JP6883275B2 - 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 218
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 120
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 120
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 98
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 98
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 87
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 63
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 34
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 23
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 16
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 16
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 199
- 239000002585 base Substances 0.000 description 186
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 6
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L caesium carbonate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]C([O-])=O FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000024 caesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000000990 laser dye Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N quinolin-2-ol Chemical compound C1=CC=C2NC(=O)C=CC2=C1 LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- QHOLTZARIGGCGJ-UHFFFAOYSA-N [K].OO Chemical compound [K].OO QHOLTZARIGGCGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
まず、図1により、本実施の形態による表示装置形成用基板の概略について説明する。図1は、本実施の形態による表示装置形成用基板を示す断面図である。
次に、図2により、本実施の形態による表示装置の概略について説明する。図2は、本実施の形態による表示装置を示す断面図である。この表示装置は、上述した表示装置形成用基板10上に、後述する有機EL素子24等を複数配置し、ガラス基材11および剥離層12を除去した後、個々の有機EL素子24毎に切断して個片化することにより形成されたものである。
次に、図3(a)−(c)により、本実施の形態による表示装置形成用基板の製造方法について説明する。図3(a)−(c)は、本実施の形態による表示装置形成用基板の製造方法を示す断面図である。
次に、図4(a)−(e)、図5(a)−(c)及び図6(a)−(d)により、本実施の形態による表示装置の製造方法について説明する。図4(a)−(e)、図5(a)−(c)及び図6(a)−(d)は、本実施の形態による表示装置の製造方法を示す断面図である。
次に、本実施の形態の変形例について説明する。図7(a)−(c)及び図8(a)−(b)は、表示装置の製造方法の変形例を示す断面図である。図7(a)−(c)及び図8(a)−(b)に示す表示装置20の製造方法において、金属層13を除去する工程が設けられているものであり、他の構成は、上述した図4(a)−(e)、図5(a)−(c)及び図6(a)−(d)に示す構成と略同様である。図7(a)−(c)及び図8(a)−(b)において、図1乃至図6に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図1に示す構成からなる表示装置形成用基板10を使用して、図2に示す構成からなる、表示装置20(実施例1)を作製した。この場合、ガラス基材11は無アクリルガラスを使用した。剥離層12は、剥離材料(Brewer Science, Inc.社製BREWER BOND701(製品名))を使用した。剥離層12は、ガラス基材11の回転速度を2500rpmに設定し、スピン法により剥離材料をガラス基材11上に塗布した後に、減圧乾燥装置(VCD)を用いて25Paの減圧条件で乾燥させ、300℃、5分間の条件で焼成させることにより形成した。金属層13は、日立金属(株)製Mo合金ターゲット(MDT)(製品名)を使用し、スパッタリング法により剥離層12上に成膜した。金属層13の厚みT3は100nmとした。また、樹脂基材22は、宇部興産(株)製UPIA−ST(製品名)を使用した。
金属層13の厚みT3が150nmであること、以外は、上述した実施例1と同様にして、表示装置20(実施例2)を作製した。この表示装置20の製造工程において、上述した実施例1と同様に、樹脂基材22での煤の発生およびガラス基材11を金属層13から剥離した際の樹脂基材22の破れの発生を観察し、外観評価を行った。この結果を表1に示す。
表示装置形成用基板が剥離層12および金属層13を有していないこと、以外は、上述した実施例1と同様にして、表示装置(比較例)を作製した。この表示装置の製造工程において、上述した実施例1と同様に、樹脂基材での煤の発生および樹脂基材の破れの発生を観察し、外観評価を行った。この結果を表1に示す。
11 ガラス基材
12 剥離層
13 金属層
20 表示装置
21 支持基材
22 樹脂基材
23 薄膜トランジスタ
24 有機EL素子
25 封止樹脂
29 仮支持基材
Claims (5)
- 表示装置の製造方法であって、
ガラス基材と、前記ガラス基材上に積層され、レーザー光を吸収することにより分解される剥離層と、前記剥離層上に積層され、前記剥離層を透過した前記レーザー光を反射可能な金属層とを備えた表示装置形成用基板を準備する工程と、
前記表示装置形成用基板の前記金属層上に樹脂基材を配置する工程と、
前記樹脂基材上に薄膜トランジスタを配置する工程と、
前記樹脂基材上に、前記薄膜トランジスタに電気的に接続される有機EL素子を配置する工程と、
前記有機EL素子を封止樹脂によって封止する工程と、
前記封止樹脂上に、前記表示装置を仮支持する仮支持基材を配置する工程と、
前記ガラス基材側から前記剥離層に向けてレーザー光を照射することにより、前記金属層を除去することなく、前記ガラス基材および前記剥離層を前記金属層から剥離する工程と、
前記ガラス基材および前記剥離層が剥離された前記金属層上に、前記表示装置を支持する支持基材を配置する工程と、
前記仮支持基材を前記封止樹脂から剥離する工程とを備えたことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記金属層は、モリブデン合金を含むことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記金属層の厚みは、30nm以上150nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の表示装置の製造方法。
- 前記剥離層は、ポリイミドを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
- 前記剥離層の厚みは、50nm以上150nm以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016245671A JP6883275B2 (ja) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016245671A JP6883275B2 (ja) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018101017A JP2018101017A (ja) | 2018-06-28 |
JP6883275B2 true JP6883275B2 (ja) | 2021-06-09 |
Family
ID=62715388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016245671A Active JP6883275B2 (ja) | 2016-12-19 | 2016-12-19 | 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6883275B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7253135B2 (ja) * | 2018-12-27 | 2023-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 表示装置形成用基板、表示装置および表示装置の製造方法 |
JP7398934B2 (ja) * | 2019-11-22 | 2023-12-15 | エルジー・ケム・リミテッド | 表示装置用支持基板、有機el表示装置、および有機el表示装置の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3809681B2 (ja) * | 1996-08-27 | 2006-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 剥離方法 |
JP4801579B2 (ja) * | 2003-01-15 | 2011-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
JP2004349539A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Seiko Epson Corp | 積層体の剥離方法、積層体の製造方法、電気光学装置及び電子機器 |
JP2005085705A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Seiko Epson Corp | 電気デバイス及びその製造方法、電子機器 |
JP5099060B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2012-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 |
JP5147794B2 (ja) * | 2009-08-04 | 2013-02-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法及び電子書籍の作製方法 |
JP2011248072A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置の製造方法 |
JP6294670B2 (ja) * | 2014-01-07 | 2018-03-14 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
-
2016
- 2016-12-19 JP JP2016245671A patent/JP6883275B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018101017A (ja) | 2018-06-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191030 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210204 |
|
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