JPWO2005027154A1 - 高周波用磁性薄膜、その作製方法および磁気素子 - Google Patents
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Abstract
非晶質状態の強磁性金属とこの強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM(ディスコンティニュアス・マルチレイヤ)構造の採用により、GHz帯域の高周波領域で高い透磁率を有し且つ高い飽和磁化を有する高周波用磁性薄膜を実現した。このとき、(i)強磁性金属が、Fe又はFeCoを主成分とし、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素を含む金属であり、非晶質金属がCo系非結晶質合金であること、(ii)非晶質金属がCoZrNbであること、が好ましい。
Description
本発明は、高い飽和磁化を有し、GHz帯域での高い透磁率と性能指数Qを示す高周波用磁性薄膜、その作製方法およびその高周波用磁性薄膜を有する磁気素子に関し、さらに詳しくは、薄膜インダクタや薄膜トランス等の高周波用の平面型磁気素子やモノリシックマイクロ波集積回路(以下、MMICと略す。)に好ましく用いられる高周波用磁性薄膜等に関するものである。
近年の磁気素子の小型化および高性能化への要求に伴い、高い飽和磁化を有し、且つGHz帯域で高い透磁率を示す磁性薄膜材料が求められている。
例えば、ワイヤレス送受信装置や携帯情報端末を中心に需要が高まっているMMICは、Si、GaAs又はInP等の半導体基板上に、トランジスタ等の能動素子と、線路、抵抗、キャパシタ、インダクタ等の受動素子とを、一括的且つ一体的に作製して構成される高周波集積回路であるが、このMMICにおいては、特にインダクタやキャパシタ等の受動素子が能動素子に比べて大きな面積を占めている。MMICにおける受動素子の大面積の占有は、結果として高価な半導体基板の大量消費、すなわちMMICのコストアップにつながる。MMICの製造コストを低減するためにはチップ面積を縮小することが必要であるが、そのためには、受動素子が占める面積を縮小することが課題となる。
上述したMMICには、平面型のスパイラルコイルがインダクタとして多く用いられている。こうした平面型のスパイラルコイルにおいては、小さな占有面積でも従来同様のインダクタンスを得るために、その上下面又は片面に軟磁性薄膜を設けることによるインダクタンスの増加が図られている(例えば、J.Appl.Phys.,85,7919(1999)を参照)。しかし、磁性材料をMMICのインダクタに応用するためには、先ず、GHz帯域における透磁率が高く且つ高周波損失が少ない軟磁性薄膜材料を開発することが求められている。さらに、高周波での渦電流損失を減らすため、比抵抗が大きいことも求められている。
ところで、従来、高い飽和磁化を持つ磁性材料として、Fe又はFeCoを主成分とする合金がよく知られている。しかし、Fe系又はFeCo系合金からなる磁性薄膜をスパッタ等の成膜技術により作製すると、得られた膜は飽和磁化が高いものの、膜の保磁力が大きく、また、比抵抗が小さくなってしまい良好な高周波特性を得ることは困難であった。
一方、軟磁気特性に優れる材料として、Co系非結晶質合金が知られている。このCo系非結晶質合金は、Coを主成分とし、Y、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta等から選択される1種又は2種以上の元素を含む非結晶質を主体とするものである。しかし、ゼロ磁歪組成のCo系非結晶質合金の磁性薄膜をスパッタ等の成膜技術により作製すると、得られた膜は透磁率が高いものの、飽和磁化が1.1T(11kG)程度であり、飽和磁化がFe系材料に比べて小さい。さらに、100MHz程度の周波数を超えてからの損失成分(透磁率の虚数部μ2)が大きくなり、性能指数Q値が1以下となり、GHzの高周波帯域で使用する磁性材料としては好適とはいえない。
このような適用困難な材料を用いてGHz帯のインダクタを実現させるために、磁性薄膜をマイクロワイヤ化させ、形状異方性エネルギーを増大させることにより、共鳴周波数を高周波化する試みも行われている(例えば、日本応用磁気学会誌、24,879(2000)を参照)。しかし、この方法は工程が複雑であり、さらに磁性薄膜の実効透磁率が低下するという問題がある。
このような従来からの実情のもとに、軟磁性薄膜の高周波特性を改良するための種々の提案がなされている。その改良の基本方針としては、渦電流損失の抑制や共鳴周波数の上昇等が挙げられている。渦電流損失を抑制させる具体的な方策としては、例えば、磁性層/絶縁層(高抵抗層)との積層による多層化(例えば、特開平7−249516号公報(第1頁)を参照)や、金属−非金属(酸化物、フッ化物)のグラニュラー化(例えば、J.Appl.Phys.,79,5130(1996)を参照)等が提案されている。しかし、これらの方法では、高抵抗の非磁性相が挿入されているために、飽和磁化が低下するという問題が生じる。また、金属−非金属のグラニュラー膜の場合は、透磁率が200以下であり、透磁率が低いという問題もある。
一方、軟磁性層と高飽和磁化層を交互に積層した多層膜による高飽和磁化薄膜についての検討も行われている。すなわち、CoZr/Fe(例えば、日本応用磁気学会誌、16,285(1992)を参照))、FeBN/FeN(例えば、特開平5−101930号公報(第1頁)を参照)、FeCrB/Fe(例えば、日本応用磁気学会誌、16,285(1992)を参照)、Fe−Hf−C/Fe(例えば、日本応用磁気学会誌、15,403(1991)を参照)等、様々な組み合わせの例が報告されている。これらのものはいずれも飽和磁化を高くすることには効果があるが、高周波帯域での透磁率がいずれも大きくなく、GHz帯域への応用は期待できない。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その第1の目的は、GHz帯域の高周波領域で高い透磁率を有し且つ高い飽和磁化を有する高周波用磁性薄膜を提供することにある。本発明の第2の目的は、そうした特性を有する高周波用磁性薄膜の作製方法を提供することにある。また、本発明の第3の目的は、前記の高周波用磁性薄膜を用いた磁気素子を提供することにある。
上記第1の目的を達成する本発明の高周波用磁性薄膜は、非晶質状態の強磁性金属とこの強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM(discontinuous Multilayer(ディスコンティニュアス・マルチレイヤ)の略)構造を有することを特徴とする。
ここで、「非晶質状態」とは、必ずしも完全なアモルファス状態のみを意味するものではなく、完全な結晶状態以外の状態をすべて含む意である。具体的には、X線回折法による回折ピークが認められない程度の非結晶状態であればよい。「回折ピークが認められない程度」とは、いわゆる鋭いピークが存在しないことを意味する。結晶化が部分的にしか進んでいない「微結晶状態」もまた「非晶質状態」に含まれる。また、「DM構造」とは、非連続な多層構造を呈するものであり、明確な多層構造を示さず且つ個々の相が明確な結晶相を呈しておらず、全体として非晶質状態を呈する構造を意味する。
この発明によれば、非晶質状態の強磁性金属とこの強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM構造を有する高周波用磁性薄膜は、明確な積層構造や結晶相を呈する構造を示さないので、例えば強磁性材料が持つ大きな飽和磁化を保ちつつ高い透磁率を呈して軟磁性化すると共に比抵抗が高くなる。その結果、こうした構造からなる高周波用磁性薄膜は、GHz帯域の高周波領域で優れた性能指数Q(Q=μ1/μ2。以下同じ。)を有することとなる。
本発明の高周波用磁性薄膜では、(i)強磁性金属が、Fe又はFeCoを主成分とし、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素を含む金属であり、非晶質金属がCo系非結晶質合金であること、が好ましい。そのような強磁性金属としては、例えば、Fe−Cを用いることが可能である。さらに、(ii)非晶質金属がCoZrNbであること、がより好ましい。
上記(i)のように、大きな飽和磁化を持つFe系又はFeCo系合金を強磁性金属とし、軟磁性材料であるCo系非晶質合金を非晶質合金とした場合には、得られた高周波用磁性薄膜は、大きな飽和磁化を保ちつつ高い透磁率を呈して軟磁性化すると共に比抵抗が高くなるので、優れた性能指数Qを有することとなる。とりわけ、(ii)のように、非晶質金属がCoZrNbであるようにした場合には、磁歪がゼロとなるような組成が容易に実現可能なので、軟磁気特性に優れ、高い透磁率を得られるという利点がある。
本発明の高周波用磁性薄膜では、強磁性金属の膜厚が3.0nm以下であるようにするのが好ましく、特に、0.5nm以上2.0nm以下であるようにするのがより好ましい。0.5nm以上であれば一定の膜厚が稼げるため全膜厚を稼ぐことが容易にできる。また、2.0nm以下であれば、強磁性金属と非晶質金属の界面をより多くすることができる。なお、ここにいう「膜厚」とは、計測可能な場合には、計測により得られるものをいい、計測が困難な場合には、例えば、総厚、層数および成膜条件に基づいて、強磁性金属の層と非晶質金属の層との比を換算して計算により得られる換算膜厚(見積もり膜厚)をいうものとする。
また、本発明の高周波用磁性薄膜では、非晶質金属の膜厚に対する前記強磁性金属の膜厚の比が0.8以上3.0以下であるようにするのが好ましく、特に、1.0以上2.5以下であるようにするのがより好ましい。
また、本発明の高周波用磁性薄膜では、強磁性金属および非晶質金属が交互に繰り返し積層されるようにするのが好ましい。この場合には、積層繰り返し回数が5回以上3000回以下であり、その総積層膜厚が100nm以上2000nm以下であるようにするのが好ましく、特に、積層繰り返し回数が10回以上700回以下であり、その総積層膜厚が300nm以上1000nm以下であるようにするのがより好ましい。
本発明の高周波用磁性薄膜では、例えば、1GHzにおける複素透磁率の実数部(μ1)が400以上で、且つ性能指数Q(Q=μ1/μ2)が3以上、飽和磁化が1.3T(13kG)以上、比抵抗が100μΩcm以上であるように構成することが好ましい。
上記第2の目的を達成する本発明の高周波用磁性薄膜の製造方法は、強磁性金属と非晶質金属とで形成されたDM構造を有する高周波用磁性薄膜の作製方法であって、非晶質状態が保たれるように強磁性金属を堆積する強磁性金属堆積工程と、強磁性金属とは異なる非晶質金属を堆積する非晶質金属堆積工程とを含み、強磁性金属堆積工程と非晶質金属堆積工程とを交互に複数回行うことによりDM構造を形成することを特徴とする。
この発明によれば、DM構造が、非晶質状態が保たれるように強磁性金属を堆積する強磁性金属堆積工程と、強磁性金属とは異なる非晶質金属を堆積する非晶質金属堆積工程とを交互に行うことにより形成される。そのため、形成された高周波用磁性薄膜は、明確な積層構造や結晶相を呈する構造を示さないDM構造を呈するので、例えば強磁性材料が持つ大きな飽和磁化を保ちつつ高い透磁率を呈して軟磁性化すると共に比抵抗が高くなる。その結果、GHz帯域の高周波領域で優れた性能指数Qを有する高周波用磁性薄膜を作製できる。
本発明の高周波用磁性薄膜の作製方法では、Fe又はFeCoを主成分とし、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素を含む金属であり、非晶質金属がCo系非結晶質合金であるようにするのが好ましい。
上記第3の目的を達成する本発明の磁気素子は、高周波用磁性薄膜を有する磁気素子であって、この高周波用磁性薄膜が、非晶質状態の強磁性金属とこの強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM構造を有することを特徴とする。
本発明の磁気素子では、(a)コイルをさらに備え、高周波用磁性薄膜がコイルを挟持するように対向配置されていること、(b)インダクタ又はトランスに使用されること、(c)モノリシックマイクロ波集積回路に使用されること、が好ましい。
以上のように、本発明の高周波用磁性薄膜によれば、非晶質状態の強磁性金属とこの強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM構造を採用し、明確な積層構造や結晶相を呈する構造を示さないようにしたので、強磁性材料が持つ大きな飽和磁化を保ちつつ高い透磁率を呈して軟磁性化すると共に高い比抵抗を確保することができる。その結果、例えばGHz帯域の高周波領域で優れた性能指数Qを実現することができる。このような高周波用磁性薄膜は、例えばMMICに搭載される平面型スパイラルコイルを有するインダクタに適用される高周波用の磁性薄膜として好ましく利用できる。また、本発明の高周波用磁性薄膜は、室温で成膜したままの状態でその性能が発揮できるので、MMICのような半導体プロセスで製作される高周波集積回路に最適な材料である。本発明の高周波用磁性薄膜は、数100MHz以上の周波数帯域、特に1GHz以上のGHz周波数帯域で使用することができる。
また、本発明の高周波用磁性薄膜の製造方法によれば、明確な積層構造や結晶相を呈する構造を示さないDM構造を呈する磁性薄膜を、強磁性金属堆積工程と非晶質金属堆積工程とを交互に行うという簡単な方法により形成できるので、GHz帯域の高周波領域で優れた性能指数Qを有する高周波用磁性薄膜を容易に作製できる。
また、本発明の磁気素子によれば、優れた性能指数Qを有する高周波用磁性薄膜を有するので、例えばインダクタ、トランスあるいはモノリシックマイクロ波集積回路等に適用することにより、優れた高周波特性を有するデバイスを得ることができる。例えばMMICに搭載されるプレーナ型インダクタ中のスパイラルコイルにその高周波用磁性薄膜が適用された場合には、そのインダクタは、例えばGHz帯域での渦電流損失が低減された磁気素子として機能することとなる。
以下、本発明の一実施の形態に係る高周波用磁性薄膜およびその作製方法並びに磁気素子について、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明の範囲は以下に説明する実施の形態により制限されない。
図1は、本実施の形態の高周波用磁性薄膜の断面形態の一例を示す模式図であり、図2Aおよび図2Bは、この高周波用磁性薄膜の断面形態の一例を示す高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)像であり、図3Aおよび図3Bは、この高周波用磁性薄膜の断面形態の他の一例を示す走査透過型電子顕微鏡(STEM像)である。
この高周波用磁性薄膜1は、図1〜図3Aおよび図3Bに示されるように、その断面構造が強磁性金属2と非晶質金属3とによるDM構造となっている。ここで、DM構造とは、ディスコンティニュアス・マルチレイヤ(discontinuous Multilayer)の略であり、簡単に言えば、非連続な多層構造ということができる。こうしたDM構造は、後述する作製方法の欄で説明するように、多層膜の作製工程を制御することにより実現される。以下、この高周波用磁性薄膜1の構成について説明する。
(強磁性金属)
強磁性金属2は、強磁性材料であるFe又はFeCo中に、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素が含まれる。
強磁性金属2は、強磁性材料であるFe又はFeCo中に、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素が含まれる。
C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素は、飽和磁化が大きいが、保持力が大きく比抵抗が比較的小さいFe又はFeCoの軟磁気特性を向上させることができるので好ましく含有される。含有されるC、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素の濃度は、通常2〜20原子%(at%と略す)、望ましくは4〜15at%である。それらの元素の濃度が2at%未満の場合には、bcc構造の柱状結晶が基板に対して垂直方向に結晶成長し易くなり、保磁力が大きくなると共に比抵抗が小さくなってしまい、良好な高周波特性を得ることが困難となる。一方、それらの元素の濃度が20at%を超える場合には、異方性磁界が減少して共鳴周波数の低下が生じるので、高周波用の薄膜として十分に機能することが困難となる。特に好ましくはCを含有させた場合であり、そのときのCの濃度は、4〜15at%であることが好ましい。
なお、Feの場合よりもFeCoを採用するほうが高い飽和磁化が得られることから望ましい。このときのFeCo中のCo含有量は、80at%以下の範囲で適宜定めればよいが、20〜50at%の範囲で含有させることが望ましい。また、Fe、FeCo以外の元素であっても、本発明に悪影響を与えない範囲であれば他の元素を含有させてもよい。
(非晶質金属)
非晶質金属3は、Co系非結晶質合金が好ましく用いられる。Co系非結晶質合金は、高透磁率であり且つ高抵抗(比抵抗が100〜150μΩcm)であるため、高周波域での渦電流損失の抑制に効果があり、好ましく適用される。Co系非結晶質合金は、単層膜で透磁率1000以上(10MHz)、飽和磁化1.0T(10kG)以上、比抵抗100μΩcm以上の特性を有するものであることが望ましい。
非晶質金属3は、Co系非結晶質合金が好ましく用いられる。Co系非結晶質合金は、高透磁率であり且つ高抵抗(比抵抗が100〜150μΩcm)であるため、高周波域での渦電流損失の抑制に効果があり、好ましく適用される。Co系非結晶質合金は、単層膜で透磁率1000以上(10MHz)、飽和磁化1.0T(10kG)以上、比抵抗100μΩcm以上の特性を有するものであることが望ましい。
本実施の形態においては、強磁性金属2と交互に堆積させる材料が非晶質金属であるので、その材料が結晶質金属である場合に比べて、堆積させる強磁性金属の結晶成長の開始を抑制することができる。
このCo系非結晶質合金は、Coを主成分とし、B,C,Si,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Ni,Y,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wから選択される少なくとも1種又は2種以上の添加元素を含んで形成されている。
添加元素の割合(2種以上の場合は総和量)は、通常5〜50at%、好ましくは10〜30at%である。添加元素の割合が50at%を超えると、飽和磁化が小さくなるという不都合が生じる。一方、添加元素の割合が5at%未満では、磁歪の制御が困難となり、有効な軟磁気特性が得られなくなるという不都合が生じる。
Co系非結晶質合金としては、例えば、CoZr,CoHf,CoNb,CoMo,CoZrNb,CoZrTa,CoFeZr,CoFeNb,CoTiNb,CoZrMo,CoFeB,CoZrNbMo,CoZrMoNi,CoFeZrB,CoFeSiB,CoZrCrMo等が挙げられる。特に好ましくは、CoZrNbが挙げられる。
(DM構造)
図2Aおよび図2Bは、強磁性金属2である膜厚1.0nmのFe−C(C含有量:約10at%)と、非晶質金属3である膜厚0.7nmのCoZrNbとを、それぞれ250回交互に堆積(合計500回堆積)させて得られた膜断面のHRTEM像である。図2AはHRTEM写真であり、図2BはHRTEM写真の模式図である。また、図3Aおよび図3Bは、強磁性金属2である膜厚2.0nmのFe−C(C含有量:約10at%)と、非晶質金属3である膜厚0.7nmのCoZrNbとを、それぞれ250回交互に堆積(合計500回堆積)させて得られた膜断面のSTEM像である。図3AはSTEM写真であり、図3BはSTEM写真の模式図である。
図2Aおよび図2Bは、強磁性金属2である膜厚1.0nmのFe−C(C含有量:約10at%)と、非晶質金属3である膜厚0.7nmのCoZrNbとを、それぞれ250回交互に堆積(合計500回堆積)させて得られた膜断面のHRTEM像である。図2AはHRTEM写真であり、図2BはHRTEM写真の模式図である。また、図3Aおよび図3Bは、強磁性金属2である膜厚2.0nmのFe−C(C含有量:約10at%)と、非晶質金属3である膜厚0.7nmのCoZrNbとを、それぞれ250回交互に堆積(合計500回堆積)させて得られた膜断面のSTEM像である。図3AはSTEM写真であり、図3BはSTEM写真の模式図である。
本実施の形態の高周波用磁性薄膜は、図2Aおよび図2B、図3Aおよび図3Bに示したように、強磁性金属2と非晶質金属3とがDM構造を呈することに特徴がある。DM構造は、非連続な多層構造を呈するものであり、例えば図2Aおよび図2B、図3Aおよび図3Bに示すように明確な多層構造を示さず且つ個々の相が明確な結晶相を呈していない点、および、例えば図4に示すように強磁性金属2と非晶質金属3の堆積膜厚を変えた場合のXRD(X線回折)パターンからもわかるように、非晶質状態(微結晶状態を含む)を呈する構造であるという点に特徴がある。
こうしたDM構造は、例えばX線回折法(XRD法)により測定された回折パターンに、非晶質状態を示すハローピークが観察されることにより確認できる。XRD法での測定において、Fe−Cの(110)結晶面からの回折が起きる2θ=45°付近の測定を行うことにより確認し易くなる。また、DM構造になっていることを確認するための他の手段としては、例えば図2Aおよび図2Bに示したようなHRTEMによる断面観察、又は図3Aおよび図3Bに示したようなSTEMによる断面観察により行うことができる。なお、これらの透過型電子顕微鏡観察においては、その試料作成や測定において、電子線回折(Selected Area Electron Diffraction)の測定を同時に行うことにより確認し易くなる。
本実施の形態において、DM構造を構成する強磁性金属2が非晶質状態を呈する理由は、強磁性金属の堆積を、その強磁性金属の結晶成長が十分に起こる前に停止したことに起因するものである。こうした非晶質状態の強磁性金属2は、例えば強磁性材料が持つ大きな飽和磁化を保ちつつ高い透磁率を呈して軟磁性化すると共に比抵抗が高くなる。その結果、GHz帯域の高周波領域で優れた性能指数Qを有する高周波用磁性薄膜を作製できる。
なお、本実施の形態の高周波用磁性薄膜には、強磁性金属2と非晶質金属3とを繰り返し堆積させて得られたDM構造膜をその後熱処理した場合に上記同様に非晶質状態(微結晶状態を含む。)を呈する構造であるものも含まれる。
(DM構造の形成)
DM構造は、強磁性金属の堆積をその強磁性金属の結晶成長が十分に起こる前に停止する強磁性金属堆積工程と、強磁性金属上に非晶質状態となる金属を堆積する非晶質金属堆積工程とを交互に行うことにより形成される。
DM構造は、強磁性金属の堆積をその強磁性金属の結晶成長が十分に起こる前に停止する強磁性金属堆積工程と、強磁性金属上に非晶質状態となる金属を堆積する非晶質金属堆積工程とを交互に行うことにより形成される。
このとき注意する点は、強磁性金属の堆積を、その強磁性金属の結晶成長が十分に起こる前の厚さで停止すること、又は、強磁性金属と非晶質金属とを繰り返し堆積させて得られたDM構造膜をその後熱処理した場合に上記同様に微結晶状態又は非晶質状態を呈する構造を維持する程度の膜厚で堆積することである。こうすることにより、DM構造を形成することができる。
具体例としては、図2Aおよび図2Bに示したように、Fe−Cを膜厚1.0nmを目安に堆積し、CoZrNbを膜厚0.7nmを目安に堆積することにより、非晶質状態のDM構造とすることができる。また、図3Aおよび図3Bに示したように、Fe−Cを膜厚2.0nmを目安に堆積し、CoZrNbを膜厚0.7nmを目安に堆積することにより、非晶質状態のDM構造とすることができる。
非晶質状態のDM構造とすることができる強磁性金属の堆積膜厚の目安は、3.0nm以下であり、0.5〜2.0nmであることがより好ましい。強磁性金属の堆積膜厚の目安が3nmを超えると、結晶成長が起こることがあり、その結果、透磁率の低下と比抵抗の低下が起こり、GHz帯域での高周波特性である性能指数Qが不十分な値となる。
一方、非晶質金属は、通常非晶質状態となるのでその観点からは特に制限はないが、本発明の目的であるGHz帯域での高周波特性の観点からは、堆積膜厚をあまり厚くするのは好ましくない。非晶質金属3の堆積膜厚は、[強磁性金属の堆積膜厚の目安:T1]/[非晶質金属の堆積膜厚の目安:T2]が0.8〜3.0、好ましくは1.0〜2.5となるように設定される。その範囲内となるように非晶質金属の堆積膜厚の目安を調整することにより、高周波特性を損なわない磁性薄膜を得ることができる。T1/T2が3.0を超える場合には、Fe−C等の強磁性金属の粒子が成長してしまい、高い比抵抗(例えば130μΩcm以上)が得られなくなることがある。また、T1/T2が0.8未満となる場合には、高い飽和磁化を持つ強磁性金属の割合が少なくなるので、共鳴周波数の高周波数化が困難となることがある。
次に、強磁性金属と非晶質金属の堆積回数と厚さについて説明する。強磁性金属と非晶質金属とを交互に堆積させる合計の回数については特に制限はないが、通常、5〜3000回、好ましくは10〜700回程度である。最終的な高周波用磁性薄膜の厚さは、100〜2000nm、好ましくは300〜1000nmである。この値が100nm未満である場合は、平面型磁気素子に応用した場合に、所望のパワーを扱うことが困難になるという不都合が生じることがある。一方、この値が2000nmを超える場合は、表皮効果による高周波損失が堅調になり、GHz帯域の損失が増大するという不都合が生じることがある。
次に、高周波用磁性薄膜の作製方法、つまりDM構造の形成方法について説明する。高周波用磁性薄膜1は、真空薄膜形成方法、特にスパッタ法により形成されることが好ましい。より具体的には、RFスパッタ、DCスパッタ、マグネトロンスパッタ、イオンビームスパッタ、誘導結合RFプラズマ支援スパッタ、ECRスパッタ、対向ターゲット式スパッタ等が用いられる。なお、スパッタリングはあくまで実施の形態の一態様であり、他の薄膜作成プロセスを適用できることは言うまでもない。
強磁性金属を堆積させるためのターゲットとしては、Feターゲット又はFeCoターゲットの上に、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素のペレットを配置した複合ターゲットを用いるか、Fe又はFeCoとC、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素との合金ターゲットを用いればよい。C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素の濃度調整は、例えば、個々の元素ペレットの量を調整するようにすればよい。
Co系非結晶質合金を堆積させるためのターゲットとしては、Coターゲット上に、所望の添加元素のペレットを配置した複合ターゲットを用いたり、所望の添加成分を含有するCo合金のターゲットを用いればよい。
なお、本実施の形態の高周波用磁性薄膜1が形成される基板4(図1を参照)としては、ガラス基板、セラミクス材料基板、半導体基板、樹脂基板等が例示できる。セラミクス材料としては、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、ステアタイト、ムライト、コージライト、フォルステライト、スピネル、フェライト等が挙げられる。中でも熱伝導率が大きく、曲げ強度も大きい窒化アルミニウムを用いることが好ましい。
また、本実施の形態の高周波用磁性薄膜は、室温(約15〜35℃)で成膜したままの状態でその性能が発揮できるので、MMICのような半導体プロセスで製作される高周波集積回路に最適な材料である。従って、基板としては、Si、GaAs、InP、SiGe等の半導体基板が例示できる。
(磁性薄膜の高周波特性)
図5A〜図5Dは、本実施の形態の高周波用磁性薄膜における膜厚と飽和磁化4πMs(図5A)、比抵抗ρ(図5B)、透磁率μ1,μ2(図5C)および性能指数Q(図5D)との関係の一例を示すグラフである。この関係は、非晶質金属としてCoZrNbを用い、強磁性金属としてFe−Cを用い、[CoZrNbの膜厚]/[Fe−Cの膜厚]を0.7とした場合において、CoZrNbの膜厚を0.5〜6.5nmまで変化させた時の各特性を示している。
図5A〜図5Dは、本実施の形態の高周波用磁性薄膜における膜厚と飽和磁化4πMs(図5A)、比抵抗ρ(図5B)、透磁率μ1,μ2(図5C)および性能指数Q(図5D)との関係の一例を示すグラフである。この関係は、非晶質金属としてCoZrNbを用い、強磁性金属としてFe−Cを用い、[CoZrNbの膜厚]/[Fe−Cの膜厚]を0.7とした場合において、CoZrNbの膜厚を0.5〜6.5nmまで変化させた時の各特性を示している。
図5A〜図5Dに示すように、この系においては、CoZrNbの膜厚が1.5nm以下になると、飽和磁化(図5Aを参照)および比抵抗(図5Bを参照)の増加が堅調に現れている。この系において、透磁率はCoZrNbの膜厚が3nm以上で大きくなるが、損失(μ2)も共に大きくなるため(図5Cを参照)、高いQ値が得られる条件は、CoZrNbの膜厚が1.5nm以下のときであることがわかる(図5Dを参照)。なお、各層の膜厚が3nm以下、好ましくは2nm以下のときの構造がいわゆるDM構造を有することは、図2Aおよび図2B〜図4のTEM像の結果とXRDの結果からも認められる。
本実施の形態の高周波用磁性薄膜は、上述したDM構造を有するので、1GHzにおける複素透磁率の実数部(μ1)が400以上で、且つ性能指数Qが3以上、飽和磁化が1.3T(13kG)以上、比抵抗が100μΩcmとなる。なお、GHz領域(1GHz)で透磁率の実数部(μ1)はできるだけ大きな値をとることが望まれ、特に上限値はない。同様に、飽和磁化についてもできるだけ大きな値をとることが望まれ、特に上限値はない。このような特性は、熱処理等を施さない成膜のままの状態で測定される。
(磁気素子)
本実施の形態の磁気素子は、上述した高周波用磁性薄膜をその一部に備えていることに特徴がある。
本実施の形態の磁気素子は、上述した高周波用磁性薄膜をその一部に備えていることに特徴がある。
図6Aおよび図6Bは、平面型の磁気素子をインダクタに応用した一例である。図6Aはインダクタの平面図を模式的に示したものであり、図6Bは図6AのA−A矢視断面を模式的に示したものである。
これらの図面に示されるインダクタ10は、基板11と、この基板11の両面にスパイラル状に形成された平面コイル12,12と、これらの平面コイル12,12と基板11面を覆うように形成された絶縁膜13,13と、これの各々の絶縁膜13,13の上を覆うように形成された一対の高周波用磁性薄膜1とを備えている。高周波用磁性薄膜1は、図1に示したものと同様の構造を有する。そして、上記2つの平面コイル12,12は、基板11の略中央部分に形成されたスルーホール15を介して電気的に接続されている。さらに、基板11の両面の平面コイル12,12からそれぞれ接続のための端子16が基板11の外方に引き出されている。このようなインダクタ10は、一対の高周波用磁性薄膜1によって、絶縁膜13,13を介して平面コイル12,12を挟むように構成されているので、接続端子16,16間にインダクタが形成される。
このように形成されたインダクタは、小型かつ薄型軽量であり、特に1GHz以上の高周波帯域で優れたインダクタンスを示す。なお、上記説明したインダクタ10において、平面コイル12,12を並列的に複数設けることによりトランスを形成することができる。
図7は、本実施の形態の平面型磁気素子をインダクタに応用した他の一例を示す断面模式図である。
この図に示されるインダクタ20は、基板21と、この基板21の上に必要に応じて形成される酸化膜22と、この酸化膜22の上に形成された高周波用磁性薄膜1aと、この高周波用磁性薄膜1aの上に形成された絶縁膜23を備え、さらにこの絶縁膜23の上に形成された平面コイル24と、これらの平面コイル24と絶縁膜23を覆うように形成された絶縁膜25と、この絶縁膜25の上に形成された高周波用磁性薄膜1bとを有している。高周波用磁性薄膜1a,1bは、上記した高周波用磁性薄膜1(図1)と同様の構造を有するものである。このように形成されたインダクタ20もやはり、小型かつ薄型軽量であり、特に1GHz以上の高周波帯域で優れたインダクタンスを示す。そしてこのようなインダクタ20において、平面コイル24を並列的に複数設けることによりトランスを形成することができる。
図8および図9は、本実施の形態の高周波用磁性薄膜1をMMIC用インダクタとして応用した実施例であり、図8はインダクタの導体層部分を抜き出した平面図を模式的に示したものであり、図9は図8のA−A矢視断面を模式的に示した図面である。
これらの図面で示されているインダクタ30は、基板31と、この基板31の上に必要に応じて形成される絶縁酸化膜32と、その絶縁酸化膜32の上に形成された高周波用磁性薄膜1aと、この高周波用磁性薄膜1aの上に形成された絶縁膜33を備え、さらにこの絶縁膜33の上に形成されたスパイラルコイル34と、このスパイラルコイル34と絶縁膜33を覆うように形成された絶縁膜35a,35bと、この絶縁膜35bの上に形成された高周波用磁性薄膜1bとを有している。高周波用磁性薄膜1a,1bは、上記した高周波用磁性薄膜1(図1)と同様の構造を有するものである。
また、スパイラルコイル34は、配線36を介して一対の電極37に接続されている。そして、スパイラルコイル34を囲むように設けられた一対のグラウンドパターン39は、それぞれ一対のグラウンド電極38に接続され、グラウンド−シグナル−グラウンド(G−S−G)タイプのプローブにより、ウェハ上で周波数特性を評価する形状を有している。
本実施の形状にかかるMMIC用インダクタにおいては、磁芯となる高周波用磁性薄膜1a、1bによってスパイラルコイル34が挟み込まれた有芯構造を採用している。そのため、スパイラルコイル34が同じ形状でありながらも高周波用磁性薄膜1a、1bが形成されていない空芯構造のインダクタに比べ、インダクタンス値が約50%向上される。従って、同じインダクタンス値を得るために必要なスパイラルコイル34の占有面積は小さくてもよいことになり、その結果としてスパイラルコイル34の小型化が実現できる。
ところで、MMIC用インダクタに適用する磁性薄膜の材料としては、GHz帯域の高周波数で高透磁率、かつ高い性能指数Q(低損失)特性を持つことや、半導体製造プロセスによる集積化が可能であることが求められる。
GHz帯域の高周波数における高透磁率を実現するためには、共鳴周波数が高く、かつ飽和磁化が大きい材質が有利であり、一軸磁気異方性の制御が必要である。また、高い性能指数Qを得るためには、高抵抗化による渦電流損失の抑制が重要である。さらに、集積化プロセスに適用するためには、室温で成膜でき成膜のままの状態で使用できることが望ましい。すでにセッティングされている他のオンチップコンポーネントの性能および作成プロセスに加熱による悪影響を及ぼさないようにするためである。
以下、本実施の形態の高周波用磁性薄膜について、実施例および比較例によりさらに詳細に説明する。
(実施例1)
実施例1の高周波用磁性薄膜を以下の成膜手法に従って作製した。
実施例1の高周波用磁性薄膜を以下の成膜手法に従って作製した。
先ず、Siウェハの上にSiO2を500nmの厚さに成膜したものを基板として用いた。次に、対向ターゲット式スパッタ装置を用いて、下記の要領で基板上に高周波用磁性薄膜を成膜(deposit)させた。すなわち、対向ターゲット式スパッタ装置内を8×10−5Paまで予備排気した後、圧力が10PaになるまでArガスを導入した後、100WのRFパワーで10分間、基板表面をスパッタエッチングした。次いで、圧力が0.4PaになるようにArガスの流量を調整し、300WのパワーでCo87Zr5Nb8ターゲット、およびFeターゲット上にC(炭素)ペレットを配置した複合ターゲットを、順次交互に繰り返しスパッタリングして後述する仕様からなる高周波用磁性薄膜としての磁性薄膜を成膜(deposit)させた。なお、Co87Zr5Nb8という組成のターゲットを使用したのは、磁歪がほぼゼロであるため、高い透磁率を実現できるからである。
成膜時には基板に−40〜−80VのDCバイアスを印加した。また、ターゲット表面の不純物の影響を防止するためにシャッターを閉めた状態で10分以上プリスパッタリングを行った。その後、シャッターを開けることにより基板上に成膜を行った。成膜速度(rate)は、非晶質金属であるCoZrNbの堆積時で0.33nm/秒、強磁性金属であるFe−Cの堆積時で0.27nm/秒とした。シャッターの開閉時間を制御することで交互に堆積される各材料を堆積する膜厚を調整した。基板上に先ずCoZrNbを堆積した後、その上にFe−Cを堆積し、以下順次CoZrNbとFe−Cとを交互に堆積した。
このような成膜手法に基づき、膜厚1.0nmのCoZrNbと、膜厚1.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に250回ずつ順次堆積して総膜厚500nm(合計500層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例1)を形成した。
なお、成膜中に基板温度の制御は行っていないが、基板温度は総膜厚が500nmになるまでの間に30℃まで上昇した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、Fe−CおよびCoZrNbともに非結晶質であるDM構造が確認された。
図10は、成膜後に測定された磁化曲線である。この図で、符号Eは磁化容易軸方向における磁化曲線であり、符号Dは磁化困難軸方向における磁化曲線である。この磁化曲線から明らかなように、堆積膜では面内一軸磁気異方性が観察されており、飽和磁化は1.43T(14.3kG)、磁化容易軸方向の保磁力Hceとして47.75A/m(0.6Oe)、磁化困難軸方向の保磁力Hchとして63.66A/m(0.8Oe)が得られた。図11は、この実施例の積層膜の高周波透磁率特性である。このグラフより、共鳴周波数は測定限界の2GHzを超えており、GHz領域で透磁率の実数部(μ1)が500以上であることが分かる。また、性能指数Q(Q=μ1/μ2)は1GHzでは15の値が得られ、2GHzでは7の値が得られていることが分かる。なお、高周波透磁率の測定は薄膜高周波透磁率測定装置(成瀬科学器機、PHF−F1000)を用い、磁気特性は振動試料型磁力計(理研電子、BHV−35)を用いて測定した。
(実施例2)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚0.9nmのCoZrNbと、膜厚1.3nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に200回ずつ順次堆積して総膜厚440nm(合計400層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例2)を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚0.9nmのCoZrNbと、膜厚1.3nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に200回ずつ順次堆積して総膜厚440nm(合計400層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例2)を形成した。
図12は、成膜後に測定された磁化曲線である。符号E、Dの意義は図10の場合と同様である。この磁化曲線から求めた磁気特性として、飽和磁化は1.41T(14.1kG)、磁化容易軸方向の保磁力Hceは47.75A/m(0.6Oe)、磁化困難軸方向の保磁力Hchは95.50A/m(1.2Oe)であった。図13は、この実施例の積層膜の高周波透磁率特性である。このグラフより、透磁率の実数部(μ1)の値として、1.0GHzでは490の値が得られ、1.5GHzでは670の値が得られていることが分かる。また、性能指数Q(Q=μ1/μ2)の値として、1.0GHzでは11の値が得られ、1.5GHzでは7の値が得られていることが分かる。
(実施例3)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚1.0nmのCoZrNbと、膜厚2.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に170回ずつ順次堆積して総膜厚510nm(合計340層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例3)を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚1.0nmのCoZrNbと、膜厚2.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に170回ずつ順次堆積して総膜厚510nm(合計340層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例3)を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、Fe−CおよびCoZrNbともに非結晶質であるDM構造が確認された。
図14は、成膜後に測定された磁化曲線である。符号E、Dの意義は図10の場合と同様である。この磁化曲線から求めた磁気特性として、飽和磁化は1.48T(14.8kG)、磁化容易軸方向の保磁力Hceは55.70A/m(0.7Oe)、磁化困難軸方向の保磁力Hchは79.58A/m(1.0Oe)であった。図15は、この実施例の堆積膜の高周波透磁率特性である。このグラフより、共鳴周波数は測定限界の2GHzを超えており、GHz領域で透磁率の実数部(μ1)が500以上であることが分かる。また、性能指数Q(Q=μ1/μ2)の値として、1.0GHzでは24の値が得られ、1.5GHzでは8.5の値が得られ、2GHzでは3の値が得られていることが分かる。
(実施例4)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚1.0nmのCoZrNbと、膜厚2.8nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に135回ずつ順次堆積して総膜厚513nm(合計270層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例4)を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚1.0nmのCoZrNbと、膜厚2.8nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に135回ずつ順次堆積して総膜厚513nm(合計270層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例4)を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、Fe−CおよびCoZrNbともに非結晶質であるDM構造が確認された。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.50T(15.0kG)の飽和磁化、63.66A/m(0.8Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、71.62A/m(0.9Oe)の磁化困難軸方向の保磁力が、それぞれ、得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は550であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は22の値が得られた。
(実施例5)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚0.8nmのCoZrNbと、膜厚2.8nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に140回ずつ順次堆積して総膜厚504nm(合計280層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例5)を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚0.8nmのCoZrNbと、膜厚2.8nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に140回ずつ順次堆積して総膜厚504nm(合計280層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例5)を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、Fe−CおよびCoZrNbともに非結晶質であるDM構造が確認された。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.58T(15.8kG)の飽和磁化、71.62A/m(0.9Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、87.54A/m(1.1Oe)の磁化困難軸方向の保磁力が、それぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は400であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は16の値が得られた。
(実施例6)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚2.0nmのCoZrNbと、膜厚1.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に170回ずつ順次堆積して総膜厚510nm(合計340層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例6を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚2.0nmのCoZrNbと、膜厚1.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に170回ずつ順次堆積して総膜厚510nm(合計340層相当)の本実施の形態の磁性薄膜(実施例6を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、Fe−CおよびCoZrNbともに非結晶質であるDM構造が確認された。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.39T(13.9kG)の飽和磁化、47.75A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、55.70A/m(0.7Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は755であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は6の値が得られた。
(比較例1)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚6.0nmのCoZrNbと、膜厚7.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に30回ずつ順次堆積して総膜厚390nm(合計60層相当)の比較例1の磁性薄膜を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚6.0nmのCoZrNbと、膜厚7.0nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に30回ずつ順次堆積して総膜厚390nm(合計60層相当)の比較例1の磁性薄膜を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、図16AのTEM像および図16Bのその模式図に示すように、CoZrNbは非結晶質であったが、Fe−Cは結晶質であることが確認された。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.30T(13.0kG)の飽和磁化、47.74A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、286.45A/m(3.6Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は1050であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は2.6の値が得られた。
(比較例2)
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚20nmのCoZrNbと、膜厚30nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に10回ずつ順次堆積して総膜厚500nm(合計20層相当)の比較例2の磁性薄膜を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、膜厚20nmのCoZrNbと、膜厚30nmのFe−C(炭素濃度:10at%)とを交互に10回ずつ順次堆積して総膜厚500nm(合計20層相当)の比較例2の磁性薄膜を形成した。
磁性薄膜の構造を確認したところ、図17AのTEM像および図17Bのその模式図に示すように、CoZrNbは非結晶質であったが、Fe−Cは結晶質であることが確認された。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.69T(16.9kG)の飽和磁化、119.35A/m(1.5Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、47.74A/m(0.6Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は505であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は6の値が得られた。
(比較例3)
上記実施例1において、Fe−CをFeに変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、比較例3の磁性薄膜を形成した。
上記実施例1において、Fe−CをFeに変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、比較例3の磁性薄膜を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、2.07T(20.7kG)の飽和磁化、334.23A/m(4.2Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、1511.97A/m(19.0Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は150であるが、透磁率の値が小さいためμ2の実測値には信頼性がなく、性能指数Q(Q=μ1/μ2)は求められなかった。
(実施例7)
上記実施例1において、Fe−Cの炭素濃度を10at%から12at%に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして本実施の形態の磁性薄膜(実施例7)を形成した。
上記実施例1において、Fe−Cの炭素濃度を10at%から12at%に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして本実施の形態の磁性薄膜(実施例7)を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.41T(14.1kG)の飽和磁化、47.75A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、55.76A/m(0.7Oe)の磁化困難軸方向の保磁力が、それぞれ、得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は600であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は12の値が得られた。
(実施例8)
上記実施例1において、Fe−Cの炭素濃度を10at%から15at%に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例8)を形成した。
上記実施例1において、Fe−Cの炭素濃度を10at%から15at%に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例8)を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.40T(14.0kG)の飽和磁化、47.75A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、55.76A/m(0.7Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は750であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は12の値が得られた。
(実施例9)
上記実施例1において、Co系非結晶質合金の組成であるCo87Zr5Nb8を、Co89Zr6Ta5に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例9)を形成した。
上記実施例1において、Co系非結晶質合金の組成であるCo87Zr5Nb8を、Co89Zr6Ta5に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例9)を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.44T(14.4kG)の飽和磁化、47.75A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、55.76A/m(0.7Oe)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は520であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は15の値が得られた。
(実施例10)
上記実施例1において、Co系非結晶質合金の組成であるCo87Zr5Nb8を、Co80Fe9Zr3B8に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例10)を形成した。
上記実施例1において、Co系非結晶質合金の組成であるCo87Zr5Nb8を、Co80Fe9Zr3B8に変えた。それ以外は、上記実施例1と同様にして、本実施の形態の磁性薄膜(実施例10)を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、1.50T(15.0kG)の飽和磁化、47.75A/m(0.6Oe)の磁化容易軸方向の保磁力、55.76A/m(0.7Oe)の磁化困難軸方向の保磁力が、それぞれ、得られた。また、1GHzにおける透磁率の実数部(μ1)は530であり、1GHzでの性能指数Q(Q=μ1/μ2)は17の値が得られた。
これらの結果を含めた測定値を表1にまとめて示した。表1に示すように、本実施の形態における各実施例は、1.4T以上の飽和磁化、1.5GHz以上の共鳴周波数、5.0以上のQ値を得ることが可能である。この中で、T1が0.5〜3.0nmの範囲、かつT1/T2が0.8〜3.0の範囲にある実施例1〜4、7〜10は1.4T以上の飽和磁化、2.0GHz以上の共鳴周波数、10.0以上のQ値を得ることができる。
以上、いくつかの実施の形態および実施例を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態および実施例に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、DM構造を形成する強磁性金属および非晶質金属は、上記実施の形態および実施例に挙げた材料や組成には限定されない。また、高周波用磁性薄膜の適用対象は、薄膜インダクタや薄膜トランス等の高周波用の平面型磁気素子やMMIC等のデバイスに限定されるものではなく、他のデバイスにも適用可能である。
Claims (16)
- 非晶質状態の強磁性金属と前記強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM(ディスコンティニュアス・マルチレイヤ)構造を有することを特徴とする高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属が、Fe又はFeCoを主成分とし、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素を含む金属であり、前記非晶質金属がCo系非結晶質合金であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記非晶質金属がCoZrNbであることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属の膜厚が3.0nm以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属の膜厚が0.5nm以上2.0nm以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記非晶質金属の膜厚に対する前記強磁性金属の膜厚の比が0.8以上3.0以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記非晶質金属の膜厚に対する前記強磁性金属の膜厚の比が1.0以上2.5以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属および前記非晶質金属が交互に繰り返し積層されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属および前記非晶質金属の積層繰り返し回数が5回以上3000回以下であり、その総積層膜厚が100nm以上2000nm以下であることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 前記強磁性金属および前記非晶質金属の積層繰り返し回数が10回以上700回以下であり、その総積層膜厚が300nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 強磁性金属と非晶質金属とにより形成されたDM(ディスコンティニュアス・マルチレイヤ)構造を有する高周波用磁性薄膜の作製方法であって、
非晶質状態が保たれるように前記強磁性金属を堆積する強磁性金属堆積工程と、
前記強磁性金属とは異なる非晶質金属を堆積する非晶質金属堆積工程と
を含み、
前記強磁性金属堆積工程と前記非晶質金属堆積工程とを交互に複数回行うことにより前記DM構造を形成すること特徴とする高周波用磁性薄膜の作製方法。 - 前記強磁性金属が、Fe又はFeCoを主成分とし、C、BおよびNから選ばれる1又は2以上の元素を含む金属であり、前記非晶質金属がCo系非結晶質合金であることを特徴とする請求の範囲第11項に記載の高周波用磁性薄膜の作製方法。
- 高周波用磁性薄膜を有する磁気素子であって、前記高周波用磁性薄膜が、非晶質状態の強磁性金属と前記強磁性金属とは異なる非晶質金属とにより形成されたDM(ディスコンティニュアス・マルチレイヤ)構造を有することを特徴とする磁気素子。
- コイルをさらに備え、
前記高周波用磁性薄膜が、前記コイルを挟持するように対向配置されていることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の磁気素子。 - インダクタまたはトランスに使用されることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の磁気素子。
- モノリシックマイクロ波集積回路に使用されることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の磁気素子。
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