JP6313963B2

JP6313963B2 - Industrial robot

Info

Publication number: JP6313963B2
Application number: JP2013254738A
Authority: JP
Inventors: 矢澤　隆之; 隆之矢澤; 佳久増澤
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2013-01-07
Filing date: 2013-12-10
Publication date: 2018-04-18
Anticipated expiration: 2033-12-10
Also published as: JP2014144527A

Description

本発明は、真空中で使用される産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot used in a vacuum.

従来、真空中で基板を搬送する真空ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の真空ロボットは、基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に連結されるアームと、アームの基端側が連結される本体部とを備えている。アームは、本体部に回動可能に連結されるアームベースと、その基端側がアームベースに回動可能に連結される第１アームと、その基端側が第１アームの先端側に回動可能に連結される第２アームとを備えている。また、アームは、その基端側がアームベースに回動可能に連結される第１リンクと、その基端側が第１リンクの先端側に回動可能に連結される第２リンクと、第１アームの先端側と第１リンクの先端側とを繋ぐ第１連結リンクと、第２アームの先端側と第２リンクの先端側とを繋ぐ第２連結リンクとを備えている。 Conventionally, a vacuum robot that transports a substrate in a vacuum is known (for example, see Patent Document 1). The vacuum robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a substrate is mounted, an arm to which the hand is coupled to the distal end side, and a main body unit to which the proximal end side of the arm is coupled. The arm includes an arm base that is pivotably connected to the main body, a first arm whose base end is rotatably connected to the arm base, and a base end that is pivotable to the distal end side of the first arm. And a second arm connected to the second arm. The arm has a first link whose base end side is rotatably connected to the arm base, a second link whose base end side is rotatably connected to the tip side of the first link, and a first arm. A first connection link that connects the front end side of the first link and the front end side of the first link, and a second connection link that connects the front end side of the second arm and the front end side of the second link.

特許文献１に記載の真空ロボットでは、アームベースおよび第１アームは、中空状に形成されている。また、第２アーム、第１リンク、第２リンク、第１連結リンクおよび第２連結リンクも中空状に形成されている。アームベースの内部には、アームを駆動するアーム駆動用モータと、アーム駆動用モータの回転を減速して第１アームへ伝達する第１減速機が配置されている。第１減速機の出力軸には、第１アームの基端側が固定されている。第１アームの先端側には、アーム駆動用モータの回転を減速して第２アームへ伝達する第２減速機が配置されている。第２減速機の出力軸には、第２アームの基端側が固定されている。 In the vacuum robot described in Patent Document 1, the arm base and the first arm are formed in a hollow shape. The second arm, the first link, the second link, the first connection link, and the second connection link are also formed in a hollow shape. An arm drive motor that drives the arm and a first speed reducer that decelerates the rotation of the arm drive motor and transmits it to the first arm are disposed inside the arm base. The base end side of the first arm is fixed to the output shaft of the first speed reducer. A second speed reducer that decelerates the rotation of the arm driving motor and transmits it to the second arm is disposed on the distal end side of the first arm. The proximal end side of the second arm is fixed to the output shaft of the second reduction gear.

また、特許文献１に記載の真空ロボットでは、本体部の一部が真空容器の底面に固定されており、アームおよびハンドは、真空中に配置されている。中空状に形成されるアームベースおよび第１アームの内部空間では、気密性が確保されており、アームベースおよび第１アームの内部空間は、大気圧となっている。すなわち、アーム駆動用モータ、第１減速機および第２減速機は、大気中に配置されている。一方、第２アーム、第１リンク、第２リンク、第１連結リンクおよび第２連結リンクには、それらの内部空間に通じる開口部が形成されており、第２アーム、第１リンク、第２リンク、第１連結リンクおよび第２連結リンクの内部空間は真空となっている。すなわち、アームベースと第１リンクとを回動可能に連結する軸受や、第１リンクと第２リンクとを回動可能に連結する軸受等は、真空中に配置されている。 Further, in the vacuum robot described in Patent Document 1, a part of the main body is fixed to the bottom surface of the vacuum container, and the arm and the hand are arranged in a vacuum. Airtightness is ensured in the internal space of the arm base and the first arm formed in a hollow shape, and the internal space of the arm base and the first arm is at atmospheric pressure. That is, the arm driving motor, the first reduction gear, and the second reduction gear are arranged in the atmosphere. On the other hand, the second arm, the first link, the second link, the first connection link, and the second connection link are formed with an opening that communicates with the internal space, and the second arm, the first link, and the second link. The internal spaces of the link, the first connection link, and the second connection link are in a vacuum. That is, a bearing that rotatably connects the arm base and the first link, a bearing that rotatably connects the first link and the second link, and the like are disposed in a vacuum.

特開２０１１−１０１９１２号公報JP 2011-101912 A

特許文献１に記載の真空ロボットでは、アームが真空中に配置されていても、アームベースおよび第１アームの内部空間が大気圧となっているため、アームベースの内部に配置されるアーム駆動用モータを冷却することが可能になる。また、この真空ロボットでは、ハンドに搭載される基板の温度が高くても、アームベースおよび第１アームを内部から冷却して、アームベースや第１アームの温度上昇を抑制することが可能になる。したがって、アームベースや第１アームの熱膨張を抑制することが可能になる。さらに、この真空ロボットでは、アームが真空中に配置されていても、アーム駆動用モータ、第１減速機および第２減速機が大気中に配置されているため、アーム駆動用モータ、第１減速機および第２減速機の潤滑剤として、真空グリース等の高価な潤滑剤を使用する必要がなく、大気圧中で使用されるグリース等の潤滑剤を使用すれば良い。したがって、真空ロボットの初期コストおよびランニングコストを低減することが可能になる。 In the vacuum robot described in Patent Document 1, even if the arm is disposed in a vacuum, since the internal space of the arm base and the first arm is at atmospheric pressure, the arm drive disposed in the arm base is used. It becomes possible to cool the motor. In addition, in this vacuum robot, even if the temperature of the substrate mounted on the hand is high, it is possible to cool the arm base and the first arm from the inside to suppress the temperature rise of the arm base and the first arm. . Therefore, it is possible to suppress thermal expansion of the arm base and the first arm. Further, in this vacuum robot, even if the arm is disposed in a vacuum, the arm driving motor, the first reduction device, and the second reduction device are disposed in the atmosphere. It is not necessary to use an expensive lubricant such as a vacuum grease as a lubricant for the machine and the second reduction gear, and a lubricant such as a grease used at atmospheric pressure may be used. Therefore, the initial cost and running cost of the vacuum robot can be reduced.

しかしながら、この真空ロボットでは、アームを構成する第２アーム、第１リンク、第２リンク、第１連結リンクおよび第２連結リンクの内部空間が真空となっているため、ハンドに搭載される基板の温度が高いと、第２アーム、第１リンクおよび第２リンク等の温度が高くなって、第２アーム、第１リンクおよび第２リンク等の熱膨張量が大きくなるおそれがある。第２アーム、第１リンクおよび第２リンク等の熱膨張量が大きくなると、ハンドに搭載されて搬送される基板が、本来の目標到達位置から大きくずれるおそれがある。 However, in this vacuum robot, the internal space of the second arm, the first link, the second link, the first connection link and the second connection link constituting the arm is in a vacuum, so that the substrate mounted on the hand If the temperature is high, the temperatures of the second arm, the first link, the second link, and the like may increase, and the amount of thermal expansion of the second arm, the first link, the second link, and the like may increase. When the amount of thermal expansion of the second arm, the first link, the second link, and the like increases, the substrate mounted on the hand and transported may be greatly deviated from the original target arrival position.

また、この真空ロボットでは、アームベースと第１リンクとを回動可能に連結する軸受や、第１リンクと第２リンクとを回動可能に連結する軸受等が真空中に配置されているため、ハンドに搭載される基板の温度が高いと、これらの軸受の温度が上昇して、これらの軸受の寿命が低下するおそれがある。また、これらの軸受が真空中に配置されているため、これらの軸受の潤滑剤として、真空グリース等の高価な潤滑剤を使用しなければならない。したがって、この真空ロボットでは、初期コストおよびランニングコストが高くなる。 Further, in this vacuum robot, a bearing that rotatably connects the arm base and the first link, a bearing that rotatably connects the first link and the second link, and the like are disposed in a vacuum. If the temperature of the substrate mounted on the hand is high, the temperature of these bearings may increase, and the life of these bearings may be reduced. Further, since these bearings are arranged in a vacuum, an expensive lubricant such as vacuum grease must be used as a lubricant for these bearings. Therefore, with this vacuum robot, the initial cost and running cost are high.

そこで、本発明の課題は、ハンドに搭載されて真空中で搬送される搬送対象物の温度が高くても、搬送対象物の目標到達位置からのずれを抑制して搬送対象物の搬送精度を高めること、および、初期コストおよびランニングコストを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, the problem of the present invention is to suppress the deviation of the conveyance object from the target arrival position and improve the conveyance accuracy of the conveyance object even if the temperature of the conveyance object mounted on the hand and conveyed in vacuum is high. An object of the present invention is to provide an industrial robot capable of increasing the initial cost and running cost.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、本体部と、本体部にその基端側が回動可能に連結される第１アーム部と第１アーム部の先端側にその基端側が回動可能に連結される第２アーム部とから構成されるアームと、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンドと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第１モータと、第２アーム部に対してハンドを回動させるための第２モータと、第１モータの回転を減速して第２アーム部に伝達する第１減速機と、第２モータの回転を減速してハンドに伝達する第２減速機と、第１減速機の出力側に固定される中空回転軸とを備え、ハンドとアームとは、真空中に配置され、第２アーム部は、第１アーム部よりも上側に配置され、第１アーム部と第２アーム部とから構成されるアームの全体は、中空状に形成され、アームの内部空間は、大気圧となっており、第１減速機は、第１アーム部と第２アーム部とを繋ぐ第１関節部の少なくとも一部を構成するとともに第１アーム部の内部に配置され、第２減速機は、第２アーム部とハンドとを繋ぐ第２関節部の少なくとも一部を構成するとともに第２アーム部の内部に配置され、第１モータおよび第２モータは、第１アーム部の内部に配置され、第１減速機は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機であるとともに、貫通孔の軸中心と中空回転軸の軸中心とが一致するように配置され、中空回転軸の下端は、第１減速機の出力側に固定され、中空回転軸の上端は、第２アーム部の基端側の下面に固定されていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, an industrial robot of the present invention includes a main body, a first arm that is pivotally connected to the main body, and a proximal end of the first arm that is proximal to the first arm. An arm composed of a second arm part whose side is pivotably connected, a hand pivotally connected to the tip side of the second arm part, and a second arm part with respect to the first arm part A first motor for rotating, a second motor for rotating the hand with respect to the second arm portion, and a first reducer for reducing the rotation of the first motor and transmitting it to the second arm portion A second reduction gear that decelerates the rotation of the second motor and transmits it to the hand, and a hollow rotary shaft that is fixed to the output side of the first reduction gear . The hand and the arm are arranged in a vacuum, The second arm portion is disposed above the first arm portion, and the first arm portion and the second arm portion Whole et constituted arm is formed in a hollow shape, the interior space of the arm is adapted to the atmospheric pressure, the first speed reducer, the first joint portion connecting the first arm portion and a second arm portion The second reducer constitutes at least a part of the second joint part that connects the second arm part and the hand, and is disposed in the first arm part. The first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion, and the first speed reducer is a hollow speed reducer in which a through hole is formed in the center in the radial direction, and penetrates the first motor and the second motor. The axial center of the hole and the axial center of the hollow rotary shaft are arranged to coincide with each other, the lower end of the hollow rotary shaft is fixed to the output side of the first reduction gear, and the upper end of the hollow rotary shaft is It is fixed to the lower surface of the base end side .

本発明の産業用ロボットでは、アームの全体が中空状に形成され、アームの内部空間が大気圧となっている。そのため、本発明では、ハンドに搭載されて真空中で搬送される搬送対象物の温度が高くても、アームの内部からアームの全体を冷却して、アーム全体の温度上昇を抑制することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドに搭載されて真空中で搬送される搬送対象物の温度が高くても、アーム全体の熱膨張を抑制することが可能になり、その結果、搬送対象物の目標到達位置からのずれを抑制して搬送対象物の搬送精度を高めることが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the entire arm is formed in a hollow shape, and the internal space of the arm is at atmospheric pressure. Therefore, in the present invention, even if the temperature of the object to be transported mounted in the hand and transported in vacuum is high, it is possible to cool the entire arm from the inside of the arm and suppress the temperature rise of the entire arm. become. Therefore, in the present invention, even if the temperature of the object to be transported mounted in the hand and transported in vacuum is high, it is possible to suppress the thermal expansion of the entire arm, and as a result, the target reach of the object to be transported is achieved. It is possible to suppress the deviation from the position and increase the conveyance accuracy of the conveyance object.

また、本発明では、アームの全体が中空状に形成され、アームの内部空間が大気圧となっているため、ハンドに搭載されて真空中で搬送される搬送対象物の温度が高くても、アームの内部に配置される全ての軸受の温度上昇を抑制して、これらの軸受の寿命の低下を抑制することが可能になる。また、本発明では、アームの内部空間が大気圧となっているため、アームの内部に配置されるモータや減速機の潤滑剤として、真空グリース等の高価な潤滑剤ではなく、大気圧中で使用されるグリース等の潤滑剤を使用することが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットの初期コストおよびランニングコストを低
減することが可能になる。 Further, in the present invention, the entire arm is formed in a hollow shape and the internal space of the arm is at atmospheric pressure, so even if the temperature of the object to be transported mounted in the hand and transported in vacuum is high, It is possible to suppress the temperature rise of all the bearings arranged inside the arm and to suppress the decrease in the life of these bearings. In the present invention, since the internal space of the arm is at atmospheric pressure, it is not an expensive lubricant such as vacuum grease as a lubricant for motors and reduction gears arranged inside the arm, but at atmospheric pressure. It becomes possible to use a lubricant such as grease to be used. Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the initial cost and running cost of the industrial robot.

また、本発明では、産業用ロボットは、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第１モータと、第２アーム部に対してハンドを回動させるための第２モータと、第１モータの回転を減速して第２アーム部に伝達する第１減速機と、第２モータの回転を減速してハンドに伝達する第２減速機とを備え、第１減速機は、第１アーム部と第２アーム部とを繋ぐ第１関節部の少なくとも一部を構成するとともに第１アーム部の内部に配置され、第２減速機は、第２アーム部とハンドとを繋ぐ第２関節部の少なくとも一部を構成するとともに第２アーム部の内部に配置されている。また、第１モータおよび第２モータは、第１アーム部の内部に配置されている。 In the present invention , the industrial robot includes a first motor for rotating the second arm portion relative to the first arm portion, and a second motor for rotating the hand relative to the second arm portion. And a first speed reducer that decelerates the rotation of the first motor and transmits it to the second arm portion, and a second speed reducer that decelerates the rotation of the second motor and transmits it to the hand. , Constituting at least a part of the first joint part that connects the first arm part and the second arm part, and disposed inside the first arm part, and the second reduction gear connects the second arm part and the hand. thereby forming at least a part of the second joint portion that is disposed inside the second arm portion. Further, the first motor and the second motor, that is located inside the first arm portion.

本発明では、第１減速機が第１関節部の少なくとも一部を構成し、第２減速機が第２関節部の少なくとも一部を構成しているため、第１関節部および第２関節部の剛性を高めることが可能になる。また、第１モータおよび第２モータが第１アーム部の内部に配置されているため、第２アームを小型化することが可能になる。ここで、第２モータが第１アーム部の内部に配置されていると、第２モータからハンドまでの動力の伝達経路が長くなるが、第２減速機が第２関節部の少なくとも一部を構成しているため、第２減速機の出力側にハンドを直接固定することが可能になる。したがって、たとえば、第２減速機が第１関節部を構成するように配置され、第２減速機とハンドとがベルトおよびプーリを介して接続される場合と比較して、ハンドの停止精度を高めることが可能になり、その結果、搬送対象物の搬送精度を高めることが可能になる。
In the present invention, the first speed reducer constitutes at least a part of the first joint part, and the second speed reducer constitutes at least a part of the second joint part. Therefore, the first joint part and the second joint part It becomes possible to increase the rigidity of the. Further , since the first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion, the second arm can be reduced in size. Here, when the second motor is arranged inside the first arm portion, the power transmission path from the second motor to the hand becomes long, but the second reduction gear reduces at least a part of the second joint portion. Since it comprises, a hand can be directly fixed to the output side of a 2nd reduction gear. Therefore, for example, the second reduction gear is arranged so as to constitute the first joint portion, and the stopping accuracy of the hand is improved as compared with the case where the second reduction gear and the hand are connected via the belt and the pulley. As a result, it becomes possible to improve the conveyance accuracy of the conveyance object.

本発明において、産業用ロボットは、アームの内部空間に配置される冷却機構を備えることが好ましい。このように構成すると、アームの内部からアームの全体を効果的に冷却して、アーム全体の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot preferably includes a cooling mechanism disposed in the internal space of the arm. If comprised in this way, it will become possible to cool the whole arm effectively from the inside of an arm, and to suppress the temperature rise of the whole arm effectively.

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、ハンドに搭載されて真空中で搬送される搬送対象物の温度が高くても、搬送対象物の目標到達位置からのずれを抑制して搬送対象物の搬送精度を高めること、および、初期コストおよびランニングコストを低減することが可能になる。 As described above, in the industrial robot according to the present invention, even when the temperature of the object to be transported mounted in the hand and transported in vacuum is high, the transport target is controlled by suppressing the deviation of the object to be transported from the target arrival position. It becomes possible to improve the conveyance accuracy of an object, and to reduce initial cost and running cost.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state in which the industrial robot concerning embodiment of this invention was integrated in the manufacturing system of the organic EL display. 図１に示す産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure of the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a top view, (B) is a side view. 図２に示す産業用ロボットの内部構造を側面から説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the internal structure of the industrial robot shown in FIG. 2 from a side surface. 図３に示す第１アーム部および関節部の拡大図である。It is an enlarged view of the 1st arm part and joint part which are shown in FIG. 図３に示す第２アーム部および関節部の拡大図である。It is an enlarged view of the 2nd arm part and joint part which are shown in FIG. 図１に示すプロセスチャンバーから基板を搬出して他のプロセスチャンバーへ搬入する際の産業用ロボットの動きを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a motion of the industrial robot at the time of carrying out a board | substrate from the process chamber shown in FIG. 1, and carrying in into another process chamber. 図１に示すプロセスチャンバーへ基板を搬入する際の産業用ロボットの動きを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a motion of the industrial robot at the time of carrying in a board | substrate to the process chamber shown in FIG. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot concerning other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１が有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図３は、図２に示す産業用ロボット１の内部構造を側面から説明するための断面図である。 (Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is incorporated in an organic EL display manufacturing system 3. 2A and 2B are views of the industrial robot 1 shown in FIG. 1, wherein FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a side view. FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the industrial robot 1 shown in FIG. 2 from the side.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、比較的大型の基板２の搬送に適したロボットである。ロボット１は、図１に示すように、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of this embodiment uses a glass substrate 2 (hereinafter referred to as “substrate 2”) for an organic EL (organic electroluminescence) display, which is an object to be transported. It is a robot for carrying. The robot 1 is a robot suitable for transporting a relatively large substrate 2. As shown in FIG. 1, the robot 1 is used by being incorporated in an organic EL display manufacturing system 3.

製造システム３は、中心に配置されるトランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー５〜１０（以下、「チャンバー５〜１０」とする。）とを備えている。チャンバー４およびチャンバー５〜１０の内部は、真空になっている。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のフォーク部２１がチャンバー５〜１０内に入り込むことで、ロボット１は、チャンバー５〜１０間で基板２を搬送する。すなわち、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。チャンバー５〜１０には、各種の装置等が配置されており、ロボット１で搬送された基板２が収容される。また、チャンバー５〜１０では、基板２に対して各種の処理が行われる。製造システム３のより具体的な構成については後述する。 The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”) disposed in the center and a plurality of process chambers 5 to 10 (hereinafter referred to as “chambers 5 to 10” disposed so as to surround the chamber 4. ")"). The insides of the chamber 4 and the chambers 5 to 10 are in a vacuum. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. When a fork unit 21 (described later) constituting the robot 1 enters the chambers 5 to 10, the robot 1 transports the substrate 2 between the chambers 5 to 10. That is, the robot 1 transports the substrate 2 in a vacuum. Various devices and the like are arranged in the chambers 5 to 10, and the substrate 2 transported by the robot 1 is accommodated. In the chambers 5 to 10, various processes are performed on the substrate 2. A more specific configuration of the manufacturing system 3 will be described later.

図２、図３に示すように、ロボット１は、基板２が搭載されるハンド１３と、ハンド１３がその先端側に回動可能に連結されるアーム１４と、アーム１４の基端側が回動可能に連結される本体部１５と、本体部１５を昇降させる昇降機構１６とを備えている。本体部１５および昇降機構１６は、略有底円筒状のケース体１７の中に収容されている。ケース体１７の上端には、円板状に形成されたフランジ１８が固定されている。フランジ１８には、本体部１５の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。なお、図２（Ａ）では、本体部１５、昇降機構１６およびケース体１７等の図示を省略している。 As shown in FIGS. 2 and 3, the robot 1 includes a hand 13 on which the substrate 2 is mounted, an arm 14 to which the hand 13 is pivotally connected to a distal end side thereof, and a proximal end side of the arm 14 is rotated. The main body part 15 connected so that it is possible and the raising / lowering mechanism 16 which raises / lowers the main body part 15 are provided. The main body 15 and the lifting mechanism 16 are accommodated in a substantially bottomed cylindrical case body 17. A flange 18 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 17. The flange 18 is formed with a through hole in which the upper end portion of the main body 15 is disposed. In FIG. 2A, the main body 15, the lifting mechanism 16, the case body 17, and the like are not shown.

ハンド１３およびアーム１４は、本体部１５の上側に配置されている。また、ハンド１３およびアーム１４は、フランジ１８の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー４の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも上側の部分がチャンバー４の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド１３およびアーム１４は、真空中に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１８の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。 The hand 13 and the arm 14 are disposed on the upper side of the main body 15. Further, the hand 13 and the arm 14 are disposed on the upper side of the flange 18. As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 18 is disposed inside the chamber 4. That is, the part above the lower end surface of the flange 18 of the robot 1 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 13 and the arm 14 are disposed in a vacuum. On the other hand, a portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 18 is disposed in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

ハンド１３は、アーム１４に連結される基部２０と、基板２が搭載される４本のフォーク部２１とを備えている。フォーク部２１は、直線状に形成されている。４本のフォーク部２１のうちの２本のフォーク部２１は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。この２本のフォーク部２１は、基部２０から水平方向の一方側へ突出するように基部２０に固定されている。残りの２本のフォーク部２１は、基部２０から水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１と反対側に向かって基部２０から突出するように基部２０に固定されている。 The hand 13 includes a base 20 connected to the arm 14 and four forks 21 on which the substrate 2 is mounted. The fork portion 21 is formed in a straight line. Of the four fork portions 21, two fork portions 21 are arranged in parallel with a predetermined distance therebetween. The two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 to one side in the horizontal direction. The remaining two fork portions 21 are fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 toward the opposite side of the two fork portions 21 protruding from the base portion 20 to one side in the horizontal direction.

アーム１４は、第１アーム部２３と第２アーム部２４との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部２３および第２アーム部２４は、中空状に形成されている。すなわち、アーム１４の全体は、中空状に形成されている。第１アーム部２３の基端側は、本体部１５に回動可能に連結されている。第１アーム部２３の先端側には、第２アーム部２４の基端側が回動可能に連結されている。すなわち、第１アーム部２３と第２アーム部２４は互いに相対回動可能に連結されている。第２アーム部２４の先端側には、ハンド１３が回動可能に連結されている。 The arm 14 is composed of two arm parts, a first arm part 23 and a second arm part 24. The first arm part 23 and the second arm part 24 are formed in a hollow shape. That is, the entire arm 14 is formed in a hollow shape. The base end side of the first arm portion 23 is rotatably connected to the main body portion 15. The proximal end side of the second arm portion 24 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 23. That is, the 1st arm part 23 and the 2nd arm part 24 are connected so that relative rotation is mutually possible. The hand 13 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 24.

アーム１４と本体部１５との連結部（すなわち、第１アーム部２３と本体部１５との連結部）は、関節部２５となっている。第１アーム部２３と第２アーム部２４との連結部は、関節部２６となっている。アーム１４とハンド１３との連結部（すなわち、第２アーム部２４とハンド１３との連結部）は、関節部２７となっている。第１アーム部２３に対する第２アーム部２４の回動中心と本体部１５に対する第１アーム部２３の回動中心との距離は、第１アーム部２３に対する第２アーム部２４の回動中心と第２アーム部２４に対するハンド１３の回動中心との距離と等しくなっている。本形態では、関節部２６は、第１アーム部２３と第２アーム部２４とを繋ぐ第１関節部であり、関節部２７は、第２アーム部２４とハンド１３とを繋ぐ第２関節部である。 A connecting portion between the arm 14 and the main body portion 15 (that is, a connecting portion between the first arm portion 23 and the main body portion 15) is a joint portion 25. A connecting portion between the first arm portion 23 and the second arm portion 24 is a joint portion 26. A connecting portion between the arm 14 and the hand 13 (that is, a connecting portion between the second arm portion 24 and the hand 13) is a joint portion 27. The distance between the rotation center of the second arm portion 24 relative to the first arm portion 23 and the rotation center of the first arm portion 23 relative to the main body portion 15 is the rotation center of the second arm portion 24 relative to the first arm portion 23. The distance from the center of rotation of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 is equal. In this embodiment, the joint part 26 is a first joint part that connects the first arm part 23 and the second arm part 24, and the joint part 27 is a second joint part that connects the second arm part 24 and the hand 13. It is.

第１アーム部２３は、本体部１５から水平方向の一方側へ伸びるように、本体部１５に取り付けられている。第１アーム部２３には、第１アーム部２３が伸びる方向と反対側（すなわち、水平方向の他方側）へ本体部１５から伸びるカウンターウエイト２８が取り付けられている。第２アーム部２４は、第１アーム部２３よりも上側に配置されている。また、ハンド１３は、第２アーム部２４よりも上側に配置されている。 The first arm portion 23 is attached to the main body portion 15 so as to extend from the main body portion 15 to one side in the horizontal direction. A counterweight 28 is attached to the first arm portion 23 so as to extend from the main body portion 15 on the side opposite to the direction in which the first arm portion 23 extends (that is, the other side in the horizontal direction). The second arm part 24 is disposed above the first arm part 23. Further, the hand 13 is disposed above the second arm portion 24.

本体部１５には、本体部１５に対して第１アーム部２３を回動させるためのモータ３１が取り付けられている。また、本体部１５は、第１アーム部２３の基端側が固定される中空回転軸３２と、モータ３１の回転を減速して第１アーム部２３に伝達する減速機３３と、減速機３３のケース体を保持するとともに中空回転軸３２を回動可能に保持する略円筒状の保持部材３４とを備えている。 A motor 31 for rotating the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 is attached to the main body portion 15. The main body 15 includes a hollow rotary shaft 32 to which the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed, a speed reducer 33 that decelerates the rotation of the motor 31 and transmits the reduced speed to the first arm portion 23, and the speed reducer 33. A substantially cylindrical holding member 34 that holds the case body and rotatably holds the hollow rotary shaft 32 is provided.

減速機３３は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。この減速機３３は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸３２の軸中心とが一致するように配置されている。減速機３３の入力側には、プーリおよびベルトを介してモータ３１が連結されている。減速機３３の出力側には、中空回転軸３２の下端が固定されている。中空回転軸３２の上端には、第１アーム部２３の基端側の下面が固定されている。中空回転軸３２は、保持部材３４の内周側に配置されており、中空回転軸３２の外周面と保持部材３４の内周面との間には軸受が配置されている。 The speed reducer 33 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction. The speed reducer 33 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 32. A motor 31 is connected to the input side of the speed reducer 33 via a pulley and a belt. The lower end of the hollow rotary shaft 32 is fixed to the output side of the speed reducer 33. A lower surface on the proximal end side of the first arm portion 23 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 32. The hollow rotary shaft 32 is disposed on the inner peripheral side of the holding member 34, and a bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34.

関節部２５には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール３５が配置されている。磁性流体シール３５は、中空回転軸３２の外周面と保持部材３４の内周面との間に配置されている。また、関節部２５には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐためのベローズ３６が配置されている。具体的には、磁性流体シール３５の外周側であって、かつ、保持部材３４の外周側にベローズ３６が配置されている。ベローズ３６の下端は、保持部材３４に固定され、ベローズ３６の上端は、フランジ１８に固定されている。昇降機構１６を構成する後述のモータ４０が回転して本体部１５が昇降すると、ベローズ３６が伸縮する。 A magnetic fluid seal 35 that prevents the outflow of air to the vacuum region VR is disposed at the joint portion 25. The magnetic fluid seal 35 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 32 and the inner peripheral surface of the holding member 34. In addition, a bellows 36 for preventing the outflow of air to the vacuum region VR is disposed at the joint portion 25. Specifically, a bellows 36 is disposed on the outer peripheral side of the magnetic fluid seal 35 and on the outer peripheral side of the holding member 34. The lower end of the bellows 36 is fixed to the holding member 34, and the upper end of the bellows 36 is fixed to the flange 18. When the below-described motor 40 constituting the elevating mechanism 16 rotates and the main body 15 moves up and down, the bellows 36 expands and contracts.

昇降機構１６は、上下方向を軸方向として配置されるネジ部材３８と、ネジ部材３８に係合するナット部材３９と、ネジ部材３８を回転させるモータ４０とを備えている。ネジ部材３８は、ケース体１７の底面側に回転可能に取り付けられている。モータ４０は、ケース体１７の底面側に取り付けられている。ネジ部材３８は、プーリおよびベルトを介してモータ４０に連結されている。ナット部材３９は、所定のブラケットを介して本体部１５に取り付けられている。本形態では、モータ４０が回転すると、ネジ部材３８が回転して、本体部１５がナット部材３９と一緒に昇降する。なお、昇降機構１６は、本体部１５を上下方向へ案内するためのガイド軸と、このガイド軸に係合して上下方向へスライドするガイドブロックとを備えている。 The elevating mechanism 16 includes a screw member 38 that is arranged with the vertical direction as an axial direction, a nut member 39 that engages with the screw member 38, and a motor 40 that rotates the screw member 38. The screw member 38 is rotatably attached to the bottom surface side of the case body 17. The motor 40 is attached to the bottom surface side of the case body 17. The screw member 38 is connected to the motor 40 via a pulley and a belt. The nut member 39 is attached to the main body 15 via a predetermined bracket. In this embodiment, when the motor 40 rotates, the screw member 38 rotates, and the main body 15 moves up and down together with the nut member 39. The lifting mechanism 16 includes a guide shaft for guiding the main body portion 15 in the vertical direction and a guide block that engages with the guide shaft and slides in the vertical direction.

（第１アーム部、第２アーム部の内部の構成および関節部の構成）
図４は、図３に示す第１アーム部２３および関節部２６の拡大図である。図５は、図３に示す第２アーム部２４および関節部２７の拡大図である。 (Internal configuration of first arm portion and second arm portion and configuration of joint portion)
FIG. 4 is an enlarged view of the first arm portion 23 and the joint portion 26 shown in FIG. FIG. 5 is an enlarged view of the second arm portion 24 and the joint portion 27 shown in FIG.

上述のように、第１アーム部２３および第２アーム部２４は、中空状に形成されている。中空状に形成される第１アーム部２３の内部空間４５には、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４を回動させるための第１モータとしてのモータ４６と、第２アーム部２４に対してハンド１３を回動させるための第２モータとしてのモータ４７とが配置されている。関節部２６は、モータ４６の回転を減速して第２アーム部２４に伝達する第１減速機としての減速機４８を備えている。減速機４８は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。また、関節部２６は、中空回転軸５０と、中空回転軸５０の外周側に、かつ、中空回転軸５０と同軸上に配置される中空回転軸５１とを備えている。なお、中空回転軸５０の外周面と中空回転軸５１の内周面との間には、軸受が配置されている。 As described above, the first arm portion 23 and the second arm portion 24 are formed in a hollow shape. In the internal space 45 of the hollow first arm portion 23, a motor 46 as a first motor for rotating the second arm portion 24 with respect to the first arm portion 23, and a second arm portion A motor 47 as a second motor for rotating the hand 13 with respect to 24 is arranged. The joint portion 26 includes a speed reducer 48 as a first speed reducer that decelerates the rotation of the motor 46 and transmits it to the second arm portion 24. The speed reducer 48 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction. The joint portion 26 includes a hollow rotary shaft 50 and a hollow rotary shaft 51 disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 50 and coaxially with the hollow rotary shaft 50. A bearing is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 50 and the inner peripheral surface of the hollow rotary shaft 51.

減速機４８の入力側には、プーリ５２、５３およびベルト５４を介してモータ４６が連結されている。減速機４８の出力側には、中空回転軸５１の下端が固定されている。減速機４８は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸５１の軸中心とが一致するように配置されている。中空回転軸５１の上端は、第２アーム部２４の基端側の下面に固定されている。減速機４８のケース体は、略円筒状に形成される保持部材５５に固定されている。保持部材５５は、第１アーム部２３の先端側に固定されている。また、保持部材５５は、中空回転軸５１の外周側に配置されている。モータ４６が回転すると、プーリ５２、５３、ベルト５４および減速機４８等を介してモータ４６の動力が第２アーム部２４の基端側に伝達されて、第２アーム部２４が回動する。 A motor 46 is connected to the input side of the speed reducer 48 via pulleys 52 and 53 and a belt 54. The lower end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the output side of the speed reducer 48. The speed reducer 48 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 51. The upper end of the hollow rotary shaft 51 is fixed to the lower surface on the proximal end side of the second arm portion 24. The case body of the speed reducer 48 is fixed to a holding member 55 formed in a substantially cylindrical shape. The holding member 55 is fixed to the distal end side of the first arm portion 23. The holding member 55 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 51. When the motor 46 rotates, the power of the motor 46 is transmitted to the base end side of the second arm portion 24 through the pulleys 52 and 53, the belt 54, the speed reducer 48, and the like, and the second arm portion 24 rotates.

中空回転軸５０の下端側には、プーリ５７が固定されている。モータ４７の出力軸には、プーリ５８が固定されている。プーリ５７とプーリ５８とには、ベルト５９が架け渡されている。中空回転軸５０の上端には、プーリ６０が固定されている。プーリ６０は、中空状に形成される第２アーム部２４の基端側の内部に配置されている。関節部２７は、モータ４７の回転を減速してハンド１３に伝達する第２減速機としての減速機６１と、中空回転軸６２とを備えている。減速機６１は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。 A pulley 57 is fixed to the lower end side of the hollow rotary shaft 50. A pulley 58 is fixed to the output shaft of the motor 47. A belt 59 is stretched between the pulley 57 and the pulley 58. A pulley 60 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 50. The pulley 60 is disposed inside the proximal end of the second arm portion 24 formed in a hollow shape. The joint portion 27 includes a speed reducer 61 as a second speed reducer that decelerates the rotation of the motor 47 and transmits it to the hand 13, and a hollow rotary shaft 62. The speed reducer 61 is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction.

減速機６１の入力側には、プーリ６３が固定されている。プーリ６０とプーリ６３とには、ベルト６４が架け渡されている。減速機６１の出力側には、中空回転軸６２の下端が固定されている。減速機６１は、その貫通孔の軸中心と中空回転軸６２の軸中心とが一致するように配置されている。中空回転軸６２の上端は、ハンド１３の基部２０の下面に固定されている。減速機６１のケース体は、略円筒状に形成される保持部材６５に固定されている。保持部材６５は、第２アーム部２４の先端側に固定されている。また、保持部材６５は、中空回転軸６２の外周側に配置されている。モータ４７が回転すると、プーリ５７、５８、６０、６３、ベルト５９、６４および減速機６１等を介してモータ４７の動力がハンド１３の基部２０に伝達されて、ハンド１３が回動する。 A pulley 63 is fixed to the input side of the speed reducer 61. A belt 64 is bridged between the pulley 60 and the pulley 63. The lower end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the output side of the speed reducer 61. The reduction gear 61 is arranged so that the axial center of the through hole coincides with the axial center of the hollow rotary shaft 62. The upper end of the hollow rotary shaft 62 is fixed to the lower surface of the base 20 of the hand 13. The case body of the speed reducer 61 is fixed to a holding member 65 formed in a substantially cylindrical shape. The holding member 65 is fixed to the distal end side of the second arm portion 24. The holding member 65 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 62. When the motor 47 rotates, the power of the motor 47 is transmitted to the base portion 20 of the hand 13 through the pulleys 57, 58, 60, 63, the belts 59, 64, the speed reducer 61, etc., and the hand 13 rotates.

第１アーム部２３の内部空間４５は密閉されており、内部空間４５の圧力は大気圧となっている。また、第２アーム部２４の内部空間６６も密閉されており、内部空間６６の圧力も大気圧となっている。すなわち、アーム１４の内部空間４５、６６は、大気圧となっている。なお、内部空間４５と内部空間６６とは、中空回転軸５０の内周側を介して通じている。また、第１アーム部２３の基端側の下面には、中空回転軸３２の内周側に通じる貫通孔（図示省略）が形成されており、内部空間４５は、大気圧となっている本体部１５の内部に通じている。 The internal space 45 of the first arm portion 23 is sealed, and the pressure in the internal space 45 is atmospheric pressure. The internal space 66 of the second arm portion 24 is also sealed, and the pressure in the internal space 66 is atmospheric pressure. That is, the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. The internal space 45 and the internal space 66 communicate with each other via the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 50. Further, a through hole (not shown) leading to the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 32 is formed on the lower surface on the proximal end side of the first arm portion 23, and the internal space 45 is a main body that is at atmospheric pressure. It communicates with the inside of the part 15.

上述のように、モータ４６、４７は、内部空間４５に配置されている。また、減速機４８は、第１アーム部２３の先端側において、内部空間４５に配置され、減速機６１は、第２アーム部２４の先端側において、内部空間６６に配置されている。すなわち、モータ４６、４７および減速機４８、６１は、大気中に配置されている。モータ４６には、モータ４６を冷却するための冷却用パイプ７０が巻回されている。この冷却用パイプ７０には、圧縮空気が供給可能となっており、冷却用パイプ７０の内部を通過する圧縮空気によって、モータ４６が冷却される。なお、本形態では、モータ４７の発熱量はモータ４６の発熱量に比べて小さいため、モータ４７には、冷却用パイプが巻回されていない。 As described above, the motors 46 and 47 are disposed in the internal space 45. The speed reducer 48 is disposed in the internal space 45 on the distal end side of the first arm portion 23, and the speed reducer 61 is disposed in the internal space 66 on the distal end side of the second arm portion 24. That is, the motors 46 and 47 and the speed reducers 48 and 61 are disposed in the atmosphere. A cooling pipe 70 for cooling the motor 46 is wound around the motor 46. The cooling pipe 70 can be supplied with compressed air, and the motor 46 is cooled by the compressed air passing through the inside of the cooling pipe 70. In this embodiment, since the amount of heat generated by the motor 47 is smaller than the amount of heat generated by the motor 46, no cooling pipe is wound around the motor 47.

関節部２６には、内部空間４５の密閉状態を確保するための磁性流体シール７１が配置され、関節部２７には、内部空間６６の密閉状態を確保するための磁性流体シール７２が配置されている。すなわち、関節部２６には、内部空間４５から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール７１が配置され、関節部２７には、内部空間６６から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール７２が配置されている。磁性流体シール７１は、中空回転軸５１の外周面と保持部材５５の内周面との間に配置され、磁性流体シール７２は、中空回転軸６２の外周面と保持部材６５の内周面との間に配置されている。なお、内部空間６６には、ベルト６４の張力を調整するためのテンションプーリ７３が配置され
ている。 A magnetic fluid seal 71 for securing the sealed state of the internal space 45 is disposed at the joint portion 26, and a magnetic fluid seal 72 for securing the sealed state of the internal space 66 is disposed at the joint portion 27. Yes. That is, the magnetic fluid seal 71 that prevents the air from flowing out from the internal space 45 to the vacuum region VR is disposed in the joint portion 26, and the air flow from the internal space 66 to the vacuum region VR is prevented in the joint portion 27. A magnetic fluid seal 72 is disposed. The magnetic fluid seal 71 is disposed between the outer peripheral surface of the hollow rotating shaft 51 and the inner peripheral surface of the holding member 55, and the magnetic fluid seal 72 is formed between the outer peripheral surface of the hollow rotating shaft 62 and the inner peripheral surface of the holding member 65. It is arranged between. Note that a tension pulley 73 for adjusting the tension of the belt 64 is disposed in the internal space 66.

（製造システムの構成）
上述のように、製造システム３は、チャンバー４を囲むように配置される複数のチャンバー５〜１０を備えている。本形態の製造システム３では、チャンバー４を囲むように６個のチャンバー５〜１０が配置されている。以下では、図１において、互いに直交する３つの方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とする。ロボット１は、その上下方向がＺ方向と一致するように配置されている。したがって、以下では、Ｚ方向を上下方向とする。また、以下では、Ｘ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側とする。 (Production system configuration)
As described above, the manufacturing system 3 includes the plurality of chambers 5 to 10 arranged so as to surround the chamber 4. In the manufacturing system 3 of this embodiment, six chambers 5 to 10 are arranged so as to surround the chamber 4. Hereinafter, in FIG. 1, each of three directions orthogonal to each other is defined as an X direction, a Y direction, and a Z direction. The robot 1 is arranged such that its vertical direction coincides with the Z direction. Therefore, in the following, the Z direction is the vertical direction. In the following description, the X1 direction side is the “right” side, the X2 direction side is the “left” side, the Y1 direction side is the “front” side, and the Y2 direction side is the “rear (rear)” side.

チャンバー４は、上下方向から見たときの形状が略八角形状となるように形成されている。チャンバー５は、チャンバー４の左端に繋がるように配置され、チャンバー６は、チャンバー４の右端に繋がるように配置されている。また、チャンバー７およびチャンバー８は、チャンバー４の後端に繋がるように配置されている。チャンバー７とチャンバー８とは、左右方向で隣接している。本形態では、チャンバー７が左側に配置され、チャンバー８が右側に配置されている。さらに、チャンバー９およびチャンバー１０は、チャンバー４の前端に繋がるように配置されている。チャンバー９とチャンバー１０とは、左右方向で隣接している。本形態では、チャンバー９が左側に配置され、チャンバー１０が右側に配置されている。 The chamber 4 is formed so as to have a substantially octagonal shape when viewed from above and below. The chamber 5 is arranged so as to be connected to the left end of the chamber 4, and the chamber 6 is arranged so as to be connected to the right end of the chamber 4. The chamber 7 and the chamber 8 are arranged so as to be connected to the rear end of the chamber 4. The chamber 7 and the chamber 8 are adjacent in the left-right direction. In this embodiment, the chamber 7 is disposed on the left side, and the chamber 8 is disposed on the right side. Further, the chamber 9 and the chamber 10 are arranged so as to be connected to the front end of the chamber 4. The chamber 9 and the chamber 10 are adjacent in the left-right direction. In this embodiment, the chamber 9 is disposed on the left side, and the chamber 10 is disposed on the right side.

チャンバー５、６は、上下方向から見たときに、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動中心Ｃ１を通過する左右方向に平行な仮想線がチャンバー５、６の前後方向の中心位置を通過するように配置されている。チャンバー７、８は、回動中心Ｃ１を通過する前後方向に平行な仮想線がチャンバー７、８間の左右方向の中心位置を通過するように配置されている。すなわち、左右方向におけるチャンバー７、８の中心位置は、回動中心Ｃ１に対してオフセットしている。同様に、チャンバー９、１０は、回動中心Ｃ１を通過する前後方向に平行な仮想線がチャンバー９、１０間の左右方向の中心位置を通過するように配置されている。すなわち、左右方向におけるチャンバー９、１０の中心位置は、回動中心Ｃ１に対してオフセットしている。また、左右方向において、チャンバー７とチャンバー９とが同じ位置に配置され、チャンバー８とチャンバー１０とが同じ位置に配置されている。 When the chambers 5 and 6 are viewed from above and below, a virtual line parallel to the left and right direction passing through the rotation center C1 of the first arm portion 23 with respect to the main body 15 indicates the center position of the chambers 5 and 6 in the front and rear direction. It is arranged to pass. The chambers 7 and 8 are arranged so that a virtual line parallel to the front-rear direction passing through the rotation center C1 passes through the center position in the left-right direction between the chambers 7 and 8. That is, the center positions of the chambers 7 and 8 in the left-right direction are offset with respect to the rotation center C1. Similarly, the chambers 9 and 10 are arranged such that a virtual line passing through the rotation center C1 and parallel to the front-rear direction passes through the center position in the left-right direction between the chambers 9 and 10. That is, the center positions of the chambers 9 and 10 in the left-right direction are offset with respect to the rotation center C1. Further, in the left-right direction, the chamber 7 and the chamber 9 are disposed at the same position, and the chamber 8 and the chamber 10 are disposed at the same position.

（産業用ロボットの概略動作）
図６は、図１に示すプロセスチャンバー５から基板２を搬出してプロセスチャンバー６へ基板２を搬入する際の産業用ロボット１の動きを説明するための図である。図７は、図１に示すプロセスチャンバー７へ基板２を搬入する際の産業用ロボット１の動きを説明するための図である。 (Schematic operation of industrial robots)
FIG. 6 is a diagram for explaining the movement of the industrial robot 1 when the substrate 2 is unloaded from the process chamber 5 shown in FIG. 1 and the substrate 2 is loaded into the process chamber 6. FIG. 7 is a view for explaining the movement of the industrial robot 1 when the substrate 2 is carried into the process chamber 7 shown in FIG.

ロボット１は、モータ３１、４０、４６、４７を駆動させて、チャンバー５〜１０間で基板２を搬送する。たとえば、図６に示すように、ロボット１は、チャンバー５から基板２を搬出してチャンバー６へ基板２を搬入する。すなわち、ロボット１は、図６（Ａ）に示すように、アーム１４を伸ばしてチャンバー５内で基板２を搭載した後、図６（Ｂ）に示すように、第１アーム部２３と第２アーム部２４とが上下方向で重なるまでアーム１４を縮めてチャンバー５から基板２を搬出する。その後、ロボット１は、ハンド１３を１８０°回動させてから、アーム１４を伸ばして、図６（Ｃ）に示すように、チャンバー６へ基板２を搬入する。 The robot 1 drives the motors 31, 40, 46 and 47 to transport the substrate 2 between the chambers 5 to 10. For example, as shown in FIG. 6, the robot 1 unloads the substrate 2 from the chamber 5 and loads the substrate 2 into the chamber 6. That is, the robot 1 extends the arm 14 and mounts the substrate 2 in the chamber 5 as shown in FIG. 6A, and then, as shown in FIG. The arm 14 is contracted until the arm portion 24 overlaps with the vertical direction, and the substrate 2 is unloaded from the chamber 5. Thereafter, the robot 1 rotates the hand 13 by 180 °, then extends the arm 14 and carries the substrate 2 into the chamber 6 as shown in FIG. 6C.

また、たとえば、ロボット１は、チャンバー５から搬出された基板２をチャンバー７へ搬入する（図７参照）。このときには、ロボット１は、まず、図７（Ａ）に示すように、アーム１４を縮めた状態から、モータ３１、４６、４７を駆動させて、図７（Ｂ）に示すように、フォーク部２１が前後方向と平行になるとともに基板２がハンド１３の後端側に配置されるように、かつ、左右方向において、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動中心Ｃ２と左右方向におけるチャンバー７の中心とが略一致するように、ハンド１３、第１アーム部２３および第２アーム部２４を回動させる。その後、ロボット１は、アーム１４を伸ばして、図７（Ｃ）に示すように、チャンバー７へ基板２を搬入する。 Further, for example, the robot 1 loads the substrate 2 unloaded from the chamber 5 into the chamber 7 (see FIG. 7). At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, and 47 from the state where the arm 14 is contracted as shown in FIG. 7A, and the fork section as shown in FIG. 7B. The rotation center C2 of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 in the left-right direction and the chamber 7 in the left-right direction so that 21 is parallel to the front-rear direction and the substrate 2 is disposed on the rear end side of the hand 13 The hand 13, the first arm part 23, and the second arm part 24 are rotated so that their centers substantially coincide with each other. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 and carries the substrate 2 into the chamber 7 as shown in FIG.

同様に、ロボット１は、たとえば、チャンバー５から搬出された基板２をチャンバー９へ搬入する。このときには、ロボット１は、まず、アーム１４を縮めた状態から、モータ３１、４６、４７を駆動させて、フォーク部２１が前後方向と平行になるとともに基板２がハンド１３の前端側に配置されるように、かつ、左右方向において、回動中心Ｃ２と左右方向におけるチャンバー９の中心とが略一致するように、ハンド１３、第１アーム部２３および第２アーム部２４を回動させる。その後、ロボット１は、アーム１４を伸ばして、チャンバー９へ基板２を搬入する。 Similarly, the robot 1 carries the substrate 2 carried out of the chamber 5 into the chamber 9, for example. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is contracted, the fork portion 21 is parallel to the front-rear direction, and the substrate 2 is disposed on the front end side of the hand 13. Thus, in the left-right direction, the hand 13, the first arm portion 23, and the second arm portion 24 are rotated so that the rotation center C2 and the center of the chamber 9 in the left-right direction substantially coincide with each other. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 and carries the substrate 2 into the chamber 9.

また、ロボット１は、たとえば、チャンバー５から搬出された基板２をチャンバー８へ搬入する。このときには、ロボット１は、まず、アーム１４を縮めた状態から、モータ３１、４６、４７を駆動させて、フォーク部２１が前後方向と平行になるとともに基板２がハンド１３の後端側に配置されるように、かつ、左右方向において、回動中心Ｃ２と左右方向におけるチャンバー８の中心とが略一致するように、ハンド１３、第１アーム部２３および第２アーム部２４を回動させる。その後、ロボット１は、アーム１４を伸ばして、チャンバー８へ基板２を搬入する。 For example, the robot 1 loads the substrate 2 unloaded from the chamber 5 into the chamber 8. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the contracted state of the arm 14, the fork portion 21 becomes parallel to the front-rear direction, and the substrate 2 is arranged on the rear end side of the hand 13. In addition, the hand 13, the first arm portion 23, and the second arm portion 24 are rotated so that the rotation center C2 and the center of the chamber 8 in the left-right direction substantially coincide with each other in the left-right direction. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 and carries the substrate 2 into the chamber 8.

さらに、ロボット１は、たとえば、チャンバー５から搬出された基板２をチャンバー１０へ搬入する。このときには、ロボット１は、まず、アーム１４を縮めた状態から、モータ３１、４６、４７を駆動させて、フォーク部２１が前後方向と平行になるとともに基板２がハンド１３の前端側に配置されるように、かつ、左右方向において、回動中心Ｃ２と左右方向におけるチャンバー１０の中心とが略一致するように、ハンド１３、第１アーム部２３および第２アーム部２４を回動させる。その後、ロボット１は、アーム１４を伸ばして、チャンバー１０へ基板２を搬入する。 Furthermore, the robot 1 carries the substrate 2 carried out from the chamber 5 into the chamber 10, for example. At this time, the robot 1 first drives the motors 31, 46, 47 from the state in which the arm 14 is contracted, the fork portion 21 is parallel to the front-rear direction, and the substrate 2 is disposed on the front end side of the hand 13. In addition, the hand 13, the first arm portion 23, and the second arm portion 24 are rotated so that the rotation center C2 substantially coincides with the center of the chamber 10 in the left-right direction in the left-right direction. Thereafter, the robot 1 extends the arm 14 and carries the substrate 2 into the chamber 10.

基板２の搬出時および搬入時には、ハンド１３および第１アーム部２３は、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動角度と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動角度が等しく、かつ、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動方向と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動方向とが逆方向となるように回動する。すなわち、モータ３１、４７は、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動角度と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動角度が等しく、かつ、本体部１５に対する第１アーム部２３の回動方向と、第２アーム部２４に対するハンド１３の回動方向とが逆方向となるように回転する。そのため、基板２の搬出時および搬入時におけるハンド１３の向きが一定に保たれる。 At the time of unloading and loading of the substrate 2, the hand 13 and the first arm part 23 have the same turning angle of the first arm part 23 with respect to the main body part 15 and the turning angle of the hand 13 with respect to the second arm part 24, and The rotation direction of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation direction of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 are reversed. That is, the motors 31 and 47 have the same rotation angle of the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15 and the rotation angle of the hand 13 with respect to the second arm portion 24, and the first arm portion 23 with respect to the main body portion 15. The rotation direction and the rotation direction of the hand 13 with respect to the second arm portion 24 rotate in the opposite direction. Therefore, the direction of the hand 13 is kept constant when the substrate 2 is unloaded and loaded.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム１４の全体が中空状に形成され、アーム１４の内部空間４５、６６が大気圧となっている。そのため、本形態では、ハンド１３に搭載されて真空中で搬送される基板２の温度が高くても、アーム１４の内部からアーム１４の全体を冷却して、アーム１４全体の温度上昇を抑制することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド１３に搭載されて搬送される基板２の温度が高くても、アーム１４全体の熱膨張を抑制することが可能になり、その結果、チャンバー５〜１０の所定の位置へ基板２を精度良く搬送することが可能になる。すなわち、本形態では、ハンド１３に搭載されて搬送される基板２の温度が高くても、基板２の目標到達位置からのずれを抑制して基板２の搬送精度を高めることが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the entire arm 14 is formed in a hollow shape, and the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. Therefore, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 mounted on the hand 13 and transported in vacuum is high, the entire arm 14 is cooled from the inside of the arm 14 to suppress the temperature rise of the entire arm 14. It becomes possible. Therefore, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 mounted and transported on the hand 13 is high, the thermal expansion of the entire arm 14 can be suppressed, and as a result, the predetermined positions of the chambers 5 to 10 It becomes possible to convey the board | substrate 2 with high precision. That is, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 that is mounted and transported on the hand 13 is high, it is possible to suppress the displacement of the substrate 2 from the target arrival position and increase the transport accuracy of the substrate 2.

また、本形態では、アーム１４の全体が中空状に形成され、アーム１４の内部空間４５、６６が大気圧となっているため、ハンド１３に搭載されて搬送される基板２の温度が高くても、アーム１４の内部に配置される全ての軸受の温度上昇を抑制して、これらの寿命の低下を抑制することが可能になる。すなわち、本形態では、ハンド１３に搭載されて搬送される基板２の温度が高くても、モータ４６、４７、減速機４８、６１およびテンションプーリ７３等を構成する全ての軸受の寿命の低下を抑制することが可能になる。また、本形態では、アーム１４の内部空間４５、６６が大気圧となっているため、アーム１４の内部に配置されるモータ４６、４７や減速機４８、６１の潤滑剤として、真空グリース等の高価な潤滑剤ではなく、大気圧中で使用されるグリース等の潤滑剤を使用すれば良い。したがって、本形態では、ロボット１の初期コストおよびランニングコストを低減することが可能になる。 Further, in this embodiment, the entire arm 14 is formed in a hollow shape, and the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure. Therefore, the temperature of the substrate 2 mounted and transported on the hand 13 is high. However, it is possible to suppress the temperature rise of all the bearings arranged inside the arm 14 and to suppress the decrease in the service life thereof. That is, in this embodiment, even if the temperature of the substrate 2 mounted on the hand 13 and transported is high, the life of all the bearings constituting the motors 46 and 47, the speed reducers 48 and 61, the tension pulley 73 and the like is reduced. It becomes possible to suppress. In this embodiment, since the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, vacuum grease or the like is used as a lubricant for the motors 46 and 47 and the speed reducers 48 and 61 disposed inside the arm 14. Instead of an expensive lubricant, a lubricant such as grease used at atmospheric pressure may be used. Therefore, in this embodiment, the initial cost and running cost of the robot 1 can be reduced.

また、本形態では、アーム１４の内部空間４５、６６が大気圧となっているため、真空領域ＶＲにおいて、モータ４６、４７、減速機４８、６１、プーリ５２、５３、５７、５８、６０、６３およびベルト５４、５９、６４からのガス（アウトガス）の発生を防止することが可能になる。また、本形態では、アーム１４の内部空間４５、６６が大気圧となっており、真空領域ＶＲ内に配置されるアーム１４の表面積を低減することが可能になるため、真空領域ＶＲにおいて、アーム１４からのアウトガスの発生量を低減することが可能になる。したがって、本形態では、基板２の製造工程において、アウトガスに起因する障害の発生を抑制することが可能になる。 In this embodiment, since the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, in the vacuum region VR, the motors 46 and 47, the speed reducers 48 and 61, and the pulleys 52, 53, 57, 58, 60, 63 and the generation of gas (outgas) from the belts 54, 59 and 64 can be prevented. In the present embodiment, the internal spaces 45 and 66 of the arm 14 are at atmospheric pressure, and the surface area of the arm 14 disposed in the vacuum region VR can be reduced. The amount of outgas generated from 14 can be reduced. Therefore, in this embodiment, it is possible to suppress the occurrence of a failure due to outgas in the manufacturing process of the substrate 2.

本形態では、減速機４８によって関節部２６の一部が構成され、減速機６１によって関節部２７の一部が構成されている。そのため、本形態では、関節部２６、２７の剛性を高めることが可能になる。 In this embodiment, a part of the joint part 26 is configured by the speed reducer 48, and a part of the joint part 27 is configured by the speed reducer 61. For this reason, in this embodiment, the rigidity of the joint portions 26 and 27 can be increased.

本形態では、モータ４７は第１アーム部２３の内部に配置されている。そのため、本形態では、モータ４７が第２アーム部２４の内部に配置されている場合と比較して、第２アーム部２４を小型化することが可能になる。なお、モータ４７が第１アーム部２３の内部に配置されている場合には、モータ４７からハンド１３までの動力の伝達経路が長くなるが、本形態では、減速機６１によって関節部２７の一部が構成され、減速機６１の出力側にハンド１３が直接固定されている。そのため、本形態では、たとえば、減速機６１が関節部２６を構成するように配置され、減速機６１とハンド１３とがベルトおよびプーリを介して接続される場合と比較して、ハンド１３の停止精度を高めることが可能になり、その結果、基板２の搬送精度を高めることが可能になる。すなわち、減速機６１が関節部２６を構成するように配置され、減速機６１とハンド１３とがベルトおよびプーリを介して接続される場合には、減速機６１とハンド１３とを接続するためのベルトに減速後の負荷がかかるため、ハンド１３が停止する際に、このベルトが伸びてハンド１３の停止精度が低下しやすくなるが、本形態では、減速前の負荷がベルト６４にかかるため、ハンド１３が停止する際のベルト６４の伸びを抑制して、ハンド１３の停止精度を高めることが可能になる。 In this embodiment, the motor 47 is disposed inside the first arm portion 23. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the size of the second arm portion 24 as compared with the case where the motor 47 is disposed inside the second arm portion 24. When the motor 47 is disposed inside the first arm portion 23, the power transmission path from the motor 47 to the hand 13 becomes long. The hand 13 is directly fixed to the output side of the speed reducer 61. Therefore, in this embodiment, for example, the reduction of the hand 13 is stopped as compared with the case where the reduction gear 61 is arranged to form the joint portion 26 and the reduction gear 61 and the hand 13 are connected via a belt and a pulley. The accuracy can be increased, and as a result, the conveyance accuracy of the substrate 2 can be increased. That is, when the speed reducer 61 is arranged so as to constitute the joint portion 26 and the speed reducer 61 and the hand 13 are connected via a belt and a pulley, the speed reducer 61 and the hand 13 are connected. Since the load after deceleration is applied to the belt, when the hand 13 stops, the belt is stretched and the stop accuracy of the hand 13 is likely to be lowered. However, in this embodiment, the load before deceleration is applied to the belt 64. It is possible to suppress the extension of the belt 64 when the hand 13 stops and to increase the stopping accuracy of the hand 13.

（産業用ロボットの変形例１）
図８は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。 (Modification 1 of industrial robot)
FIG. 8 is a plan view of an industrial robot 1 according to another embodiment of the present invention.

上述した形態では、アーム１４は、１個の第１アーム部２３と１個の第２アーム部２４とによって構成されている。この他にもたとえば、図８に示すように、アーム１４は、１個の第１アーム部２３と、２個の第２アーム部２４とによって構成されても良い。この場合には、第１アーム部２３は、略Ｖ形状あるいは直線状に形成されており、その中心部が本体部１５に回動可能に連結される基端部となっている。また、図８に示すように、第１アーム部２３の２個の先端側のそれぞれに第２アーム部２４が回動可能に連結されており、第１アーム部２３の２個の先端側のそれぞれに関節部２６が形成されている。 In the embodiment described above, the arm 14 is configured by one first arm portion 23 and one second arm portion 24. In addition to this, for example, as shown in FIG. 8, the arm 14 may be configured by one first arm portion 23 and two second arm portions 24. In this case, the 1st arm part 23 is formed in the substantially V shape or linear form, and the center part becomes a base end part connected with the main-body part 15 so that rotation is possible. In addition, as shown in FIG. 8, the second arm portion 24 is rotatably connected to each of the two distal end sides of the first arm portion 23, and the two distal end side portions of the first arm portion 23 are connected to each other. A joint portion 26 is formed in each.

この場合であっても、上述した形態と同様に、減速機４８によって関節部２６の一部が構成され、減速機６１によって関節部２７の一部が構成されている。また、第１アーム部２３の２個の先端側のそれぞれにおいて、第１アーム部２３の内部空間４５にモータ４６、４７および減速機４８が配置され、２個の第２アーム部２４の先端側のそれぞれにおいて、第２アーム部２４の内部空間６６に減速機６１が配置されている。また、内部空間４５、６６は、大気圧となっている。なお、この場合には、ハンド１３の基部２０には、水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１のみが取り付けられる。また、図８では、上述した形態の構成と同一の構成、または、上述した形態の構成に対応する構成については、同一の符号を付している。 Even in this case, a part of the joint part 26 is configured by the speed reducer 48 and a part of the joint part 27 is configured by the speed reducer 61 as in the above-described embodiment. In addition, motors 46 and 47 and a speed reducer 48 are disposed in the internal space 45 of the first arm portion 23 on each of the two distal end sides of the first arm portion 23, and the distal end sides of the two second arm portions 24. In each of these, a reduction gear 61 is disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24. The internal spaces 45 and 66 are at atmospheric pressure. In this case, only two fork portions 21 protruding to one side in the horizontal direction are attached to the base portion 20 of the hand 13. Moreover, in FIG. 8, the same code | symbol is attached | subjected about the structure same as the structure of the form mentioned above, or the structure corresponding to the structure of the form mentioned above.

（産業用ロボットの変形例２）
図９は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。 (Modification 2 of industrial robot)
FIG. 9 is a plan view of an industrial robot 1 according to another embodiment of the present invention.

上述した形態では、ロボット１は、１本のアーム１４を備えている。この他にもたとえば、図９に示すように、ロボット１は、本体部１５にその基端側が回動可能に連結される２本のアーム１４を備えていても良い。この場合であっても、上述した形態と同様に、減速機４８によって関節部２６の一部が構成され、減速機６１によって関節部２７の一部が構成されている。また、第１アーム部２３の先端側において、第１アーム部２３の内部空間４５にモータ４６、４７および減速機４８が配置され、第２アーム部２４の先端側のそれぞれにおいて、第２アーム部２４の内部空間６６に減速機６１が配置されている。また、内部空間４５、６６は、大気圧となっている。なお、この場合には、ハンド１３の基部２０には、水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク部２１のみが取り付けられる。また、図９では、上述した形態の構成と同一の構成、または、上述した形態の構成に対応する構成については、同一の符号を付している。 In the form described above, the robot 1 includes one arm 14. In addition to this, as shown in FIG. 9, for example, the robot 1 may include two arms 14 whose base ends are rotatably connected to the main body 15. Even in this case, a part of the joint part 26 is configured by the speed reducer 48 and a part of the joint part 27 is configured by the speed reducer 61 as in the above-described embodiment. In addition, motors 46 and 47 and a speed reducer 48 are disposed in the internal space 45 of the first arm portion 23 on the distal end side of the first arm portion 23, and the second arm portion is disposed on each distal end side of the second arm portion 24. A reduction gear 61 is disposed in the internal space 66 of 24. The internal spaces 45 and 66 are at atmospheric pressure. In this case, only two fork portions 21 protruding to one side in the horizontal direction are attached to the base portion 20 of the hand 13. Moreover, in FIG. 9, the same code | symbol is attached | subjected about the structure corresponding to the structure of the form mentioned above, or the structure of the form mentioned above.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、第１アーム部２３の先端側における内部空間４５に減速機４８が配置されている。この他にもたとえば、第２アーム部２４の基端側における内部空間６６に減速機４８が配置されても良い。また、上述した形態では、モータ４７は、第１アーム部２３の内部空間４５に配置されているが、モータ４７は、第２アーム部２４の内部空間６６に配置されても良い。また、上述した形態では、モータ４６は、第１アーム部２３の内部空間４５に配置されているが、モータ４６は、第２アーム部２４の内部空間６６に配置されても良い。また、上述した形態では、減速機６１は、第２アーム部２４の内部空間６６に配置されているが、減速機６１は、第１アーム部２３の内部空間４５に配置されても良い。この場合には、関節部２６において、減速機４８と減速機６１とが軸方向で重なるように配置される。 In the embodiment described above, the speed reducer 48 is arranged in the internal space 45 on the distal end side of the first arm portion 23. In addition, for example, the speed reducer 48 may be disposed in the internal space 66 on the proximal end side of the second arm portion 24. In the embodiment described above, the motor 47 is disposed in the internal space 45 of the first arm portion 23, but the motor 47 may be disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24. In the embodiment described above, the motor 46 is disposed in the internal space 45 of the first arm portion 23, but the motor 46 may be disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24. In the embodiment described above, the speed reducer 61 is disposed in the internal space 66 of the second arm portion 24, but the speed reducer 61 may be disposed in the internal space 45 of the first arm portion 23. In this case, at the joint portion 26, the speed reducer 48 and the speed reducer 61 are arranged so as to overlap in the axial direction.

上述した形態では、ロボット１は、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４を回動させるためのモータ４６と、第２アーム部２４に対してハンド１３を回動させるためのモータ４７とを備えている。この他にもたとえば、１台のモータによって、第１アーム部２３に対して第２アーム部２４が回動し、かつ、第２アーム部２４に対してハンド１３が回動するように、モータからアーム１４への動力の伝達機構が構成されても良い。 In the form described above, the robot 1 includes a motor 46 for rotating the second arm unit 24 with respect to the first arm unit 23 and a motor 47 for rotating the hand 13 with respect to the second arm unit 24. And. In addition to this, for example, a motor is used so that the second arm portion 24 rotates with respect to the first arm portion 23 and the hand 13 rotates with respect to the second arm portion 24 by one motor. A mechanism for transmitting power from the arm 14 to the arm 14 may be configured.

上述した形態では、アーム１４は、第１アーム部２３と第２アーム部２４との２個のアーム部によって構成されている。この他にもたとえば、アーム１４は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。この場合には、３個以上のアーム部のそれぞれは、中空状に形成されるとともに、３個以上のアーム部のそれぞれの内部空間は、大気圧となっている。 In the embodiment described above, the arm 14 is constituted by two arm parts, the first arm part 23 and the second arm part 24. In addition to this, for example, the arm 14 may be constituted by three or more arm portions. In this case, each of the three or more arm portions is formed in a hollow shape, and the internal space of each of the three or more arm portions is at atmospheric pressure.

上述した形態において、内部空間４５、６６に、空冷式または水冷式の冷却機構が配置されても良い。たとえば、冷却用の圧縮空気の噴出口を有する冷却用パイプが内部空間４５、６６に配置されて良い。この場合には、たとえば、減速機４８、６１等の軸受や磁性流体シール７１、７２の配置箇所に圧縮空気が供給されるように冷却用パイプが配置される。また、この場合には、たとえば、内部空間４５、６６に配置される冷却用パイプは、ケース体１７の内部あるいはケース体１７の外部の大気中に配置される圧縮空気の供給源に接続される。また、この冷却パイプと圧縮空気の供給源とは、第１アーム部２３の基端側の下面に形成される貫通孔および中空回転軸３２の内周側を引き回される配管によって接続される。さらに、この場合には、たとえば、ケース体１７の内部に電磁弁が配置されており、この電磁弁をオンオフすることで、冷却用パイプの噴出口から圧縮空気が供給されたり、冷却用パイプの噴出口から供給される圧縮空気の量が調整されたりする。さらにまた、この場合には、たとえば、内部空間４５、６６の温度を検出する温度センサ等の検出手段が内部空間４５、６６の適宜の位置に配置されており、この検出手段の検出結果に基づいて、電磁弁がオンオフされる。また、この場合には、たとえば、内部空間４５、６６に供給される圧縮空気は、内部空間４５、６６の全体を循環した後、本体部１５側へ排出される。この場合には、アーム１４の内部からアーム１４の全体を効果的に冷却して、アーム１４全体の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。 In the embodiment described above, an air-cooled or water-cooled cooling mechanism may be disposed in the internal spaces 45 and 66. For example, a cooling pipe having an outlet for cooling compressed air may be arranged in the internal spaces 45 and 66. In this case, for example, the cooling pipe is arranged so that the compressed air is supplied to the arrangement places of the bearings such as the speed reducers 48 and 61 and the magnetic fluid seals 71 and 72. In this case, for example, the cooling pipes disposed in the internal spaces 45 and 66 are connected to a compressed air supply source disposed in the atmosphere inside the case body 17 or outside the case body 17. . The cooling pipe and the compressed air supply source are connected by a through hole formed in the lower surface of the proximal end side of the first arm portion 23 and a pipe routed around the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 32. . Further, in this case, for example, an electromagnetic valve is arranged inside the case body 17, and by turning on and off the electromagnetic valve, compressed air is supplied from the jet outlet of the cooling pipe, or the cooling pipe The amount of compressed air supplied from the jet outlet is adjusted. Furthermore, in this case, for example, detection means such as a temperature sensor for detecting the temperature of the internal spaces 45 and 66 is disposed at an appropriate position in the internal spaces 45 and 66, and based on the detection result of the detection means. The solenoid valve is turned on and off. In this case, for example, the compressed air supplied to the internal spaces 45 and 66 circulates through the entire internal spaces 45 and 66 and then is discharged to the main body 15 side. In this case, it is possible to effectively cool the entire arm 14 from the inside of the arm 14 and effectively suppress the temperature rise of the entire arm 14.

上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、搬送対象物を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、溶接ロボット等の他の用途で使用されるロボットであっても良い。 In the embodiment described above, the object to be transported by the robot 1 is the organic EL display substrate 2, but the object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display. It may be a semiconductor wafer or the like. Moreover, in the form mentioned above, although the robot 1 is a robot for conveying a conveyance target object, the robot 1 may be a robot used for other uses, such as a welding robot.

１ロボット（産業用ロボット）
１３ハンド
１４アーム
１５本体部
２３第１アーム部（アーム部）
２４第２アーム部（アーム部）
２６関節部（第１関節部）
２７関節部（第２関節部）
４５、６６内部空間
４６モータ（第１モータ）
４７モータ（第２モータ）
４８減速機（第１減速機）
６１減速機（第２減速機） 1 Robot (industrial robot)
13 Hand 14 Arm 15 Body 23 First Arm (Arm)
24 Second arm part (arm part)
26 Joint (first joint)
27 Joint (second joint)
45, 66 Internal space 46 Motor (first motor)
47 Motor (second motor)
48 Reducer (first reducer)
61 Reducer (second reducer)

Claims

A main body portion, a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the main body portion, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion. an arm configured, the hand is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion, a first motor for rotating the second arm portion relative to said first arm portion, said A second motor for rotating the hand relative to the second arm, a first speed reducer for decelerating and transmitting the rotation of the first motor to the second arm, and rotation of the second motor A second speed reducer that transmits the speed to the hand and a hollow rotary shaft that is fixed to the output side of the first speed reducer ,
The hand and the arm are arranged in a vacuum,
The second arm portion is disposed above the first arm portion,
The entire arm composed of the first arm portion and the second arm portion is formed in a hollow shape,
The internal space of the arm is atmospheric pressure ,
The first speed reducer constitutes at least a part of a first joint part that connects the first arm part and the second arm part, and is disposed inside the first arm part,
The second speed reducer constitutes at least a part of a second joint part that connects the second arm part and the hand, and is disposed inside the second arm part,
The first motor and the second motor are disposed inside the first arm portion,
The first speed reducer is a hollow speed reducer in which a through hole is formed at the center in the radial direction, and is arranged so that the axial center of the through hole and the axial center of the hollow rotating shaft coincide with each other.
The industry is characterized in that the lower end of the hollow rotary shaft is fixed to the output side of the first speed reducer, and the upper end of the hollow rotary shaft is fixed to the lower surface of the base end side of the second arm portion. Robot.

Industrial robot according to claim 1, characterized in that it comprises a cooling mechanism disposed in the internal space.