JP6873222B1 - 光学部品の製造方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 220
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 65
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 46
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 8
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 28
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002872 contrast media Substances 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 3-azaniumyl-2-hydroxypropanoate Chemical compound NCC(O)C(O)=O BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】基板101の第1面151に支持基板102を貼り付けた後で、支持基板102に、開口105を有する枠状のマスクパターン104を形成し、マスクパターン104をマスクとして、支持基板102の厚さ方向へのエッチングは進行し、第1面151から基板101の厚さ方向へのエッチングは進行しないエッチング処理により、支持基板102の第4面154より支持基板102をエッチングし、第1面151を露出させる。
【選択図】 図1E
Description
はじめに、本発明の実施の形態1に係る光学部品の製造方法について、図1A〜図1Fを参照して説明する。
次に、本発明の実施の形態2について、図2A〜図2Gを参照して説明する。
次に、本発明の実施の形態3に係る光学部品の製造方法について、図3A〜図3Fを参照して説明する。
Claims (6)
- X線が透過する材料から構成された基板の第1面に支持基板の第2面を貼り付ける第1工程と、
前記基板の前記第1面と反対側の第3面に回折パターンを形成する第2工程と、
前記支持基板の前記第2面と反対側の第4面に、前記回折パターンの形成領域に対応する箇所に開口を有する枠状のマスクパターンを形成する第3工程と、
前記支持基板の前記第4面から、前記支持基板の厚さ方向へのエッチングは進行し、前記基板の前記第1面から前記基板の厚さ方向へのエッチングは進行しないエッチング処理により、前記マスクパターンをマスクとして前記支持基板の前記第4面より前記支持基板をエッチングし、前記基板の前記第1面を露出させる第4工程と
を備え、
前記回折パターンが形成された前記基板は、X線が透過する範囲の厚さとされ、
前記基板は、結晶から構成されて前記第1面が第1結晶面とされ、
前記支持基板は、前記結晶から構成されて前記第2面が第2結晶面とされ、
前記第4工程は、前記結晶の前記第1結晶面が、前記第2結晶面に対してエッチング速度の遅いエッチング処理で、前記マスクパターンをマスクとして前記支持基板の前記第4面より前記支持基板をエッチングし、前記基板の前記第1面を露出させることを特徴とする光学部品の製造方法。 - 請求項1記載の光学部品の製造方法において、
前記第4工程の前に、前記基板の前記第3面に前記回折パターンを覆う保護層を形成する第5工程を備えることを特徴とする光学部品の製造方法。 - 請求項1または2記載の光学部品の製造方法において、
前記結晶は、Si、InP、およびGaAsのいずれかであることを特徴とする光学部品の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学部品の製造方法において、
前記第2工程の前に、前記基板の前記第3面に、他基板を貼り付ける第6工程を備え、
前記第2工程は、前記他基板を加工して前記回折パターンを形成し、
前記他基板は、前記結晶から構成され、主表面が、前記第1結晶面および前記第2結晶面とは異なる第3結晶面とされている
ことを特徴とする光学部品の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学部品の製造方法において、
前記第4工程は、ウエットエッチングにより、前記マスクパターンをマスクとして前記支持基板の前記第4面より前記支持基板をエッチングし、前記基板の前記第1面を露出させることを特徴とする光学部品の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学部品の製造方法において、
前記回折パターンにより回折格子が構成されている
ことを特徴とする光学部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019233998A JP6873222B1 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 光学部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019233998A JP6873222B1 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 光学部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6873222B1 true JP6873222B1 (ja) | 2021-05-19 |
JP2021103106A JP2021103106A (ja) | 2021-07-15 |
Family
ID=75896340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019233998A Active JP6873222B1 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 光学部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6873222B1 (ja) |
-
2019
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Publication number | Publication date |
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