JP2020069576A - Industrial robot - Google Patents
Industrial robot Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020069576A JP2020069576A JP2018205009A JP2018205009A JP2020069576A JP 2020069576 A JP2020069576 A JP 2020069576A JP 2018205009 A JP2018205009 A JP 2018205009A JP 2018205009 A JP2018205009 A JP 2018205009A JP 2020069576 A JP2020069576 A JP 2020069576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulley
- heat dissipation
- industrial robot
- speed reducer
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims abstract description 97
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 111
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 26
- 230000000191 radiation effect Effects 0.000 abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 7
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J17/00—Joints
- B25J17/02—Wrist joints
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0054—Cooling means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/102—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Pulleys (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本発明は、関節部を備える産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot having a joint section.
従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第1アーム部と、第1アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第2アーム部とから構成されている。第2アーム部の先端側には、ハンドが回動可能に連結されている。 Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the tip side, and a main body to which the base end side of the arm is rotatably connected. Is equipped with. The arm is composed of a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the main body portion, and a second arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the tip end side of the first arm portion. .. A hand is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion.
特許文献1に記載の産業用ロボットでは、ハンドおよびアームは、真空中に配置されている。第1アーム部および第2アーム部は、中空状に形成されている。第1アーム部および第2アーム部の内部の圧力は大気圧になっている。第1アーム部の内部には、第1アーム部に対して第2アーム部を回動させるための第1モータと、第2アーム部に対してハンドを回動させるための第2モータとが配置されている。第1アーム部と第2アーム部との連結部となる関節部には、第1モータの回転を減速して第2アーム部に伝達する減速機が配置されている。減速機は、中空減速機であり、減速機の内周側には、中空回転軸が配置されている。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the hand and the arm are arranged in vacuum. The first arm portion and the second arm portion are formed in a hollow shape. The pressure inside the first arm portion and the second arm portion is atmospheric pressure. Inside the first arm portion, there are a first motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion and a second motor for rotating the hand with respect to the second arm portion. It is arranged. A speed reducer that decelerates the rotation of the first motor and transmits the decelerated rotation of the first motor to the second arm is disposed at the joint that serves as a connection between the first arm and the second arm. The speed reducer is a hollow speed reducer, and a hollow rotary shaft is arranged on the inner peripheral side of the speed reducer.
また、特許文献1に記載の産業用ロボットでは、減速機の入力軸に、プーリが固定されている。プーリには、ベルトを介して第1モータの動力が伝達されている。プーリの内周側には、転がり軸受が配置されている。転がり軸受の内輪は、中空回転軸に固定されている。転がり軸受の外輪の外周面には、プーリの内周面が所定の接触圧で接触しており、転がり軸受の外輪の外周面とプーリの内周面との間の摩擦力によって、プーリと外輪とが一緒に回転する。なお、中空回転軸の下端部には、プーリが固定されており、このプーリには、ベルトを介して第2モータの動力が伝達されている。 Further, in the industrial robot described in Patent Document 1, a pulley is fixed to the input shaft of the speed reducer. The power of the first motor is transmitted to the pulley via a belt. A rolling bearing is arranged on the inner peripheral side of the pulley. The inner ring of the rolling bearing is fixed to the hollow rotary shaft. The inner peripheral surface of the pulley is in contact with the outer peripheral surface of the outer ring of the rolling bearing at a predetermined contact pressure, and the frictional force between the outer peripheral surface of the outer ring of the rolling bearing and the inner peripheral surface of the pulley causes the pulley and the outer ring to contact each other. And rotate together. A pulley is fixed to the lower end of the hollow rotary shaft, and the power of the second motor is transmitted to the pulley via a belt.
特許文献1に記載の産業用ロボットでは、関節部に配置される減速機で熱が発生する。減速機で熱が発生すると、減速機で発生する熱の影響で関節部の温度が上昇して、関節部に配置される転がり軸受等の部品が損傷するおそれがある。そのため、特許文献1に記載の産業用ロボットでは、減速機で発生する熱を効率的に放散して、関節部の温度上昇を抑制できることが好ましい。 In the industrial robot described in Patent Document 1, heat is generated by the speed reducer arranged at the joint. When heat is generated in the speed reducer, the temperature of the joint increases due to the heat generated in the speed reducer, which may damage components such as rolling bearings arranged in the joint. Therefore, in the industrial robot described in Patent Document 1, it is preferable that the heat generated in the speed reducer can be efficiently dissipated and the temperature rise of the joint can be suppressed.
そこで、本発明の課題は、関節部に減速機が配置された産業用ロボットにおいて、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot in which a speed reducer is arranged in a joint part, which can suppress an increase in temperature of the joint part due to heat generated in the speed reducer. is there.
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、関節部を備える産業用ロボットにおいて、関節部に配置される減速機と、減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、プーリには、放熱用の複数の放熱穴が形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, an industrial robot of the present invention is an industrial robot including a joint part, which includes a speed reducer arranged at the joint part and a pulley connected to an input side of the speed reducer. Is formed with a plurality of heat dissipation holes for heat dissipation.
本発明の産業用ロボットでは、プーリに放熱用の複数の放熱穴が形成されている。そのため、本発明では、プーリの表面積を広くして、プーリの放熱効果を高めることが可能になる。したがって、本発明では、減速機の入力側に連結されていて減速機で生じる熱が伝達されるプーリを用いて、減速機で生じる熱を効率的に放散することが可能になる。その結果、本発明では、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を抑制することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the pulley has a plurality of heat dissipation holes for heat dissipation. Therefore, in the present invention, it is possible to increase the surface area of the pulley and enhance the heat radiation effect of the pulley. Therefore, in the present invention, the heat generated in the speed reducer can be efficiently dissipated by using the pulley connected to the input side of the speed reducer and transmitting the heat generated in the speed reducer. As a result, in the present invention, it is possible to suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer.
本発明において、放熱穴は、プーリの径方向に直交するプーリの厚さ方向においてプーリを貫通していることが好ましい。このように構成すると、放熱穴が、たとえば、プーリの厚さ方向やプーリの径方向に窪むように形成されている場合と比較して、プーリの表面積を広くして、プーリの放熱効果を高めることが可能になる。また、このように構成すると、放熱穴が、たとえば、プーリの径方向に窪むように形成されている場合と比較して、プーリに放熱穴を容易に形成することが可能になる。 In the present invention, the heat dissipation hole preferably penetrates the pulley in the thickness direction of the pulley which is orthogonal to the radial direction of the pulley. According to this structure, the surface area of the pulley can be increased and the heat radiation effect of the pulley can be increased as compared with the case where the heat radiation hole is formed to be recessed in the pulley thickness direction or the pulley radial direction, for example. Will be possible. Further, with this structure, it is possible to easily form the heat dissipation hole in the pulley, as compared with the case where the heat dissipation hole is formed so as to be recessed in the radial direction of the pulley.
本発明において、複数の放熱穴は、プーリの周方向において所定の間隔で配列され、プーリの周方向における放熱穴の間には、送風用の羽根が形成されていることが好ましい。このように構成すると、プーリが回転するときに発生する風を利用して、減速機で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。また、このように構成すると、プーリが回転するときにプーリの周辺に空気の流れを発生させて、プーリを効率的に冷却することが可能になるため、プーリの放熱効果の低下を抑制することが可能になる。したがって、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the plurality of heat radiation holes are arranged at a predetermined interval in the circumferential direction of the pulley, and that the blades for blowing air are formed between the heat radiation holes in the circumferential direction of the pulley. According to this structure, it is possible to more efficiently dissipate the heat generated in the speed reducer by using the wind generated when the pulley rotates. Further, according to this structure, when the pulley rotates, an air flow is generated around the pulley, so that the pulley can be cooled efficiently, so that the reduction of the heat radiation effect of the pulley is suppressed. Will be possible. Therefore, it becomes possible to effectively suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer.
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、関節部を備える産業用ロボットにおいて、関節部に配置される減速機と、減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、プーリには、放熱用の放熱部材が固定されているか、または、一体で形成されていることを特徴とする。 Further, in order to solve the above-mentioned problems, an industrial robot of the present invention is an industrial robot including a joint portion, which includes a reducer arranged at the joint portion and a pulley connected to an input side of the reducer. A heat radiation member for heat radiation is fixed to the pulley or is integrally formed with the pulley.
本発明の産業用ロボットでは、プーリに、放熱用の放熱部材が固定されているか、または、一体で形成されている。そのため、本発明では、放熱部材の表面積分、減速機の入力側に連結される部材(すなわち、プーリおよび放熱部材)の表面積を広くして、この部材の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、本発明では、減速機の入力側に連結されていて減速機で生じる熱が伝達されるプーリおよび放熱部材を用いて、減速機で生じる熱を効率的に放散することが可能になる。その結果、本発明では、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を抑制することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the heat dissipation member for heat dissipation is fixed to the pulley or is integrally formed. Therefore, in the present invention, the surface integration of the heat dissipation member and the surface area of the members (that is, the pulley and the heat dissipation member) connected to the input side of the speed reducer can be increased to enhance the heat dissipation effect of this member. Therefore, in the present invention, it is possible to efficiently dissipate the heat generated in the speed reducer by using the pulley and the heat dissipation member that are connected to the input side of the speed reducer and through which the heat generated in the speed reducer is transmitted. As a result, in the present invention, it is possible to suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer.
本発明において、放熱部材には、放熱用の複数の放熱穴および放熱用の複数の凹凸の少なくともいずれか一方が形成されていることが好ましい。このように構成すると、放熱部材の表面積を広くして、放熱部材の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、プーリおよび放熱部材を用いて、減速機で生じる熱をより効率的に放散することが可能になり、その結果、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the heat dissipation member is provided with at least one of a plurality of heat dissipation holes for heat dissipation and a plurality of unevenness for heat dissipation. According to this structure, it is possible to increase the surface area of the heat dissipation member and enhance the heat dissipation effect of the heat dissipation member. Therefore, it becomes possible to more efficiently dissipate the heat generated in the speed reducer by using the pulley and the heat dissipation member, and as a result, it is possible to effectively suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer. It will be possible.
本発明において、放熱部材には、送風用の複数の羽根が形成されていることが好ましい。このように構成すると、プーリと一緒に放熱部材が回転するときに発生する風を利用して、減速機で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。また、このように構成すると、プーリと一緒に放熱部材が回転するときにプーリおよび放熱部材の周辺に空気の流れを発生させて、プーリおよび放熱部材を効率的に冷却することが可能になるため、プーリおよび放熱部材の放熱効果の低下を抑制することが可能になる。したがって、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the heat dissipation member is formed with a plurality of blades for blowing air. According to this structure, it is possible to more efficiently dissipate the heat generated in the speed reducer by using the wind generated when the heat dissipation member rotates together with the pulley. Further, with this configuration, when the heat dissipation member rotates together with the pulley, an air flow is generated around the pulley and the heat dissipation member, so that the pulley and the heat dissipation member can be efficiently cooled. It is possible to suppress deterioration of the heat radiation effect of the pulley and the heat radiation member. Therefore, it becomes possible to effectively suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer.
本発明において、放熱部材は、平板状に形成され、プーリの径方向に直交するプーリの厚さ方向と、放熱部材の厚さ方向とが一致していることが好ましい。このように構成すると、プーリに放熱部材が固定されていたり一体で形成されていたりしても、プーリが回転する際に、放熱部材はプーリの回転抵抗になりにくくなる。したがって、放熱部材がプーリの回転に与える影響を抑制することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the heat dissipation member is formed in a flat plate shape, and the thickness direction of the pulley orthogonal to the radial direction of the pulley and the thickness direction of the heat dissipation member match. According to this structure, even if the heat dissipation member is fixed to the pulley or is integrally formed with the pulley, the heat dissipation member is less likely to be a rotational resistance of the pulley when the pulley rotates. Therefore, it is possible to suppress the influence of the heat radiation member on the rotation of the pulley.
さらに、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、関節部を備える産業用ロボットにおいて、関節部に配置される減速機と、減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、プーリの表面には、放熱用の複数の凹凸が形成されていることを特徴とする。 Further, in order to solve the above-mentioned problems, an industrial robot of the present invention is an industrial robot having a joint portion, which includes a reduction gear arranged at the joint portion and a pulley connected to an input side of the reduction gear. A plurality of unevenness for heat dissipation is formed on the surface of the pulley.
本発明の産業用ロボットでは、プーリの表面に放熱用の複数の凹凸が形成されている。そのため、本発明では、プーリの表面積を広くして、プーリの放熱効果を高めることが可能になる。したがって、本発明では、減速機の入力側に連結されていて減速機で生じる熱が伝達されるプーリを用いて、減速機で生じる熱を効率的に放散することが可能になる。その結果、本発明では、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を抑制することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, a plurality of unevenness for heat dissipation is formed on the surface of the pulley. Therefore, in the present invention, it is possible to increase the surface area of the pulley and enhance the heat radiation effect of the pulley. Therefore, in the present invention, the heat generated in the speed reducer can be efficiently dissipated by using the pulley connected to the input side of the speed reducer and transmitting the heat generated in the speed reducer. As a result, in the present invention, it is possible to suppress the temperature rise of the joint portion due to the heat generated in the speed reducer.
本発明において、プーリは、アルミニウム合金で形成されていることが好ましい。このように構成すると、熱伝導率の高いアルミニウム合金によってプーリが形成されているため、減速機の入力側に連結されていて減速機で生じる熱が伝達されるプーリを用いて、減速機で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。 In the present invention, the pulley is preferably made of aluminum alloy. According to this structure, since the pulley is formed of the aluminum alloy having high thermal conductivity, the pulley is connected to the input side of the speed reducer and the heat generated in the speed reducer is transmitted to the pulley to generate the speed reducer. It enables heat to be dissipated more efficiently.
本発明において、プーリは、減速機の入力軸に固定され、減速機の入力軸に接触していることが好ましい。このように構成すると、プーリが所定の部材を介して減速機の入力軸に連結されていて、プーリが減速機の入力軸に接触していない場合と比較して、減速機の入力軸に接触するプーリを用いて、減速機で発生する熱をより効率的に放散することが可能になる。 In the present invention, the pulley is preferably fixed to the input shaft of the speed reducer and is in contact with the input shaft of the speed reducer. With this configuration, the pulley is connected to the input shaft of the speed reducer via a predetermined member, and the pulley is in contact with the input shaft of the speed reducer compared to the case where the pulley is not in contact with the input shaft of the speed reducer. The heat generated by the speed reducer can be dissipated more efficiently by using the pulley.
本発明において、産業用ロボットは、たとえば、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第1アーム部と、第1アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側にハンドが回動可能に連結される第2アーム部とを備え、第1アーム部と第2アーム部との連結部となる関節部に、減速機とプーリとが配置されている。 In the present invention, the industrial robot may include, for example, a hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to a tip side, and a body portion to which a base end side of the arm is rotatably connected. The arm includes a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the main body portion, and a proximal end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion and a hand is attached to the distal end side. A second arm portion that is rotatably connected is provided, and a speed reducer and a pulley are arranged at a joint portion that is a connecting portion between the first arm portion and the second arm portion.
以上のように、本発明では、関節部に減速機が配置された産業用ロボットにおいて、減速機で生じる熱に起因する関節部の温度上昇を抑制することが可能になる。 As described above, according to the present invention, in the industrial robot in which the reduction gear is arranged in the joint, it is possible to suppress the temperature rise of the joint caused by the heat generated in the reduction gear.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(産業用ロボットの全体構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1を示す図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図2は、図1に示す関節部16の内部構造を側面から説明するための断面図である。
(Overall structure of industrial robot)
FIG. 1 is a diagram showing an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention, (A) is a plan view, and (B) is a side view. FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the
本形態の産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、搬送対象物である有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)ディスプレイ用のガラス基板2(以下、「基板2」とする。)を搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット1は、有機ELディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。ロボット1は、基板2が搭載されるハンド3と、ハンド3が先端側に回動可能に連結されるアーム4と、アーム4の基端側が回動可能に連結される本体部5とを備えている。
The industrial robot 1 (hereinafter, referred to as "robot 1") of the present embodiment includes a glass substrate 2 (hereinafter, referred to as "
また、ロボット1は、本体部5が収容されるケース体7を備えている。ケース体7には、本体部5を昇降させる昇降機構(図示省略)が収容されている。ケース体7の上端には、円板状に形成されたフランジ8が固定されている。フランジ8には、本体部5の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。なお、図1(A)では、ケース体7およびフランジ8の図示を省略している。
The robot 1 also includes a case body 7 in which the main body 5 is housed. An elevating mechanism (not shown) for elevating the main body 5 is housed in the case body 7. A disk-shaped
ハンド3およびアーム4は、本体部5よりも上側に配置されている。また、ハンド3およびアーム4は、フランジ8よりも上側に配置されている。ロボット1の、フランジ8の下端面よりも上側の部分は、有機ELディスプレイの製造システムを構成する真空チャンバーの内部に配置されている。すなわち、ロボット1の、フランジ8の下端面よりも上側の部分は、真空領域VRの中に配置されており、ハンド3およびアーム4は、真空中に配置されている。一方、ロボット1の、フランジ8の下端面よりも下側の部分は、大気領域ARの中(大気中)に配置されている。ロボット1は、真空中で基板2を搬送する。
The
ハンド3は、アーム4に連結される基部10と、基板2が搭載される直線状の4本のフォーク部11とを備えている。アーム4は、第1アーム部13と第2アーム部14との2個のアーム部によって構成されている。第1アーム部13および第2アーム部14は、中空状に形成されている。第1アーム部13の基端側は、本体部5に回動可能に連結されている。第1アーム部13の先端側には、第2アーム部14の基端側が回動可能に連結されている。第2アーム部14の先端側には、ハンド3(具体的には、基部10)が回動可能に連結されている。第2アーム部14は、第1アーム部13よりも上側に配置されている。また、ハンド3は、第2アーム部14よりも上側に配置されている。
The
アーム4と本体部5との連結部(すなわち、第1アーム部13と本体部5との連結部)は、関節部15となっている。第1アーム部13と第2アーム部14との連結部は、関節部16となっている。アーム4とハンド3との連結部(すなわち、第2アーム部14とハンド3との連結部)は、関節部17となっている。すなわち、ロボット1は、3個の関節部15〜17を備えている。
A joint portion between the
ケース体7には、本体部5に対して第1アーム部13を回動させる回動機構(図示省略)が収容されている。この回動機構は、モータ、および、このモータの回転を減速して第1アーム部13に伝達する減速機等を備えている。関節部15には、真空領域VRへの空気の流入を防ぐ磁性流体シール(図示省略)が配置されている。また、関節部15には、真空領域VRへの空気の流入を防ぐためのベローズ(図示省略)が配置されている。ベローズは、磁性流体シールの外周側に配置されており、本体部5が昇降すると伸縮する。
The case body 7 accommodates a rotation mechanism (not shown) for rotating the
上述のように、第1アーム部13および第2アーム部14は、中空状に形成されている。すなわち、アーム4は、中空状に形成されている。中空状に形成される第1アーム部13および第2アーム部14の内部の圧力は大気圧となっている。すなわち、アーム4の内部の圧力は大気圧となっている。第1アーム部13の内部には、第1アーム部13に対して第2アーム部14を回動させるための駆動源である第1モータ20と、第2アーム部14に対してハンド3を回動させるための駆動源である第2モータ21とが配置されている。すなわち、アーム4の内部には、第1モータ20および第2モータ21が配置されている。
As described above, the
関節部16には、第1モータ20の動力を第2アーム部14に伝達するための減速機22が配置されている。減速機22は、第1モータ20の回転を減速して第2アーム部14に伝達する。減速機22は、減速機22の径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。具体的には、減速機22は、中空波動歯車装置である。減速機22は、中空状に形成される入力軸23および出力軸24を備えている。入力軸23は、入力軸23の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、出力軸24は、出力軸24の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。出力軸24は、入力軸23の上側に配置されている。
A
また、減速機22は、出力軸24を回動可能に支持する軸受25と、出力軸24の外周側に配置される磁性流体シール26とを備えている。さらに、減速機22は、剛性内歯歯車28と、可撓性外歯歯車29と、入力軸23の外周側に取り付けられるウエーブベアリング30と、軸受25および磁性流体シール26を保持するケース体31とを備えている。
The
ケース体31の上端部は、第1アーム部13の先端部の上面側に固定されている。軸受25は、クロスローラベアリングである。軸受25の外輪は、ケース体31の上端部に固定されている。軸受25の内輪は、出力軸24に固定されている。出力軸24の上端面は、第2アーム部14の基端部の下面に固定されている。磁性流体シール26は、軸受25の上側に配置されており、真空領域VRへの空気の流入を防ぐ機能を果たしている。磁性流体シール26の磁石およびポールピースは、ケース体31の上端部の内周面に固定されている。ポールピースの内周面と出力軸24の外周面との間では、磁性流体が保持されている。
The upper end portion of the
入力軸23は、軸受を介してケース体31の下端部に回転可能に支持されている。入力軸23には、上下方向から見たときの外周面の形状が楕円形状となる楕円部が形成されている。剛性内歯歯車28は、ケース体31の下端部に固定されている。剛性内歯歯車28の内周面には、内歯が形成されている。可撓性外歯歯車29の上端部は、出力軸24の下端に固定されている。可撓性外歯歯車29の下端部の外周面には、剛性内歯歯車28の内歯と噛み合う外歯が形成されている。可撓性外歯歯車29は、入力軸23に対して相対回転可能となっている。
The
ウエーブベアリング30は、可撓性の内輪および外輪を備えたボールベアリングである。ウエーブベアリング30は、入力軸23の楕円部の外周面に沿って配置されており、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車29の、外歯が形成される下端部は、ウエーブベアリング30を囲むようにウエーブベアリング30の外周側に配置されており、この部分は、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車29の外歯は、楕円状に撓む可撓性外歯歯車29の下端側部分の長軸方向の2か所で、剛性内歯歯車28の内歯と噛み合っている。なお、第1モータ20の動力が減速機22に伝達されると、減速機22では、主として、剛性内歯歯車28と可撓性外歯歯車29との噛み合い部分で熱が発生する。
The
減速機22の入力側には、プーリ32が連結されている。具体的には、減速機22の入力軸23にプーリ32が固定されている。プーリ32は、入力軸23の下端に固定されている。プーリ32は、軸受を介してケース体31の下端部に回転可能に支持されており、入力軸23と一緒にケース体31に対して回転可能となっている。プーリ32の中心には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。プーリ32には、ベルト33を介して第1モータ20の動力が伝達されている。ベルト33は、歯付きベルトである。
A
減速機22の内周側には、中空回転軸34が配置されている。具体的には、入力軸23、出力軸24およびプーリ32の内周側に中空回転軸34が配置されている。中空回転軸34は、上下方向に細長い円柱状に形成されている。中空回転軸34の外周面と出力軸24の内周面との間には、軸受35が配置されている。また、中空回転軸34の外周面とプーリ32の内周面との間には、軸受36が配置されている。
A
中空回転軸34の下端部には、プーリ37が固定されている。プーリ37の中心には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。プーリ37は、プーリ32の下側に配置されている。プーリ37には、ベルト38を介して第2モータ21の動力が伝達されている。ベルト38は、歯付きベルトである。中空回転軸34の上端部には、プーリ39が固定されている。プーリ39の中心には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。プーリ39は、第2アーム部14の基端側の内部に配置されている。
A
関節部17には、第2モータ21の回転を減速してハンド3に伝達する減速機(図示省略)が配置されている。この減速機は、減速機22と同様に、中空波動歯車装置である。この減速機の入力軸には、プーリ(図示省略)が固定されており、このプーリとプーリ39とにはベルト40が架け渡されている。ベルト40は、歯付きベルトである。また、この減速機の出力軸は、ハンド3に固定され、ケース体は、第2アーム部14の先端部に固定されている。
A reducer (not shown) that reduces the rotation of the
(関節部の構成)
図3は、図2のE部の拡大図である。図4は、図2に示すプーリ32の斜視図である。
(Structure of joint)
FIG. 3 is an enlarged view of part E in FIG. FIG. 4 is a perspective view of the
上述のように、関節部16には、減速機22が配置されている。また、関節部16には、プーリ32および軸受36が配置されている。さらに、関節部16には、プーリ32の径方向において軸受36とプーリ32との間に配置される筒状のスリーブ45が配置されている。
As described above, the
軸受36は、転がり軸受である。具体的には、軸受36は、球軸受(ボールベアリング)であり、鋼鉄製の内輪36aと、鋼鉄製の外輪36bと、内輪36aと外輪36bとの間に配置される鋼鉄製の複数のボール36cとを備えている。内輪36aは、上下方向において、中空回転軸34とプーリ37との間に挟まれた状態で、プーリ37に挿通されるネジ46によって中空回転軸34に固定されている。
The
具体的には、中空回転軸34の下端部に、内輪36aの上端面が当接する当接面が形成されており、この当接面は、上下方向に直交する円環状の平面となっている。また、プーリ37には、ネジ46が挿通される貫通穴が上下方向でプーリ37を貫通するように形成され、中空回転軸34の下端面には、ネジ46の上端部がねじ込まれるネジ穴が形成されている。内輪36aは、中空回転軸34の当接面とプーリ37の上面との間に挟まれた状態で、プーリ37の貫通穴に挿通されて中空回転軸34のネジ穴にねじ込まれるネジ46によって中空回転軸34に固定されている。また、プーリ37は、ネジ46によって、中空回転軸34に固定されている。
Specifically, a contact surface with which the upper end surface of the inner ring 36a contacts is formed at the lower end of the
プーリ32は、アルミニウム合金で形成されている。また、プーリ32は、鋳造で形成されている。上述のように、プーリ32の中心には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。プーリ32は、ベルト33が係合する円環状のベルト係合部32aと、入力軸23に固定される円環状の被固定部32bとを備えている。ベルト係合部32aは、プーリ32の下側部分を構成し、被固定部32bは、プーリ32の上側部分を構成している。
The
ベルト係合部32aの外径は、被固定部32bの外径よりも大きくなっている。ベルト係合部32aの内径は、被固定部32bの内径よりも大きくなっている。ベルト係合部32aの内周面と被固定部32bの内周面との境界には、段差面32cが形成されている。段差面32cは、上下方向に直交する平面である。また、段差面32cは、プーリ32の軸心を中心とする円環状の平面である。ベルト係合部32aの外周面には、複数の歯が形成されている。プーリ32の径方向における被固定部32bの内側部分には、プーリ32を入力軸23に固定するためのネジ47が挿通される貫通穴が形成されている。この貫通穴は、上下方向で被固定部32bを貫通している。
The outer diameter of the
プーリ32には、放熱用の複数の放熱穴32dが形成されている。具体的には、ベルト係合部32aに、複数の放熱穴32dが形成されている。放熱穴32dは、プーリ32の径方向に直交するプーリ32の厚さ方向においてプーリ32を貫通している。すなわち、放熱穴32dは、上下方向においてベルト係合部32aを貫通している。複数の放熱穴32dは、プーリ32の周方向において所定の間隔で配列されている。具体的には、複数の放熱穴32dは、プーリ32の周方向において一定の間隔で配列されている。
A plurality of
プーリ32の周方向における放熱穴32dの間には、送風用の羽根32eが形成されている。すなわち、プーリ32には、送風用の複数の羽根32eが一体で形成されており、第1モータ20の動力で回転するプーリ32は、扇風機(送風機)となっている。プーリ32の厚さ方向(すなわち、上下方向)から見ると、複数の羽根32eは、プーリ32の軸心に対して放射状に配置されている。
A
上下方向から見たときの羽根32eの形状は、長方形状となっている。あるいは、上下方向から見たときの羽根32eの形状は、プーリ32の径方向の外側に向かうにしたがってプーリ32の周方向における羽根32eの幅が次第に広くなる台形状となっている。羽根32eの上面および下面は、プーリ32の周方向の一方側に向かうにしたがって上下方向の一方側へ向かうように傾斜する傾斜面となっている。
The
プーリ32が一方向へ回転すると、上側に向かって流れる風が発生し、プーリ32が他方向へ回転すると、下側に向かって流れる風が発生する。すなわち、上述のように、プーリ32は入力軸23の下端に固定されているため、プーリ32が一方向へ回転すると、プーリ32から減速機22に向かって流れる風が発生し、プーリ32が他方向へ回転すると、減速機22からプーリ32に向かって流れる風が発生する。本形態のプーリ32は、減速機22を空冷する冷却用のファンとしての機能を果たしている。
When the
なお、本形態では、ベルト係合部32aの外周面に形成される複数の歯を上下で挟むように配置される円環状の鍔部32fがベルト係合部32aと別体で形成されている。鍔部32fは、ベルト係合部32aに圧入されて固定されている。ただし、鍔部32fは、ベルト係合部32aと一体で形成されていても良い。
In the present embodiment, the
スリーブ45は、鋼鉄で形成されている。スリーブ45は、円筒状の円筒部45aと、円筒部45aの一端に繋がる円環状の円環部45bとから構成されている。円筒部45aは、円筒部45aの軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。円環部45bは、円筒部45aの上端に繋がっている。また、円環部45bは、円筒部45aの内周側に繋がっている。円筒部45aと円環部45bとは、同軸上に配置されている。
The
円筒部45aの外径は、ベルト係合部32aの内径と略等しくなっている。円環部45bの内径は、被固定部32bの内径と略等しくなっている。円筒部45aの外周面は、ベルト係合部32aの内周面に接触している。円環部45bの上面は、段差面32cに接触している。円環部45bは、ネジ47が挿通される貫通穴が形成されている。この貫通穴は、上下方向で円環部45bを貫通している。
The outer diameter of the cylindrical portion 45a is substantially equal to the inner diameter of the
スリーブ45は、プーリ32に固定されるとともに入力軸23に固定されている。また、上述のように、プーリ32は、入力軸23の下端に固定されている。具体的には、プーリ32およびスリーブ45は、上下方向において、入力軸23の下端面と円環部45bとの間に被固定部32bが挟まれた状態で、円環部45bの貫通穴および被固定部32bの貫通穴に挿通されるネジ47によって入力軸23に固定されている。入力軸23の下端面には、ネジ47の上端部がねじ込まれるネジ穴が形成されている。
The
被固定部32bの上端面は、入力軸23の下端面に接触している。すなわち、プーリ32は、入力軸23に接触している。スリーブ45は、プーリ32の径方向において軸受36の外輪36bとプーリ32との間に配置されている。スリーブ45の内周面は、軸受36の外輪36bの外周面に所定の接触圧で接触している。具体的には、スリーブ45の円筒部45aが、プーリ32の径方向において軸受36の外輪36bとプーリ32のベルト係合部32aとの間に配置されており、円筒部45aの内周面が外輪36bの外周面に所定の接触圧で接触している。本形態では、外輪36bは、スリーブ45に中間嵌めによって嵌め込まれている。
The upper end surface of the fixed
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、プーリ32に、放熱用の複数の放熱穴32dが形成されている。そのため、本形態では、プーリ32の表面積を広くして、プーリ32の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、本形態では、減速機22の入力軸23に固定されていて減速機22で生じる熱が伝達されるプーリ32を用いて、減速機22で生じる熱を大気中で効率的に放散することが可能になる。その結果、本形態では、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を抑制することが可能になる。
(Main effects of this embodiment)
As described above, in this embodiment, the
特に本形態では、プーリ32が、熱伝導率の高いアルミニウム合金で形成され、減速機22の入力軸23に接触しているため、プーリ32を用いて、減速機22で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。また、本形態では、プーリ32に、送風用の複数の羽根32eが形成されているため、プーリ32が回転するときに発生する風を利用して、減速機22で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。また、プーリ32に複数の羽根32eが形成されているため、プーリ32が回転するときにプーリ32の周辺に空気の流れを発生させて、プーリ32を効率的に冷却することが可能になり、その結果、プーリ32の放熱効果の低下を抑制することが可能になる。したがって、本形態では、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。
In particular, in this embodiment, the
また、本形態では、プーリ32を用いて、減速機22で生じる熱を大気中で効率的に放散することが可能になるため、ロボット1の部品点数を増加させることなく、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を抑制することが可能になる。
Further, in this embodiment, the heat generated in the
本形態では、放熱穴32dは、プーリ32の厚さ方向においてプーリ32を貫通している。そのため、本形態では、放熱穴32dが、たとえば、プーリ32の厚さ方向やプーリ32の径方向に窪むように形成されている場合と比較して、プーリ32の表面積を広くして、プーリ32の放熱効果を高めることが可能になる。また、放熱穴32dが、たとえば、プーリ32の径方向に窪むように形成されている場合と比較して、プーリ32に放熱穴32dを容易に形成することが可能になる。
In the present embodiment, the
(プーリの変形例1)
図5、図6は、本発明の他の実施の形態にかかるプーリ32の斜視図である。なお、図5、図6では、上述した形態と同様の構成について同一の符号を付している。
(Modification 1 of pulley)
5 and 6 are perspective views of a
図5に示すように、上下方向から見たときの羽根32eの形状は、直線状となっていても良い。この場合には、たとえば、羽根32eの上下の端面は、上下方向に直交している。また、たとえば、上下方向における羽根32eの中央部は、プーリ32の周方向の両側に向かって膨んでいる。
As shown in FIG. 5, the
また、図6に示すように、プーリ32と別体で形成された複数の羽根32eがプーリ32に固定されていても良い。この場合には、たとえば、複数の羽根32eは、一体で形成されている。また、複数の羽根32eは、薄い金属板を所定形状に折り曲げることで形成されている。また、この場合には、たとえば、プーリ32に、上下方向でプーリ32を貫通する円形状の複数の放熱穴32dが形成されており、プーリ32の周方向において、放熱穴32dが形成された位置に羽根32eが配置されている。なお、図6では、プーリ32を下側から図示している。また、図6では、鍔部32fの図示を省略している。
Further, as shown in FIG. 6, a plurality of
(プーリの変形例2)
図7は、本発明の他の実施の形態にかかるプーリ32の斜視図である。なお、図7では、上述した形態と同様の構成について同一の符号を付している。
(
FIG. 7 is a perspective view of a
図7(A)に示すように、プーリ32に、放熱用の放熱部材50が固定されているか、または、一体で形成されていても良い。すなわち、プーリ32と別体で形成された放熱部材50がプーリ32に固定されていても良いし、放熱部材50がプーリ32と一体で形成されていても良い。放熱部材50は、熱伝導率の高い金属材料で形成されている。たとえば、放熱部材50は、アルミニウム合金で形成されている。また、放熱部材50は、たとえば、平板状に形成されている。具体的には、放熱部材50は、円板状に形成されている。放熱部材50は、放熱部材50の厚さ方向とプーリ32の厚さ方向(上下方向)とが一致するように配置されている。また、放熱部材50は、ベルト係合部32aの上側に配置されている。
As shown in FIG. 7A, the
この場合には、放熱部材50の表面積分、減速機22の入力軸23に固定される部材(すなわち、プーリ32および放熱部材50)の表面積を広くして、この部材の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、この場合であっても、入力軸23に固定されていて減速機22で生じる熱が伝達されるプーリ32および放熱部材50を用いて、減速機22で生じる熱を大気中で効率的に放散することが可能になり、その結果、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を抑制することが可能になる。
In this case, the surface integration of the
また、この場合には、放熱部材50の厚さ方向とプーリ32の厚さ方向とが一致しているため、プーリ32に放熱部材50が固定されていたり一体で形成されていたりしても、プーリ32が回転する際に、放熱部材50はプーリ32の回転抵抗になりにくくなる。したがって、放熱部材50がプーリ32の回転に与える影響を抑制することが可能になる。なお、図7(A)に示す例では、プーリ32に放熱穴32dは形成されていないが、プーリ32に放熱穴32dが形成されていても良い。
Further, in this case, since the thickness direction of the
また、プーリ32に放熱部材50が固定されているか、または、一体で形成されている場合には、図7(B)に示すように、放熱部材50に、放熱用の複数の放熱穴50dが形成されていても良い。放熱穴50dは、たとえば、放熱部材50を貫通する円形状に形成されている。また、複数の放熱穴50dは、放熱部材50の周方向において一定の間隔で配列されている。この場合には、放熱部材50に複数の放熱穴50dが形成されているため、放熱部材50の表面積を広くして、放熱部材50の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、この場合には、プーリ32および放熱部材50を用いて、減速機22で生じる熱をより効率的に放散することが可能になり、その結果、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。
Further, when the
なお、図7(B)に示す例では、プーリ32に、円形状の複数の放熱穴32dが形成されているが、複数の放熱穴32dが形成されていなくても良い。また、図7(A)に示す例および図7(B)に示す例では、プーリ32に羽根32eは形成されていないが、図7(A)に示す例および図7(B)に示す例において、プーリ32に複数の羽根32eが形成されていても良い。
In the example shown in FIG. 7B, the
また、図7(A)に示す例および図7(B)に示す例において、放熱部材50に、送風用の複数の羽根が形成されていても良い。この場合には、プーリ32と一緒に放熱部材50が回転するときに発生する風を利用して、減速機22で生じる熱をより効率的に放散することが可能になる。また、この場合には、プーリ32と一緒に放熱部材50が回転するときにプーリ32および放熱部材50の周辺に空気の流れを発生させて、プーリ32および放熱部材50を効率的に冷却することが可能になるため、プーリ32および放熱部材50の放熱効果の低下を抑制することが可能になる。したがって、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。
Further, in the example shown in FIG. 7A and the example shown in FIG. 7B, the
(プーリの変形例3)
図8(A)は、本発明の他の実施の形態にかかるプーリ32の平面図であり、図8(B)は、図8(A)のF−F断面の断面図である。なお、図8では、上述した形態と同様の構成について同一の符号を付している。
(
8A is a plan view of a
図8に示すように、プーリ32の表面に、放熱用の複数の凹凸32gが形成されていても良い。図8に示す例では、プーリ32の上面に複数の凹凸32gが形成されている。また、図8に示す例では、プーリ32の表面に、放熱用の複数のフィン32hが形成されることで、プーリ32の表面に、放熱用の複数の凹凸32gが形成されている。図8に示す例では、径の異なる円環状の複数のフィン32hが、プーリ32の軸心を中心にして同心状に配置されている。
As shown in FIG. 8, a plurality of
この場合には、プーリ32の表面に放熱用の複数の凹凸32gが形成されているため、プーリ32の表面積を広くして、プーリ32の放熱効果を高めることが可能になる。したがって、入力軸23に固定されていて減速機22で生じる熱が伝達されるプーリ32を用いて、減速機22で生じる熱を大気中で効率的に放散することが可能になり、その結果、減速機22で生じる熱に起因する関節部16の温度上昇を抑制することが可能になる。
In this case, since the plurality of
なお、フィン32hは、円環状以外の形状に形成されていても良い。また、プーリ32の表面にフィン32h以外の複数の凸部や凹部を形成することで、プーリ32の表面に複数の凹凸32gを形成しても良い。また、鋳造で形成されるプーリ32の表面の追加工を故意に粗い加工とすることで、プーリ32の表面に複数の凹凸32gを形成しても良いし、鋳造で形成されるプーリ32の表面を追加工せずにそのままにしておくことで、プーリ32の表面に複数の凹凸32gを形成しても良いし、プーリ32を鋳造で形成する際、金型の中に故意に多くの気泡を混入させることで、プーリ32の表面に複数の凹凸32gを形成しても良い。
The
(他の実施の形態)
上述した形態および変形例は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
(Other embodiments)
The above-described modes and modified examples are examples of preferred modes of the present invention, but the present invention is not limited thereto and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
上述した形態において、放熱穴32dは、プーリ32の上面や下面等からプーリ32の厚さ方向に窪むように形成されていても良いし、プーリ32の側面等からプーリ32の径方向に窪むように形成されていても良い。また、放熱穴32dは、プーリ32の径方向でプーリ32を貫通するように形成されていても良い。また、図7に示す変形例において、放熱部材50は、平板状以外の形状に形成されていても良い。たとえば、放熱部材50は、直方体状に形成されていても良い。
In the above-described embodiment, the
上述した形態および図5、図6に示す変形例において、プーリ32に羽根32eが形成されていなくても良い。この場合には、たとえば、図6に示す円形状の複数の放熱穴32dがプーリ32に形成されている。また、上述した形態および図5〜図7に示す変形例において、プーリ32に複数の凹凸32gが形成されていても良い。さらに、図8に示す変形例において、プーリ32に複数の羽根32eが形成されていても良い。また、図7(A)に示す変形例において、放熱部材50の表面に放熱用の複数の凹凸が形成されていても良いし、図7(B)に示す変形例において、放熱穴50dに加えて、または、放熱穴50dに代えて、放熱部材50の表面に放熱用の複数の凹凸が形成されていても良い。
In the above-described embodiment and the modified examples shown in FIGS. 5 and 6, the
上述した形態において、減速機22の入力軸23にプーリ32が接触していなくても良い。この場合には、たとえば、入力軸23とプーリ32との間に、熱伝導率の高い材料で形成された部材が配置されている。また、上述した形態において、プーリ32は、アルミニウム合金以外の熱伝導率の高い材料で形成されていても良い。さらに、上述した形態において、関節部16にスリーブ45が配置されていなくても良い。この場合には、軸受36の外輪36bの外周面にプーリ32の内周面が所定の接触圧で接触している。
In the above-described embodiment, the
上述した形態において、関節部16と同様に、関節部17に配置される減速機の入力軸に固定されるプーリに、複数の放熱穴32dや複数の羽根32eが形成されていても良い。また、関節部17に配置される減速機の入力軸に固定されるプーリに、放熱部材50が固定されているか、または、一体で形成されていても良いし、このプーリの表面に複数の凹凸32gが形成されていても良い。
In the above-described embodiment, like the
上述した形態において、ハンド3およびアーム4は、大気中に配置されていても良い。すなわち、ロボット1は、大気中で基板2を搬送しても良い。また、上述した形態において、第1アーム部13および第2アーム部14の内部が真空となっていても良い。また、上述した形態において、1台のモータによって、第1アーム部13に対して第2アーム部14が回動し、かつ、第2アーム部14に対してハンド3が回動するように、モータからアーム4への動力の伝達機構が構成されていても良い。
In the above-mentioned form, the
上述した形態において、アーム4は、3個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態において、アーム4は、1個の第1アーム部13と、この1個の第1アーム部13に回動可能に連結される2個の第2アーム部14とによって構成されても良い。さらに、上述した形態において、ロボット1は、本体部5に基端側が回動可能に連結される2本のアーム4と、2本のアーム4のそれぞれの先端側に回動可能に連結される2個のハンド3とを備えていても良い。すなわち、ロボット1は、4個以上の関節部を備えていても良い。また、ロボット1が備える関節部の数は、1個であっても良い。
In the above-mentioned form,
上述した形態では、ロボット1によって搬送される搬送対象物は有機ELディスプレイ用の基板2であるが、ロボット1によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態では、ロボット1は、搬送対象物を搬送するための水平多関節型のロボットであるが、ロボット1は、溶接ロボット等の他の用途で使用される垂直多関節型のロボットであっても良い。
In the above-described embodiment, the transport target transported by the robot 1 is the
1 ロボット(産業用ロボット)
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3 ハンド
4 アーム
5 本体部
13 第1アーム部
14 第2アーム部
16 関節部
22 減速機
23 入力軸
32 プーリ
32d 放熱穴
32e 羽根
32g 凹凸
50 放熱部材
50d 放熱穴
1 robot (industrial robot)
2 substrates (glass substrate, object to be transported)
3
Claims (11)
前記関節部に配置される減速機と、前記減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、
前記プーリには、放熱用の複数の放熱穴が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 In an industrial robot equipped with joints,
A reduction gear arranged at the joint portion, and a pulley connected to an input side of the reduction gear,
The industrial robot, wherein the pulley has a plurality of heat dissipation holes for heat dissipation.
前記プーリの周方向における前記放熱穴の間には、送風用の羽根が形成されていることを特徴とする請求項2記載の産業用ロボット。 The plurality of heat dissipation holes are arranged at predetermined intervals in the circumferential direction of the pulley,
The industrial robot according to claim 2, wherein blades for blowing air are formed between the heat dissipation holes in the circumferential direction of the pulley.
前記関節部に配置される減速機と、前記減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、
前記プーリには、放熱用の放熱部材が固定されているか、または、一体で形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 In an industrial robot equipped with joints,
A reduction gear arranged at the joint portion, and a pulley connected to an input side of the reduction gear,
An industrial robot characterized in that a heat dissipation member for heat dissipation is fixed to or integrally formed with the pulley.
前記プーリの径方向に直交する前記プーリの厚さ方向と、前記放熱部材の厚さ方向とが一致していることを特徴とする請求項4から6のいずれかに記載の産業用ロボット。 The heat dissipation member is formed in a flat plate shape,
The industrial robot according to claim 4, wherein a thickness direction of the pulley that is orthogonal to a radial direction of the pulley and a thickness direction of the heat dissipation member match.
前記関節部に配置される減速機と、前記減速機の入力側に連結されるプーリとを備え、
前記プーリの表面には、放熱用の複数の凹凸が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 In an industrial robot equipped with joints,
A reduction gear arranged at the joint portion, and a pulley connected to an input side of the reduction gear,
The industrial robot, wherein a plurality of unevenness for heat dissipation is formed on the surface of the pulley.
前記アームは、基端側が前記本体部に回動可能に連結される第1アーム部と、前記第1アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側に前記ハンドが回動可能に連結される第2アーム部とを備え、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結部となる前記関節部に、前記減速機と前記プーリとが配置されていることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の産業用ロボット。 A hand on which an object to be conveyed is mounted; an arm to which the hand is rotatably connected to a tip side; and a body to which a base end side of the arm is rotatably connected,
The arm includes a first arm portion whose proximal end side is rotatably connected to the main body portion, a proximal end side which is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion, and the hand which is connected to the distal end side. A second arm portion rotatably connected,
11. The speed reducer and the pulley are arranged in the joint portion that is a connecting portion between the first arm portion and the second arm portion, and the reduction gear and the pulley are arranged. Industrial robot.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018205009A JP2020069576A (en) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | Industrial robot |
KR1020190114526A KR20200049508A (en) | 2018-10-31 | 2019-09-18 | Industrial robot |
CN201910981735.XA CN111113484A (en) | 2018-10-31 | 2019-10-16 | Industrial robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018205009A JP2020069576A (en) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | Industrial robot |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020069576A true JP2020069576A (en) | 2020-05-07 |
Family
ID=70495350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018205009A Pending JP2020069576A (en) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | Industrial robot |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020069576A (en) |
KR (1) | KR20200049508A (en) |
CN (1) | CN111113484A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117961871A (en) * | 2021-01-29 | 2024-05-03 | 精工爱普生株式会社 | Robot |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48108045U (en) * | 1972-03-21 | 1973-12-13 | ||
JP2007113655A (en) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Calsonic Kansei Corp | Pulley, power transmission device, compressor, and cooling method |
JP2007263294A (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jtekt Corp | Pulley |
JP2013190005A (en) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Nsk Ltd | Pulley device of built-in one-way clutch type |
JP2014144527A (en) * | 2013-01-07 | 2014-08-14 | Nidec Sankyo Corp | Industrial robot |
JP2018105313A (en) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | Nok株式会社 | Torque fluctuation absorption damper |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201215171Y (en) * | 2008-02-29 | 2009-04-01 | 海尔集团公司 | Split type heat radiation belt pulley |
JP2010025147A (en) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Yamada Seisakusho Co Ltd | Pulley in v-belt type automatic transmission |
CN202116874U (en) * | 2011-06-21 | 2012-01-18 | 张忠治 | Belt pulley of automatic washing machine |
CN203770583U (en) * | 2014-01-20 | 2014-08-13 | 深圳创新设计研究院有限公司 | Belt wheel structure and washing machine |
CN204716932U (en) * | 2015-05-05 | 2015-10-21 | 郭坚 | A kind of belt pulley |
CN204784590U (en) * | 2015-06-29 | 2015-11-18 | 安庆船用电器有限责任公司 | V type band pulley that can cool down by oneself under high -speed operation |
CN206785971U (en) * | 2017-06-03 | 2017-12-22 | 福建双延兴业传动科技股份有限公司 | A kind of cooling type synchronous pulley |
-
2018
- 2018-10-31 JP JP2018205009A patent/JP2020069576A/en active Pending
-
2019
- 2019-09-18 KR KR1020190114526A patent/KR20200049508A/en not_active Application Discontinuation
- 2019-10-16 CN CN201910981735.XA patent/CN111113484A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48108045U (en) * | 1972-03-21 | 1973-12-13 | ||
JP2007113655A (en) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Calsonic Kansei Corp | Pulley, power transmission device, compressor, and cooling method |
JP2007263294A (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jtekt Corp | Pulley |
JP2013190005A (en) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Nsk Ltd | Pulley device of built-in one-way clutch type |
JP2014144527A (en) * | 2013-01-07 | 2014-08-14 | Nidec Sankyo Corp | Industrial robot |
JP2018105313A (en) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | Nok株式会社 | Torque fluctuation absorption damper |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117961871A (en) * | 2021-01-29 | 2024-05-03 | 精工爱普生株式会社 | Robot |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111113484A (en) | 2020-05-08 |
KR20200049508A (en) | 2020-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9399285B2 (en) | Industrial robot with hollow section | |
TWI543855B (en) | Industrial robots | |
US9975257B2 (en) | Robot | |
TWI551411B (en) | Industrial robots | |
JP2020069577A (en) | Industrial robot | |
JP2020069576A (en) | Industrial robot | |
JP4964012B2 (en) | Driving device and image forming apparatus | |
JP2014144527A (en) | Industrial robot | |
JP2020069575A (en) | Industrial robot | |
US20040035556A1 (en) | Heat-dissipating device with dissipating fins drivable to move within and ambient fluid | |
JP2018041841A (en) | Viscous agent temperature control apparatus, mounting apparatus, and manufacturing method of substrate device | |
JPWO2020054426A1 (en) | robot | |
JP5798368B2 (en) | Heat treatment equipment | |
JPWO2016002122A1 (en) | Rotation mechanism and film thickness monitor equipped with this rotation mechanism | |
WO2013073378A1 (en) | Industrial robot | |
WO2024089914A1 (en) | Motor-equipped roller for conveyor, and conveyor device | |
JP2011038534A (en) | Bearing heat dissipation structure of molecular pump | |
JP2012251627A (en) | Cooling device and cooling method of rotary shaft | |
KR20050009853A (en) | Heat-dissipating device with dissipating fins drivable to move within an ambient fluid | |
JP2012077768A (en) | Joint part for manipulator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220818 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230228 |