサプレッサ等のいくつかのコア部品は、依然として高周波数、小型化、および集積の点で多くの困難性に直面している。この課題を解決するために、高磁化、高透磁性、高共振周波数、および高電気抵抗を有する軟磁性薄膜材料がますます注目を集めている。
既存の技術に存する技術的な課題の1つを少なくとも解決するために、本開示は、磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体、およびマイクロ誘導装置を提供する。磁性薄膜積層構造体の堆積方法は、磁性薄膜積層構造の総厚を増加させ、これによって製造される誘導装置の印加周波数範囲を広くすることができ、マイクロインダクタンス装置を製造するために大型化された対象物に適用されることができる。
磁性薄膜積層構造体の堆積方法は、さらに、S3、磁性/絶縁ユニット上に磁性膜の層を堆積することを含む。
圧縮応力を有する材料は、Ta膜、TaN膜またはTiN膜を含む。
磁性膜層は、軟磁性特性を有する材料で作製される。
非磁性材料は、Cu、Ta、SiO2またはTiO2を含む。
磁性薄膜積層構造体は、少なくとも2つの磁性積層膜ユニットを含み、磁性積層膜ユニットの各々は、接着層および磁性/絶縁ユニットを含む。
磁性薄膜積層構造体は、少なくとも2つの磁性積層膜ユニットを含み、磁性積層膜ユニットの各々は、接着層、磁性/絶縁ユニットおよび磁性膜層を含む。
交互に配置される磁性膜層および絶縁層の2〜50の対が存在する。
別の局面として、本開示は、本開示の先述の局面のいずれか1つに係る磁性薄膜積層構造体を用いることによって製造される、磁性コアを含むマイクロ誘導装置を提供し、マイクロ誘導装置の印加周波数は100MHz〜5GHzの範囲にわたる。
本開示によって提供される磁性薄膜積層構造体の堆積方法では、磁性/絶縁ユニットが接着層上に堆積され、接着層は磁性膜層の引張応力によって生じる磁性薄膜積層構造体の引張応力を調整して磁性薄膜積層構造体の引張応力が大きすぎるという現象を回避することができ、これにより大きな総厚を有し、それから製造される誘導装置の印加周波数を広げる磁性薄膜積層構造体を得ることを可能にする。加えて、磁性薄膜積層構造体上の接着層の応力調整効果により、大きい厚さの磁性積層膜構造体が処理対象物上に製造されることができ、これにより割れおよび剥落を回避する。
当業者が本開示の技術的解決法をよりよく理解可能とするために、本開示によって提供される磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体およびマイクロ誘導装置が、添付の図面を参照して、以下に詳細に説明される。
本開示の実施形態のS1において、処理対象物は、表面に膜が堆積されない処理対象物、および表面に磁性膜層2または絶縁層3が堆積される処理対象物を含むことが留意されるべきである。
S3、磁性膜層2が磁性/絶縁ユニット上に堆積される。
特定的には、ステップS1では、接着層1はスパッタリング法を用いて堆積される。スパッタリング法を行うための装置は、主に、反応室、ターゲット、基板を運ぶためのベース、およびパルスDC電源を含み、ターゲットは反応室の頂部に配置され、ベースは反応室に配置されターゲットの下方に位置する。任意には、ターゲットとベースとの間の鉛直方向の間隔(すなわち、ターゲット間隔)は30〜90mmである。さらに、ターゲットは、反応室における処理気体を励起させてプラズマを形成し、ターゲットを衝突させてターゲット材料を飛ばし、ウェハの表面上にそれを堆積して膜を形成するように、ターゲットにスパッタリング電力を印加するためのパルスDC電源に電気的に接続される。プロセスで用いられるフォトレジストの制限された温度範囲によって、プロセスインテグレーションにおいて、より低いスパッタリング電力を用いることによってウェハおよびその上のフォトレジストの温度を制御することがより容易になる。優れた応力調整効果を有する接着層1がより低いスパッタリング電力で得られ得るように、ターゲットはパルスDC電源に電気的に接続される。
代替的には、図3に示されるように、磁性膜層2は、(少なくとも1つの交互に配置される磁性膜層2および絶縁層3の対を含む)磁性薄膜積層構造体の頂層上にさらに配置される。
Claims (22)
- 接着層と、
磁性/絶縁ユニットと、を備え、前記磁性/絶縁ユニットは、少なくとも1つの交互に配置される磁性膜層および絶縁層の対を含み、
前記磁性膜層は前記接着層上に位置し、前記絶縁層は前記磁性膜層上に位置する磁性薄膜積層構造体であって、
前記磁性薄膜積層構造体は、少なくとも2つの磁性積層膜ユニットを備え、前記磁性積層膜ユニットの各々は、前記接着層、前記磁性/絶縁ユニット、および前記磁性膜層を含み、
前記接着層は圧縮応力を有する材料で作製され、前記圧縮応力を有する材料はTa膜、TaN膜またはTiN膜を含む、磁性薄膜積層構造体。 - 1つの磁性膜層が、前記磁性薄膜積層構造体の頂層上にさらに設けられる、請求項1に記載の磁性薄膜積層構造体。
- 前記磁性薄膜積層構造体の総厚は、400〜3000nmの範囲にわたる、請求項1に記載の磁性薄膜積層構造体。
- 交互に配置される前記磁性膜層および前記絶縁層の対の数は、2〜50である、請求項1に記載の磁性薄膜積層構造体。
- 前記接着層の厚さは、3〜50nmの範囲にわたる、請求項1に記載の磁性薄膜積層構造体。
- 磁性コアを備えるマイクロ誘導装置であって、前記磁性コアは、請求項1に記載の磁性薄膜積層構造体を用いることによって製造され、前記マイクロ誘導装置の印加周波数は100MHz〜5GHzである、磁性コアを備えるマイクロ誘導装置。
- S1、処理対象物上に接着層を堆積するステップと、
S2、前記接着層上に磁性/絶縁ユニットを堆積するステップと、を備え、前記磁性/絶縁ユニットは、少なくとも1つの交互に配置される磁性膜層および絶縁層の対を含み、前記ステップS2において、前記磁性膜層は前記接着層上に堆積され、前記絶縁層は前記磁性膜層上に堆積される磁性薄膜積層構造体の堆積方法であって、
前記磁性薄膜積層構造体の堆積方法は、ステップS3:前記磁性/絶縁ユニット上に磁性膜の層を堆積することをさらに備え、
前記ステップS1、前記ステップS2および前記ステップS3が少なくとも2回交互に行われ、
前記接着層は圧縮応力を有する材料で作製され、前記圧縮応力を有する材料はTa膜、TaN膜またはTiN膜を含む、磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記ステップS1において、前記接着層はスパッタリング法によって堆積され、前記スパッタリング法において、ターゲットはパルス直流(DC)電源に電気的に接続され、パルスDC電力によるスパッタリング電力出力は15kW以下である、または、
前記ターゲットは無線周波数(RF)電源に電気的に接続され、RF電力出力のスパッタリング電力は3kW以下である、または、
前記ターゲットはDC電源に電気的に接続され、DC電力出力のスパッタリング電力は20kW以下である、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記ターゲットが前記パルスDC電源に電気的に接続される状況において、前記パルスDC電源によるスパッタリング電力出力は3〜10kWの範囲にわたる、または、
前記ターゲットが前記RF電源に電気的に接続される状況において、前記RF電源による前記スパッタリング電力出力は0.3〜1.5kWの範囲にわたる、または、
前記ターゲットがDC電源に電気的に接続される状況において、前記DC電源による前記スパッタリング電力出力は15〜19kWの範囲にわたる、請求項8に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記ステップS1において、前記接着層はスパッタリング法によって堆積され、
前記スパッタリング法の処理圧力は5mTorr以下である、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記スパッタリング法の前記処理圧力は0.5〜2mTorrの範囲にわたる、請求項10に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記磁性膜層は、軟磁性特性を有する材料で作製される、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記軟磁性特性を有する材料は、NiFeパーマロイ材料、CoZrTa非晶質材料、Co系材料、Fe系材料、またはNi系材料を含む、請求項12に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記ステップS2において、前記磁性膜層はスパッタリング法によって堆積され、前記スパッタリング法において、ターゲットは励起電源に電気的に接続され、
前記励起電源によるスパッタリング電力出力は2kW以下であり、
前記スパッタリング法の処理圧力は5mTorr以下である、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - スパッタリング電力は0.5〜1.5kWの範囲にわたり、
前記スパッタリング法の前記処理圧力は0.3〜3mTorrの範囲にわたる、請求項14に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記磁性膜層がウェハ上に堆積される間に、前記磁性薄膜積層構造体を堆積するために前記ウェハの近傍に水平方向の磁界を形成するために、バイアス磁界装置が用いられ、前記水平方向の磁界は堆積された前記磁性膜層が面内異方性を有するように構成される、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記絶縁層は、非磁性材料で作製される、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記非磁性材料は、Cu、Ta、SiO2またはTiO2を含む、請求項17に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
- 前記ステップS2において、前記絶縁層はスパッタリング法によって堆積され、前記スパッタリング法において、ターゲットは励起電源に電気的に接続され、
前記励起電源によるスパッタリング電力出力は5kW以下であり、
前記スパッタリング法の処理圧力は20mTorr以下である、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記励起電源による前記スパッタリング電力出力は1〜2kwであり、
前記スパッタリング法の前記処理圧力は、9〜12mTorrの範囲にわたる、請求項19に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記接着層の厚さは50〜300nmであり、
前記磁性膜層の厚さは30〜200nmであり、
前記絶縁層の厚さは3〜10nmである、請求項7に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。 - 前記接着層の厚さは80〜200nmであり、
前記磁性膜層の厚さは50〜150nmであり、
前記絶縁層の厚さは5〜8nmである、請求項21に記載の磁性薄膜積層構造体の堆積方法。
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