JP6893462B2 - 電子部品 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 113
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 29
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
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Claims (8)
- 入射光を反射する回動ミラー部を有する光偏向器と、
1枚以上の板材からなり、前記板材に設けられた凹部の上面側に前記光偏向器が載置されるキャリア部と、
前記回動ミラー部の反射面側を覆い、天板に前記入射光が透過する窓板が設けられたリッド部と、
前記リッド部の下面と前記キャリア部とが接合された接合部と、を備え、
前記キャリア部は、前記凹部の表面が曲面状となるように被覆材により被覆され、
前記光偏向器は、前記凹部で反射された光束の正反射方向の光が前記回動ミラー部の裏面に照射される位置に配置されていることを特徴とする電子部品。 - 請求項1に記載の電子部品において、
前記凹部は、開口を有さないベース板材の上に、大きさが互いに異なる開口を有する複数の板材を、前記開口の大きさが小さい板材から順番に積層して形成されていることを特徴とする電子部品。 - 請求項2に記載の電子部品において、
前記複数の板材の各々の開口は、前記板材に垂直な中心軸に関して対象な形状を有し、
前記複数の板材は、前記中心軸を合わせて積層されていることを特徴とする電子部品。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載の電子部品において、
前記凹部は、放物面の形状を有し、
前記放物面の焦点は、前記回動ミラー部の裏面側に位置することを特徴とする電子部品。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の電子部品において、
前記被覆材は、前記入射光の反射を抑える材料が含まれていることを特徴とする電子部品。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の電子部品において、
前記回動ミラー部の前記裏面は、前記凹部で反射された光の反射を抑える材料で被覆されていることを特徴とする電子部品。 - 請求項5又は6に記載の電子部品において、
前記光の反射を抑える材料は、黒色塗料又は黒色顔料であることを特徴とする電子部品。 - 請求項1〜7の何れか1項に記載の電子部品において、
前記被覆材は、湿気を吸収する吸湿材料が含まれていることを特徴とする電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017202436A JP6893462B2 (ja) | 2017-10-19 | 2017-10-19 | 電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017202436A JP6893462B2 (ja) | 2017-10-19 | 2017-10-19 | 電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019074712A JP2019074712A (ja) | 2019-05-16 |
JP6893462B2 true JP6893462B2 (ja) | 2021-06-23 |
Family
ID=66545144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017202436A Active JP6893462B2 (ja) | 2017-10-19 | 2017-10-19 | 電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6893462B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7310341B2 (ja) * | 2019-06-13 | 2023-07-19 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール |
EP4063934A1 (en) * | 2019-11-21 | 2022-09-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4062225B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2008-03-19 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
DE102008019600B4 (de) * | 2008-04-18 | 2021-03-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben |
JP2010019933A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
JP5482015B2 (ja) * | 2009-08-19 | 2014-04-23 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
KR101660728B1 (ko) * | 2009-12-22 | 2016-10-10 | 엘지전자 주식회사 | 레이저 디스플레이 시스템의 광 스캐너 |
JP2019045770A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | スタンレー電気株式会社 | 電子部品 |
JP6990547B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2022-01-12 | スタンレー電気株式会社 | 電子部品 |
-
2017
- 2017-10-19 JP JP2017202436A patent/JP6893462B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019074712A (ja) | 2019-05-16 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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