JP6888985B2 - 積層型ミニチュアライズ薄膜電池及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 229910012305 LiPON Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910012851 LiCoO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 49
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 21
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 14
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 11
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 7
- 239000002585 base Substances 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 102220469117 Thymosin beta-10_V34A_mutation Human genes 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 102220058512 rs730882156 Human genes 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Description
前記セルを構成する前記固体電解質層の側断面と前記カソード層の側断面が面一を構成する第一部位を備え、該第一部位は、上下に積層配置された各セルのカソード電流コレクタ層どうしを繋ぐ貫通電極Aの側面と、前記封止層を介して、所定の離間距離をもって配置される、ことを特徴とする。
前記カソード層に前記固体電解質層が重ねて配置された状態において、該カソード層と該固体電解質層とを一括してエッチング処理を行い、前記セルを構成する前記固体電解質層の側断面と前記カソード層の側断面が面一を構成する第一部位を形成する工程を含む、ことを特徴とする。
したがって、本発明は、複数のセルを三次元方向に配置することが可能な、積層型のミニチュアライズ薄膜電池を所定の狭小なセル面積において実現することに貢献する。
薄膜リチウム電池(単一セル)10は、たとえば、平板状の基体(Si)11上に、カソード電流コレクタ層(Pt/Ti)12、カソード層(LiCoO2)13、固体電解質層(LiPON)14、アノード層(Li)16、アノード電極コレクタ層(Ni/Cr)15、封止層(BCB)17、を設けてなる構造体である。
(a1)特定形状を有する膜は、シャドウマスクを用いてスパッタ法により、所望の形状を有すルようにパターニング形成される。この手法によれば、シャドウマスクMAの開口面積が広い場合(パターンサイズが大きい場合)には、膜FAは所望の堆積形状とすることができる[図2(a)]。これに対して、シャドウマスクMBの開口面積が狭くなる(パターンサイズが小さくなる)につれて、膜FBの堆積形状が変わり、容量が低下する虞があった[図2(b)]。所望の堆積形状が得られるまでスパッタ処理時間の延長を行うことにより、所望の堆積形状を作製することは不可能ではない。しかしながら、そのためのスパッタ処理時間の長大化は成膜スループットの低下を招くとともに、スパッタのターゲット材を過剰に消費することにもなるため、コスト増大化が避けられず実用に適さない。
ゆえに、成膜工程(マスク開口小型化)によって、上記構成からなる電池における各膜を所定の狭小なセル面積に収めることは困難であった。
(a2)固体電解質層(LiPON)14は、リフトオフ法を用いて形成されるが、耐薬品性(吸湿性)の問題があった。つまり、水や酸、アルカリ、有機溶剤に対する耐性を備える必要があり、使用できる材料が制限され、材料選択の幅を狭める虞があった。
(a3)成膜した後、膜の外形を整えるために、レーザー加工法が用いられるが、加工した膜の外形端部にクラックが発生し、膜の性能を低下させる虞があった。
(a4)図1に示すように、従来の製法による薄膜電池は、構造体が厚み方向において、下層階から上層階に向うほど面積が狭くなり、裾広がりの断面形状となる傾向があった。このため、構造体をミリ単位で作製するためには、下層階の面積(フットプリント)を狭くすることが困しい状況にあった。
本発明者らは、上述した課題を解決できる手法(リソグラフィ法、ドライエッチング法)について鋭意検討した結果、以下に述べる製法を見出した。
図3〜図27は、本発明の積層型ミニチュアライズ薄膜電池を構成するセルの製造工程を示す断面図である。以下では、各図面を用い、各製造工程について説明する。
これにより、基体21に載置された、パターン化されたカソード電流コレクタ層22Eの上に、パターン化されたカソード層24Eとパターン化された固体電解質層26Gとパターン化されたアノード層28Fとパターン化されたアノード電極コレクタ層31Bとが順に重ねて配されてなる、中間体20Xを形成する[図26]。
したがって、本発明は、複数のセルを三次元方向に配置することが可能な、積層型のミニチュアライズ薄膜電池を所定の狭小なセル面積において実現することに貢献する。
したがって、本発明は、セル面積の狭小化を図り、複数のセルを三次元方向に配置することが可能な、積層型ミニチュアライズ薄膜電池の提供に貢献する。
上述した図28に示す積層型ミニチュアライズ薄膜電池装置(積層数が3の場合)500Mは、以下に述べる製法により作製できる。
図29〜図40は、本発明の積層型ミニチュアライズ薄膜電池の製造工程を示す断面図である。以下では、各図面を用い、各製造工程について説明する。
上述した第一中間体20Yを上下逆転させた状態(第一セル前駆体120)として、サポート基板SS1上に積み重ねて(stacking)、両者を貼り合わせる(bonding)。これにより、第二中間体500Bとする[図30]。
第二中間体500Bを構成するウェハー基板121に対して肉厚を減損させる、ウェハー薄化処理を行う(wafer thinning)。基体121Aは、ウェハー薄化処理を行った基体である。これにより、第二中間体500Cとする[図31]。
第二中間体500Jにおいて、第一ビアV33Bと第二ビアV34Bの内側面の表面は、前段のドライエッチング工程により発生した、基体(321C、221C、121C)とカソード電流コレクタ層(322B、222B、122B)との界面近傍に発生した段差部、及び、基体(321C、221C、121C)とアノード電極コレクタ層(331B、231B、131B)との界面近傍に発生した段差部、が修復される。
第二中間体500Kにおいて、第一ビアV33Cと第二ビアV34Cの内側壁の表面は、その深さ方向(第二サポート基板SS2から第一サポート基板SS1へ向う方向)に、凹凸の少ないプロファイルとなる。
また、絶縁膜(不図示)が除去された、カソード電流コレクタ層(322D、222D、122D)の内側面、及び、アノード電極コレクタ層(331D、231D、131D)の内側面は、第一ビアV33Cと第二ビアV34Cの内側壁において、露呈された状態となる。
前段のドライエッチング工程により、カソード電流コレクタ層(322D、222D、122D)の内側面、及び、アノード電極コレクタ層(331D、231D、131D)の内側面は、第一ビアV33Cと第二ビアV34Cの内側壁において、露呈された状態にある。ゆえに、導電性部材を充填することにより、第一貫通電極E33は各階層のカソード電流コレクタ層(322D、222D、122D)と電気的に接続された状態となる。同様に、第二貫通電極E34は各階層のアノード電極コレクタ層(331D、231D、131D)と電気的に接続された状態となる。
以下では、図41〜図46を用いて、カソード電流コレクタ層の加工実験例およびアノード電極コレクタ層の加工実験例について、詳細に述べる。
図41は、サンプル1(LiCoO2膜を含む積層体)の模式的な断面図であり、図41(a)はエッチング試験前、図41(b)エッチング試験後を示している。
図41において、符号70Aは試験前のサンプル1であり、符号70Bは試験後のサンプル1である。試験前のサンプル1(70A)は、シリコン基板71/熱酸化膜(厚さ100nm)72/チタン膜(厚さ20nm)73A/白金膜(厚さ100nm)74A/LiCoO2膜(3μm)75A/パターニングされたフォトレジスト膜76Aからなる積層体である。
試験後のサンプル1(70B)は、フォトレジスト膜76Bをマスクとして、ドライエッチング法により、3層[チタン膜73B/白金膜74B/LiCoO2膜75B]を加工した状態である。
エッチングガス:Ar(98sccm)、C3F8(2sccm)
キャリアガス:He
キャリアガス圧力:1800Pa
アンテナパワー:1200W
バイアスパワー:200〜500W
エッチング時間:適宜
図42は、サンプル2(LiPON膜を含む積層体)の模式的な断面図であり、図42(a)はエッチング試験前、図42(b)エッチング試験後を示している。
図42において、符号80Aは試験前のサンプル2であり、符号80Bは試験後のサンプル2である。試験前のサンプル2(80A)は、シリコン基板81/熱酸化膜(厚さ100nm)82/LiPON膜(0.5μm)83A/パターニングされたフォトレジスト膜84Aからなる積層体である。
試験後のサンプル2(80B)は、フォトレジスト膜84Bをマスクとして、ドライエッチング法により、1層[LiPON膜83B]を加工した状態である。
エッチングガス:Ar(98sccm)、C3F8(2sccm)
キャリアガス:He
キャリアガス圧力:1800Pa
アンテナパワー:1200W
バイアスパワー:200〜500W
エッチング時間:適宜
図43および図44から、以下の点が明らかとなった。
(SD1)バイアスパワー、あるいはバイアスVpp(基板入射イオンエネルギー)の増加するに連れて、エッチングレートが増加する傾向が確認された。この傾向は、膜の種類に依存せず、LiCoO2膜、LiPON膜ともに同様であった。
(SD2)LiCoO2膜と比較してLiPON膜のエッチングレートは低い傾向にある。これは、酸素(O)とリン(P)の高い結合エネルギーによる影響と考えられる。
以上より、LiCoO2膜、LiPON膜の反応性イオンエッチングの促進を得るのに好適なバイアスVppは500V以上である。
図45から、以下の点が明らかとなった。
(SE1)所定のバイアスVppを与える必要があるが、高アンテナパワーの印加が、エッチングレートの増加に有効である。この傾向は、膜の種類に依存せず、LiCoO2膜、LiPON膜ともに同様であった。
以上より、LiCoO2膜、LiPON膜の反応性イオンエッチングの促進を得るのに好適なバイアスVpp発生条件下において、アンテナパワー増加によるソースプラズマ密度の高密度化を行うことにより、LiCoO2膜、LiPON膜のエッチング速度の向上が可能である。
例えば、上述の実施の形態および加工実験例において挙げた数値、構造、構成、形状、材料などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、構成、形状、材料などを用いても良い。
Claims (5)
- 電池として機能する単一のセルは、基材上に、カソード電流コレクタ層、カソード層、固体電解質層、アノード層、アノード電極コレクタ層、封止層を順に、積層してなる構造を含み、前記セルが複数個、その積層(厚さ)方向に重ねて配置される積層型ミニチュアライズ薄膜電池であって、
前記セルを構成する前記固体電解質層の側断面と前記カソード層の側断面が面一を構成する第一部位を備え、該第一部位は、上下に積層配置された各セルのカソード電流コレクタ層どうしを繋ぐ貫通電極Aの側面と、前記封止層を介して、所定の離間距離をもって配置される、ことを特徴とする積層型ミニチュアライズ薄膜電池。 - 前記セルを構成する前記カソード層の側断面を前記固体電解質層が被覆する第二部位を備え、該第二部位は、上下に積層配置された各セルのアノード電流コレクタ層どうしを繋ぐ貫通電極Bの側面と、前記封止層及び前記アノード電極コレクタ層を介して、所定の離間距離をもって配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の積層型ミニチュアライズ薄膜電池。
- 前記固体電解質層がLiPONであり、かつ、前記カソード層がLiCoO2である、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の積層型ミニチュアライズ薄膜電池。
- 前記積層してなる構造が、前記基材の面内に複数個、配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の積層型ミニチュアライズ薄膜電池。
- 電池として機能する単一のセルは、基材上に、カソード電流コレクタ層、カソード層、固体電解質層、アノード層、アノード電極コレクタ層、封止層を順に、積層してなる構造を含み、前記セルが複数個、その積層(厚さ)方向に重ねて配置される積層型ミニチュアライズ薄膜電池の製造方法であって、
前記カソード層に前記固体電解質層が重ねて配置された状態において、該カソード層と該固体電解質層とを一括してエッチング処理を行い、前記セルを構成する前記固体電解質層の側断面と前記カソード層の側断面が面一を構成する第一部位を形成する工程を含む、ことを特徴とする積層型ミニチュアライズ薄膜電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017048677A JP6888985B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 積層型ミニチュアライズ薄膜電池及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017048677A JP6888985B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 積層型ミニチュアライズ薄膜電池及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018152280A JP2018152280A (ja) | 2018-09-27 |
JP6888985B2 true JP6888985B2 (ja) | 2021-06-18 |
Family
ID=63681897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017048677A Active JP6888985B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 積層型ミニチュアライズ薄膜電池及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6888985B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113383449A (zh) | 2019-01-31 | 2021-09-10 | 株式会社村田制作所 | 固体电池及其制造方法 |
WO2023089877A1 (ja) * | 2021-11-16 | 2023-05-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電池、電池の製造方法および回路基板 |
WO2023089876A1 (ja) * | 2021-11-16 | 2023-05-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電池、電池の製造方法および回路基板 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002352850A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ電池とその製法 |
CA2658092A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Cymbet Corporation | Method and apparatus for solid-state microbattery photolithographic manufacture, singulation and passivation |
US9748582B2 (en) * | 2014-03-31 | 2017-08-29 | X Development Llc | Forming an interconnection for solid-state batteries |
JP6590242B2 (ja) * | 2014-05-20 | 2019-10-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 薄膜全固体電池 |
-
2017
- 2017-03-14 JP JP2017048677A patent/JP6888985B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018152280A (ja) | 2018-09-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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