KR20230048598A

KR20230048598A - Industrial robot

Info

Publication number: KR20230048598A
Application number: KR1020220118505A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 요시키 시무라; 가즈키 이토
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2021-10-04
Filing date: 2022-09-20
Publication date: 2023-04-11
Also published as: JP2023054397A; CN115924539A

Abstract

반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
산업용 로봇(1)에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 수용부(5)로의 반송 대상물(2)의 반입 시, 및 수용부(5)로부터의 반송 대상물(2)의 반출 시에, 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구가 작동하여 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다.An industrial robot comprising a hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is connected, a swing arm to which the arm is rotatably connected to the front end side, and a main body to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected. An industrial robot capable of suppressing movement of a hand that moves linearly with respect to a swing arm in an unexpected direction when the robot is emergency stopped.
In the industrial robot 1, the hands 8 and 9 linearly move with respect to the swing arm 11 at the time of carrying in the object to be conveyed 2 to the accommodating portion 5, and the object to be conveyed from the accommodating portion 5. When (2) is carried out, a brake mechanism for stopping the rotation of the swing arm 11 with respect to the body portion 12 operates, and the rotation stop state of the swing arm 11 is maintained.

Description

Industrial robot {INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for conveying an object to be conveyed.

종래, 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템은, 내부에 산업용 로봇의 일부가 배치되는 트랜스퍼 챔버와, 트랜스퍼 챔버를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버를 구비하고 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the industrial robot which conveys the glass substrate for organic EL (organic electroluminescence) displays is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in Patent Literature 1 is incorporated into and used in a manufacturing system for an organic EL display. An organic EL display manufacturing system includes a transfer chamber in which a part of an industrial robot is disposed, and a plurality of process chambers disposed so as to surround the transfer chamber.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 2개의 핸드와, 2개의 핸드의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 암과, 2개의 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부와, 암 지지부가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다.The industrial robot described in Patent Literature 1 includes two hands on which a glass substrate is mounted, two arms each of which is rotatably connected to the front end side, and proximal end sides of the two arms are rotatably connected. It is provided with an arm support part, a swing arm to which the arm support part is rotatably connected to the front end side, and a body part to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암 지지부에 대해 2개의 암의 각각을 신축시키는 암 구동 기구와, 스윙 암에 대해 암 지지부를 회동시키는 회동 기구와, 본체부에 대해 스윙 암을 회동시키는 회동 기구를 구비하고 있다. 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 프로세스 챔버에 유리 기판을 반입할 때, 및 프로세스 챔버로부터 유리 기판을 반출할 때는, 암 지지부 및 스윙 암은 정지해 있으며, 암은, 핸드가 일정 방향을 향한 상태에서 암 지지부 및 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하도록 신축한다.Further, the industrial robot described in Patent Literature 1 includes an arm driving mechanism for expanding and contracting each of the two arms with respect to the arm support, a rotation mechanism for rotating the arm support with respect to the swing arm, and a rotation for rotating the swing arm with respect to the main body. equipment is provided. In the industrial robot described in Patent Literature 1, when carrying in a glass substrate into a process chamber and when unloading a glass substrate from the process chamber, the arm support part and the swing arm are stationary, and the arm is in a state in which the hand faces a certain direction. It expands and contracts to move linearly with respect to the arm support and the swing arm.

일본 특허 공개 제2016-207938호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-207938

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 프로세스 챔버에 유리 기판을 반입할 때나 프로세스 챔버로부터 유리 기판을 반출할 때 무언가 문제가 발생하면 산업용 로봇을 비상 정지시키는 경우가 있다. 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 스윙 암이 본체부에 회동 가능하게 연결되어 있기 때문에, 유리 기판의 반입 시나 유리 기판의 반출 시에 산업용 로봇을 비상 정지시킨 경우에 핸드나 암의 관성력 등의 영향으로 본체부에 대해 스윙 암이 회동할 우려가 있다. 유리 기판의 반입 시나 유리 기판의 반출 시에 산업용 로봇을 비상 정지시킨 경우에 본체부에 대해 스윙 암이 회동하면, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동할 우려가 있는데, 예기치 못한 방향으로 핸드가 이동하면 위험하다.In the industrial robot described in Patent Literature 1, when a glass substrate is loaded into a process chamber or when a glass substrate is unloaded from the process chamber, the industrial robot may be emergency stopped if something goes wrong. In the industrial robot described in Patent Literature 1, since the swing arm is rotatably connected to the main body, when the industrial robot is emergency stopped at the time of carrying in or taking out the glass substrate, the influence of the inertial force of the hand or arm, etc. Therefore, there is a possibility that the swing arm may rotate with respect to the main body. If the swing arm rotates with respect to the main body when the industrial robot is emergency stopped when carrying in or taking out the glass substrate, there is a risk that the hand moving linearly with respect to the swing arm will move in an unexpected direction. It is dangerous if the hand moves in that direction.

그래서 본 발명의 과제는, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 것에 있다.Therefore, an object of the present invention is to provide a hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is connected, a swing arm to which the arm is rotatably connected to the front end side, and a main body to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected. An object of the present invention is to provide an industrial robot capable of suppressing movement of a hand that moves linearly with respect to a swing arm in an unexpected direction when the industrial robot is emergency stopped.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부와, 스윙 암에 대해 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구와, 본체부에 대해 스윙 암을 회동시키는 스윙 암 구동 기구와, 본체부에 대한 스윙 암의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구를 구비하고, 반송 대상물이 수용되는 수용부에 반송 대상물을 반입하는 반입 시, 및 수용부로부터 반송 대상물을 반출하는 반출 시에는, 본체부에 대해 스윙 암이 정지해 있는 상태에서 핸드가 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하고, 브레이크 기구는 반입 시 및 반출 시에 작동하여 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is a hand on which a transfer object is mounted, an arm to which the hand is connected, and a swing arm to which the arm is rotatably connected to the front end side with the vertical direction as the axial direction of rotation , a main body portion to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected with the vertical direction as the axis of rotation, and an arm drive that moves the hand in a horizontal direction relative to the swing arm and rotates the arm relative to the swing arm A carrying-in mechanism, a swing arm drive mechanism for rotating the swing arm with respect to the main body, and a brake mechanism for stopping rotation of the swing arm with respect to the main body, and carrying in the object to be conveyed into the accommodating portion where the object to be conveyed is accommodated. When transporting objects are carried out from the housing unit, the hand moves linearly with respect to the swing arm in a state where the swing arm is stopped relative to the main body, and the brake mechanism operates at the time of carrying in and carrying out the swing arm. It is characterized in that the state of rotation of the arm is maintained.

본 발명에 있어서, 브레이크 기구는, 예를 들어 무여자 작동형 전자 브레이크이다.In the present invention, the brake mechanism is, for example, a non-energized electromagnetic brake.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 스윙 암에 대해 핸드가 직선적으로 이동하는 수용부로의 반송 대상물의 반입 시 및 수용부로부터의 반송 대상물의 반출 시에, 본체부에 대한 스윙 암의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구가 작동하여 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하고 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 스윙 암에 대해 핸드가 직선적으로 이동하는 반송 대상물의 반입 시나 반출 시에, 산업용 로봇을 비상 정지시켜도 브레이크 기구에 의해 스윙 암의 회동 정지 상태를 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, a brake for stopping the rotation of the swing arm with respect to the main body when carrying in an object to be transported to the accommodating unit where the hand moves linearly with respect to the swing arm and when transporting the object is taken out of the accommodating unit. The mechanism operates to keep the rotational stop state of the swing arm. Therefore, according to the present invention, the brake mechanism makes it possible to maintain the rotational stop state of the swing arm even if the industrial robot is emergency stopped at the time of loading or unloading of the transport object whose hand moves linearly with respect to the swing arm. Therefore, in the present invention, when the industrial robot is emergency stopped, it becomes possible to suppress the hand moving linearly with respect to the swing arm from moving in an unexpected direction.

본 발명에 있어서, 예를 들어 핸드는 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 암의 기단부측은 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암에 대해 핸드를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.In the present invention, for example, the hand is rotatably connected to the tip side of the arm with the vertical direction as the axis of rotation, and the proximal end of the arm pivots to the tip side of the swing arm with the vertical direction as the axis of rotation Possibly connected, the arm driving mechanism linearly moves the hand in a horizontal direction relative to the swing arm by extending and contracting the arm.

본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은 2개의 핸드를 구비하고, 암은, 2개의 핸드의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부와, 2개의 선단측 암부의 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 스윙 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고, 2개의 핸드 중 한쪽 핸드를 제1 핸드라 하고, 다른 쪽의 핸드를 제2 핸드라 하고, 제1 핸드가 연결되는 선단측 암부를 제1 선단측 암부라 하고, 제2 핸드가 연결되는 선단측 암부를 제2 선단측 암부라 하면, 암 구동 기구는, 공통 암부에 대해 제1 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제1 선단측 암부에 대해 제1 핸드를 회동시키는 제1 구동 기구와, 공통 암부에 대해 제2 선단측 암부를 회동시킴과 함께 제2 선단측 암부에 대해 제2 핸드를 회동시키는 제2 구동 기구와, 스윙 암에 대해 공통 암부를 회동시키는 제3 구동 기구를 구비하고 있다.In the present invention, for example, an industrial robot is provided with two hands, and the arm includes two distal arm parts each of the two hands is rotatably connected to the distal end side, and the proximal end side of the two distal arm parts. In addition to being rotatably connected, a common arm portion rotatably connected to the tip side of the swing arm is provided, one hand of the two hands is referred to as a first hand, and the other hand is referred to as a second hand, and the first If the distal arm to which the hand is connected is referred to as the first distal arm and the distal arm to which the second hand is connected is referred to as the second distal arm, the arm driving mechanism rotates the first distal arm with respect to the common arm. A first drive mechanism for rotating the first hand with respect to the first distal arm portion while rotating the second distal arm portion with respect to the common arm portion and rotating the second hand with respect to the second distal arm portion Two drive mechanisms and a third drive mechanism for rotating the common arm with respect to the swing arm are provided.

이상과 같이 본 발명에서는, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드가 연결되는 암과, 암이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암과, 스윙 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암에 대해 직선적으로 이동하는 핸드가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, a hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is connected, a swing arm to which the arm is rotatably connected to the front end side, and a main body to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected. In an industrial robot that performs an emergency stop, it becomes possible to suppress a hand moving linearly with respect to a swing arm from moving in an unexpected direction when the industrial robot is emergency stopped.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇이 제조 시스템에 편입된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 암 및 스윙 암의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 본체부의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의, 스윙 암의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의, 스윙 암의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot according to an embodiment of the present invention is incorporated into a manufacturing system.
Fig. 2 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the inside of the arm and swing arm shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the inside of the body portion shown in Fig. 1;
FIG. 4 is a plan view for explaining a state at the time of a swing arm rotation operation of the industrial robot shown in FIG. 1 .
FIG. 5 is a plan view for explaining a state during a swing arm rotation operation of the industrial robot shown in FIG. 1 .

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(산업용 로봇 및 제조 시스템의 구성)(Configuration of industrial robots and manufacturing systems)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)이 제조 시스템(3)에 편입된 상태를 도시하는 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 암(10) 및 스윙 암(11)의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 본체부(12)의 내부의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is integrated into a manufacturing system 3 . FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the internal configuration of the arm 10 and the swing arm 11 shown in FIG. 1 . FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the inside of the body portion 12 shown in FIG. 1 .

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 예를 들어 반송 대상물인 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)이나 액정 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 로봇(1)은, 디스플레이의 제조 시스템(3)에 편입되어 사용되는 수평 다관절 로봇이다. 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송한다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is, for example, a glass substrate 2 for an organic EL display or a glass substrate 2 for a liquid crystal display (hereinafter referred to as " It is a robot for conveying the board|substrate 2"). The robot 1 is a horizontal multi-joint robot incorporated into and used in the manufacturing system 3 of the display. The robot 1 transports the substrate 2 in a vacuum.

제조 시스템(3)은, 트랜스퍼 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)와, 챔버(4)의 주위에 배치되는 복수의 프로세스 챔버(5, 6)(이하, 「챔버(5, 6)」라 함)를 구비하고 있다. 제조 시스템(3)은, 예를 들어 2개의 챔버(5)와 2개의 챔버(6)를 구비하고 있다. 챔버(4 내지 6)는 진공 챔버이며, 챔버(4 내지 6)의 내부는 진공으로 되어 있다. 챔버(4)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)의 일부를 구성하는 후술하는 포크부(19)가 챔버(5, 6) 중으로 인입됨으로써, 로봇(1)은 챔버(5, 6) 사이에서 기판(2)을 반송한다. 챔버(5, 6)에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 로봇(1)에 의해 반송된 기판(2)이 수용된다. 또한 챔버(5, 6)에서는 기판(2)에 대해 각종 처리가 행해진다. 본 형태의 챔버(5, 6)는, 반송 대상물인 기판(2)이 수용되는 수용부이다.The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”) and a plurality of process chambers 5 and 6 disposed around the chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”). 5, 6)”). The manufacturing system 3 is provided with two chambers 5 and two chambers 6, for example. The chambers 4 to 6 are vacuum chambers, and the insides of the chambers 4 to 6 are vacuumed. Inside the chamber 4, a part of the robot 1 is disposed. When the fork part 19 which will be described later constituting a part of the robot 1 is drawn into the chambers 5 and 6, the robot 1 transfers the substrate 2 between the chambers 5 and 6. Various devices and the like are disposed in the chambers 5 and 6, and the substrate 2 conveyed by the robot 1 is accommodated. Further, in the chambers 5 and 6, various processes are performed on the substrate 2 . The chambers 5 and 6 of this embodiment are accommodating portions in which the substrate 2, which is an object to be transported, is accommodated.

챔버(4)는, 예를 들어 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 정사각 형상이 되는 대략 직육면체 상자형으로 형성되어 있다. 이하의 설명에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때 정사각 형상을 이루는 챔버(4)의 외주면에 평행인 2개의 방향 중 한쪽 방향(도 1의 X 방향)을 「전후 방향」으로 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 다른 쪽 방향(도 1의 Y 방향)을 「좌우 방향」으로 한다. 또한 전후 방향의 일방측(도 1의 X1 방향측)을 「전방」측으로 하고, 전방측의 반대측(도 1의 X2 방향측)을 「후방측」으로 하고, 좌우 방향의 일방측(도 1의 Y1 방향측)을 「우」측으로 하고, 우측의 반대측(도 1의 Y2 방향측)을 「좌」측으로 한다.The chamber 4 is formed, for example, in a substantially rectangular parallelepiped box shape in which the shape when viewed from the vertical direction becomes a square shape. In the following description, one direction (X direction in Fig. 1) of two directions parallel to the outer circumferential surface of the chamber 4 forming a square shape when viewed from the vertical direction is referred to as the "front-rear direction", and the vertical and front-back directions are The other orthogonal direction (the Y direction in Fig. 1) is referred to as the "left and right direction". In addition, one side in the front-back direction (X1 direction side in FIG. 1) is referred to as the "front" side, the side opposite to the front side (X2 direction side in FIG. The Y1 direction side) is the "right" side, and the opposite side of the right side (the Y2 direction side in Fig. 1) is the "left" side.

2개의 챔버(5)는 챔버(4)의 후방측에 배치되어 있다. 2개의 챔버(5)는 좌우 방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 2개의 챔버(6)는 챔버(4)의 전방측에 배치되어 있다. 2개의 챔버(6)는 좌우 방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 챔버(4)와 챔버(5)의 접속 부분 및 챔버(4)와 챔버(6)의 접속 부분에는 게이트가 설치되어 있다.Two chambers 5 are arranged on the rear side of chamber 4 . The two chambers 5 are arranged so as to be adjacent in the left-right direction. Two chambers 6 are arranged on the front side of chamber 4 . The two chambers 6 are arranged so as to be adjacent in the left-right direction. A gate is provided at a connecting portion between the chamber 4 and the chamber 5 and at a connecting portion between the chamber 4 and the chamber 6 .

로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 핸드(8, 9)와, 핸드(8, 9)가 연결되는 암(10)과, 암(10)이 연결되는 스윙 암(11)과, 스윙 암(11)이 연결되는 본체부(12)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(1)은 2개의 핸드(8, 9)를 구비하고 있다. 핸드(8, 9)는 암(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 핸드(8, 9)는 암(10)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 암(10)은 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 암(10)의 기단부측이 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(12)에는 스윙 암(11)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다.The robot 1 includes hands 8 and 9 on which the substrate 2 is mounted, an arm 10 to which the hands 8 and 9 are connected, a swing arm 11 to which the arms 10 are connected, It is provided with the main body part 12 to which the swing arm 11 is connected. The robot 1 of this form is provided with two hands 8 and 9. The hands 8 and 9 are rotatably connected to the arm 10 . Specifically, the hands 8 and 9 are connected to the tip side of the arm 10 so that rotation is possible. The arm 10 is rotatably connected to the distal end side of the swing arm 11 . Specifically, the proximal end side of the arm 10 is connected to the distal end side of the swing arm 11 so that rotation is possible. The proximal end side of the swing arm 11 is rotatably connected to the body portion 12 .

암(10)은, 2개의 핸드(8, 9)의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부(13, 14)와, 2개의 선단측 암부(13, 14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부(15)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(10)은 2개의 선단측 암부(13, 14)와 1개의 공통 암부(15)에 의해 구성되어 있다.The arm 10 includes two distal side arms 13 and 14 to which each of the two hands 8 and 9 is rotatably connected to the distal end side, and the proximal end side of the two distal side arm portions 13 and 14. While being connected so that this rotation is possible, the common arm part 15 connected to the tip side of the swing arm 11 so that rotation is possible is provided. The arm 10 of this form is constituted by two distal side arm portions 13 and 14 and one common arm portion 15.

핸드(8)는 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(9)는 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 핸드(8)는 제1 핸드이고, 핸드(9)는 제2 핸드이다. 또한 본 형태의 선단측 암부(13)는 제1 선단측 암부이고, 선단측 암부(14)는 제2 선단측 암부이다.The hand 8 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 13 . The hand 9 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 14 . Hand 8 of this form is the first hand, and hand 9 is the second hand. In addition, the distal arm 13 of this embodiment is a first distal arm, and the distal arm 14 is a second distal arm.

핸드(8)는 선단측 암부(13)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 핸드(9)는 선단측 암부(14)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 선단측 암부(13, 14)는 공통 암부(15)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 공통 암부(15)는 스윙 암(11)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 즉, 암(10)은 스윙 암(11)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 스윙 암(11)은 본체부(12)에 대해 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동 가능하게 되어 있다.The hand 8 can rotate with respect to the distal end side arm 13 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The hand 9 can rotate with respect to the distal end side arm 14 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The distal end side arms 13 and 14 can rotate with respect to the common arm 15 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The common arm portion 15 is capable of rotating with respect to the swing arm 11 in the vertical direction as an axial direction of rotation. That is, the arm 10 can rotate with respect to the swing arm 11 in the vertical direction as an axial direction of rotation. The swing arm 11 can rotate with respect to the main body 12 in the vertical direction as an axial direction of rotation.

핸드(8)는 핸드(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 선단측 암부(13)는 핸드(8)보다도 상측에 배치되어 있다. 선단측 암부(14)는 핸드(9)보다도 하측에 배치되어 있다. 공통 암부(15)는 선단측 암부(14)보다도 하측에 배치되어 있다. 즉, 선단측 암부(13, 14)는 공통 암부(15)보다도 상측에 배치되어 있다. 공통 암부(15)는 스윙 암(11)보다도 상측에 배치되어 있다. 즉, 암(10)은 스윙 암(11)보다도 상측에 배치되어 있다. 스윙 암(11)은 본체부(12)보다도 상측에 배치되어 있다.The hand 8 is disposed above the hand 9 . The distal end side arm portion 13 is disposed above the hand 8 . The distal end side arm portion 14 is arranged lower than the hand 9 . The common arm portion 15 is disposed lower than the distal end side arm portion 14 . That is, the distal end side arms 13 and 14 are disposed above the common arm unit 15 . The common arm portion 15 is disposed above the swing arm 11 . That is, the arm 10 is disposed above the swing arm 11 . The swing arm 11 is disposed above the main body 12 .

본체부(12)는, 바닥이 있는 원통형으로 형성되는 케이스체(16)(도 3 참조)와, 케이스체(16)의 상단부의 개구를 덮는 덮개체(17)로 구성되어 있다. 덮개체(17)의 외경은 케이스체(16)의 외경보다도 크게 되어 있다. 덮개체(17)의 외주측 부분은, 케이스체(16)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부(17a)로 되어 있다. 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동 중심을 암 회동 중심 C라 하면, 상하 방향으로부터 보았을 때 챔버(4)의 중심과 암 회동 중심 C가 일치해 있다. 즉, 챔버(4)의 중심과 암 회동 중심 C가 일치하도록 본체부(12)가 설치되어 있다.The body portion 12 is composed of a case body 16 (see Fig. 3) formed in a cylindrical shape with a bottom, and a cover body 17 covering the opening of the upper end of the case body 16. The outer diameter of the cover body 17 is larger than the outer diameter of the case body 16 . The outer peripheral side portion of the cover body 17 is a flange portion 17a extending outward in the radial direction of the case body 16 . Assuming that the center of rotation of the swing arm 11 with respect to the body portion 12 is the center of arm rotation C, the center of the chamber 4 and the center of arm rotation C coincide with each other when viewed from the vertical direction. That is, the body portion 12 is provided so that the center of the chamber 4 and the arm rotation center C coincide.

본 형태에서는, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 상측의 부분은 챔버(4) 안에 배치되어 있고, 핸드(8, 9), 암(10) 및 스윙 암(11)은 챔버(4) 안에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 내(진공 중)에 배치되어 있다(도 3 참조). 한편, 로봇(1)의, 플랜지부(17a)의 하면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 내(대기 중)에 배치되어 있다.In this embodiment, a portion of the robot 1 above the lower surface of the flange portion 17a is disposed in the chamber 4, and the hands 8 and 9, the arms 10 and the swing arm 11 are placed in the chamber. It is placed in (4). That is, the part above the lower surface of the flange portion 17a of the robot 1 is arranged in the vacuum region VR (in a vacuum) (see Fig. 3). On the other hand, the part lower than the lower surface of the flange part 17a of the robot 1 is arrange|positioned in the standby area AR (in standby).

핸드(8, 9)는, 암(10)에 연결되는 기부(18)와, 기판(2)이 탑재되는 포크부(19)를 구비하고 있다. 핸드(8)의 기부(18)는 선단측 암부(13)의 선단측에 회동 가능하게 연결되고, 핸드(9)의 기부(18)는 선단측 암부(14)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 포크부(19)는 기부(18)로부터 수평 방향으로 돌출하도록 기부(18)에 고정되어 있다. 기판(2)은 포크부(19)의 선단측 부분에 탑재된다. 본 형태에서는, 챔버(5, 6)의 깊이가 깊게 되어 있고 포크부(19)의 길이는 길게 되어 있다. 즉, 핸드(8, 9)의 길이는 길게 되어 있다.The hands 8 and 9 have a base 18 connected to the arm 10 and a fork 19 on which the substrate 2 is mounted. The base 18 of the hand 8 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 13, and the base 18 of the hand 9 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 14. has been The fork portion 19 is fixed to the base 18 so as to protrude from the base 18 in a horizontal direction. The substrate 2 is mounted on the tip side portion of the fork portion 19 . In this embodiment, the depth of the chambers 5 and 6 is deep, and the length of the fork part 19 is long. That is, the lengths of the hands 8 and 9 are long.

선단측 암부(13, 14)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 타원 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 공통 암부(15)는 대략 V 형상의 블록형으로 형성되어 있다. 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부(15)의 중심 부분(정점 부분)은 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암부(15)의 한쪽 선단측에 선단측 암부(13)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되고, 공통 암부(15)의 다른 쪽 선단측에 선단측 암부(14)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 스윙 암(11)은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있다.The distal end side arm portions 13 and 14 are formed in a block shape with a relatively thin thickness in the vertical direction while the shape when viewed from the vertical direction becomes an elongated oval shape. The common arm portion 15 is formed in a substantially V-shaped block shape. The center portion (apex portion) of the common arm portion 15 formed in a substantially V shape is connected to the distal end side of the swing arm 11 so that rotation is possible. Further, the proximal end of the distal arm 13 is rotatably connected to one front end side of the common arm 15 formed in a substantially V shape, and the distal arm 14 is connected to the other distal end of the common arm 15. The base end side of is connected so that rotation is possible. The swing arm 11 is formed in a block shape with a relatively thin vertical thickness while being a thin and long rectangular shape when viewed from the vertical direction.

선단측 암부(13, 14) 및 공통 암부(15)는 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 암(10)은 중공형으로 형성되어 있다. 또한 스윙 암(11)은 중공형으로 형성되어 있다. 중공형으로 형성되는 선단측 암부(13, 14)의 내부는 진공으로 되어 있다. 한편, 중공형으로 형성되는 공통 암부(15) 및 스윙 암(11)의 내부는 대기압으로 되어 있다.The front side arm portions 13 and 14 and the common arm portion 15 are formed in a hollow shape. That is, the arm 10 is formed in a hollow shape. Also, the swing arm 11 is formed in a hollow shape. The inside of the front side arm parts 13 and 14 formed in a hollow shape is made into a vacuum. On the other hand, the inside of the hollow common arm portion 15 and the swing arm 11 is at atmospheric pressure.

수평 방향에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 거리와, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심과 선단측 암부(13)에 대한 핸드(8)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있고, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 거리와, 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심과 선단측 암부(14)에 대한 핸드(9)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있다. 또한 수평 방향에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 거리와, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 거리가 동등하게 되어 있다.In the horizontal direction, the distance between the center of rotation of the common arm 15 with respect to the swing arm 11 and the center of rotation of the arm 13 on the distal end side with respect to the common arm 15, and the distal end side with respect to the common arm 15 The distance between the center of rotation of the arm 13 and the center of rotation of the hand 8 with respect to the distal arm 13 is equal, and the center of rotation of the common arm 15 with respect to the swing arm 11 and the common arm ( 15), the distance between the center of rotation of the distal arm 14 and the center of rotation of the distal arm 14 with respect to the common arm 15 and the center of rotation of the hand 9 with respect to the distal arm 14 distances are equal. Further, in the horizontal direction, the distance between the center of rotation of the common arm 15 with respect to the swing arm 11 and the center of rotation of the distal arm 13 with respect to the common arm 15 and the common arm 11 with respect to the swing arm 11 The distance between the center of rotation of the arm portion 15 and the center of rotation of the distal end side arm portion 14 with respect to the common arm portion 15 is equal.

암(10)은, 스윙 암(11)과 공통 암부(15)의 연결부인 관절부(20)로부터 핸드(8, 9)의 선단(구체적으로는 포크부(19)의 선단)이 이격되도록 신장하는 위치와, 핸드(8, 9)의 선단이 관절부(20)에 접근하도록 수축하는 위치 사이에서 스윙 암(11)에 대해 신축 가능하게 되어 있다. 본 형태에서는, 관절부(20)로부터 핸드(8)의 선단이 이격되도록 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신장할 때는, 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분은 수축해 있고, 관절부(20)로부터 핸드(9)의 선단이 이격되도록 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신장할 때는, 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분은 수축해 있다. 스윙 암(11)에 대해 암(10)이 신축할 때는, 핸드(8, 9)는 스윙 암(11)에 대해 일정 방향을 향한 상태에서 수평 방향으로 직선적으로 이동한다.The arm 10 extends so that the ends of the hands 8 and 9 (specifically, the tip of the fork 19) are spaced apart from the joint portion 20, which is a connection portion between the swing arm 11 and the common arm portion 15. It is made extensible with respect to the swing arm 11 between the position and the position where the tips of the hands 8 and 9 contract so as to approach the joint portion 20. In this embodiment, when the part on the distal arm 13 side of the arm 10 is extended so that the tip of the hand 8 is separated from the joint 20, the distal arm 14 of the arm 10 The part on the side is contracted, and when the part on the distal end side of the arm 14 is extended so that the distal end of the hand 9 is separated from the joint part 20, the distal side of the arm 10 The portion on the side of the arm portion 13 is contracted. When the arm 10 expands and contracts with respect to the swing arm 11, the hands 8 and 9 move linearly in a horizontal direction with respect to the swing arm 11 in a state in which they are oriented in a certain direction.

(암 구동 기구, 스윙 암 구동 기구 및 브레이크 기구 등의 구성)(Configuration of arm driving mechanism, swing arm driving mechanism, brake mechanism, etc.)

도 2, 도 3에 도시한 바와 같이 로봇(1)은, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암(10)을 회동시키는 암 구동 기구(24)와, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)을 회동시키는 스윙 암 구동 기구(25)와, 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동을 정지시키기 위한 브레이크 기구(26)와, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)을 승강시키는 스윙 암 승강 기구(27)를 구비하고 있다.As shown in Figs. 2 and 3, the robot 1 linearly moves the hands 8 and 9 relative to the swing arm 11 in the horizontal direction, and moves the arm 10 relative to the swing arm 11. arm drive mechanism 24 for rotating the swing arm 11 with respect to the body portion 12, the swing arm drive mechanism 25 for rotating the swing arm 11 relative to the body portion 12, A brake mechanism 26 for stopping and a swing arm lifting mechanism 27 for lifting the swing arm 11 relative to the main body 12 are provided.

암 구동 기구(24)는 스윙 암(11)에 대해 암(10)을 신축시켜 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴(즉, 암(10)을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴)과 함께 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 암 구동 기구(24)는, 공통 암부(15)에 대해 선단측 암부(13)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(13)에 대해 핸드(8)를 회동시키는 제1 구동 기구(31)와, 공통 암부(15)에 대해 선단측 암부(14)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(14)에 대해 핸드(9)를 회동시키는 제2 구동 기구(32)와, 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시키는 제3 구동 기구(33)를 구비하고 있다.The arm driving mechanism 24 moves the hands 8 and 9 linearly in a horizontal direction by extending and contracting the arm 10 relative to the swing arm 11 (that is, by extending and contracting the arm 10, the swing arm 11 The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 together with the hands 8 and 9 linearly moving in the horizontal direction relative to each other. The arm driving mechanism 24 includes a first drive mechanism 31 for rotating the hand 8 relative to the distal arm 13 while rotating the distal arm 13 relative to the common arm 15; The swing arm 11 and the second drive mechanism 32 for rotating the hand 9 relative to the distal arm 14 while rotating the distal arm 14 relative to the common arm 15 are common. A third drive mechanism 33 for rotating the arm portion 15 is provided.

제1 구동 기구(31)는, 모터(34)와, 모터(34)에 연결되는 감속기(35)를 구비하고 있다. 감속기(35)는 중공 파동 기어 장치이며, 공통 암부(15)와 선단측 암부(13)의 연결부에 배치되어 있다. 또한 제1 구동 기구(31)는, 감속기(35)의 입력축에 고정되는 풀리(36)와, 선단측 암부(13)의 기단부측의 내부에 배치되는 풀리(37)와, 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(38)를 구비하고 있다. 풀리(37)의 피치원 직경과 풀리(38)의 피치원 직경의 비는 1:2로 설정되어 있다.The first drive mechanism 31 includes a motor 34 and a reduction gear 35 connected to the motor 34 . The reduction gear 35 is a hollow wave gear device, and is disposed in the connecting portion of the common arm portion 15 and the distal arm portion 13. Further, the first drive mechanism 31 includes a pulley 36 fixed to the input shaft of the reduction gear 35, a pulley 37 disposed inside the proximal end side of the distal arm 13, and the distal arm 13 ) is provided with a pulley 38 disposed on the inside of the front end side. The ratio of the pitch circle diameter of the pulley 37 and the pitch circle diameter of the pulley 38 is set to 1:2.

모터(34)는 서보 모터이며, 모터(34)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(34)는 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(34)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(36)에는 벨트(40)가 걸려 있다. 감속기(35)의 출력축에는, 원통형으로 형성되는 회동축(41)의 하단부가 고정되어 있다. 회동축(41)의 상단부는 선단측 암부(13)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 감속기(35)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.The motor 34 is a servo motor and has an encoder for detecting the rotational position of the motor 34 . The motor 34 is disposed inside the common arm portion 15. A pulley is fixed to the output shaft of the motor 34 . A belt 40 is hung on the pulley and the pulley 36 . The lower end of the rotational shaft 41 formed in a cylindrical shape is fixed to the output shaft of the reducer 35 . The upper end of the pivot shaft 41 is fixed to the lower surface of the proximal end of the arm 13 on the distal end. A magnetic fluid seal is disposed on the outer circumferential side of the output shaft of the reducer 35 .

선단측 암부(13)의 기단부측의 내부에는, 풀리(37)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(37)는 고정 부재(42)에 의해 공통 암부(15)의 한쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(42)는 선단측 암부(13) 및 공통 암부(15)의 외부에 배치되어 있다. 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에는, 풀리(38)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(38)의 하단부에는 핸드(8)의 기부(18)가 고정되어 있다. 풀리(37)와 풀리(38)에는 벨트(43)가 걸려 있다.A support shaft for supporting the pulley 37 so as to be able to rotate is provided inside the proximal end side of the distal end side arm portion 13 . The pulley 37 is fixed to one end side of the common arm portion 15 by a fixing member 42 . The fixing member 42 is disposed outside the distal arm 13 and the common arm 15 . A support shaft for supporting the pulley 38 so as to be able to rotate is provided inside the front end side of the front end side arm portion 13 . The base 18 of the hand 8 is fixed to the lower end of the pulley 38 . A belt 43 is hung on the pulleys 37 and 38.

제2 구동 기구(32)는 제1 구동 기구(31)와 거의 마찬가지로 구성되어 있으며, 모터(44)와, 모터(44)에 연결되는 감속기(45)를 구비하고 있다. 감속기(45)는 중공 파동 기어 장치이며, 공통 암부(15)와 선단측 암부(14)의 연결부에 배치되어 있다. 또한 제2 구동 기구(32)는, 감속기(45)의 입력축에 고정되는 풀리(46)와, 선단측 암부(14)의 기단부측의 내부에 배치되는 풀리(47)와, 선단측 암부(13)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(48)를 구비하고 있다. 풀리(47)의 피치원 직경과 풀리(48)의 피치원 직경의 비는 1:2로 설정되어 있다.The 2nd drive mechanism 32 is comprised substantially similarly to the 1st drive mechanism 31, and is equipped with the motor 44, and the reduction gear 45 connected to the motor 44. The reduction gear 45 is a hollow wave gear device, and is disposed in the connecting portion of the common arm portion 15 and the distal arm portion 14. Further, the second drive mechanism 32 includes a pulley 46 fixed to the input shaft of the reduction gear 45, a pulley 47 disposed inside the proximal end side of the distal arm 14, and the distal arm 13 ) is provided with a pulley 48 disposed on the inside of the front end side. The ratio of the pitch circle diameter of the pulley 47 and the pitch circle diameter of the pulley 48 is set to 1:2.

모터(44)는 서보 모터이며, 모터(44)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(44)는 공통 암부(15)의 내부에 배치되어 있다. 모터(44)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(46)에는 벨트(50)가 걸려 있다. 감속기(45)의 출력축은 선단측 암부(14)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 감속기(45)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.The motor 44 is a servo motor and has an encoder for detecting the rotational position of the motor 44 . The motor 44 is disposed inside the common arm portion 15. A pulley is fixed to the output shaft of the motor 44 . A belt 50 is hung on the pulley and the pulley 46 . The output shaft of the reduction gear 45 is fixed to the lower surface of the proximal end side of the distal end side arm part 14 . A magnetic fluid seal is disposed on the outer circumferential side of the output shaft of the reducer 45 .

선단측 암부(14)의 기단부측의 내부에는, 풀리(47)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(47)는 고정 부재(52)에 의해 공통 암부(15)의 다른 쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(52)는 선단측 암부(14) 및 공통 암부(15)의 외부에 배치되어 있다. 선단측 암부(14)의 선단측의 내부에는, 풀리(48)를 회동 가능하게 지지하는 지지축이 설치되어 있다. 풀리(48)의 상단부에는 핸드(9)의 기부(18)가 고정되어 있다. 풀리(47)와 풀리(48)에는 벨트(53)가 걸려 있다.A support shaft for supporting the pulley 47 so as to be able to rotate is installed inside the proximal end of the distal end side arm portion 14 . The pulley 47 is fixed to the other distal end side of the common arm portion 15 by a fixing member 52 . The fixing member 52 is disposed outside the front arm portion 14 and the common arm portion 15 . Inside the tip side of the tip side arm 14, a support shaft for supporting the pulley 48 so as to be able to rotate is provided. The base 18 of the hand 9 is fixed to the upper end of the pulley 48 . A belt 53 is hung on the pulleys 47 and 48.

제3 구동 기구(33)는, 모터(54)와, 모터(54)에 연결되는 감속기(55)와, 감속기(55)의 입력축에 고정되는 풀리(56)를 구비하고 있다. 감속기(55)는 중공 파동 기어 장치이며, 관절부(20)에 배치되어 있다. 모터(54)는 서보 모터이며, 모터(54)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(54)는 스윙 암(11)의 내부에 배치되어 있다. 모터(54)의 출력축에는 풀리가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(56)에는 벨트(58)가 걸려 있다. 감속기(55)의 출력축은, 공통 암부(15)의 기단부(중심부)의 하면에 고정되어 있다. 감속기(55)의 출력축의 외주측에는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.The 3rd drive mechanism 33 is provided with the motor 54, the reduction gear 55 connected to the motor 54, and the pulley 56 fixed to the input shaft of the reduction gear 55. The reducer 55 is a hollow wave gear device and is disposed on the joint portion 20 . The motor 54 is a servo motor and has an encoder for detecting the rotational position of the motor 54. The motor 54 is disposed inside the swing arm 11. A pulley is fixed to the output shaft of the motor 54. A belt 58 is hung on this pulley and the pulley 56. The output shaft of the reduction gear 55 is fixed to the lower surface of the proximal end (center portion) of the common arm portion 15 . A magnetic fluid seal is disposed on the outer circumferential side of the output shaft of the reducer 55.

스윙 암 구동 기구(25)는, 모터(62)와, 모터(62)에 연결되는 감속기(63)와, 감속기(63)의 입력축에 고정되는 풀리(64)를 구비하고 있다. 감속기(63)는 중공 파동 기어 장치이다. 모터(62)는 서보 모터이며, 모터(62)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 모터(62) 및 감속기(63)는 케이스체(16)의 내부에 배치되어 있다. 모터(62)의 출력축에는 풀리(65)가 고정되어 있다. 풀리(64)와 풀리(65)에는 벨트(66)가 걸려 있다. 감속기(63)의 출력축에는, 원통형으로 형성되는 회동축(68)의 하단부가 고정되어 있다. 회동축(68)의 상단부는 스윙 암(11)의 기단부측의 하면에 고정되어 있다. 덮개체(17)의 중심에는, 회동축(68)이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 회동축(68)의 외주측에는 자성 유체 시일 및 벨로즈가 배치되어 있다.The swing arm driving mechanism 25 includes a motor 62, a reduction gear 63 coupled to the motor 62, and a pulley 64 fixed to an input shaft of the reduction gear 63. Reducer 63 is a hollow wave gear device. The motor 62 is a servo motor and has an encoder for detecting the rotational position of the motor 62. The motor 62 and the reduction gear 63 are disposed inside the case body 16 . A pulley 65 is fixed to the output shaft of the motor 62 . A belt 66 is hung on the pulleys 64 and 65. To the output shaft of the reduction gear 63, the lower end of the rotational shaft 68 formed in a cylindrical shape is fixed. The upper end of the pivot shaft 68 is fixed to the lower surface of the proximal end of the swing arm 11 . At the center of the lid body 17, a through hole is formed in which the pivot shaft 68 is disposed. A magnetic fluid seal and a bellows are disposed on the outer circumferential side of the pivot shaft 68 .

브레이크 기구(26)는 무여자 작동형 전자 브레이크이다. 브레이크 기구(26)는, 모터(62)의 회전축에 고정되는 회전판과, 회전판을 사이에 두고 배치되는 제동판 및 아마추어와, 아마추어를 회전판을 향해 가압하는 압축 코일 스프링 등의 스프링 부재와, 코일이 권회되는 요크를 구비하고 있다. 브레이크 기구(26)에서는, 코일이 무여자 상태일 때 제동력이 작용하고, 코일이 여자 상태일 때 제동력이 작용하지 않는다.The brake mechanism 26 is a non-energized electromagnetic brake. The brake mechanism 26 includes a rotating plate fixed to the rotating shaft of the motor 62, a braking plate and an armature disposed with the rotating plate interposed therebetween, a spring member such as a compression coil spring that presses the armature toward the rotating plate, and a coil. A wound yoke is provided. In the brake mechanism 26, a braking force acts when the coil is in a non-excited state, and no braking force acts when the coil is in an excited state.

스윙 암 승강 기구(27)는 스윙 암 구동 기구(25)와 함께 스윙 암(11)을 승강시킨다. 스윙 암 승강 기구(27)는 케이스체(16)의 내부에 배치되어 있다. 스윙 암 승강 기구(27)는, 모터(70)와, 모터(70)의 동력으로 회전하는 볼 나사(71)와, 볼 나사(71)의 나사축에 고정되는 풀리(72)를 구비하고 있다. 모터(70)는 서보 모터이며, 모터(70)의 회전 위치를 검지하기 위한 인코더를 구비하고 있다. 볼 나사(71)의 나사축은 케이스체(16)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 볼 나사(71)의 너트 부재는, 스윙 암 구동 기구(25)를 보유 지지하는 가동 프레임(73)에 고정되어 있다. 모터(70)의 출력축에는 풀리(74)가 고정되어 있다. 풀리(72)와 풀리(74)에는 벨트(75)가 걸려 있다.The swing arm lifting mechanism 27 lifts the swing arm 11 together with the swing arm driving mechanism 25 . The swing arm lifting mechanism 27 is arranged inside the case body 16 . The swing arm lifting mechanism 27 includes a motor 70, a ball screw 71 that rotates with the power of the motor 70, and a pulley 72 fixed to a screw shaft of the ball screw 71. . The motor 70 is a servo motor and has an encoder for detecting the rotational position of the motor 70 . The screw shaft of the ball screw 71 is rotatably held by the case body 16 . A nut member of the ball screw 71 is fixed to a movable frame 73 holding the swing arm drive mechanism 25 . A pulley 74 is fixed to the output shaft of the motor 70 . A belt 75 is hung on the pulleys 72 and 74.

(로봇의 동작)(robot motion)

도 4, 도 5는, 도 1에 도시하는 로봇(1)의, 스윙 암(11)의 회동 동작 시의 상태를 설명하기 위한 평면도이다.4 and 5 are plan views for explaining the state at the time of the rotation operation of the swing arm 11 of the robot 1 shown in FIG. 1 .

챔버(5)에 기판(2)을 반입하는 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5)로부터 기판(2)을 반출하는 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8, 9)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(8, 9)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)이 신축한다. 구체적으로는, 챔버(5)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(8)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신축하여, 핸드(8)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동하거나, 또는 핸드(9)의 선단이 후방측에 배치됨과 함께 핸드(9)의 기단이 전방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신축하여, 핸드(9)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동한다.At the time of carrying in the substrate 2 into the chamber 5 and at the time of carrying the substrate 2 out of the chamber 5, the tips of the hands 8 and 9 Along with being arranged on the rear side, the arm 10 expands and contracts in a state where the base ends of the hands 8 and 9 are arranged on the front side. Specifically, when the substrate 2 is loaded into the chamber 5 and when the substrate 2 is taken out of the chamber 5, the front end of the hand 8 is disposed on the rear side, and the hand 8 In a state where the base end of the arm 10 is disposed on the front side, the portion on the distal end side arm 13 side of the arm 10 expands and contracts, and the hand 8 moves linearly in the forward and backward directions while facing a certain direction, or With the front end of (9) disposed on the rear side and the base end of the hand 9 disposed on the front side, the portion of the arm 10 on the front arm portion 14 side expands and contracts, and the hand 9 It moves in a straight line forward and backward while facing a certain direction.

마찬가지로 챔버(6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드(8)의 선단이 전방측에 배치됨과 함께 핸드(8)의 기단이 후방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(13)측의 부분이 신축하여, 핸드(8)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동하거나, 또는 핸드(9)의 선단이 전방측에 배치됨과 함께 핸드(9)의 기단이 후방측에 배치된 상태에서 암(10)의, 선단측 암부(14)측의 부분이 신축하여, 핸드(9)가 일정 방향을 향한 상태에서 전후 방향으로 직선적으로 이동한다. 즉, 핸드(8, 9)의 기단으로부터 핸드(8, 9)의 선단을 향하는 핸드(8, 9)의 긴 변 방향을 핸드 긴 변 방향으로 하면, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 핸드 긴 변 방향과 전후 방향이 일치한 상태에서 핸드(8, 9)가 전후 방향으로 직선적으로 이동하도록 암(10)이 신축한다.Similarly, when the substrate 2 is loaded into the chamber 6 and when the substrate 2 is taken out of the chamber 6, the front end of the hand 8 is placed on the front side, and the base end of the hand 8 is In the state of being arranged on the rear side, the part of the arm 10 on the side of the distal arm 13 expands and contracts, and the hand 8 moves linearly in the forward and backward direction while facing in a certain direction, or the hand 9 moves in a straight line. With the front end of the arm 9 positioned on the front side and the base end of the hand 9 positioned on the rear side, the arm 10 on the side of the arm 14 on the front end expands and contracts, and the hand 9 rotates in a certain direction. It moves in a straight line in the front-back direction while facing. That is, if the long side direction of the hands 8 and 9 from the proximal end of the hands 8 and 9 to the tips of the hands 8 and 9 is the hand long side direction, the substrate 2 to the chambers 5 and 6 Arms ( 10) expands and contracts.

챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 정지해 있다. 즉, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 정지해 있는 상태에서 핸드(8, 9)가 스윙 암(11)에 대해 전후 방향으로 직선적으로 이동한다. 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에는, 브레이크 기구(26)의 코일은 무여자 상태로 되어 있다. 즉, 브레이크 기구(26)는, 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에 작동하여 본체부(12)에 대한 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다.The swing arm 11 is stopped relative to the main body 12 when the substrate 2 is loaded into the chambers 5 and 6 and when the substrate 2 is taken out of the chambers 5 and 6 . That is, when the substrate 2 is loaded into the chambers 5 and 6 and when the substrate 2 is taken out of the chambers 5 and 6, the swing arm 11 stops relative to the main body 12. In the present state, the hands 8 and 9 linearly move in the forward and backward directions with respect to the swing arm 11. When the substrate 2 is loaded into the chambers 5 and 6 and when the substrate 2 is taken out of the chambers 5 and 6, the coil of the brake mechanism 26 is in a non-energized state. That is, the brake mechanism 26 is operated when the substrate 2 is loaded into the chambers 5 and 6 and when the substrate 2 is taken out of the chambers 5 and 6, and the The rotation stop state of the swing arm 11 is maintained.

본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제1 구동 기구(31) 및 제2 구동 기구(32)는 정지해 있다. 즉, 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는 모터(34, 44)가 정지해 있어 스윙 암(11)에 대해 암(10)은 신축하지 않는다. 또한 본체부(12)에 대해 스윙 암(11)이 회동할 때는, 암(10)은 수축해 있어 핸드(8)와 핸드(9)가 상하 방향에서 겹쳐져 있다. 이때는 핸드(8)의 포크부(19) 바로 아래에 핸드(9)의 포크부(19)가 배치되어 있다.When the swing arm 11 rotates with respect to the body portion 12, the first drive mechanism 31 and the second drive mechanism 32 are stationary. That is, when the swing arm 11 rotates with respect to the body portion 12, the motors 34 and 44 are stopped, and the arm 10 does not expand or contract with respect to the swing arm 11. Further, when the swing arm 11 rotates with respect to the body portion 12, the arm 10 is contracted so that the hand 8 and the hand 9 overlap each other in the vertical direction. At this time, the fork part 19 of the hand 9 is disposed directly below the fork part 19 of the hand 8 .

예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 4의 (A) 내지 (C)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향과 일치해 있다.For example, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed on the rear side of the arm rotation center C, as shown in FIGS. 4(A) to (C) The direction of the long side of the hand is inclined with respect to the front-back direction. Specifically, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed on the rear side of the arm rotation center C, the long side direction of the hand is inclined by 90° with respect to the front-back direction. The direction of the long side coincides with the left-right direction.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 후방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 좌측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed on the rear side of the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 changes the direction of the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to be constant. For example, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed on the rear side of the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 operates on the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to maintain the state with the tip facing to the left.

또한, 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 5의 (A) 내지 (C)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 전후 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향과 일치해 있다.Further, for example, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is arranged on the front side of the arm rotation center C, as shown in FIGS. 5(A) to (C) As shown, the direction of the long side of the hand is inclined with respect to the front-back direction. Specifically, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed on the front side of the arm rotation center C, the long side direction of the hand is inclined by 90° with respect to the front-back direction, and the hand The direction of the long side coincides with the left-right direction.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 전방측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 우측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed forward from the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 changes the direction of the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to be constant. For example, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed forward from the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 operates on the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to keep the state with the tip facing to the right.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 4의 (D) 내지 (F)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 전후 방향과 일치해 있다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed to the right of the arm rotation center C, the long side of the hand is shown in (D) to (F) of FIGS. The direction is inclined with respect to the left-right direction. Specifically, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the right of the arm rotation center C, the long side direction of the hand is inclined by 90° with respect to the left and right directions, The side direction coincides with the front-back direction.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 우측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 후방측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the right of the arm rotation center C, the direction of the hands 8 and 9 in the third drive mechanism 33 is constant. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to be For example, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the right of the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 moves the tip ends of the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to maintain this rearward state.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 도 5의 (D) 내지 (F)에 도시한 바와 같이 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 경사져 있다. 구체적으로는, 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 핸드 긴 변 방향은 좌우 방향에 대해 90° 경사져 있으며, 핸드 긴 변 방향은 전후 방향과 일치해 있다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the front end side of the swing arm 11 is disposed to the left of the arm rotation center C, the long side of the hand is shown in (D) to (F) of FIGS. The direction is inclined with respect to the left-right direction. Specifically, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the left of the arm rotation center C, the long side direction of the hand is inclined by 90° with respect to the left and right directions, The side direction coincides with the front-back direction.

또한 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때는, 제3 구동 기구(33)는 핸드(8, 9)의 방향이 일정해지도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다. 예를 들어 스윙 암(11)의 선단측이 암 회동 중심 C보다도 좌측에 배치되어 있는 상태에서 스윙 암(11)이 회동할 때 제3 구동 기구(33)는, 핸드(8, 9)의 선단이 전방측을 향한 상태를 유지하도록 스윙 암(11)에 대해 공통 암부(15)를 회동시킨다.Further, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the left of the arm rotation center C, the direction of the hands 8 and 9 in the third drive mechanism 33 is constant. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to be For example, when the swing arm 11 rotates in a state where the tip side of the swing arm 11 is disposed to the left of the arm rotation center C, the third drive mechanism 33 moves the tip ends of the hands 8 and 9. The common arm portion 15 is rotated relative to the swing arm 11 so as to maintain this frontward state.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 챔버(5, 6)로의 기판(2)의 반입 시, 및 챔버(5, 6)로부터의 기판(2)의 반출 시에, 무여자 작동형 전자 브레이크인 브레이크 기구(26)가 작동하여 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하고 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)가 직선적으로 이동하는 기판(2)의 반입 시나 반출 시에 로봇(1)을 비상 정지시켜도 브레이크 기구(26)에 의해 스윙 암(11)의 회동 정지 상태를 유지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 로봇(1)을 비상 정지시켰을 때, 스윙 암(11)에 대해 직선적으로 이동하는 핸드(8, 9)가 예기치 못한 방향으로 이동하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, the hands 8 and 9 move linearly with respect to the swing arm 11 at the time of carrying the substrate 2 into the chambers 5 and 6, and from the chambers 5 and 6. When the board|substrate 2 is unloaded, the brake mechanism 26 which is an electromagnetic brake of non-excitation operation type operates, and the swing arm 11 maintains the rotation stop state. For this reason, in this embodiment, the hands 8 and 9 swing with the brake mechanism 26 even if the robot 1 is emergency stopped at the time of loading or unloading of the board 2 in which the hands 8 and 9 linearly move with respect to the swing arm 11. It becomes possible to maintain the rotation stop state of the arm 11. Therefore, in this embodiment, when the robot 1 is emergency stopped, it becomes possible to suppress the hands 8 and 9 moving linearly with respect to the swing arm 11 from moving in an unexpected direction.

(로봇의 변경예 1)(Robot change example 1)

상술한 형태에 있어서, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이, 로봇(1)은 암(10) 대신, 제1 암 및 제2 암과, 제1 암 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부로 구성되는 암을 구비하고 있어도 된다. 즉, 로봇(1)은 이른바 더블 암형 로봇이어도 된다. 이 경우에는, 제1 암 및 제2 암은, 선단측에 핸드(8, 9)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부와, 선단측 암부의 기단부측이 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 기단부측이 암 지지부에 회동 가능하게 연결되는 기단부측 암부로 구성되어 있다. 또한 암 지지부는 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다.In the form described above, like the industrial robot described in Patent Document 1 described above, in the robot 1, instead of the arm 10, the first arm and the second arm rotate, and the proximal ends of the first arm and the second arm rotate. You may be provided with the arm comprised by the arm support part connected possibly. That is, the robot 1 may be a so-called double arm type robot. In this case, the first arm and the second arm have a distal end arm portion to which the hands 8 and 9 are rotatably connected to the distal end side, and a proximal end portion of the proximal end arm portion connected to the distal end side so as to be able to rotate. It consists of a proximal end side arm part which side is rotatably connected to the arm support part. Moreover, the arm support part is connected to the tip side of the swing arm 11 so that rotation is possible.

이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암 지지부에 대해 제1 암을 신축시키는 구동 기구(구체적으로는, 암 지지부에 대해 기단부측 암부를 회동시키고, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께, 선단측 암부에 대해 핸드(8)를 회동시키는 구동 기구)와, 암 지지부에 대해 제2 암을 신축시키는 구동 기구(구체적으로는, 암 지지부에 대해 기단부측 암부를 회동시키고, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께, 선단측 암부에 대해 핸드(9)를 회동시키는 구동 기구)와, 스윙 암(11)에 대해 암 지지부를 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 이 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.In this modified example, the arm drive mechanism for moving the hands 8 and 9 linearly in the horizontal direction relative to the swing arm 11 and rotating the arm relative to the swing arm 11 is configured to first relative to the arm support. A drive mechanism for extending and retracting the arm (specifically, a drive mechanism for rotating the proximal arm portion with respect to the arm support, rotating the distal arm portion with respect to the proximal arm portion, and rotating the hand 8 with respect to the distal arm portion) ), and a drive mechanism for extending and contracting the second arm with respect to the arm support (specifically, the proximal arm is rotated with respect to the arm support, and the proximal arm is rotated with respect to the proximal arm, and the proximal arm is rotated with respect to the distal arm). A drive mechanism for rotating the hand 9 and a drive mechanism for rotating the arm support with respect to the swing arm 11 are provided. This arm driving mechanism linearly moves the hands 8 and 9 in the horizontal direction with respect to the swing arm 11 by extending and contracting the arm.

(로봇의 변경예 2)(Robot change example 2)

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 1개의 핸드(8)만을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 로봇(1)은 암(10) 대신, 선단측에 핸드(8)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부와, 선단측 암부의 기단부측이 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 기단부측이 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 기단부측 암부로 구성되는 암을 구비하고 있다. 즉, 로봇(1)은 이른바 싱글 암형 로봇이어도 된다.In the form described above, the robot 1 may have only one hand 8 . In this case, instead of the arm 10, the robot 1 has a distal end arm portion to which the hand 8 is rotatably connected to the distal end side, and a proximal end portion of the distal arm portion rotatably connected to the distal end side, and a proximal end portion. Equipped with an arm composed of a proximal end side arm portion connected to the distal end side of the swing arm 11 so as to be able to rotate. That is, the robot 1 may be a so-called single arm type robot.

이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 기단부측 암부에 대해 선단측 암부를 회동시킴과 함께 선단측 암부에 대해 핸드(8)를 회동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 기단부측 암부를 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 이 암 구동 기구는 암을 신축시킴으로써 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킨다.In this modified example, the arm drive mechanism for linearly moving the hand 8 relative to the swing arm 11 in the horizontal direction and rotating the arm relative to the swing arm 11 is configured such that the distal arm portion is relative to the proximal arm portion. A drive mechanism for rotating the hand 8 with respect to the distal end side arm portion while rotating the arm portion, and a drive mechanism for rotating the proximal end side arm portion with respect to the swing arm 11 are provided. This arm driving mechanism linearly moves the hands 8 and 9 in the horizontal direction with respect to the swing arm 11 by extending and contracting the arm.

(로봇의 변경예 3)(Robot change example 3)

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 암(10) 대신, 예를 들어 일본 특허 공개 제2019-25585호 공보에 개시된 산업용 로봇의 암과 같이, 핸드(8, 9)의 수평 방향으로의 직선적인 왕복 이동이 가능해지도록 핸드(8, 9)를 보유 지지하는 가늘고 긴 대략 직육면체형 암을 구비하고 있어도 된다. 즉, 로봇(1)은, 수평 방향으로의 슬라이드가 가능해지도록 핸드(8, 9)가 암에 연결된, 이른바 리니어 타입의 로봇이어도 된다.In the form described above, instead of the arm 10, the robot 1 has straight lines in the horizontal direction of the hands 8 and 9, for example, like the arm of an industrial robot disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2019-25585. An elongated substantially rectangular parallelepiped arm for holding and holding the hands 8 and 9 may be provided so as to enable reciprocating motion. That is, the robot 1 may be a so-called linear robot in which the hands 8 and 9 are connected to arms so as to be able to slide in the horizontal direction.

이 변경예에서는, 예를 들어 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되는 암의 중심부가 스윙 암(11)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 이 변경예에서는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8, 9)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암에 대해 핸드(8)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 암에 대해 핸드(9)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다.In this modified example, the central part of the arm formed in the shape of an elongated substantially rectangular parallelepiped is connected to the distal end side of the swing arm 11 so that rotation is possible. Further, in this modified example, the arm driving mechanism for moving the hands 8 and 9 linearly in the horizontal direction with respect to the swing arm 11 and rotating the arms relative to the swing arm 11 includes the hand ( 8), a drive mechanism for linearly reciprocating the hand 9 with respect to the arm, and a drive mechanism for rotating the arm relative to the swing arm 11 are provided.

또한 이 변경예에 있어서, 로봇(1)은 1개의 핸드(8)만을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 스윙 암(11)에 대해 핸드(8)를 수평 방향으로 직선적으로 이동시킴과 함께 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 암 구동 기구는, 암에 대해 핸드(8)를 직선적으로 왕복 이동시키는 구동 기구와, 스윙 암(11)에 대해 암을 회동시키는 구동 기구를 구비하고 있다.In this modified example, the robot 1 may have only one hand 8 . In this case, the arm driving mechanism for moving the hand 8 linearly with respect to the swinging arm 11 in the horizontal direction and rotating the arm relative to the swinging arm 11 linearly moves the hand 8 relative to the arm. A drive mechanism for reciprocating and a drive mechanism for rotating the arm with respect to the swing arm 11 are provided.

(다른 실시 형태)(another embodiment)

상술한 형태 및 변경예는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-mentioned forms and modifications are examples of suitable forms of the present invention, they are not limited thereto, and various modifications and implementations are possible within a range that does not change the gist of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 브레이크 기구(26)의 회전판은 모터(62)의 회전축 이외의 개소에 고정되어 있어도 된다. 예를 들어 브레이크 기구(26)의 회전판은 감속기(63)의 입력축에 고정되어 있어도 된다. 또한 브레이크 기구(26)의 회전판은 감속기(63)의 출력축에 고정되어 있어도 되고, 회동축(68)에 고정되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 챔버(4)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 직사각 형상이 되는 대략 직육면체 상자형으로 형성되어 있어도 된다.In the form described above, the rotating plate of the brake mechanism 26 may be fixed to a location other than the rotating shaft of the motor 62 . For example, the rotary plate of the brake mechanism 26 may be fixed to the input shaft of the reduction gear 63. In addition, the rotation plate of the brake mechanism 26 may be fixed to the output shaft of the reduction gear 63, or may be fixed to the rotational shaft 68. Further, in the above-described form, the chamber 4 may be formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape in which the shape when viewed from the vertical direction becomes a rectangular shape.

상술한 형태에 있어서, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(13)의 회동 중심의 수평 방향의 거리와, 스윙 암(11)에 대한 공통 암부(15)의 회동 중심과 공통 암부(15)에 대한 선단측 암부(14)의 회동 중심의 수평 방향의 거리가 달라도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 선단측 암부(13)의 길이와 선단측 암부(14)의 길이가 달라도 된다. 예를 들어 선단측 암부(13)가 선단측 암부(14)보다 길게 되어 있어도 된다.In the form described above, the distance in the horizontal direction between the center of rotation of the common arm 15 with respect to the swing arm 11 and the center of rotation of the distal end arm 13 with respect to the common arm 15, and the swing arm 11 The horizontal distance between the center of rotation of the common arm 15 and the center of rotation of the distal end side arm 14 with respect to the common arm 15 may be different. Moreover, in the form mentioned above, the length of the front side arm part 13 and the length of the front side arm part 14 may differ. For example, the distal side arm portion 13 may be longer than the distal side arm portion 14 .

상술한 형태에서는, 공통 암부(15)는 대략 V 형상의 블록형으로 형성되어 있지만, 공통 암부(15)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이, 가늘고 긴 타원 형상 또는 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록형으로 형성되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유리 기판 이외의 것이어도 된다. 예를 들어 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 반도체 웨이퍼 등이어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 대기 중에서 반송 대상물을 반송해도 된다.In the form described above, the common arm portion 15 is formed in a substantially V-shaped block shape, but the common arm portion 15 has an elongated elliptical shape or a rectangular shape when viewed from the vertical direction, and the vertical direction may be formed in a block shape with a relatively thin thickness. Moreover, in the aspect mentioned above, the conveyance target object conveyed by the robot 1 may be things other than a glass substrate. For example, the object to be conveyed by the robot 1 may be a semiconductor wafer or the like. Moreover, in the aspect mentioned above, the robot 1 may convey the object to be conveyed in the air.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5: 챔버(프로세스 챔버, 수용부)
8: 핸드(제1 핸드)
9: 핸드(제2 핸드)
10: 암
11: 스윙 암
12: 본체부
13: 선단측 암부(제1 선단측 암부)
14: 선단측 암부(제2 선단측 암부)
15: 공통 암부
24: 암 구동 기구
25: 스윙 암 구동 기구
26: 브레이크 기구
31: 제1 구동 기구
32: 제2 구동 기구
33: 제3 구동 기구1: robots (industrial robots)
2: Substrate (glass substrate, object to be conveyed)
5: chamber (process chamber, receiving part)
8: hand (first hand)
9: hand (second hand)
10: cancer
11: swing arm
12: body part
13: distal side arm portion (first distal side arm portion)
14: distal side arm (second distal side arm)
15: common dark part
24: arm driving mechanism
25: swing arm drive mechanism
26: brake mechanism
31: first drive mechanism
32: second driving mechanism
33 third driving mechanism

Claims

A hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is connected, a swing arm rotatably connected to the tip side of the arm with the up and down direction as the rotation axis direction, and the up and down direction as the rotation axis direction. a main body portion to which the proximal end side of the swing arm is rotatably connected, an arm driving mechanism for linearly moving the hand in a horizontal direction with respect to the swing arm and rotating the arm with respect to the swing arm; a swing arm drive mechanism for rotating the swing arm with respect to the swing arm; and a brake mechanism for stopping rotation of the swing arm with respect to the body portion;
At the time of carrying in the object to be conveyed into the accommodating part where the object to be conveyed is accommodated, and at the time of unloading of the object to be conveyed from the accommodating part, the hand moves with the swing arm in a state in which the swing arm is stopped with respect to the main body. move linearly with respect to the swing arm;
The industrial robot according to claim 1 , wherein the brake mechanism maintains a rotation stop state of the swing arm by operating at the time of the carrying in and the time of the carrying out.

According to claim 1,
The brake mechanism is an industrial robot, characterized in that the non-energized electromagnetic brake.

According to claim 1 or 2
The hand is rotatably connected to the front end side of the arm with the vertical direction as the axial direction of rotation,
The proximal end side of the arm is rotatably connected to the front end side of the swing arm with the vertical direction serving as an axial direction of rotation;
The industrial robot according to claim 1 , wherein the arm driving mechanism linearly moves the hand in a horizontal direction with respect to the swing arm by extending and contracting the arm.

According to claim 3,
having two said hands;
The arm pivots to the tip side of the swing arm when the two distal arm parts, each of the two hands, are rotatably connected to the distal end side, and the proximal end sides of the two distal arm parts are rotatably connected. It has a common arm part that is connected possibly,
One of the two hands is referred to as a first hand, the other hand is referred to as a second hand, the distal arm to which the first hand is connected is referred to as a first distal arm, and the second hand If the distal side arm to which is connected is referred to as the second distal side arm,
The arm driving mechanism includes a first drive mechanism for rotating the first hand with respect to the first distal arm while rotating the first distal arm with respect to the common arm, and the first driving mechanism with respect to the common arm. 2. A second driving mechanism for rotating the distal arm and rotating the second hand relative to the second distal arm, and a third driving mechanism for rotating the common arm relative to the swing arm. industrial robots.