JP6869137B2 - Industrial robot - Google Patents

Industrial robot Download PDF

Info

Publication number
JP6869137B2
JP6869137B2 JP2017146864A JP2017146864A JP6869137B2 JP 6869137 B2 JP6869137 B2 JP 6869137B2 JP 2017146864 A JP2017146864 A JP 2017146864A JP 2017146864 A JP2017146864 A JP 2017146864A JP 6869137 B2 JP6869137 B2 JP 6869137B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide rail
plate portion
arm
rear direction
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017146864A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019025587A (en
Inventor
矢澤　隆之
隆之 矢澤
志村　芳樹
芳樹 志村
陽介 高瀬
陽介 高瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Priority to JP2017146864A priority Critical patent/JP6869137B2/en
Priority to PCT/JP2018/026253 priority patent/WO2019021832A1/en
Priority to KR1020197036760A priority patent/KR102260097B1/en
Priority to CN201880048219.5A priority patent/CN110997246A/en
Publication of JP2019025587A publication Critical patent/JP2019025587A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6869137B2 publication Critical patent/JP6869137B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0253—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers
    • B25J15/0266—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers actuated by articulated links
    • B25J15/0273—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers actuated by articulated links comprising linear guide means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

本発明は、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys an object to be conveyed in a vacuum.

従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。アームは、アーム支持部材に対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。 Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, and a second hand to which the second hand is fixed. It includes a support member, an arm that holds the first hand support member and the second hand support member, and an arm support member that holds the arm. The arm is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. The first hand support member and the second hand support member can reciprocate linearly in the front-rear direction with respect to the arm. The arm can reciprocate linearly in the front-rear direction with respect to the arm support member.

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構と、アーム支持部材に対してアームを往復移動させる第３駆動機構とを備えている。第１駆動機構は、外周面にオネジが形成される第１ネジ部材と、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ネジ部材に係合する第１ナット部材と、第１ネジ部材を回転させる第１モータとを備えている。第２駆動機構は、外周面にオネジが形成される第２ネジ部材と、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ネジ部材に係合する第２ナット部材と、第２ネジ部材を回転させる第２モータとを備えている。第３駆動機構は、外周面にオネジが形成される第３ネジ部材と、アーム支持部材に固定されるとともに第３ネジ部材に係合する第３ナット部材と、第３ネジ部材を回転させる第３モータとを備えている。 Further, the industrial robot described in Patent Document 1 includes a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member with respect to the arm and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm. , A third drive mechanism for reciprocating the arm with respect to the arm support member is provided. The first drive mechanism rotates a first screw member having a male screw formed on the outer peripheral surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member. It is equipped with a first motor to be operated. The second drive mechanism rotates a second screw member having a male screw formed on the outer peripheral surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member. It is equipped with a second motor to be operated. The third drive mechanism rotates a third screw member having a male screw formed on the outer peripheral surface, a third nut member fixed to the arm support member and engaged with the third screw member, and a third screw member. It is equipped with 3 motors.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームの左側面に、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第１ガイドレールが固定され、アームの右側面に、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第２ガイドレールが固定されている。また、アームの下面には、アームを前後方向へ案内するための２本の第３ガイドレールが固定されている。なお、アームの剛性をある程度確保しつつ、アームを軽量化するために、アームは、たとえば、アルミニウム合金で形成されている。また、ガイドレールの剛性を確保するために、第１〜第３ガイドレールは、たとえば、ステンレス鋼で形成されている。 In the industrial robot described in Patent Document 1, two first guide rails for guiding the first hand support member in the front-rear direction are fixed to the left side surface of the arm, and the second hand is fixed to the right side surface of the arm. Two second guide rails for guiding the support member in the front-rear direction are fixed. Further, two third guide rails for guiding the arm in the front-rear direction are fixed to the lower surface of the arm. The arm is made of, for example, an aluminum alloy in order to reduce the weight of the arm while ensuring the rigidity of the arm to some extent. Further, in order to secure the rigidity of the guide rails, the first to third guide rails are made of, for example, stainless steel.

また、従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、トランスファーチャンバーと、トランスファーチャンバーを囲むように配置される複数のプロセスチャンバーとを備える製造システムに組み込まれて使用される。トランスファーチャンバーおよびプロセスチャンバーの内部は、真空になっている。 Further, conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 2). The industrial robot described in Patent Document 2 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the tip side, and a main body portion to which the base end side of the arm is rotatably connected. It has. This industrial robot is used by being incorporated in a manufacturing system including a transfer chamber and a plurality of process chambers arranged so as to surround the transfer chamber. The inside of the transfer chamber and the process chamber is evacuated.

特許文献２に記載の産業用ロボットのハンドおよびアームは、トランスファーチャンバーの中に配置されている。プロセスチャンバーには、各種の機器が設置されており、プロセスチャンバーでは、ガラス基板に対する各種の処理が実行される。特許文献２に記載の産業用ロボットは、プロセスチャンバーからのガラス基板の搬出やプロセスチャンバーへのガラス基板の搬入を行う。なお、プロセスチャンバーでは、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行されることがあり、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバーでは、その内部温度が高くなっている。 The hands and arms of the industrial robot described in Patent Document 2 are arranged in a transfer chamber. Various devices are installed in the process chamber, and various processes on the glass substrate are executed in the process chamber. The industrial robot described in Patent Document 2 carries out a glass substrate from the process chamber and carries in the glass substrate into the process chamber. In the process chamber, the processing of the glass substrate may be executed in a high temperature environment, and in the process chamber in which the processing of the glass substrate is executed in a high temperature environment, the internal temperature thereof is high.

特開２０１５−８０８２８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-80828 特開２０１５−１３９８５４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-139854

本願発明者は、特許文献２に記載の産業用ロボットのように真空中でガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットとして、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有する産業用ロボットの採用を検討している。 The inventor of the present application is an industrial robot that transports an object to be transported such as a glass substrate in a vacuum like the industrial robot described in Patent Document 2, with respect to an arm like the industrial robot described in Patent Document 1. We are considering the adoption of an industrial robot that has a first hand and a second hand that move linearly back and forth.

特許文献１に記載の産業用ロボットによって、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバー（すなわち、高温になっているプロセスチャンバー）に対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合、アームが高温のプロセスチャンバーに近づいて、アームに固定される第１〜第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇する。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、たとえば、アームがアルミニウム合金で形成されるとともに、第１〜第３ガイドレールがステンレス鋼で形成されており、アームと第１〜第３ガイドレールの線膨張係数とが異なる。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、高温のプロセスチャンバーに近づいた第１〜第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇して、第１〜第３ガイドレールおよびアームが伸びると、前後方向に直交する方向（すなわち、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向に直交する方向）へアームが変形するおそれがある。 When the industrial robot described in Patent Document 1 carries in or out an object to be transported to a process chamber (that is, a process chamber having a high temperature) in which processing of a glass substrate is executed in a high temperature environment, the arm is used. As it approaches the hot process chamber, the temperatures of the first to third guide rails and arms fixed to the arm rise. In the industrial robot described in Patent Document 1, for example, the arm is made of aluminum alloy and the first to third guide rails are made of stainless steel, and the line between the arm and the first to third guide rails is formed. It is different from the expansion coefficient. Therefore, in the industrial robot described in Patent Document 1, when the temperatures of the first to third guide rails and arms approaching the high temperature process chamber rise and the first to third guide rails and arms extend, they move back and forth. The arm may be deformed in a direction orthogonal to the direction (that is, a direction orthogonal to the moving direction of the first hand support member and the second hand support member).

そこで、本発明の課題は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is, for example, an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate in the front-rear direction with respect to an arm and transporting an object to be transported in a vacuum, for example, becoming hot. It is an object of the present invention to provide an industrial robot capable of suppressing deformation of an arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材と第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、第１ガイド機構は、アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、第２ガイド機構は、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、アームフレームは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is an industrial robot that conveys an object to be conveyed in a vacuum, and is a first hand and a second hand on which the object to be conveyed is mounted, and a first hand. The first hand support member to which the hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand support member and the second hand support member linearly reciprocate in the same horizontal direction. An arm that holds the first hand support member and the second hand support member so as to be possible, a first drive mechanism that reciprocates the first hand support member with respect to the arm, and a second hand support member with respect to the arm. A second drive mechanism for reciprocating the arm is provided, and the moving direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm is the front-rear direction, and the direction orthogonal to the up-down direction and the front-back direction is the left-right direction. A first guide mechanism for guiding the first hand support member in the front-rear direction and a second guide mechanism for guiding the second hand support member in the front-rear direction are provided. A first guide rail fixed to each of both ends in the left-right direction and a first guide block fixed to the first hand support member and engaged with the first guide rail are provided, and the second guide mechanism is an arm. A second guide rail fixed to both ends of the frame in the left-right direction and above or below the first guide rail, and a second guide rail fixed to the second hand support member and engaged with the second guide rail. A guide block is provided, and the first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and the same metal material, and the arm frame has a linear expansion coefficient with the first guide rail and the second guide rail. It is formed of different metal materials and is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, and the first guide rail and the second guide rail are arms when viewed from the front-rear direction. It is characterized in that it is fixed to the arm frame at a position symmetrical with respect to the frame in the vertical and horizontal directions.

本発明の産業用ロボットでは、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇しても、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている。 In the industrial robot of the present invention, the first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and are made of the same metal material. Therefore, in the present invention, for example, when the object to be transported is carried in or out of the process chamber having a high temperature, even if the temperature of the first guide rail and the second guide rail rises, the first guide rail and the first guide rail and the second guide rail The second guide rail expands and contracts in the same way in the front-rear direction. Further, in the present invention, the first guide rail is fixed to each of both ends in the left-right direction of the arm frame, and the first guide rail is fixed to each of both ends in the left-right direction of the arm frame and to the upper side or the lower side of the first guide rail. The second guide rail is fixed to the arm frame at a position symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction.

すなわち、本発明では、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇すると、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームが、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、アームフレームの温度が上昇しても、アームフレームは、上下左右方向へは変形しにくい。 That is, in the present invention, the first guide rail and the second guide rail fixed to the arm frame at positions symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction are the first guide rail and the second guide rail. When the temperature of the second guide rail rises, it expands and contracts in the same way in the front-rear direction. Further, in the present invention, since the arm frame is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, for example, loading and unloading of a transport object to a process chamber at a high temperature. Even if the temperature of the arm frame rises, the arm frame is unlikely to be deformed in the vertical and horizontal directions.

したがって、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、線膨張係数が異なる第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇しても、アームのフレームであるアームフレームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。 Therefore, in the present invention, for example, when the object to be transported is carried in or out of the process chamber having a high temperature, even if the temperatures of the first and second guide rails and the arm frame having different linear expansion coefficients rise. , It becomes possible to suppress the deformation of the arm frame, which is the frame of the arm, in the vertical and horizontal directions. As a result, in the present invention, for example, even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber at a high temperature, it is possible to suppress the deformation of the arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat. become.

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、アームが回動可能に連結される本体部を備え、アームの中心が本体部に連結されている。この場合には、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームの下面にガイドレールを固定する必要がなくなる。また、本発明において、たとえば、アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されている。 In the present invention, the industrial robot includes, for example, a main body portion to which an arm is rotatably connected, and the center of the arm is connected to the main body portion. In this case, it is not necessary to fix the guide rail to the lower surface of the arm as in the industrial robot described in Patent Document 1. Further, in the present invention, for example, the arm frame is made of an aluminum alloy, and the first guide rail and the second guide rail are made of stainless steel.

本発明において、たとえば、アームフレームは、アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、右側板部は、右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部は、左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、上側板部は、上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部は、下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、第１ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、第２ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、前後方向から見たときに、右側板部と左側板部とは、左右方向におけるアームフレームの中心に対して左右対称に配置され、上側板部と下側板部とは、上下方向におけるアームフレームの中心に対して上下対称に配置され、右側板部に固定される第１ガイドレールと左側板部に固定される第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、右側板部に固定される第２ガイドレールと左側板部に固定される第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されている。 In the present invention, for example, the arm frame has a flat plate-shaped right side plate portion and a left side plate portion forming the left and right side surfaces of the arm frame, and a flat plate-shaped upper plate portion and a lower plate portion forming the upper and lower side surfaces of the arm frame. The right plate portion is arranged so that the thickness direction of the right plate portion and the left-right direction coincide with each other, and the left plate portion is arranged so that the thickness direction and the left-right direction of the left plate portion coincide with each other. The upper plate portion is arranged so that the thickness direction of the upper plate portion and the vertical direction coincide with each other, and the lower plate portion is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the lower plate portion coincide with each other. The first guide rail is fixed to the right side plate and the left side plate, and the second guide rail is fixed to the right side plate and the left side plate. Are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame in the left-right direction, and the upper plate portion and the lower plate portion are arranged vertically symmetrically with respect to the center of the arm frame in the vertical direction and are fixed to the right plate portion. The first guide rail and the first guide rail fixed to the left plate portion are arranged at the same position in the vertical direction, and the second guide rail fixed to the right plate portion and the second guide rail fixed to the left plate portion are fixed. The guide rails are arranged at the same position in the vertical direction.

本発明において、たとえば、第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第１ガイドレールを備え、第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第２ガイドレールを備えている。 In the present invention, for example, the first guide mechanism includes a plurality of first guide rails divided in the front-rear direction, and the second guide mechanism includes a plurality of second guide rails divided in the front-rear direction.

本発明において、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによってアームフレームに固定され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールには、ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、アームフレームには、ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、複数の配置穴のうちの少なくとも１個の配置穴の、前後方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっており、前後方向の幅がボルトの外径よりも広くなっている配置穴を第１配置穴とすると、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１配置穴の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることが好ましい。 In the present invention, the first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame by a plurality of bolts arranged at intervals in the front-rear direction, and the first guide rail and the second guide rail are bolted. A plurality of placement holes in which a part of the bolt is arranged are formed with a space in the front-rear direction, and a plurality of screw holes in which a male screw formed on a bolt shaft is screwed are spaced in the front-rear direction on the arm frame. The width of at least one of the plurality of placement holes in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt, and the width in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt. Assuming that the widening arrangement hole is the first arrangement hole, the lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction vary with the ambient temperature of the arm, and the first guide rail, the second guide rail, and the second guide rail Even if the arm frame expands and contracts, it is preferable that the length is set so that a gap is formed between the side surface of the first arrangement hole and the bolt in the front-rear direction.

このように構成すると、第１、第２ガイドレールの線膨張係数とアームフレームの線膨張係数とが異なっていても、第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇して第１、第２ガイドレールおよびアームフレームが前後方向へ伸縮したときの第１配置穴の側面とボルトとの接触を防止することが可能になる。したがって、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームフレームの上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。 With this configuration, even if the linear expansion coefficient of the first and second guide rails and the linear expansion coefficient of the arm frame are different, the temperatures of the first and second guide rails and the arm frame rise and the first and second guide rails are configured. It is possible to prevent contact between the side surface of the first arrangement hole and the bolt when the second guide rail and the arm frame expand and contract in the front-rear direction. Therefore, for example, even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber at a high temperature, it is possible to effectively suppress the deformation of the arm frame in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat. Become.

本発明において、たとえば、配置穴は、ボルトの軸部の一部が配置される軸部配置穴と、ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、第１配置穴の軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、第１配置穴の頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、前後方向における第１軸部配置穴の幅は、ボルトの軸部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１頭部配置穴の幅は、ボルトの頭部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１軸部配置穴の側面とボルトの軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における第１頭部配置穴の側面とボルトの頭部との間に隙間が形成される長さに設定されている。 In the present invention, for example, the arrangement hole is composed of a shaft portion arrangement hole in which a part of the shaft portion of the bolt is arranged and a head arrangement hole in which the head of the bolt is arranged, and the shaft of the first arrangement hole. Assuming that the portion placement hole is the first shaft portion placement hole and the head placement hole of the first placement hole is the first head placement hole, the width of the first shaft portion placement hole in the front-rear direction is outside the shaft portion of the bolt. It is wider than the diameter, and the width of the first head placement hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the head of the bolt, and the lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction. Is that even if the ambient temperature of the arm fluctuates and the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract, there is a gap between the side surface of the first shaft portion arrangement hole in the front-rear direction and the shaft portion of the bolt. The length is set so that a gap is formed between the side surface of the first head arrangement hole in the front-rear direction and the head of the bolt.

以上のように、本発明では、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate in the front-rear direction with respect to an arm and transporting an object to be transported in a vacuum, for example, at a high temperature. Even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber, it is possible to suppress the deformation of the arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットの背面図である。It is a rear view of the industrial robot shown in FIG. （Ａ）は、図１に示すアームの内部構造を説明するための平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアームの内部構造を説明するための図である。(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm shown in FIG. 1, and (B) is a view for explaining the internal structure of the arm from the EE direction of (A). （Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the F portion of FIG. 4 (A), and (B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4 (B). （Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (A), and (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A). （Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアームの内部構造を説明するための図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアームの内部構造を説明するための図である。(A) is a diagram for explaining the internal structure of the arm from the KK direction of FIG. 4 (A), and (B) shows the internal structure of the arm from the LL direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating. 図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the 1st hand support member, the 2nd hand support member, the arm, the 1st drive mechanism, and the 2nd drive mechanism from the NN direction of FIG. 4B. 図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the 1st hand support member, the 2nd hand support member, the arm, the 1st drive mechanism, and the 2nd drive mechanism from the QQ direction of FIG. 4B. （Ａ）は、図８のＰ−Ｐ断面の断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＲ部の拡大図である。(A) is a cross-sectional view of the PP cross section of FIG. 8, and (B) is an enlarged view of the R portion of (A). 本発明の他の実施の形態にかかるアームの内部構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the internal structure of the arm which concerns on other embodiment of this invention. 図１１（Ａ）のＷ−Ｗ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。11 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the first hand support member, the second hand support member, the arm, the first drive mechanism, and the second drive mechanism from the WW direction of FIG. 11A.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。 (Outline configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of the industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を真空中で搬送するロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイ装置の製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムは、中心に配置されるトランスファーチャンバー３（以下、「チャンバー３」とする。）と、チャンバー３を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）とを備えている（図１参照）。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a robot that transports a glass substrate 2 for a liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”), which is an object to be transported, in a vacuum. Is. This robot 1 is incorporated and used in a manufacturing system of a liquid crystal display device. In this manufacturing system, a transfer chamber 3 (hereinafter referred to as "chamber 3") arranged at the center and a plurality of process chambers 4 (hereinafter referred to as "chamber 4") arranged so as to surround the chamber 3 are used. ) And (see FIG. 1).

チャンバー３、４の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー３、４は、真空チャンバーである。チャンバー３の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１は、チャンバー４への基板２の搬入とチャンバー４からの基板２の搬出とを行う。チャンバー４の内部には、各種の装置等が配置されており、チャンバー４の内部では、基板２に対して各種の処理が行われる。本形態のチャンバー４では、高温環境下で基板２に対する処理が実行される。そのため、チャンバー４の内部温度は高くなっている。 The inside of the chambers 3 and 4 is evacuated. That is, the chambers 3 and 4 are vacuum chambers. A part of the robot 1 is arranged inside the chamber 3. The robot 1 carries in the substrate 2 into the chamber 4 and carries out the substrate 2 from the chamber 4. Various devices and the like are arranged inside the chamber 4, and various processes are performed on the substrate 2 inside the chamber 4. In the chamber 4 of this embodiment, the processing on the substrate 2 is executed in a high temperature environment. Therefore, the internal temperature of the chamber 4 is high.

ロボット１は、基板２が搭載される第１ハンドとしてのハンド５と、基板２が搭載される第２ハンドとしてのハンド６と、ハンド５が固定される第１ハンド支持部材としてのハンド支持部材７と、ハンド６が固定される第２ハンド支持部材としてのハンド支持部材８と、ハンド支持部材７、８を保持するアーム９と、アーム９が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。 The robot 1 has a hand 5 as a first hand on which the board 2 is mounted, a hand 6 as a second hand on which the board 2 is mounted, and a hand support member as a first hand support member to which the hand 5 is fixed. 7, a hand support member 8 as a second hand support member to which the hand 6 is fixed, an arm 9 for holding the hand support members 7 and 8, and a main body portion 10 to which the arm 9 is rotatably connected. I have.

本体部１０は、アーム９の中心部が固定される円柱状の昇降部材１２（図２参照）と、昇降部材１２を昇降させる昇降機構と、昇降部材１２を回動させる回動機構と、これらの構成が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、昇降部材１２の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。 The main body 10 includes a columnar elevating member 12 (see FIG. 2) to which the central portion of the arm 9 is fixed, an elevating mechanism for elevating the elevating member 12, a rotating mechanism for rotating the elevating member 12, and the like. It is provided with a case body 13 in which the configuration of the above is housed. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13. The flange 14 is formed with a through hole in which the upper end side portion of the elevating member 12 is arranged.

ハンド５、６およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー３の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー３の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド５、６およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。 The hands 5, 6 and the arm 9 are arranged on the upper side of the main body 10. As described above, a part of the robot 1 is arranged inside the chamber 3. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is arranged inside the chamber 3. That is, the portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is arranged in the vacuum region VR, and the hands 5, 6 and the arm 9 are arranged in the vacuum chamber (in vacuum). .. On the other hand, the portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 14 is arranged in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

アーム９は、ハンド支持部材７とハンド支持部材８とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材７、８を保持している。ロボット１は、アーム９に対してハンド支持部材７を往復移動させる第１駆動機構としての駆動機構１７と、アーム９に対してハンド支持部材８を往復移動させる第２駆動機構としての駆動機構１８とを備えている（図４参照）。 The arm 9 holds the hand support members 7 and 8 so that the hand support member 7 and the hand support member 8 can linearly reciprocate in the same horizontal direction. The robot 1 has a drive mechanism 17 as a first drive mechanism for reciprocating the hand support member 7 with respect to the arm 9, and a drive mechanism 18 as a second drive mechanism for reciprocating the hand support member 8 with respect to the arm 9. (See FIG. 4).

以下、ハンド５、６、ハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向のうちのＸ１方向側を「前」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「後ろ」側とする。 Hereinafter, specific configurations of the hands 5, 6, the hand support members 7, 8, the arm 9, and the drive mechanisms 17 and 18 will be described. In the following description, the X direction of FIG. 1 and the like, which is the moving direction of the hand support members 7 and 8 with respect to the arm 9, is defined as the "front-back direction", and FIG. Let the Y direction of be the "left-right direction". Further, the X1 direction side of the front-rear direction is the "front" side, and the opposite side, the X2 direction side, is the "rear" side.

（ハンド、ハンド支持部材、アームおよび駆動機構の構成）
図４（Ａ）は、図１に示すアーム９の内部構造を説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。図６（Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアーム９の内部構造を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図８は、図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。図９は、図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。 (Structure of hand, hand support member, arm and drive mechanism)
4 (A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in FIG. 1, and FIG. 4 (B) shows the internal structure of the arm 9 from the EE direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating. 5 (A) is an enlarged view of the F portion of FIG. 4 (A), and FIG. 5 (B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4 (B). 6 (A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (A), and FIG. 6 (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A). FIG. 7 (A) is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 from the KK direction of FIG. 4 (A), and FIG. 7 (B) is a diagram from the LL direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating the internal structure of an arm 9. FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the hand support members 7, 8 and the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 from the NN direction of FIG. 4 (B). FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the hand support members 7, 8 and the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 from the QQ direction of FIG. 4 (B).

ハンド５は、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２１とを備えている。ハンド６は、ハンド５と同様に、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド５、６は、６本のフォーク２０を備えている。フォーク２０は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部２１、２２は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部２１の長さ（左右方向の長さ）は、ハンド基部２２の長さ（左右方向の長さ）よりも長くなっている。 The hand 5 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base portion 21 to which the base end portions (rear end portions) of the plurality of forks 20 are fixed. Like the hand 5, the hand 6 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 22 to which the base end portions (rear end portions) of the plurality of forks 20 are fixed. The hands 5 and 6 of this embodiment include six forks 20. The fork 20 is formed in a straight line elongated in the front-rear direction. The hand bases 21 and 22 are formed in a substantially rectangular flat plate shape elongated in the left-right direction. The length of the hand base 21 (length in the left-right direction) is longer than the length of the hand base 22 (length in the left-right direction).

ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド５が上側に配置され、ハンド６が下側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド基部２１が上側に配置され、ハンド基部２２が下側に配置されている。また、図３に示すように、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド基部２１の中心とハンド基部２２の中心とが左右方向において一致するように配置されている。すなわち、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド５の中心とハンド６の中心とが左右方向において一致するように配置されている。 The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this embodiment, the hand 5 is arranged on the upper side and the hand 6 is arranged on the lower side when viewed from the front-rear direction. That is, when viewed from the front-rear direction, the hand base 21 is arranged on the upper side and the hand base 22 is arranged on the lower side. Further, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction.

アーム９は、ハンド６の下側に配置されている。このアーム９は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。また、アーム９は、中空状に形成されている。アーム９の左右方向の幅は、ハンド５、６の左右方向の幅よりも狭くなっている。アーム９は、前後方向から見たときに、ハンド５、６の中心とアーム９の中心とが左右方向において一致するように配置されている。アーム９は、アーム９のフレームであるアームフレーム２３と、アーム９の上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材２４と、アーム９の中心部に配置される箱状のモータ収容部材２５と、モータ収容部材２５の上面に固定される上面カバー２６とを備えている。なお、図４〜図９では、カバー部材２４の図示を省略している。 The arm 9 is arranged below the hand 6. The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. Further, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width of the arm 9 in the left-right direction is narrower than the width of the hands 5 and 6 in the left-right direction. The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 includes an arm frame 23 which is a frame of the arm 9, a cover member 24 which constitutes the vertical, horizontal, and front-rear side surfaces of the arm 9, and a box-shaped motor accommodating member 25 arranged at the center of the arm 9. , A top cover 26 fixed to the top surface of the motor accommodating member 25 is provided. In addition, in FIGS. 4 to 9, the cover member 24 is not shown.

アームフレーム２３は、アルミニウム合金で形成されている。また、アームフレーム２３は、前後方向におけるアーム９の全域でアーム９のフレームを構成している。このアームフレーム２３は、アームフレーム２３の右側面を構成する右側板部２３ａと、アームフレーム２３の左側面を構成する左側板部２３ｂと、アームフレーム２３の上側面を構成する上側板部２３ｃと、アームフレーム２３の下側面を構成する下側板部２３ｄとを備えている。 The arm frame 23 is made of an aluminum alloy. Further, the arm frame 23 constitutes the frame of the arm 9 over the entire area of the arm 9 in the front-rear direction. The arm frame 23 includes a right side plate portion 23a forming the right side surface of the arm frame 23, a left side plate portion 23b forming the left side surface of the arm frame 23, and an upper plate portion 23c forming the upper side surface of the arm frame 23. , A lower plate portion 23d constituting the lower side surface of the arm frame 23 is provided.

右側板部２３ａ、左側板部２３ｂ、上側板部２３ｃおよび下側板部２３ｄは、平板状に形成されている。右側板部２３ａは、右側板部２３ａの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部２３ｂは、左側板部２３ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。上側板部２３ｃは、上側板部２３ｃの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部２３ｄは、下側板部２３ｄの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。 The right side plate portion 23a, the left side plate portion 23b, the upper plate portion 23c, and the lower plate portion 23d are formed in a flat plate shape. The right plate portion 23a is arranged so that the thickness direction of the right plate portion 23a and the left-right direction coincide with each other, and the left plate portion 23b is arranged so that the thickness direction and the left-right direction of the left plate portion 23b coincide with each other. Has been done. The upper plate portion 23c is arranged so that the thickness direction of the upper plate portion 23c and the vertical direction coincide with each other, and the lower plate portion 23d is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the lower plate portion 23d coincide with each other. Has been done.

右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。右側板部２３ａの上端面と左側板部２３ｂの上端面とは、同じ高さで配置されている。また、右側板部２３ａの下端面と左側板部２３ｂの下端面とは、同じ高さで配置されている。上側板部２３ｃは、右側板部２３ａの上端および左側板部２３ｂの上端にネジによって固定されている。下側板部２３ｄは、右側板部２３ａの下端および左側板部２３ｂの下端にネジによって固定されている。 The right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b are arranged so as to be spaced apart from each other in the left-right direction. The upper end surface of the right side plate portion 23a and the upper end surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same height. Further, the lower end surface of the right side plate portion 23a and the lower end surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same height. The upper plate portion 23c is fixed to the upper end of the right plate portion 23a and the upper end of the left plate portion 23b by screws. The lower plate portion 23d is fixed to the lower end of the right plate portion 23a and the lower end of the left plate portion 23b by screws.

上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面は、右側板部２３ａよりも右側に配置され、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面は、左側板部２３ｂよりも左側に配置されている。また、上側板部２３ｃの右端面と下側板部２３ｄの右端面とは、左右方向において同じ位置に配置され、上側板部２３ｃの左端面と下側板部２３ｄの左端面とは、左右方向において同じ位置に配置されている。さらに、前後方向から見たときに、上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面と、右側板部２３ａの右面との左右方向の距離と、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面と、左側板部２３ｂの左面との左右方向の距離とは、等しくなっている。 The right end surface of the upper plate portion 23c and the right end surface of the lower plate portion 23d are arranged on the right side of the right plate portion 23a, and the left end surface of the upper plate portion 23c and the left end surface of the lower plate portion 23d are from the left plate portion 23b. Is also located on the left side. Further, the right end surface of the upper plate portion 23c and the right end surface of the lower plate portion 23d are arranged at the same positions in the left-right direction, and the left end surface of the upper plate portion 23c and the left end surface of the lower plate portion 23d are arranged in the left-right direction. They are placed in the same position. Further, when viewed from the front-rear direction, the distance between the right end surface of the upper plate portion 23c and the right end surface of the lower plate portion 23d and the right surface of the right plate portion 23a in the left-right direction, and the left end surface and the lower side of the upper plate portion 23c. The distance between the left end surface of the side plate portion 23d and the left surface of the left side plate portion 23b in the left-right direction is equal.

このように、前後方向から見たときに、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向におけるアームフレーム２３の中心に対して左右対称に配置され、上側板部２３ｃと下側板部２３ｄとは、上下方向におけるアームフレーム２３の中心に対して上下対称に配置されている。すなわち、アームフレーム２３は、図８、図９に示すように、前後方向から見たときに、上下左右方向で略対称となるように形成されている。 As described above, when viewed from the front-rear direction, the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame 23 in the left-right direction, and the upper plate portion 23c and the lower plate portion 23d are arranged. Is arranged vertically symmetrically with respect to the center of the arm frame 23 in the vertical direction. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, the arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction.

モータ収容部材２５は、上面側が開口する略直方体の箱状に形成されている。また、モータ収容部材２５は、前後方向に細長い略直方体の箱状に形成されている。モータ収容部材２５には、駆動機構１７を構成する後述のモータ３７と、駆動機構１８を構成する後述のモータ３８とが収容されている。モータ収容部材２５は、アームフレーム２３の中心部分に固定されている。すなわち、モータ収容部材２５は、アーム９の中心部分に配置されている。モータ収容部材２５の底面の中心は、昇降部材１２の上端に固定されている。すなわち、アーム９の中心は、本体部１０に回動可能に連結されている。なお、モータ収容部材２５の、下端部以外の大半部分は、左右方向において、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとの間に配置されている（図５（Ａ）、図９参照）。 The motor accommodating member 25 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape with an opening on the upper surface side. Further, the motor accommodating member 25 is formed in the shape of a substantially rectangular parallelepiped box elongated in the front-rear direction. The motor accommodating member 25 accommodates a motor 37, which will be described later, which constitutes the drive mechanism 17, and a motor 38, which will be described later, which constitutes the drive mechanism 18. The motor accommodating member 25 is fixed to the central portion of the arm frame 23. That is, the motor accommodating member 25 is arranged at the central portion of the arm 9. The center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 is fixed to the upper end of the elevating member 12. That is, the center of the arm 9 is rotatably connected to the main body 10. Most of the motor accommodating member 25 other than the lower end is arranged between the right side plate 23a and the left side plate 23b in the left-right direction (see FIGS. 5A and 9).

上面カバー２６は、長方形の平板状に形成されている。上面カバー２６は、モータ収容部材２５の上面側に形成される開口部を塞ぐようにモータ収容部材２５の上面に固定されている。アーム９の中心部分の内部には、モータ収容部材２５と上面カバー２６とによって画定される内部空間Ｓが形成されている。モータ収容部材２５の底面部の中心には、上下方向に貫通する貫通穴２５ａが形成されている。上述のように、昇降部材１２は、円筒状に形成されている。昇降部材１２は、貫通穴２５ａを囲むようにモータ収容部材２５の底面に固定されており、ケース体１３の内部と内部空間Ｓとが通じている。ケース体１３の内部および内部空間Ｓは、大気圧となっている。 The top cover 26 is formed in the shape of a rectangular flat plate. The upper surface cover 26 is fixed to the upper surface of the motor accommodating member 25 so as to close the opening formed on the upper surface side of the motor accommodating member 25. An internal space S defined by the motor accommodating member 25 and the upper surface cover 26 is formed inside the central portion of the arm 9. A through hole 25a penetrating in the vertical direction is formed at the center of the bottom surface of the motor accommodating member 25. As described above, the elevating member 12 is formed in a cylindrical shape. The elevating member 12 is fixed to the bottom surface of the motor accommodating member 25 so as to surround the through hole 25a, and the inside of the case body 13 and the internal space S communicate with each other. The inside of the case body 13 and the internal space S are at atmospheric pressure.

図８、図９に示すように、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するためのガイドレール２９が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール２９が固定されている。また、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材８を前後方向へ案内するためのガイドレール３０が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール３０が固定されている。ガイドレール２９、３０は、ガイドレール２９、３０の長手方向と前後方向とが一致するように、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。 As shown in FIGS. 8 and 9, guide rails 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction are fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b. That is, the guide rails 29 are fixed to each of both ends of the arm frame 23 in the left-right direction (specifically, to each of both side surfaces of the arm frame 23 in the left-right direction). Further, a guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction is fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b. That is, the guide rails 30 are fixed to each of both ends of the arm frame 23 in the left-right direction (specifically, to each of both side surfaces of the arm frame 23 in the left-right direction). The guide rails 29 and 30 are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b so that the longitudinal direction and the front-rear direction of the guide rails 29 and 30 coincide with each other.

本形態では、前後方向で分割された複数のガイドレール２９が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている（図７参照）。同様に、前後方向で分割された複数のガイドレール３０が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されている。また、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同じ金属材料で形成されている。また、ガイドレール２９、３０は、アームフレーム２３と線膨張係数の異なる金属材料で形成されている。本形態のガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼で形成されている。 In this embodiment, a plurality of guide rails 29 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b (see FIG. 7). Similarly, a plurality of guide rails 30 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. The guide rail 29 and the guide rail 30 are formed in the same shape. Further, the guide rail 29 and the guide rail 30 are made of the same metal material. Further, the guide rails 29 and 30 are made of a metal material having a coefficient of linear expansion different from that of the arm frame 23. The guide rails 29 and 30 of this embodiment are made of stainless steel.

右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール２９と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール２９とは、上下方向において同じ位置に配置されている。同様に、右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール３０と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール３０とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。 The guide rail 29 fixed to the right surface of the right plate portion 23a and the guide rail 29 fixed to the left surface of the left plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction. Similarly, the guide rail 30 fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the guide rail 30 fixed to the left surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction. Further, the guide rail 30 is arranged above the guide rail 29.

また、前後方向から見たときに、アームフレーム２３の中心とガイドレール２９との上下方向の距離と、アームフレーム２３の中心とガイドレール３０との上下方向の距離とは、等しくなっている。すなわち、図８、図９に示すように、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して（アームフレーム２３の中心に対して）上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。 Further, when viewed from the front-rear direction, the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 29 and the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 30 are equal. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, the guide rail 29 and the guide rail 30 are symmetrical with respect to the arm frame 23 (with respect to the center of the arm frame 23) in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at the position where

ハンド支持部材７は、ガイドレール２９に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部７ａと、ハンド５のハンド基部２１が固定される２個のハンド固定部７ｂとから構成されている。同様に、ハンド支持部材８は、ガイドレール３０に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部８ａと、ハンド６のハンド基部２２が固定される２個のハンド固定部８ｂとから構成されている。 The hand support member 7 is composed of two slide portions 7a that slide in the front-rear direction along the guide rail 29 and two hand fixing portions 7b to which the hand base 21 of the hand 5 is fixed. Similarly, the hand support member 8 is composed of two slide portions 8a that slide in the front-rear direction along the guide rail 30 and two hand fixing portions 8b to which the hand base 22 of the hand 6 is fixed. There is.

図８、図９に示すように、２個のスライド部７ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。２個のスライド部８ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。また、２個のスライド部８ａは、２個のスライド部７ａの上側に配置されている。図３に示すように、右側に配置されるスライド部７ａ、８ａの右端部分は、カバー部材２４の右側面よりも右側へ突出し、左側に配置されるスライド部７ａ、８ａの左端部分は、カバー部材２４の左側面よりも左側へ突出している。 As shown in FIGS. 8 and 9, each of the two slide portions 7a is arranged outside the right plate portion 23a and the left plate portion 23b in the left-right direction. Each of the two slide portions 8a is arranged outside the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b in the left-right direction. Further, the two slide portions 8a are arranged above the two slide portions 7a. As shown in FIG. 3, the right end portions of the slide portions 7a and 8a arranged on the right side project to the right side from the right side surface of the cover member 24, and the left end portions of the slide portions 7a and 8a arranged on the left side cover. It protrudes to the left side of the left side surface of the member 24.

２個のハンド固定部７ｂのうちの一方のハンド固定部７ｂは、右側に配置されるスライド部７ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の右端部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部７ｂは、左側に配置されるスライド部７ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の左端部分の下面が固定されている。 One of the two hand fixing portions 7b, the hand fixing portion 7b, is fixed to the slide portion 7a so as to extend from the right end side of the slide portion 7a arranged on the right side toward the diagonally upper right side. As shown in FIG. 3, the lower surface of the right end portion of the hand base 21 is fixed to the upper end of the hand fixing portion 7b. The other hand fixing portion 7b is fixed to the slide portion 7a so as to extend from the left end side of the slide portion 7a arranged on the left side toward the diagonally upper left side, and the upper end of the hand fixing portion 7b is shown in the drawing. As shown in 3, the lower surface of the left end portion of the hand base 21 is fixed.

２個のハンド固定部８ｂのうちの一方のハンド固定部８ｂは、右側に配置されるスライド部８ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも右寄りの部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部８ｂは、左側に配置されるスライド部８ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも左寄りの部分の下面が固定されている。 One of the two hand fixing portions 8b, the hand fixing portion 8b, is fixed to the slide portion 8a so as to extend from the right end side of the slide portion 8a arranged on the right side toward the diagonally upper right side. As shown in FIG. 3, the lower surface of the hand base 22 portion to the right of the center in the left-right direction is fixed to the upper end of the hand fixing portion 8b. The other hand fixing portion 8b is fixed to the slide portion 8a so as to extend from the left end side of the slide portion 8a arranged on the left side toward the diagonally upper left side, and the upper end of the hand fixing portion 8b is shown in the drawing. As shown in 3, the lower surface of the hand base 22 on the left side of the center in the left-right direction is fixed.

右側に配置されるスライド部７ａには、右側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定され、左側に配置されるスライド部７ａには、左側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定されている。同様に、右側に配置されるスライド部８ａには、右側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定され、左側に配置されるスライド部８ａには、左側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定されている。 A guide block 31 that engages with the guide rail 29 arranged on the right side is fixed to the slide portion 7a arranged on the right side, and the slide portion 7a arranged on the left side is attached to the guide rail 29 arranged on the left side. The engaging guide block 31 is fixed. Similarly, the guide block 32 that engages with the guide rail 30 arranged on the right side is fixed to the slide portion 8a arranged on the right side, and the guide arranged on the left side is fixed to the slide portion 8a arranged on the left side. The guide block 32 that engages with the rail 30 is fixed.

すなわち、ハンド支持部材７には、ガイドブロック３１が固定され、ハンド支持部材８には、ガイドブロック３２が固定されている。具体的には、２個のスライド部７ａのそれぞれに３個のガイドブロック３１が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ｂ）参照）。また、２個のスライド部８ａのそれぞれに３個のガイドブロック３２が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ａ）参照）。 That is, the guide block 31 is fixed to the hand support member 7, and the guide block 32 is fixed to the hand support member 8. Specifically, three guide blocks 31 are fixed to each of the two slide portions 7a in a state of being spaced apart in the front-rear direction (see FIG. 7B). Further, three guide blocks 32 are fixed to each of the two slide portions 8a in a state of being spaced apart in the front-rear direction (see FIG. 7A).

本形態のガイドレール２９は第１ガイドレールであり、ガイドレール３０は第２ガイドレールであり、ガイドブロック３１は第１ガイドブロックであり、ガイドブロック３２は第２ガイドブロックである。また、本形態では、複数のガイドレール２９と６個のガイドブロック３１とによってハンド支持部材７を前後方向へ案内する第１ガイド機構としてのガイド機構３３が構成されている。また、複数のガイドレール３０と６個のガイドブロック３２とによってハンド支持部材８を前後方向へ案内する第２ガイド機構としてのガイド機構３４が構成されている。 The guide rail 29 of this embodiment is the first guide rail, the guide rail 30 is the second guide rail, the guide block 31 is the first guide block, and the guide block 32 is the second guide block. Further, in the present embodiment, the guide mechanism 33 as the first guide mechanism for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction is configured by the plurality of guide rails 29 and the six guide blocks 31. Further, a guide mechanism 34 as a second guide mechanism for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction is configured by the plurality of guide rails 30 and the six guide blocks 32.

駆動機構１７、１８は、アーム９の内部に配置されている。駆動機構１７は、駆動源としてのモータ３７を備えている。駆動機構１８は、駆動源としてのモータ３８を備えている。モータ３７、３８は、内部空間Ｓに配置されている。すなわち、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。モータ３７、３８は、所定のブラケットを介して、モータ収容部材２５に固定されている。モータ３７とモータ３８とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、モータ３７が後ろ側に配置され、モータ３８が前側に配置されている。 The drive mechanisms 17 and 18 are arranged inside the arm 9. The drive mechanism 17 includes a motor 37 as a drive source. The drive mechanism 18 includes a motor 38 as a drive source. The motors 37 and 38 are arranged in the internal space S. That is, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9. The motors 37 and 38 are fixed to the motor accommodating member 25 via predetermined brackets. The motor 37 and the motor 38 are arranged so as to be spaced apart from each other in the front-rear direction. Specifically, the motor 37 is arranged on the rear side, and the motor 38 is arranged on the front side.

モータ３７、３８は、モータ３７、３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、モータ３７、３８は、モータ３７の出力軸とモータ３８の出力軸とが反対方向に突出するように内部空間Ｓに配置されている。具体的には、モータ３７の出力軸が後ろ側に向かって突出し、モータ３８の出力軸が前側に向かって突出するように、モータ３７、３８が内部空間Ｓに配置されている。前後方向から見たときに、モータ３７の回転中心とモータ３８の回転中心とは一致している。また、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の回転中心とアーム９の中心とは略一致している。なお、モータ３７、３８には、冷却用のエア配管（図示省略）が巻き付けられている。 The motors 37 and 38 are arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the output shafts of the motors 37 and 38 coincide with each other. Further, the motors 37 and 38 are arranged in the internal space S so that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 project in opposite directions. Specifically, the motors 37 and 38 are arranged in the internal space S so that the output shaft of the motor 37 protrudes toward the rear side and the output shaft of the motor 38 protrudes toward the front side. When viewed from the front-rear direction, the center of rotation of the motor 37 and the center of rotation of the motor 38 coincide with each other. Further, when viewed from the front-rear direction, the rotation centers of the motors 37 and 38 and the centers of the arms 9 substantially coincide with each other. An air pipe for cooling (not shown) is wound around the motors 37 and 38.

また、駆動機構１７は、モータ３７の出力軸に連結される回転軸３９と、回転軸３９の先端部に固定される傘歯車４０と、傘歯車４０に噛み合う傘歯車４１と、傘歯車４１が固定される回転軸４２とを備えている。同様に、駆動機構１８は、モータ３８の出力軸に連結される回転軸４３と、回転軸４３の先端部に固定される傘歯車４４と、傘歯車４４に噛み合う傘歯車４５と、傘歯車４５が固定される回転軸４６とを備えている。 Further, the drive mechanism 17 includes a rotating shaft 39 connected to the output shaft of the motor 37, a bevel gear 40 fixed to the tip of the rotating shaft 39, a bevel gear 41 meshing with the bevel gear 40, and a bevel gear 41. It is provided with a fixed rotating shaft 42. Similarly, the drive mechanism 18 includes a rotating shaft 43 connected to the output shaft of the motor 38, a bevel gear 44 fixed to the tip of the rotating shaft 43, a bevel gear 45 meshing with the bevel gear 44, and a bevel gear 45. Is provided with a rotating shaft 46 to which the is fixed.

さらに、駆動機構１７は、回転軸４２に固定される２個の駆動プーリ４８と、回転軸４６に回転可能に保持される２個の従動プーリ４９と、駆動プーリ４８と従動プーリ４９とに架け渡される２本のベルト５０とを備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４６に固定される２個の駆動プーリ５２と、回転軸４２に回転可能に保持される２個の従動プーリ５３と、駆動プーリ５２と従動プーリ５３とに架け渡される２本のベルト５４とを備えている。 Further, the drive mechanism 17 is mounted on two drive pulleys 48 fixed to the rotary shaft 42, two driven pulleys 49 rotatably held by the rotary shaft 46, and the drive pulley 48 and the driven pulley 49. It is equipped with two belts 50 to be handed over. Similarly, the drive mechanism 18 includes two drive pulleys 52 fixed to the rotary shaft 46, two driven pulleys 53 rotatably held by the rotary shaft 42, and the drive pulley 52 and the driven pulley 53. It is equipped with two belts 54 to be bridged.

回転軸３９、４３は、ステンレス鋼で形成されている。回転軸３９は、回転軸３９の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３７の出力軸の先端（後端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。回転軸４３は、回転軸４３の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３８の出力軸の先端（前端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。傘歯車４０、４１、回転軸４２、駆動プーリ４８および従動プーリ５３は、アーム９の後端側の内部に配置されている。傘歯車４４、４５、回転軸４６、駆動プーリ５２および従動プーリ４９は、アーム９の前端側の内部に配置されている。 The rotating shafts 39 and 43 are made of stainless steel. The rotating shaft 39 is arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the rotating shaft 39 coincide with each other, and is connected to the tip end (rear end) of the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 (FIG. 5). reference). The rotating shaft 43 is arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the rotating shaft 43 coincide with each other, and is connected to the tip end (front end) of the output shaft of the motor 38 via a coupling 55 (see FIG. 5). ). The bevel gears 40 and 41, the rotating shaft 42, the drive pulley 48, and the driven pulley 53 are arranged inside the rear end side of the arm 9. The bevel gears 44 and 45, the rotating shaft 46, the drive pulley 52, and the driven pulley 49 are arranged inside the front end side of the arm 9.

また、駆動機構１７は、回転軸３９を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５６を備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４３を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５７を備えている。図５に示すように、磁性流体シール５６は、モータ収容部材２５の後面を構成する後壁部２５ｂに固定されている。磁性流体シール５７は、モータ収容部材２５の前面を構成する前壁部２５ｃに固定されている。具体的には、磁性流体シール５６は、後壁部２５ｂを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で後壁部２５ｂに固定され、磁性流体シール５７は、前壁部２５ｃを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で前壁部２５ｃに固定されている。 Further, the drive mechanism 17 includes a magnetic fluid seal 56 that rotatably holds the rotating shaft 39 and prevents air from flowing out from the internal space S. Similarly, the drive mechanism 18 includes a magnetic fluid seal 57 that rotatably holds the rotating shaft 43 and prevents the outflow of air from the internal space S. As shown in FIG. 5, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b constituting the rear surface of the motor accommodating member 25. The magnetic fluid seal 57 is fixed to the front wall portion 25c forming the front surface of the motor accommodating member 25. Specifically, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b in a state of being inserted into a through hole penetrating the rear wall portion 25b in the front-rear direction, and the magnetic fluid seal 57 has a front wall portion 25c. It is fixed to the front wall portion 25c in a state of being inserted into a through hole penetrating in the front-rear direction.

また、回転軸３９、４３は、アームフレーム２３に固定される複数の軸受５９に回転可能に支持されている。なお、本形態の回転軸３９は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５６に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４０が固定されている。一方の短軸と長軸の前端とは、磁性流体シール５６の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の後端とは、最も後ろ側の軸受５９の前側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ｂ）参照）。 Further, the rotating shafts 39 and 43 are rotatably supported by a plurality of bearings 59 fixed to the arm frame 23. The rotation shaft 39 of this embodiment is formed by two short shafts having a short length and one long shaft having a long length. One of the two short shafts is connected to the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 56. A bevel gear 40 is fixed to the other short shaft. One short axis and the front end of the long axis are connected by a coupling 60 arranged behind the ferrofluidic seal 56 (see FIG. 5), and the other short axis and the rear end of the long axis are the rearmost. It is connected by a coupling 60 arranged on the front side of the bearing 59 on the side (see FIG. 6B).

同様に、本形態の回転軸４３は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５７に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４４が固定されている。一方の短軸と長軸の後端とは、磁性流体シール５７の前側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の前端とは、最も前側の軸受５９の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ａ）参照）。なお、回転軸３９、４３は、１本の長軸によって構成されていても良い。 Similarly, the rotating shaft 43 of the present embodiment is formed by two short shafts having a short length and one long shaft having a long length. One of the two short shafts is connected to the output shaft of the motor 38 via the coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 57. A bevel gear 44 is fixed to the other short shaft. One short shaft and the rear end of the long shaft are connected by a coupling 60 arranged on the front side of the ferrofluidic seal 57 (see FIG. 5), and the other short shaft and the front end of the long shaft are on the frontmost side. It is connected by a coupling 60 arranged behind the bearing 59 (see FIG. 6 (A)). The rotating shafts 39 and 43 may be configured by one long shaft.

回転軸４２は、傘歯車４０の後ろ側に配置されている。回転軸４２は、回転軸４２の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４２に固定される駆動プーリ４８は、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４２に回転可能に保持される従動プーリ５３も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４１は、左右方向における回転軸４２の中心側に固定されている。 The rotating shaft 42 is arranged behind the bevel gear 40. The rotating shaft 42 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 42 and the left-right direction coincide with each other, and the rotating shaft 42 rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation by the power of the motor 37. That is, the drive pulley 48 fixed to the rotating shaft 42 rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axial direction of rotation. Further, the driven pulley 53 rotatably held by the rotating shaft 42 also rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation. The bevel gear 41 is fixed to the center side of the rotating shaft 42 in the left-right direction.

回転軸４６は、傘歯車４４の前側に配置されている。回転軸４６は、回転軸４６の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４６に固定される駆動プーリ５２は、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４６に回転可能に保持される従動プーリ４９も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４５は、左右方向における回転軸４６の中心側に固定されている。 The rotating shaft 46 is arranged on the front side of the bevel gear 44. The rotating shaft 46 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 46 and the left-right direction coincide with each other, and the rotating shaft 46 rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation by the power of the motor 38. That is, the drive pulley 52 fixed to the rotating shaft 46 rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axial direction of rotation. Further, the driven pulley 49 rotatably held by the rotating shaft 46 also rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation. The bevel gear 45 is fixed to the center side of the rotating shaft 46 in the left-right direction.

２個の駆動プーリ４８のそれぞれは、左右方向における回転軸４２の両端部のそれぞれに固定されている。従動プーリ５３は、傘歯車４１と駆動プーリ４８との間で回転軸４２に回転可能に保持されており、２個の従動プーリ５３は、２個の駆動プーリ４８よりも左右方向の内側に配置されている。２個の従動プーリ４９のそれぞれは、左右方向における回転軸４６の両端部のそれぞれに回転可能に保持されている。駆動プーリ５２は、傘歯車４５と従動プーリ４９との間で回転軸４６に固定されており、２個の駆動プーリ５２は、２個の従動プーリ４９よりも左右方向の内側に配置されている。 Each of the two drive pulleys 48 is fixed to both ends of the rotating shaft 42 in the left-right direction. The driven pulley 53 is rotatably held by the rotating shaft 42 between the bevel gear 41 and the drive pulley 48, and the two driven pulleys 53 are arranged inside the two drive pulleys 48 in the left-right direction. Has been done. Each of the two driven pulleys 49 is rotatably held at both ends of the rotating shaft 46 in the left-right direction. The drive pulley 52 is fixed to the rotating shaft 46 between the bevel gear 45 and the driven pulley 49, and the two drive pulleys 52 are arranged inside the two driven pulleys 49 in the left-right direction. ..

ベルト５０は、ハンド支持部材７に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５０のそれぞれの一部が２個のスライド部７ａのそれぞれの上端部に固定されている。本形態のベルト５０は、有端ベルトであり、駆動プーリ４８および従動プーリ４９に架け渡されたベルト５０の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部７ａに固定されている（図７（Ｂ）参照）。なお、ベルト５０は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。 The belt 50 is fixed to the hand support member 7. Specifically, a part of each of the two belts 50 is fixed to the upper end of each of the two slide portions 7a by a predetermined mounting member and a bolt. The belt 50 of this embodiment is an end-ended belt, and both ends of the belt 50 bridged to the drive pulley 48 and the driven pulley 49 are fixed to the slide portion 7a by mounting members and bolts (FIG. 7 (FIG. 7). B) See). The belt 50 may be an endless belt formed in an annular shape.

ベルト５４は、ハンド支持部材８に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５４のそれぞれの一部が２個のスライド部８ａのそれぞれの下端部に固定されている。ベルト５０と同様に、本形態のベルト５４は、有端ベルトであり、駆動プーリ５２および従動プーリ５３に架け渡されたベルト５４の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部８ａに固定されている（図７（Ａ）参照）。なお、ベルト５４は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。 The belt 54 is fixed to the hand support member 8. Specifically, a part of each of the two belts 54 is fixed to the lower end of each of the two slide portions 8a by a predetermined mounting member and a bolt. Like the belt 50, the belt 54 of this embodiment is an end-ended belt, and both ends of the belt 54 bridged to the drive pulley 52 and the driven pulley 53 are fixed to the slide portion 8a by mounting members and bolts, respectively. (See FIG. 7 (A)). The belt 54 may be an endless belt formed in an annular shape.

駆動プーリ４８、５２および従動プーリ４９、５３が上述のように配置されているため、前後方向から見たときに、２本のベルト５０のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置され、２本のベルト５４のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置されている。また、ベルト５４は、ベルト５０と左右方向で隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。すなわち、アーム９の内部の左右の両端側において、ベルト５４は、左右方向の内側でベルト５０と隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。 Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven pulleys 49 and 53 are arranged as described above, when viewed from the front-rear direction, the two belts 50 are respectively on the left and right sides of the motors 37 and 38, respectively. Each of the two belts 54 is arranged on each of the left and right sides of the motors 37 and 38. Further, the belt 54 is arranged so as to be adjacent to the belt 50 in the left-right direction and at the same height as the belt 50. That is, the belts 54 are arranged on the left and right ends of the arm 9 so as to be adjacent to the belt 50 on the inside in the left-right direction and at the same height as the belt 50.

（ガイドレールの固定構造）
図１０（Ａ）は、図８のＰ−Ｐ断面の断面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＲ部の拡大図である。 (Fixed structure of guide rail)
10 (A) is a cross-sectional view of the PP cross section of FIG. 8, and FIG. 10 (B) is an enlarged view of the R portion of FIG. 10 (A).

ガイドレール２９は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９には、複数のボルト６５のそれぞれの一部が配置される複数の配置穴２９ａが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。左側板部２３ｂには、ボルト６５の軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴２３ｆが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。右側板部２３ａにも、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。 The guide rail 29 is fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b of the arm frame 23 by a plurality of bolts 65 arranged at intervals in the front-rear direction. The guide rail 29 is formed with a plurality of arrangement holes 29a in which a part of each of the plurality of bolts 65 is arranged at intervals in the front-rear direction. A plurality of screw holes 23f into which male screws formed in the shaft portion 65a of the bolt 65 are screwed are formed in the left plate portion 23b in a state of being spaced apart in the front-rear direction. The right side plate portion 23a is also formed with a plurality of screw holes into which the male screws formed in the shaft portion 65a are screwed, in a state of being spaced apart in the front-rear direction.

配置穴２９ａは、ガイドレール２９を左右方向で貫通する貫通穴である。この配置穴２９ａは、ボルト６５の軸部６５ａの一部が配置される軸部配置穴２９ｂと、ボルト６５の頭部６５ｂが配置される頭部配置穴２９ｃとから構成されている。軸部配置穴２９ｂおよび頭部配置穴２９ｃは、丸穴状に形成されている。軸部配置穴２９ｂの内径は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも大きくなっている。また、頭部配置穴２９ｃの内径は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも大きくなっている。 The arrangement hole 29a is a through hole that penetrates the guide rail 29 in the left-right direction. The arrangement hole 29a is composed of a shaft portion arrangement hole 29b in which a part of the shaft portion 65a of the bolt 65 is arranged and a head arrangement hole 29c in which the head portion 65b of the bolt 65 is arranged. The shaft portion arranging hole 29b and the head arranging hole 29c are formed in a round hole shape. The inner diameter of the shaft portion arranging hole 29b is larger than the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65. Further, the inner diameter of the head arrangement hole 29c is larger than the outer diameter of the head 65b of the bolt 65.

すなわち、配置穴２９ａは、いわゆるバカ穴であり、前後方向における配置穴２９ａの幅は、ボルト６５の外径よりも広くなっている。具体的には、前後方向における軸部配置穴２９ｂの幅は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも広くなっており、前後方向における頭部配置穴２９ｃの幅は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも広くなっている。本形態では、全ての配置穴２９ａが、前後方向の幅がボルト６５の外径よりも広くなった第１配置穴となっている。また、全ての軸部配置穴２９ｂは、第１軸部配置穴であり、全ての頭部配置穴２９ｃは、第１頭部配置穴である。 That is, the arrangement hole 29a is a so-called stupid hole, and the width of the arrangement hole 29a in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt 65. Specifically, the width of the shaft portion arrangement hole 29b in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65, and the width of the head arrangement hole 29c in the front-rear direction is the head of the bolt 65. It is wider than the outer diameter of 65b. In this embodiment, all the arrangement holes 29a are the first arrangement holes whose width in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt 65. Further, all the shaft portion arranging holes 29b are the first shaft portion arranging holes, and all the head arranging holes 29c are the first head arranging holes.

前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。すなわち、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定されている。 Regarding the length of the guide rail 29 in the front-rear direction, even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract, there is a gap between the side surface of the arrangement hole 29a in the front-rear direction and the bolt 65. It is set to the length to be formed. That is, the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is such that the side surface of the arrangement hole 29a in the front-rear direction and the bolt 65 do not come into contact with each other even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract. It is set to the length.

具体的には、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における軸部配置穴２９ｂの側面とボルト６５の軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、前後方向における頭部配置穴２９ｃの側面とボルト６５の頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。なお、頭部配置穴２９ｃの内径と頭部６５ｂの外径との差は、軸部配置穴２９ｂの内径と軸部６５ａの外径との差よりも大きくなっている。 Specifically, the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is such that the side surface and the bolt of the shaft portion arrangement hole 29b in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract. The length is set so that a gap is formed between the shaft portion 65a of the 65 and the head portion 65b of the bolt 65 and the side surface of the head arrangement hole 29c in the front-rear direction. The difference between the inner diameter of the head arrangement hole 29c and the outer diameter of the head portion 65b is larger than the difference between the inner diameter of the shaft portion arrangement hole 29b and the outer diameter of the shaft portion 65a.

ガイドレール２９と同様に、ガイドレール３０は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール３０には、配置穴２９ａと同形状の配置穴が形成されている。すなわち、ガイドレール３０には、ガイドレール３０を左右方向で貫通するとともに、軸部配置穴と頭部配置穴とから構成される配置穴が形成されている。左側板部２３ｂおよび右側面部２３ａには、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている Like the guide rail 29, the guide rail 30 is fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b of the arm frame 23 by a plurality of bolts 65 arranged at intervals in the front-rear direction. The guide rail 30 is formed with an arrangement hole having the same shape as the arrangement hole 29a. That is, the guide rail 30 is formed with an arrangement hole composed of a shaft portion arrangement hole and a head arrangement hole while penetrating the guide rail 30 in the left-right direction. A plurality of screw holes into which the male screw formed in the shaft portion 65a is screwed are formed in the left side plate portion 23b and the right side surface portion 23a in a state of being spaced apart in the front-rear direction.

ガイドレール２９と同様に、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。具体的には、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の軸部配置穴の前後方向の側面と軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、ガイドレール３０の頭部配置穴の前後方向の側面と頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。 Similar to the guide rail 29, the length of the guide rail 30 in the front-rear direction is the length in the front-rear direction of the arrangement hole of the guide rail 30 even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract. The length is set so that a gap is formed between the side surface and the bolt 65. Specifically, the length of the guide rail 30 in the front-rear direction is the length in the front-rear direction of the shaft portion arrangement hole of the guide rail 30 even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract. The length is set so that a gap is formed between the side surface and the shaft portion 65a, and a gap is formed between the front-rear side surface of the head arrangement hole of the guide rail 30 and the head portion 65b.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本形態では、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、ガイドレール２９、３０の温度が上昇しても、ガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the guide rail 29 and the guide rail 30 are formed in the same shape and are made of the same metal material. Therefore, in the present embodiment, when the substrate 2 is carried in and out of the chamber 4 which is hot, the guide rail 29 and the guide rail 30 move in the front-rear direction even if the temperatures of the guide rails 29 and 30 rise. It expands and contracts in the same way. Further, in the present embodiment, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to each of the left and right side surfaces of the arm frame 23 are symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at this position.

すなわち、本形態では、ガイドレール２９、３０の温度が上昇すると、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されているガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３が、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、アームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３は、上下左右方向へは変形しにくい。 That is, in the present embodiment, when the temperature of the guide rails 29 and 30 rises, the guide rails 29 are fixed to the arm frame 23 at positions symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. And the guide rail 30 expand and contract in the same way in the front-rear direction. Further, in the present embodiment, since the arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction, the substrate 2 is carried in and out of the chamber 4 which is hot. In this case, even if the temperature of the arm frame 23 rises, the arm frame 23 is unlikely to be deformed in the vertical and horizontal directions.

したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合に、線膨張係数が異なるガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアーム９の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。 Therefore, in the present embodiment, when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4, even if the temperatures of the guide rails 29 and 30 and the arm frame 23 having different linear expansion coefficients rise, the arm frame 23 It is possible to suppress the deformation of the robot in the vertical and horizontal directions. As a result, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4, it is possible to suppress the deformation of the arm 9 in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat. ..

本形態では、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定され、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。 In this embodiment, the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is such that even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract, the side surface of the arrangement hole 29a and the bolt 65 in the front-rear direction The length of the guide rail 30 in the front-rear direction is set to a length that does not contact, and the length of the guide rail 30 in the front-rear direction is the front-back direction of the placement hole of the guide rail 30 even if the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract due to fluctuations in the ambient temperature of the arm 9. The length is set so that a gap is formed between the side surface of the bolt 65 and the bolt 65.

そのため、本形態では、ガイドレール２９、３０の線膨張係数とアームフレーム２３の線膨張係数とが異なっていても、ガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇してガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３が前後方向へ伸縮したときの、配置穴２９ａの側面とボルト６５との接触、および、ガイドレール３０の配置穴の側面とボルト６５との接触を防止することが可能になる。したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアームフレーム２３の上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, even if the linear expansion coefficient of the guide rails 29 and 30 and the linear expansion coefficient of the arm frame 23 are different, the temperatures of the guide rails 29 and 30 and the arm frame 23 rise and the guide rails 29 and 30 are raised. When the arm frame 23 expands and contracts in the front-rear direction, it is possible to prevent the side surface of the arrangement hole 29a from coming into contact with the bolt 65 and the side surface of the guide rail 30 from coming into contact with the bolt 65. Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4, it is possible to effectively suppress the deformation of the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat. It will be possible.

なお、本形態では、回転軸３９がカップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結され、回転軸４３がカップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されている。また、回転軸３９、４３では、２本の短軸と１本の長軸とがカップリング６０によって連結されている。そのため、本形態では、ステンレス製の回転軸３９、４３の、熱の影響による前後方向の伸縮量と、アルミニウム合金製のアームフレーム２３の、熱の影響による前後方向の伸縮量との差は、カップリング５５、６０で吸収される。 In this embodiment, the rotating shaft 39 is connected to the output shaft of the motor 37 via the coupling 55, and the rotating shaft 43 is connected to the output shaft of the motor 38 via the coupling 55. Further, in the rotating shafts 39 and 43, two short shafts and one long shaft are connected by a coupling 60. Therefore, in this embodiment, the difference between the amount of expansion and contraction of the stainless steel rotating shafts 39 and 43 in the front-rear direction due to the influence of heat and the amount of expansion and contraction of the aluminum alloy arm frame 23 in the front-rear direction due to the influence of heat is It is absorbed by the couplings 55 and 60.

（駆動機構の配置の変形例）
図１１は、本発明の他の実施の形態にかかるアーム９の内部構造を説明するための図である。図１２は、図１１（Ａ）のＷ−Ｗ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。 (Modified example of drive mechanism arrangement)
FIG. 11 is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 according to another embodiment of the present invention. FIG. 12 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the hand support members 7, 8 and the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 from the WW direction of FIG. 11 (A).

上述した形態において、図１１（Ａ）、図１２に示すように、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。具体的には、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれにおいて、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。この場合であっても、図１２に示すように、アームフレーム２３は、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されている。また、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。なお、図１１、図１２では、上述した形態と同様の構成については同一の符号を付している。 In the above-described embodiment, as shown in FIGS. 11A and 12, the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap each other in the vertical direction. Specifically, the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap each other in the vertical direction on both the left and right sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction. Even in this case, as shown in FIG. 12, the arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. Further, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to each of the left and right side surfaces of the arm frame 23 are armed at positions symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the frame 23. In addition, in FIGS. 11 and 12, the same reference numerals are given to the same configurations as those described above.

また、この変形例では、図１１（Ｂ）に示すように、たとえば、モータ３７は、アーム９の後端部の内部に配置され、モータ３８は、アーム９の前端部の内部に配置されている。ただし、この変形例において、モータ３７、３８は、上述した形態と同様に、アーム９の中心部分の内部に配置されていても良い。また、この変形例では、モータ３８は、モータ３７よりも上側に配置されている。また、モータ３７とモータ３８とは、左右方向において同じ位置に配置されている。 Further, in this modification, as shown in FIG. 11B, for example, the motor 37 is arranged inside the rear end portion of the arm 9, and the motor 38 is arranged inside the front end portion of the arm 9. There is. However, in this modification, the motors 37 and 38 may be arranged inside the central portion of the arm 9 as in the above-described embodiment. Further, in this modification, the motor 38 is arranged above the motor 37. Further, the motor 37 and the motor 38 are arranged at the same position in the left-right direction.

また、この変形例では、駆動プーリ５２が固定される回転軸４６とは別に、従動プーリ４９が回転可能に保持される固定軸６７が設けられている（図１２参照）。同様に、駆動プーリ４８が固定される回転軸４２とは別に、従動プーリ５３が回転可能に保持される固定軸が設けられている。従動プーリ４９は、駆動プーリ５２の真下に配置され、従動プーリ５３は、駆動プーリ４８の真上に配置されている。 Further, in this modification, a fixed shaft 67 is provided in which the driven pulley 49 is rotatably held, in addition to the rotating shaft 46 to which the drive pulley 52 is fixed (see FIG. 12). Similarly, apart from the rotating shaft 42 to which the drive pulley 48 is fixed, a fixed shaft for rotatably holding the driven pulley 53 is provided. The driven pulley 49 is arranged directly below the drive pulley 52, and the driven pulley 53 is arranged directly above the drive pulley 48.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態において、ハンド支持部材７にハンド６が固定され、ハンド支持部材８にハンド５が固定されていても良い。この場合には、ハンド支持部材８は、第１ハンド支持部材となり、ハンド支持部材７は、第２ハンド支持部材となり、ガイド機構３４は、第１ガイド機構となり、ガイド機構３３は、第２ガイド機構となる。また、ガイドレール３０は、第１ガイドレールとなり、ガイドレール２９は、第２ガイドレールとなる。 In the above-described embodiment, the hand 6 may be fixed to the hand support member 7, and the hand 5 may be fixed to the hand support member 8. In this case, the hand support member 8 becomes the first hand support member, the hand support member 7 becomes the second hand support member, the guide mechanism 34 becomes the first guide mechanism, and the guide mechanism 33 becomes the second guide. It becomes a mechanism. Further, the guide rail 30 becomes the first guide rail, and the guide rail 29 becomes the second guide rail.

上述した形態において、下側板部２３ｄの上面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール２９が固定され、上側板部２３ｃの下面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール３０が固定されていても良い。この場合であっても、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。 In the above-described embodiment, the guide rails 29 are fixed to both ends of the upper surface of the lower plate portion 23d in the left-right direction, and the guide rails 30 are fixed to both ends of the lower surface of the upper plate portion 23c in the left-right direction. Is also good. Even in this case, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to both ends of the arm frame 23 in the left-right direction are symmetrical with respect to the arm frame 23 in the up-down, left-right directions when viewed from the front-rear direction. It is fixed to the arm frame 23 at the position where

上述した形態において、ガイドレール２９は、前後方向で分割されていなくても良い。すなわち、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール２９が固定されていても良い。同様に、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール３０が固定されていても良い。また、上述した形態において、アームフレーム２３は、アルミニウム合金以外の金属材料で形成されていても良いし、ガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼以外の金属材料で形成されていても良い。 In the above-described form, the guide rail 29 does not have to be divided in the front-rear direction. That is, one guide rail 29 may be fixed to each of the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. Similarly, one guide rail 30 may be fixed to each of the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. Further, in the above-described form, the arm frame 23 may be formed of a metal material other than the aluminum alloy, and the guide rails 29 and 30 may be formed of a metal material other than stainless steel.

上述した形態において、ガイドレール２９に形成される複数の配置穴２９ａの中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。すなわち、軸部配置穴２９ｂの内径がボルト６５の軸部６５ａの外径と略等しくなり、かつ、頭部配置穴２９ｃの内径がボルト６５の頭部６５ｂの外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。同様に、上述した形態において、ガイドレール３０に形成される複数の配置穴の中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴があっても良い。 In the above-described embodiment, among the plurality of arrangement holes 29a formed in the guide rail 29, there may be an arrangement hole 29a whose inner diameter is substantially equal to the outer diameter of the bolt 65. That is, the inner diameter of the shaft portion placement hole 29b is substantially equal to the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65, and the inner diameter of the head placement hole 29c is substantially equal to the outer diameter of the head portion 65b of the bolt 65. There may be a hole 29a. Similarly, in the above-described embodiment, among the plurality of arrangement holes formed in the guide rail 30, there may be an arrangement hole whose inner diameter is substantially equal to the outer diameter of the bolt 65.

上述した形態では、ベルト５０、５４を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させているが、上述の特許文献１に記載された産業用ロボットのように、ネジ部材を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させても良い。また、上述した形態において、アーム９の内部の全体が大気圧となっていても良い。また、アーム９の内部の全体が真空となっていても良い。すなわち、モータ３７、３８は、真空中に配置されていても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、たとえば、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、ガラス基板２以外の搬送対象物であっても良い。 In the above-described embodiment, the hand support members 7 and 8 are moved in the front-rear direction by using the belts 50 and 54, but the hand is used by using a screw member like the industrial robot described in the above-mentioned Patent Document 1. The support members 7 and 8 may be moved in the front-rear direction. Further, in the above-described form, the entire inside of the arm 9 may be at atmospheric pressure. Further, the entire inside of the arm 9 may be evacuated. That is, the motors 37 and 38 may be arranged in a vacuum. Further, in the above-described embodiment, the object to be conveyed by the robot 1 is the glass substrate 2 for the liquid crystal display, but the object to be conveyed by the robot 1 is, for example, for an organic EL (organic electroluminescence) display. It may be a glass substrate of the above, or it may be an object to be transported other than the glass substrate 2.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８ ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９ アーム
１０ 本体部
１７ 駆動機構（第１駆動機構）
１８ 駆動機構（第２駆動機構）
２３ アームフレーム
２３ａ 右側板部
２３ｂ 左側板部
２３ｃ 上側板部
２３ｄ 下側板部
２３ｆ ネジ穴
２９ ガイドレール（第１ガイドレール）
２９ａ 配置穴（第１配置穴）
２９ｂ 軸部配置穴（第１軸部配置穴）
２９ｃ 頭部配置穴（第１頭部配置穴）
３０ ガイドレール（第２ガイドレール）
３１ ガイドブロック（第１ガイドブロック）
３２ ガイドブロック（第２ガイドブロック）
３３ ガイド機構（第１ガイド機構）
３４ ガイド機構（第２ガイド機構）
６５ ボルト
６５ａ 軸部
６５ｂ 頭部
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, object to be transported)
5 hands (1st hand)
6 hands (2nd hand)
7 Hand support member (first hand support member)
8 Hand support member (second hand support member)
9 Arm 10 Main body 17 Drive mechanism (1st drive mechanism)
18 Drive mechanism (second drive mechanism)
23 Arm frame 23a Right side plate part 23b Left side plate part 23c Upper plate part 23d Lower plate part 23f Screw hole 29 Guide rail (1st guide rail)
29a placement hole (first placement hole)
29b Shaft placement hole (1st shaft placement hole)
29c Head placement hole (1st head placement hole)
30 guide rail (second guide rail)
31 Guide block (1st guide block)
32 guide block (second guide block)
33 Guide mechanism (1st guide mechanism)
34 Guide mechanism (2nd guide mechanism)
65 Bolt 65a Shaft 65b Head X Front-back direction Y Left-right direction

Claims (7)

真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第１ハンド支持部材と前記第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材を保持するアームと、前記アームに対して前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、前記アームに対して前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、
前記アームに対する前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、前記第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、
前記第１ガイド機構は、前記アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、前記第１ハンド支持部材に固定されるとともに前記第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、
前記第２ガイド機構は、前記アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ前記第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、前記第２ハンド支持部材に固定されるとともに前記第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、
前記アームフレームは、前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、
前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、前後方向から見たときに前記アームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置で前記アームフレームに固定されていることを特徴とする産業用ロボット。 An industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum.
The first and second hands on which the object to be transported is mounted, the first hand support member to which the first hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand. An arm that holds the first hand support member and the second hand support member, and the arm so that the hand support member and the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. On the other hand, a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm are provided.
When the moving direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm is the front-rear direction, and the direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is the left-right direction
A first guide mechanism for guiding the first hand support member in the front-rear direction and a second guide mechanism for guiding the second hand support member in the front-rear direction are provided.
The first guide mechanism is fixed to a first guide rail fixed to each of both ends of the arm frame, which is a frame of the arm, in the left-right direction, and to the first hand support member and to the first guide rail. Equipped with a first guide block to engage
The second guide mechanism is fixed to the second guide rail fixed to both ends of the arm frame in the left-right direction and to the upper side or the lower side of the first guide rail, and to the second hand support member. Also provided with a second guide block that engages with the second guide rail.
The first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and made of the same metal material.
The arm frame is made of a metal material having a coefficient of linear expansion different from that of the first guide rail and the second guide rail, and is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction.
An industry characterized in that the first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame at positions symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front-rear direction. Robot for. 前記アームが回動可能に連結される本体部を備え、
前記アームの中心が前記本体部に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 A main body portion to which the arm is rotatably connected is provided.
The industrial robot according to claim 1, wherein the center of the arm is connected to the main body portion. 前記アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The arm frame is made of an aluminum alloy.
The industrial robot according to claim 1 or 2, wherein the first guide rail and the second guide rail are made of stainless steel. 前記アームフレームは、前記アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、前記アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、
前記右側板部は、前記右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
前記左側板部は、前記左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
前記上側板部は、前記上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
前記下側板部は、前記下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
前記第１ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
前記第２ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
前後方向から見たときに、前記右側板部と前記左側板部とは、左右方向における前記アームフレームの中心に対して左右対称に配置され、前記上側板部と前記下側板部とは、上下方向における前記アームフレームの中心に対して上下対称に配置され、
前記右側板部に固定される前記第１ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、
前記右側板部に固定される前記第２ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 The arm frame includes a flat plate-shaped right side plate portion and a left side plate portion forming the left and right side surfaces of the arm frame, and a flat plate-shaped upper plate portion and a lower side plate portion forming the upper and lower side surfaces of the arm frame. ,
The right side plate portion is arranged so that the thickness direction and the left-right direction of the right side plate portion coincide with each other.
The left plate portion is arranged so that the thickness direction and the left-right direction of the left plate portion coincide with each other.
The upper plate portion is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the upper plate portion coincide with each other.
The lower plate portion is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the lower plate portion coincide with each other.
The first guide rail is fixed to the right side plate portion and the left side plate portion, and is fixed to the right side plate portion.
The second guide rail is fixed to the right side plate portion and the left side plate portion, and is fixed to the right side plate portion.
When viewed from the front-rear direction, the right plate portion and the left plate portion are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame in the left-right direction, and the upper plate portion and the lower plate portion are vertically and vertically arranged. Arranged vertically symmetrically with respect to the center of the arm frame in the direction,
The first guide rail fixed to the right side plate portion and the first guide rail fixed to the left side plate portion are arranged at the same position in the vertical direction.
Claims 1 to 3 are characterized in that the second guide rail fixed to the right side plate portion and the second guide rail fixed to the left side plate portion are arranged at the same position in the vertical direction. An industrial robot described in any of. 前記第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第１ガイドレールを備え、
前記第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第２ガイドレールを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。 The first guide mechanism includes a plurality of the first guide rails divided in the front-rear direction.
The industrial robot according to any one of claims 1 to 4, wherein the second guide mechanism includes a plurality of the second guide rails divided in the front-rear direction. 前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによって前記アームフレームに固定され、
前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールには、前記ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
前記アームフレームには、前記ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
複数の前記配置穴のうちの少なくとも１個の前記配置穴の、前後方向の幅は、前記ボルトの外径よりも広くなっており、
前後方向の幅が前記ボルトの外径よりも広くなっている前記配置穴を第１配置穴とすると、
前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１配置穴の側面と前記ボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。 The first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame by a plurality of bolts arranged at intervals in the front-rear direction.
The first guide rail and the second guide rail are formed with a plurality of arrangement holes in which a part of the bolts are arranged at intervals in the front-rear direction.
The arm frame is formed with a plurality of screw holes into which male screws formed on the shaft portion of the bolt are screwed, in a state of being spaced apart in the front-rear direction.
The width of at least one of the arrangement holes in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt.
Assuming that the arrangement hole whose width in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt is the first arrangement hole,
The lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction can be set in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm fluctuates and the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract. The industrial robot according to claim 5, wherein the length is set so that a gap is formed between the side surface of the first arrangement hole and the bolt in the direction. 前記配置穴は、前記ボルトの前記軸部の一部が配置される軸部配置穴と、前記ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、
前記第１配置穴の前記軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、前記第１配置穴の前記頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、
前後方向における前記第１軸部配置穴の幅は、前記ボルトの前記軸部の外径よりも広くなっており、
前後方向における前記第１頭部配置穴の幅は、前記ボルトの前記頭部の外径よりも広くなっており、
前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１軸部配置穴の側面と前記ボルトの前記軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における前記第１頭部配置穴の側面と前記ボルトの前記頭部との間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項６記載の産業用ロボット。 The arrangement hole is composed of a shaft portion arrangement hole in which a part of the shaft portion of the bolt is arranged and a head arrangement hole in which the head portion of the bolt is arranged.
Assuming that the shaft portion placement hole of the first placement hole is the first shaft portion placement hole and the head placement hole of the first placement hole is the first head placement hole,
The width of the first shaft portion arranging hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion of the bolt.
The width of the first head arrangement hole in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the head of the bolt.
The lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction can be set in the front-rear direction even if the ambient temperature of the arm fluctuates and the first guide rail, the second guide rail, and the arm frame expand and contract. A gap is formed between the side surface of the first shaft portion arrangement hole in the direction and the shaft portion of the bolt, and the side surface of the first head arrangement hole in the front-rear direction and the head portion of the bolt. The industrial robot according to claim 6, wherein the length is set so that a gap is formed between them.
JP2017146864A 2017-07-28 2017-07-28 Industrial robot Active JP6869137B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146864A JP6869137B2 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Industrial robot
PCT/JP2018/026253 WO2019021832A1 (en) 2017-07-28 2018-07-12 Industrial robot
KR1020197036760A KR102260097B1 (en) 2017-07-28 2018-07-12 industrial robot
CN201880048219.5A CN110997246A (en) 2017-07-28 2018-07-12 Industrial robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146864A JP6869137B2 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Industrial robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019025587A JP2019025587A (en) 2019-02-21
JP6869137B2 true JP6869137B2 (en) 2021-05-12

Family

ID=65039604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017146864A Active JP6869137B2 (en) 2017-07-28 2017-07-28 Industrial robot

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6869137B2 (en)
KR (1) KR102260097B1 (en)
CN (1) CN110997246A (en)
WO (1) WO2019021832A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102570784B1 (en) * 2020-12-28 2023-08-28 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤 Industrial robot
CN115741636A (en) * 2022-11-09 2023-03-07 西安近代化学研究所 Miniature self-locking robot based on pneumatic hollow shaft actuator and driving method thereof

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1126550A (en) * 1997-07-04 1999-01-29 Tokyo Electron Ltd Substrate conveyer and apparatus for treating substrate, using the same
JPH1187463A (en) * 1997-09-12 1999-03-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Apparatus for treating substrates
JP2001352200A (en) * 2000-06-07 2001-12-21 Juki Corp Electronic component mounting apparatus
TWI224815B (en) * 2001-08-01 2004-12-01 Tokyo Electron Ltd Gas processing apparatus and gas processing method
KR100479494B1 (en) * 2002-09-18 2005-03-30 삼성전자주식회사 Board conveyance robot
JP2006016144A (en) * 2004-07-01 2006-01-19 Daihen Corp Transfer robot
JP4694436B2 (en) * 2006-07-28 2011-06-08 株式会社ダイヘン Transfer robot
JP4908306B2 (en) * 2007-05-10 2012-04-04 株式会社ダイヘン Transport device
KR100987362B1 (en) * 2008-09-02 2010-10-13 주식회사 티이에스 Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber
JP6190692B2 (en) 2013-10-22 2017-08-30 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
CN203655813U (en) * 2013-12-06 2014-06-18 江西昌河航空工业有限公司 Connecting device between materials with different coefficients of thermal expansion
JP6499826B2 (en) 2014-01-29 2019-04-10 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6616606B2 (en) * 2015-07-13 2019-12-04 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019025587A (en) 2019-02-21
KR20200007895A (en) 2020-01-22
KR102260097B1 (en) 2021-06-03
CN110997246A (en) 2020-04-10
WO2019021832A1 (en) 2019-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4908306B2 (en) Transport device
US8203101B2 (en) Conveying device
JP6313963B2 (en) Industrial robot
JP6869137B2 (en) Industrial robot
JP2010177411A (en) Workpiece conveying device
WO2015037701A1 (en) Industrial robot
JP2010157538A (en) Work transfer apparatus
TWI531452B (en) Industrial robots
JP6902422B2 (en) Industrial robot
JP6869136B2 (en) Industrial robot
WO2020122121A1 (en) Substrate transport device and substrate transport system
KR20100086399A (en) Heat processing apparatus
JP2013092193A (en) Conveying device, and vacuum treatment device with the same
KR20210023686A (en) Transport apparatus
JP6276090B2 (en) Transport device, transport system
JP7223289B2 (en) Conveyor
KR102570784B1 (en) Industrial robot
KR20230048598A (en) Industrial robot
JP2022104004A (en) Industrial robot
KR20210070890A (en) Driving moule, substrate processing apparatus and substrate processing system having the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200701

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210325

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210413

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6869137

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150