JP6902422B2 - Industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys an object to be conveyed in a vacuum.

従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。 Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, and a second hand to which the second hand is fixed. It includes a support member, an arm that holds the first hand support member and the second hand support member, and an arm support member that holds the arm. The arm is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. The first hand support member and the second hand support member can reciprocate linearly in the front-rear direction with respect to the arm.

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えている。第１駆動機構は、外周面にオネジが形成される第１ネジ部材と、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ネジ部材に係合する第１ナット部材と、第１ネジ部材を回転させる第１モータとを備えている。第２駆動機構は、外周面にオネジが形成される第２ネジ部材と、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ネジ部材に係合する第２ナット部材と、第２ネジ部材を回転させる第２モータとを備えている。第１モータは、アームの内部の前端側に固定され、第２モータは、アームの内部の後端側に固定されている。 Further, the industrial robot described in Patent Document 1 includes a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member with respect to the arm and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm. It has. The first drive mechanism rotates a first screw member having a male screw formed on the outer peripheral surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member. It is equipped with a first motor to be operated. The second drive mechanism rotates a second screw member having a male screw formed on the outer peripheral surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member. It is equipped with a second motor to be operated. The first motor is fixed to the front end side inside the arm, and the second motor is fixed to the rear end side inside the arm.

また、従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、トランスファーチャンバーと、トランスファーチャンバーを囲むように配置される複数のプロセスチャンバーとを備える製造システムに組み込まれて使用される。トランスファーチャンバーおよびプロセスチャンバーの内部は、真空になっている。 Further, conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 2). The industrial robot described in Patent Document 2 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the tip side, and a main body portion to which the base end side of the arm is rotatably connected. It has. This industrial robot is used by being incorporated in a manufacturing system including a transfer chamber and a plurality of process chambers arranged so as to surround the transfer chamber. The inside of the transfer chamber and the process chamber is evacuated.

特許文献２に記載の産業用ロボットのハンドおよびアームは、トランスファーチャンバーの中に配置されている。プロセスチャンバーには、各種の機器が設置されており、プロセスチャンバーでは、ガラス基板に対する各種の処理が実行される。特許文献２に記載の産業用ロボットは、プロセスチャンバーからのガラス基板の搬出やプロセスチャンバーへのガラス基板の搬入を行う。なお、プロセスチャンバーでは、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行されることがあり、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行されるプロセスチャンバーでは、その内部温度が高くなっている。 The hands and arms of the industrial robot described in Patent Document 2 are arranged in a transfer chamber. Various devices are installed in the process chamber, and various processes on the glass substrate are executed in the process chamber. The industrial robot described in Patent Document 2 carries out a glass substrate from the process chamber and carries in the glass substrate into the process chamber. In the process chamber, the processing on the glass substrate may be executed in a high temperature environment, and in the process chamber in which the processing on the glass substrate is executed in the high temperature environment, the internal temperature thereof is high.

特開２０１５−８０８２８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-80828 特開２０１５−１３９８５４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-139854

本願発明者は、特許文献２に記載の産業用ロボットのように真空中でガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットとして、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有する産業用ロボットの採用を検討している。 The inventor of the present application is an industrial robot that transports an object to be transported such as a glass substrate in a vacuum like the industrial robot described in Patent Document 2, with respect to an arm like the industrial robot described in Patent Document 1. We are considering the adoption of an industrial robot that has a first hand and a second hand that move linearly back and forth.

しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームの内部の前端側に第１モータが固定され、アームの内部の後端側に第２モータが固定されているため、この産業用ロボットによって、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバー（すなわち、高温になっているプロセスチャンバー）に対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合、第１モータまたは第２モータが高温のプロセスチャンバーに近づく。また、第１モータまたは第２モータが高温のプロセスチャンバーに近づくと、第１モータまたは第２モータの温度が高くなって、第１モータまたは第２モータが熱の影響で損傷するおそれが高くなる。 However, in the industrial robot described in Patent Document 1, since the first motor is fixed to the front end side inside the arm and the second motor is fixed to the rear end side inside the arm, this industrial robot When loading and unloading an object to be transported to a process chamber (that is, a process chamber that is hot) in which processing of a glass substrate is performed in a high temperature environment, the first motor or the second motor is a high temperature process chamber. Approaching. Further, when the first motor or the second motor approaches the high temperature process chamber, the temperature of the first motor or the second motor becomes high, and the possibility that the first motor or the second motor is damaged by the influence of heat increases. ..

そこで、本発明の課題は、アームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１ハンドを移動させるための第１モータおよび第２ハンドを移動させるための第２モータの、熱の影響による損傷を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is, for example, a process in which an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate with respect to an arm and transporting an object to be transported in a vacuum has a high temperature. Even when the object to be transported is carried in or out of the chamber, damage to the first motor for moving the first hand and the second motor for moving the second hand due to the influence of heat is suppressed. It is to provide industrial robots that can do it.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材と第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備え、第１駆動機構は、駆動源としての第１モータを備え、第２駆動機構は、駆動源としての第２モータを備え、アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とすると、第１モータおよび第２モータは、アームの前後方向の中心部分の内部に配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is an industrial robot that conveys an object to be conveyed in a vacuum, and is a first hand and a second hand on which the object to be conveyed is mounted, and a first hand. The first hand support member to which the hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand support member and the second hand support member linearly reciprocate in the same horizontal direction. An arm that holds the first hand support member and the second hand support member so as to be possible, a first drive mechanism that reciprocates the first hand support member with respect to the arm, and a second hand support member with respect to the arm. The first drive mechanism is provided with a first motor as a drive source, the second drive mechanism is provided with a second motor as a drive source, and the first hand is supported on the arm. Assuming that the moving direction of the member and the second hand support member is the front-rear direction, the first motor and the second motor are arranged inside the central portion of the arm in the front-rear direction.

本発明の産業用ロボットでは、第１モータおよび第２モータは、アームの中心部分の内部に配置されている。そのため、本発明の産業用ロボットで、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１モータおよび第２モータと、高温のプロセスチャンバーとの距離を確保することが可能になる。したがって、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１モータおよび第２モータの温度の上昇を抑制することが可能になり、その結果、第１モータおよび第２モータの、熱の影響による損傷を抑制することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the first motor and the second motor are arranged inside the central portion of the arm. Therefore, in the industrial robot of the present invention, for example, even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber having a high temperature, the first motor and the second motor and the process chamber having a high temperature are used. It becomes possible to secure a distance. Therefore, in the present invention, for example, it is possible to suppress an increase in the temperature of the first motor and the second motor even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber which is hot. As a result, it becomes possible to suppress damage to the first motor and the second motor due to the influence of heat.

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、アームが回動可能に連結される本体部を備え、アームの中心が本体部に連結されている。本発明では、アームの中心部分の内部に第１モータおよび第２モータが配置されているため、この場合には、本体部に対して回動するアーム等のイナーシャを低減することが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes, for example, a main body portion to which an arm is rotatably connected, and the center of the arm is connected to the main body portion. In the present invention, since the first motor and the second motor are arranged inside the central portion of the arm, in this case, it is possible to reduce the inertia of the arm or the like that rotates with respect to the main body portion. ..

本発明において、アームの前後方向の中心部分の内部には、第１モータおよび第２モータが配置される内部空間が形成され、内部空間は、大気圧となっていることが好ましい。このように構成すると、本発明の産業用ロボットで、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１モータおよび第２モータを効率的に冷却することが可能になる。したがって、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１モータおよび第２モータの温度の上昇を効果的に抑制することが可能になり、その結果、第１モータおよび第２モータの、熱の影響による損傷を防止することが可能になる。また、このように構成すると、第１モータおよび第２モータの潤滑剤として高価な真空グリースを使用する必要がなくなるため、産業用ロボットのイニシャルコストおよびランニングコストを低減することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that an internal space in which the first motor and the second motor are arranged is formed inside the central portion of the arm in the front-rear direction, and the internal space is at atmospheric pressure. With this configuration, the industrial robot of the present invention can efficiently carry out the first motor and the second motor even when carrying in and out the object to be transported to the process chamber which is hot, for example. It becomes possible to cool. Therefore, for example, even when the object to be transported is carried in or out of the process chamber having a high temperature, it is possible to effectively suppress the temperature rise of the first motor and the second motor. As a result, it becomes possible to prevent damage to the first motor and the second motor due to the influence of heat. Further, with such a configuration, it is not necessary to use expensive vacuum grease as a lubricant for the first motor and the second motor, so that it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the industrial robot.

本発明において、内部空間には、第１モータの出力軸と第２モータの出力軸とが反対方向に突出するように第１モータおよび第２モータが配置され、第１駆動機構は、第１モータの出力軸に連結される第１回転軸と、第１回転軸を回転可能に支持するとともに内部空間からの空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールとを備え、第２駆動機構は、第２モータの出力軸に連結される第２回転軸と、第２回転軸を回転可能に支持するとともに内部空間からの空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールとを備え、アームは、内部空間を画定するとともに第１磁性流体シールを保持する第１壁部と、内部空間を画定するとともに第２磁性流体シールを保持する第２壁部とを備えることが好ましい。 In the present invention, the first motor and the second motor are arranged in the internal space so that the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor project in opposite directions, and the first drive mechanism is the first. It is provided with a first rotating shaft connected to the output shaft of the motor and a first magnetic fluid seal that rotatably supports the first rotating shaft and prevents air from flowing out from the internal space. It is equipped with a second rotating shaft connected to the output shaft of the two motors and a second magnetic fluid seal that rotatably supports the second rotating shaft and prevents air from flowing out from the internal space. It is preferable to include a first wall portion that defines and holds the first magnetic fluid seal, and a second wall portion that defines the internal space and holds the second magnetic fluid seal.

このように構成すると、アームの内部においては、アームの中心部分に形成される内部空間のみが大気圧となる。したがって、アームの端部まで大気圧となる空間が広がっている場合と比較して、アームの内部の構成を簡素化することが可能になるとともに、真空領域へ空気が流出するおそれを低減することが可能になる。また、このように構成すると、アームの中心側に第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールが配置されるため、たとえば、高温のプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールと、高温のプロセスチャンバーとの距離を確保することが可能になる。したがって、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールの温度の上昇を抑制することが可能になり、その結果、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールの、熱の影響による損傷を抑制することが可能になる。 With this configuration, inside the arm, only the internal space formed in the central portion of the arm becomes atmospheric pressure. Therefore, it is possible to simplify the internal configuration of the arm and reduce the risk of air flowing out to the vacuum region as compared with the case where the space where the atmospheric pressure is extended to the end of the arm. Becomes possible. Further, in this configuration, since the first magnetic fluid seal and the second magnetic fluid seal are arranged on the center side of the arm, for example, when carrying in or out of the object to be conveyed to the high temperature process chamber. Also, it is possible to secure a distance between the first ferrofluidic seal and the second ferrofluidic seal and the high-temperature process chamber. Therefore, it is possible to suppress the temperature rise of the first ferrofluidic seal and the second ferrofluidic seal, and as a result, the damage of the first ferrofluidic seal and the second ferrofluidic seal due to the influence of heat is suppressed. Will be possible.

本発明において、たとえば、第１回転軸は、前後方向と第１回転軸の軸方向とが一致するように配置され、第２回転軸は、前後方向と第２回転軸の軸方向とが一致するように配置され、第１駆動機構は、第１回転軸の先端部に固定される第１傘歯車と、第１傘歯車に噛み合う第２傘歯車と、第２傘歯車が固定される第３回転軸と、第３回転軸に固定される２個の第１駆動プーリとを備え、第２駆動機構は、第２回転軸の先端部に固定される第３傘歯車と、第３傘歯車に噛み合う第４傘歯車と、第４傘歯車が固定される第４回転軸と、第４回転軸に固定される２個の第２駆動プーリとを備えている。 In the present invention, for example, the first rotation axis is arranged so that the front-rear direction and the axial direction of the first rotation axis coincide with each other, and the second rotation axis coincides with the front-rear direction and the axial direction of the second rotation axis. The first drive mechanism is fixed to the tip of the first rotating shaft, the first cap gear, the second cap gear that meshes with the first cap gear, and the second cap gear to which the second cap gear is fixed. It is provided with a three rotation shaft and two first drive pulleys fixed to the third rotation shaft, and the second drive mechanism includes a third umbrella gear fixed to the tip of the second rotation shaft and a third umbrella. It includes a fourth bevel gear that meshes with the gear, a fourth rotating shaft to which the fourth bevel gear is fixed, and two second drive pulleys that are fixed to the fourth rotating shaft.

本発明において、第１駆動機構は、第４回転軸に回転可能に保持される２個の第１従動プーリと、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１駆動プーリと第１従動プーリとに架け渡される２本の第１ベルトとを備え、第２駆動機構は、第３回転軸に回転可能に保持される２個の第２従動プーリと、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２駆動プーリと第２従動プーリとに架け渡される２本の第２ベルトとを備え、第２傘歯車は、第３回転軸の軸方向における第３回転軸の中心側に固定され、２個の第１駆動プーリのそれぞれは、第３回転軸の軸方向における第３回転軸の両端部のそれぞれに固定され、第２従動プーリは、第２傘歯車と第１駆動プーリとの間で第３回転軸に回転可能に保持され、第４傘歯車は、第４回転軸の軸方向における第４回転軸の中心側に固定され、２個の第１従動プーリのそれぞれは、第４回転軸の軸方向における第４回転軸の両端部のそれぞれに回転可能に保持され、第２駆動プーリは、第４傘歯車と第１従動プーリとの間で第４回転軸に固定されていることが好ましい。 In the present invention, the first drive mechanism includes two first driven pulleys rotatably held on a fourth rotating shaft, a first driven pulley and a first driven pulley fixed to a first hand support member. The second drive mechanism is fixed to the second driven pulley and the second hand support member, which are rotatably held by the third rotation shaft. It is provided with two second belts bridged by a second drive pulley and a second driven pulley, and the second cap gear is fixed to the center side of the third rotation shaft in the axial direction of the third rotation shaft. Each of the first drive pulleys is fixed to each of both ends of the third rotation shaft in the axial direction of the third rotation shaft, and the second driven pulley is between the second cap gear and the first drive pulley. It is rotatably held by the 3rd rotation shaft, the 4th bevel gear is fixed to the center side of the 4th rotation shaft in the axial direction of the 4th rotation shaft, and each of the 2 first driven pulleys is 4th rotation. It is rotatably held at both ends of the 4th rotating shaft in the axial direction of the shaft, and the 2nd drive pulley is fixed to the 4th rotating shaft between the 4th cap gear and the 1st driven pulley. Is preferable.

このように構成すると、第１駆動プーリが固定される第３回転軸に第２従動プーリが回転可能に保持され、第２駆動プーリが固定される第４回転軸に第１従動プーリが回転可能に保持されているため、第１従動プーリが回転可能に保持される軸や第２従動プーリが回転可能に保持される軸が別途設けられている場合と比較して、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、このように構成すると、２本の第１ベルトと２本の第２ベルトとが水平方向で並ぶように配置されるため、上下方向におけるアームの厚さを薄くすることが可能になる。したがって、産業用ロボットの高さを低くすることが可能になる。 With this configuration, the second driven pulley is rotatably held on the third rotating shaft to which the first drive pulley is fixed, and the first driven pulley is rotatable on the fourth rotating shaft to which the second drive pulley is fixed. Compared to the case where a shaft that holds the first driven pulley rotatably and a shaft that holds the second driven pulley rotatably are separately provided, the configuration of the industrial robot can be changed. It can be simplified. Further, in this configuration, since the two first belts and the two second belts are arranged so as to be arranged in the horizontal direction, it is possible to reduce the thickness of the arm in the vertical direction. Therefore, it is possible to reduce the height of the industrial robot.

以上のように、本発明では、アームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、第１ハンドを移動させるための第１モータおよび第２ハンドを移動させるための第２モータの、熱の影響による損傷を抑制することが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate with respect to an arm and transporting an object to be transported in a vacuum, for example, the temperature is high. Even when loading and unloading the object to be transported to the process chamber, damage to the first motor for moving the first hand and the second motor for moving the second hand due to the influence of heat is suppressed. It becomes possible to do.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットの背面図である。It is a rear view of the industrial robot shown in FIG. （Ａ）は、図１に示すアームの内部構造を説明するための平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアームの内部構造を説明するための図である。(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm shown in FIG. 1, and (B) is a view for explaining the internal structure of the arm from the EE direction of (A). （Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the F portion of FIG. 4 (A), and (B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4 (B). （Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (A), and (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A). （Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアームの内部構造を説明するための図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアームの内部構造を説明するための図である。(A) is a diagram for explaining the internal structure of the arm from the KK direction of FIG. 4 (A), and (B) shows the internal structure of the arm from the LL direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating. 図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the 1st hand support member, the 2nd hand support member, the arm, the 1st drive mechanism, and the 2nd drive mechanism from the NN direction of FIG. 4B. 図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the structure of the 1st hand support member, the 2nd hand support member, the arm, the 1st drive mechanism, and the 2nd drive mechanism from the QQ direction of FIG. 4B. 本発明の他の実施の形態にかかるアームの内部構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the internal structure of the arm which concerns on other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。 (Outline configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of the industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を真空中で搬送するロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイ装置の製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムは、中心に配置されるトランスファーチャンバー３（以下、「チャンバー３」とする。）と、チャンバー３を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）とを備えている（図１参照）。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a robot that transports a glass substrate 2 for a liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”), which is an object to be transported, in a vacuum. Is. This robot 1 is incorporated and used in a manufacturing system of a liquid crystal display device. In this manufacturing system, a transfer chamber 3 (hereinafter referred to as "chamber 3") arranged at the center and a plurality of process chambers 4 (hereinafter referred to as "chamber 4") arranged so as to surround the chamber 3 are used. ) And (see FIG. 1).

チャンバー３、４の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー３、４は、真空チャンバーである。チャンバー３の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１は、チャンバー４への基板２の搬入とチャンバー４からの基板２の搬出とを行う。チャンバー４の内部には、各種の装置等が配置されており、チャンバー４の内部では、基板２に対して各種の処理が行われる。本形態のチャンバー４では、高温環境下で基板２に対する処理が実行される。そのため、チャンバー４の内部温度は高くなっている。 The inside of the chambers 3 and 4 is evacuated. That is, the chambers 3 and 4 are vacuum chambers. A part of the robot 1 is arranged inside the chamber 3. The robot 1 carries in the substrate 2 into the chamber 4 and carries out the substrate 2 from the chamber 4. Various devices and the like are arranged inside the chamber 4, and various processes are performed on the substrate 2 inside the chamber 4. In the chamber 4 of this embodiment, the processing on the substrate 2 is executed in a high temperature environment. Therefore, the internal temperature of the chamber 4 is high.

ロボット１は、基板２が搭載される第１ハンドとしてのハンド５と、基板２が搭載される第２ハンドとしてのハンド６と、ハンド５が固定される第１ハンド支持部材としてのハンド支持部材７と、ハンド６が固定される第２ハンド支持部材としてのハンド支持部材８と、ハンド支持部材７、８を保持するアーム９と、アーム９が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。 The robot 1 has a hand 5 as a first hand on which the board 2 is mounted, a hand 6 as a second hand on which the board 2 is mounted, and a hand support member as a first hand support member to which the hand 5 is fixed. 7, a hand support member 8 as a second hand support member to which the hand 6 is fixed, an arm 9 for holding the hand support members 7 and 8, and a main body portion 10 to which the arm 9 is rotatably connected. I have.

本体部１０は、アーム９の中心部が固定される円柱状の昇降部材１２（図２参照）と、昇降部材１２を昇降させる昇降機構と、昇降部材１２を回動させる回動機構と、これらの構成が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、昇降部材１２の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。 The main body 10 includes a columnar elevating member 12 (see FIG. 2) to which the central portion of the arm 9 is fixed, an elevating mechanism for elevating the elevating member 12, a rotating mechanism for rotating the elevating member 12, and the like. It is provided with a case body 13 in which the configuration of the above is housed. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A disc-shaped flange 14 is fixed to the upper end of the case body 13. The flange 14 is formed with a through hole in which the upper end side portion of the elevating member 12 is arranged.

ハンド５、６およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー３の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー３の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド５、６およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。 The hands 5, 6 and the arm 9 are arranged on the upper side of the main body 10. As described above, a part of the robot 1 is arranged inside the chamber 3. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is arranged inside the chamber 3. That is, the portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is arranged in the vacuum region VR, and the hands 5, 6 and the arm 9 are arranged in the vacuum chamber (in vacuum). .. On the other hand, the portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 14 is arranged in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

アーム９は、ハンド支持部材７とハンド支持部材８とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材７、８を保持している。ロボット１は、アーム９に対してハンド支持部材７を往復移動させる第１駆動機構としての駆動機構１７と、アーム９に対してハンド支持部材８を往復移動させる第２駆動機構としての駆動機構１８とを備えている（図４参照）。 The arm 9 holds the hand support members 7 and 8 so that the hand support member 7 and the hand support member 8 can linearly reciprocate in the same horizontal direction. The robot 1 has a drive mechanism 17 as a first drive mechanism for reciprocating the hand support member 7 with respect to the arm 9, and a drive mechanism 18 as a second drive mechanism for reciprocating the hand support member 8 with respect to the arm 9. (See FIG. 4).

以下、ハンド５、６、ハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向のうちのＸ１方向側を「前」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「後ろ」側とする。 Hereinafter, specific configurations of the hands 5, 6, the hand support members 7, 8, the arm 9, and the drive mechanisms 17 and 18 will be described. In the following description, the X direction of FIG. 1 and the like, which is the moving direction of the hand support members 7 and 8 with respect to the arm 9, is defined as the "front-back direction", and FIG. Let the Y direction of be the "left-right direction". Further, the X1 direction side of the front-rear direction is the "front" side, and the opposite side, the X2 direction side, is the "rear" side.

（ハンド、ハンド支持部材、アームおよび駆動機構の構成）
図４（Ａ）は、図１に示すアーム９の内部構造を説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＥ−Ｅ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。図６（Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＫ−Ｋ方向からアーム９の内部構造を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ−Ｌ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図８は、図４（Ｂ）のＮ−Ｎ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。図９は、図４（Ｂ）のＱ−Ｑ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。 (Structure of hand, hand support member, arm and drive mechanism)
4 (A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in FIG. 1, and FIG. 4 (B) shows the internal structure of the arm 9 from the EE direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating. 5 (A) is an enlarged view of the F portion of FIG. 4 (A), and FIG. 5 (B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4 (B). 6 (A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (A), and FIG. 6 (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A). FIG. 7 (A) is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 from the KK direction of FIG. 4 (A), and FIG. 7 (B) is a diagram from the LL direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating the internal structure of an arm 9. FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the hand support members 7, 8 and the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 from the NN direction of FIG. 4 (B). FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the hand support members 7, 8 and the arms 9 and the drive mechanisms 17 and 18 from the QQ direction of FIG. 4 (B).

ハンド５は、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２１とを備えている。ハンド６は、ハンド５と同様に、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド５、６は、６本のフォーク２０を備えている。フォーク２０は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部２１、２２は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部２１の長さ（左右方向の長さ）は、ハンド基部２２の長さ（左右方向の長さ）よりも長くなっている。 The hand 5 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base portion 21 to which the base end portions (rear end portions) of the plurality of forks 20 are fixed. Like the hand 5, the hand 6 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 22 to which the base end portions (rear end portions) of the plurality of forks 20 are fixed. The hands 5 and 6 of this embodiment include six forks 20. The fork 20 is formed in a straight line elongated in the front-rear direction. The hand bases 21 and 22 are formed in a substantially rectangular flat plate shape elongated in the left-right direction. The length of the hand base 21 (length in the left-right direction) is longer than the length of the hand base 22 (length in the left-right direction).

ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド５が上側に配置され、ハンド６が下側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド基部２１が上側に配置され、ハンド基部２２が下側に配置されている。また、図３に示すように、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド基部２１の中心とハンド基部２２の中心とが左右方向において一致するように配置されている。すなわち、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド５の中心とハンド６の中心とが左右方向において一致するように配置されている。 The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this embodiment, the hand 5 is arranged on the upper side and the hand 6 is arranged on the lower side when viewed from the front-rear direction. That is, when viewed from the front-rear direction, the hand base 21 is arranged on the upper side and the hand base 22 is arranged on the lower side. Further, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction.

アーム９は、ハンド６の下側に配置されている。このアーム９は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。また、アーム９は、中空状に形成されている。アーム９の左右方向の幅は、ハンド５、６の左右方向の幅よりも狭くなっている。アーム９は、前後方向から見たときに、ハンド５、６の中心とアーム９の中心とが左右方向において一致するように配置されている。アーム９は、アーム９のフレームであるアームフレーム２３と、アーム９の上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材２４と、アーム９の中心部に配置される箱状のモータ収容部材２５と、モータ収容部材２５の上面に固定される上面カバー２６とを備えている。なお、図４〜図９では、カバー部材２４の図示を省略している。 The arm 9 is arranged below the hand 6. The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. Further, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width of the arm 9 in the left-right direction is narrower than the width of the hands 5 and 6 in the left-right direction. The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 includes an arm frame 23 which is a frame of the arm 9, a cover member 24 which constitutes the vertical, horizontal, and front-rear side surfaces of the arm 9, and a box-shaped motor accommodating member 25 arranged at the center of the arm 9. , A top cover 26 fixed to the top surface of the motor accommodating member 25 is provided. In addition, in FIGS. 4 to 9, the cover member 24 is not shown.

アームフレーム２３は、前後方向におけるアーム９の全域でアーム９のフレームを構成している。このアームフレーム２３は、アームフレーム２３の右側面を構成する右側板部２３ａと、アームフレーム２３の左側面を構成する左側板部２３ｂと、アームフレーム２３の上側面を構成する上側板部２３ｃと、アームフレーム２３の下側面を構成する下側板部２３ｄとを備えている。 The arm frame 23 constitutes the frame of the arm 9 over the entire area of the arm 9 in the front-rear direction. The arm frame 23 includes a right side plate portion 23a forming the right side surface of the arm frame 23, a left side plate portion 23b forming the left side surface of the arm frame 23, and an upper plate portion 23c forming the upper side surface of the arm frame 23. , A lower plate portion 23d constituting the lower side surface of the arm frame 23 is provided.

右側板部２３ａ、左側板部２３ｂ、上側板部２３ｃおよび下側板部２３ｄは、平板状に形成されている。右側板部２３ａは、右側板部２３ａの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部２３ｂは、左側板部２３ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。上側板部２３ｃは、上側板部２３ｃの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部２３ｄは、下側板部２３ｄの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。 The right side plate portion 23a, the left side plate portion 23b, the upper plate portion 23c, and the lower plate portion 23d are formed in a flat plate shape. The right plate portion 23a is arranged so that the thickness direction of the right plate portion 23a and the left-right direction coincide with each other, and the left plate portion 23b is arranged so that the thickness direction and the left-right direction of the left plate portion 23b coincide with each other. Has been done. The upper plate portion 23c is arranged so that the thickness direction of the upper plate portion 23c and the vertical direction coincide with each other, and the lower plate portion 23d is arranged so that the thickness direction and the vertical direction of the lower plate portion 23d coincide with each other. Has been done.

右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。上側板部２３ｃは、右側板部２３ａの上端および左側板部２３ｂの上端にネジによって固定されている。下側板部２３ｄは、右側板部２３ａの下端および左側板部２３ｂの下端にネジによって固定されている。上側板部２３ｃの右端および下側板部２３ｄの右端は、右側板部２３ａよりも右側に配置され、上側板部２３ｃの左端および下側板部２３ｄの左端は、左側板部２３ｂよりも左側に配置されている。 The right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b are arranged so as to be spaced apart from each other in the left-right direction. The upper plate portion 23c is fixed to the upper end of the right plate portion 23a and the upper end of the left plate portion 23b by screws. The lower plate portion 23d is fixed to the lower end of the right plate portion 23a and the lower end of the left plate portion 23b by screws. The right end of the upper plate portion 23c and the right end of the lower plate portion 23d are arranged on the right side of the right plate portion 23a, and the left end of the upper plate portion 23c and the left end of the lower plate portion 23d are arranged on the left side of the left plate portion 23b. Has been done.

モータ収容部材２５は、上面側が開口する略直方体の箱状に形成されている。また、モータ収容部材２５は、前後方向に細長い略直方体の箱状に形成されている。モータ収容部材２５には、駆動機構１７を構成する後述のモータ３７と、駆動機構１８を構成する後述のモータ３８とが収容されている。モータ収容部材２５は、アームフレーム２３の中心部分に固定されている。すなわち、モータ収容部材２５は、アーム９の中心部分に配置されている。モータ収容部材２５の底面の中心は、昇降部材１２の上端に固定されている。すなわち、アーム９の中心は、本体部１０に回動可能に連結されている。なお、モータ収容部材２５の、下端部以外の大半部分は、左右方向において、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとの間に配置されている（図５（Ａ）、図９参照）。 The motor accommodating member 25 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape with an opening on the upper surface side. Further, the motor accommodating member 25 is formed in the shape of a substantially rectangular parallelepiped box elongated in the front-rear direction. The motor accommodating member 25 accommodates a motor 37, which will be described later, which constitutes the drive mechanism 17, and a motor 38, which will be described later, which constitutes the drive mechanism 18. The motor accommodating member 25 is fixed to the central portion of the arm frame 23. That is, the motor accommodating member 25 is arranged at the central portion of the arm 9. The center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 is fixed to the upper end of the elevating member 12. That is, the center of the arm 9 is rotatably connected to the main body 10. Most of the motor accommodating member 25 other than the lower end is arranged between the right side plate 23a and the left side plate 23b in the left-right direction (see FIGS. 5A and 9).

上面カバー２６は、長方形の平板状に形成されている。上面カバー２６は、モータ収容部材２５の上面側に形成される開口部を塞ぐようにモータ収容部材２５の上面に固定されている。アーム９の中心部分の内部には、モータ収容部材２５と上面カバー２６とによって画定される内部空間Ｓが形成されている。モータ収容部材２５の底面部の中心には、上下方向に貫通する貫通穴２５ａが形成されている。上述のように、昇降部材１２は、円筒状に形成されている。昇降部材１２は、貫通穴２５ａを囲むようにモータ収容部材２５の底面に固定されており、ケース体１３の内部と内部空間Ｓとが通じている。ケース体１３の内部および内部空間Ｓは、大気圧となっている。 The top cover 26 is formed in the shape of a rectangular flat plate. The upper surface cover 26 is fixed to the upper surface of the motor accommodating member 25 so as to close the opening formed on the upper surface side of the motor accommodating member 25. Inside the central portion of the arm 9, an internal space S defined by the motor accommodating member 25 and the upper surface cover 26 is formed. A through hole 25a penetrating in the vertical direction is formed at the center of the bottom surface of the motor accommodating member 25. As described above, the elevating member 12 is formed in a cylindrical shape. The elevating member 12 is fixed to the bottom surface of the motor accommodating member 25 so as to surround the through hole 25a, and the inside of the case body 13 and the internal space S communicate with each other. The inside of the case body 13 and the internal space S are at atmospheric pressure.

図８、図９に示すように、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するためのガイドレール２９が固定されている。また、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材８を前後方向へ案内するためのガイドレール３０が固定されている。ガイドレール２９、３０は、ガイドレール２９、３０の長手方向と前後方向とが一致するように、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。 As shown in FIGS. 8 and 9, guide rails 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction are fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b. Further, a guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction is fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b. The guide rails 29 and 30 are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b so that the longitudinal direction and the front-rear direction of the guide rails 29 and 30 coincide with each other.

本形態では、前後方向で分割された複数のガイドレール２９が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている（図７参照）。同様に、前後方向で分割された複数のガイドレール３０が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール２９と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール２９とは、上下方向において同じ位置に配置されている。同様に、右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール３０と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール３０とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。 In this embodiment, a plurality of guide rails 29 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b (see FIG. 7). Similarly, a plurality of guide rails 30 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. The guide rail 29 fixed to the right surface of the right plate portion 23a and the guide rail 29 fixed to the left surface of the left plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction. Similarly, the guide rail 30 fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the guide rail 30 fixed to the left surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction. Further, the guide rail 30 is arranged above the guide rail 29.

ハンド支持部材７は、ガイドレール２９に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部７ａと、ハンド５のハンド基部２１が固定される２個のハンド固定部７ｂとから構成されている。同様に、ハンド支持部材８は、ガイドレール３０に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部８ａと、ハンド６のハンド基部２２が固定される２個のハンド固定部８ｂとから構成されている。 The hand support member 7 is composed of two slide portions 7a that slide in the front-rear direction along the guide rail 29 and two hand fixing portions 7b to which the hand base 21 of the hand 5 is fixed. Similarly, the hand support member 8 is composed of two slide portions 8a that slide in the front-rear direction along the guide rail 30 and two hand fixing portions 8b to which the hand base 22 of the hand 6 is fixed. There is.

図８、図９に示すように、２個のスライド部７ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。２個のスライド部８ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。また、２個のスライド部８ａは、２個のスライド部７ａの上側に配置されている。図３に示すように、右側に配置されるスライド部７ａ、８ａの右端部分は、カバー部材２４の右側面よりも右側へ突出し、左側に配置されるスライド部７ａ、８ａの左端部分は、カバー部材２４の左側面よりも左側へ突出している。 As shown in FIGS. 8 and 9, each of the two slide portions 7a is arranged outside the right plate portion 23a and the left plate portion 23b in the left-right direction. Each of the two slide portions 8a is arranged outside the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b in the left-right direction. Further, the two slide portions 8a are arranged above the two slide portions 7a. As shown in FIG. 3, the right end portions of the slide portions 7a and 8a arranged on the right side project to the right side from the right side surface of the cover member 24, and the left end portions of the slide portions 7a and 8a arranged on the left side cover. It protrudes to the left side of the left side surface of the member 24.

２個のハンド固定部７ｂのうちの一方のハンド固定部７ｂは、右側に配置されるスライド部７ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の右端部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部７ｂは、左側に配置されるスライド部７ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の左端部分の下面が固定されている。 One of the two hand fixing portions 7b, the hand fixing portion 7b, is fixed to the slide portion 7a so as to extend from the right end side of the slide portion 7a arranged on the right side toward the diagonally upper right side. As shown in FIG. 3, the lower surface of the right end portion of the hand base 21 is fixed to the upper end of the hand fixing portion 7b. The other hand fixing portion 7b is fixed to the slide portion 7a so as to extend from the left end side of the slide portion 7a arranged on the left side toward the diagonally upper left side, and the upper end of the hand fixing portion 7b is shown in the drawing. As shown in 3, the lower surface of the left end portion of the hand base 21 is fixed.

２個のハンド固定部８ｂのうちの一方のハンド固定部８ｂは、右側に配置されるスライド部８ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも右寄りの部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部８ｂは、左側に配置されるスライド部８ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも左寄りの部分の下面が固定されている。 One of the two hand fixing portions 8b, the hand fixing portion 8b, is fixed to the slide portion 8a so as to extend from the right end side of the slide portion 8a arranged on the right side toward the diagonally upper right side. As shown in FIG. 3, the lower surface of the hand base 22 portion to the right of the center in the left-right direction is fixed to the upper end of the hand fixing portion 8b. The other hand fixing portion 8b is fixed to the slide portion 8a so as to extend from the left end side of the slide portion 8a arranged on the left side toward the diagonally upper left side, and the upper end of the hand fixing portion 8b is shown in the drawing. As shown in 3, the lower surface of the hand base 22 on the left side of the center in the left-right direction is fixed.

右側に配置されるスライド部７ａには、右側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定され、左側に配置されるスライド部７ａには、左側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定されている。同様に、右側に配置されるスライド部８ａには、右側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定され、左側に配置されるスライド部８ａには、左側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定されている。 A guide block 31 that engages with the guide rail 29 arranged on the right side is fixed to the slide portion 7a arranged on the right side, and the slide portion 7a arranged on the left side is attached to the guide rail 29 arranged on the left side. The engaging guide block 31 is fixed. Similarly, the guide block 32 that engages with the guide rail 30 arranged on the right side is fixed to the slide portion 8a arranged on the right side, and the guide arranged on the left side is fixed to the slide portion 8a arranged on the left side. The guide block 32 that engages with the rail 30 is fixed.

具体的には、２個のスライド部７ａのそれぞれに３個のガイドブロック３１が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ｂ）参照）。また、２個のスライド部８ａのそれぞれに３個のガイドブロック３２が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ａ）参照）。本形態では、ガイドレール２９とガイドブロック３１とによってハンド支持部材７を前後方向へ案内するガイド機構３３が構成されている。また、ガイドレール３０とガイドブロック３２とによってハンド支持部材８を前後方向へ案内するガイド機構３４が構成されている。 Specifically, three guide blocks 31 are fixed to each of the two slide portions 7a in a state of being spaced apart in the front-rear direction (see FIG. 7B). Further, three guide blocks 32 are fixed to each of the two slide portions 8a in a state of being spaced apart in the front-rear direction (see FIG. 7A). In this embodiment, the guide rail 29 and the guide block 31 constitute a guide mechanism 33 that guides the hand support member 7 in the front-rear direction. Further, the guide rail 30 and the guide block 32 constitute a guide mechanism 34 that guides the hand support member 8 in the front-rear direction.

駆動機構１７、１８は、アーム９の内部に配置されている。駆動機構１７は、駆動源としてのモータ３７を備えている。駆動機構１８は、駆動源としてのモータ３８を備えている。モータ３７、３８は、内部空間Ｓに配置されている。すなわち、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。モータ３７、３８は、所定のブラケットを介して、モータ収容部材２５に固定されている。モータ３７とモータ３８とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、モータ３７が後ろ側に配置され、モータ３８が前側に配置されている。本形態のモータ３７は、第１モータであり、モータ３８は、第２モータである。 The drive mechanisms 17 and 18 are arranged inside the arm 9. The drive mechanism 17 includes a motor 37 as a drive source. The drive mechanism 18 includes a motor 38 as a drive source. The motors 37 and 38 are arranged in the internal space S. That is, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9. The motors 37 and 38 are fixed to the motor accommodating member 25 via predetermined brackets. The motor 37 and the motor 38 are arranged so as to be spaced apart from each other in the front-rear direction. Specifically, the motor 37 is arranged on the rear side, and the motor 38 is arranged on the front side. The motor 37 of this embodiment is a first motor, and the motor 38 is a second motor.

モータ３７、３８は、モータ３７、３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、モータ３７、３８は、モータ３７の出力軸とモータ３８の出力軸とが反対方向に突出するように内部空間Ｓに配置されている。具体的には、モータ３７の出力軸が後ろ側に向かって突出し、モータ３８の出力軸が前側に向かって突出するように、モータ３７、３８が内部空間Ｓに配置されている。前後方向から見たときに、モータ３７の回転中心とモータ３８の回転中心とは一致している。また、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の回転中心とアーム９の中心とは略一致している。なお、モータ３７、３８には、冷却用のエア配管（図示省略）が巻き付けられている。 The motors 37 and 38 are arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the output shafts of the motors 37 and 38 coincide with each other. Further, the motors 37 and 38 are arranged in the internal space S so that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 project in opposite directions. Specifically, the motors 37 and 38 are arranged in the internal space S so that the output shaft of the motor 37 protrudes toward the rear side and the output shaft of the motor 38 protrudes toward the front side. When viewed from the front-rear direction, the center of rotation of the motor 37 and the center of rotation of the motor 38 coincide with each other. Further, when viewed from the front-rear direction, the rotation centers of the motors 37 and 38 and the centers of the arms 9 substantially coincide with each other. An air pipe for cooling (not shown) is wound around the motors 37 and 38.

また、駆動機構１７は、モータ３７の出力軸に連結される第１回転軸としての回転軸３９と、回転軸３９の先端部に固定される第１傘歯車としての傘歯車４０と、傘歯車４０に噛み合う第２傘歯車としての傘歯車４１と、傘歯車４１が固定される第３回転軸としての回転軸４２とを備えている。同様に、駆動機構１８は、モータ３８の出力軸に連結される第２回転軸としての回転軸４３と、回転軸４３の先端部に固定される第３傘歯車としての傘歯車４４と、傘歯車４４に噛み合う第４傘歯車としての傘歯車４５と、傘歯車４５が固定される第４回転軸としての回転軸４６とを備えている。 Further, the drive mechanism 17 includes a rotating shaft 39 as a first rotating shaft connected to the output shaft of the motor 37, a bevel gear 40 as a first bevel gear fixed to the tip of the rotating shaft 39, and a bevel gear. It includes a bevel gear 41 as a second bevel gear that meshes with 40, and a rotary shaft 42 as a third rotary shaft to which the bevel gear 41 is fixed. Similarly, the drive mechanism 18 includes a rotating shaft 43 as a second rotating shaft connected to the output shaft of the motor 38, a bevel gear 44 as a third bevel gear fixed to the tip of the rotating shaft 43, and an umbrella. It includes a bevel gear 45 as a fourth bevel gear that meshes with the gear 44, and a rotary shaft 46 as a fourth rotary shaft to which the bevel gear 45 is fixed.

さらに、駆動機構１７は、回転軸４２に固定される２個の駆動プーリ４８と、回転軸４６に回転可能に保持される２個の従動プーリ４９と、駆動プーリ４８と従動プーリ４９とに架け渡される２本のベルト５０とを備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４６に固定される２個の駆動プーリ５２と、回転軸４２に回転可能に保持される２個の従動プーリ５３と、駆動プーリ５２と従動プーリ５３とに架け渡される２本のベルト５４とを備えている。本形態の駆動プーリ４８は第１駆動プーリであり、従動プーリ４９は第１従動プーリであり、ベルト５０は第１ベルトであり、駆動プーリ５２は第２駆動プーリであり、従動プーリ５３は第２従動プーリであり、ベルト５４は第２ベルトである。 Further, the drive mechanism 17 is mounted on two drive pulleys 48 fixed to the rotary shaft 42, two driven pulleys 49 rotatably held by the rotary shaft 46, and the drive pulley 48 and the driven pulley 49. It is equipped with two belts 50 to be handed over. Similarly, the drive mechanism 18 includes two drive pulleys 52 fixed to the rotary shaft 46, two driven pulleys 53 rotatably held by the rotary shaft 42, and the drive pulley 52 and the driven pulley 53. It is equipped with two belts 54 to be bridged. The drive pulley 48 of this embodiment is the first drive pulley, the driven pulley 49 is the first driven pulley, the belt 50 is the first belt, the drive pulley 52 is the second drive pulley, and the driven pulley 53 is the first. It is a two-driven pulley, and the belt 54 is a second belt.

回転軸３９は、回転軸３９の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３７の出力軸の先端（後端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。回転軸４３は、回転軸４３の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３８の出力軸の先端（前端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。傘歯車４０、４１、回転軸４２、駆動プーリ４８および従動プーリ５３は、アーム９の後端側の内部に配置されている。傘歯車４４、４５、回転軸４６、駆動プーリ５２および従動プーリ４９は、アーム９の前端側の内部に配置されている。 The rotating shaft 39 is arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the rotating shaft 39 coincide with each other, and is connected to the tip end (rear end) of the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 (FIG. 5). reference). The rotating shaft 43 is arranged so that the axial direction and the front-rear direction of the rotating shaft 43 coincide with each other, and is connected to the tip end (front end) of the output shaft of the motor 38 via a coupling 55 (see FIG. 5). ). The bevel gears 40 and 41, the rotating shaft 42, the drive pulley 48, and the driven pulley 53 are arranged inside the rear end side of the arm 9. The bevel gears 44 and 45, the rotating shaft 46, the drive pulley 52, and the driven pulley 49 are arranged inside the front end side of the arm 9.

また、駆動機構１７は、回転軸３９を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールとしての磁性流体シール５６を備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４３を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールとしての磁性流体シール５７を備えている。図５に示すように、磁性流体シール５６は、モータ収容部材２５の後面を構成する後壁部２５ｂに固定されている。磁性流体シール５７は、モータ収容部材２５の前面を構成する前壁部２５ｃに固定されている。 Further, the drive mechanism 17 includes a magnetic fluid seal 56 as a first magnetic fluid seal that holds the rotating shaft 39 rotatably and prevents air from flowing out from the internal space S. Similarly, the drive mechanism 18 includes a magnetic fluid seal 57 as a second magnetic fluid seal that rotatably holds the rotating shaft 43 and prevents the outflow of air from the internal space S. As shown in FIG. 5, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b constituting the rear surface of the motor accommodating member 25. The magnetic fluid seal 57 is fixed to the front wall portion 25c forming the front surface of the motor accommodating member 25.

具体的には、磁性流体シール５６は、後壁部２５ｂを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で後壁部２５ｂに固定され、磁性流体シール５７は、前壁部２５ｃを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で前壁部２５ｃに固定されている。すなわち、アーム９は、内部空間Ｓを画定するとともに磁性流体シール５６を保持する後壁部２５ｂと、内部空間Ｓを画定するとともに磁性流体シール５７を保持する前壁部２５ｃとを備えている。本形態の後壁部２５ｂは第１壁部であり、前壁部２５ｃは第２壁部である。 Specifically, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b in a state of being inserted into a through hole penetrating the rear wall portion 25b in the front-rear direction, and the magnetic fluid seal 57 has a front wall portion 25c. It is fixed to the front wall portion 25c in a state of being inserted into a through hole penetrating in the front-rear direction. That is, the arm 9 includes a rear wall portion 25b that defines the internal space S and holds the magnetic fluid seal 56, and a front wall portion 25c that defines the internal space S and holds the magnetic fluid seal 57. The rear wall portion 25b of this embodiment is the first wall portion, and the front wall portion 25c is the second wall portion.

また、回転軸３９、４３は、アームフレーム２３に固定される複数の軸受５９に回転可能に支持されている。なお、本形態の回転軸３９は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５６に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４０が固定されている。一方の短軸と長軸の前端とは、磁性流体シール５６の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の後端とは、最も後ろ側の軸受５９の前側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ｂ）参照）。 Further, the rotating shafts 39 and 43 are rotatably supported by a plurality of bearings 59 fixed to the arm frame 23. The rotation shaft 39 of this embodiment is formed by two short shafts having a short length and one long shaft having a long length. One of the two short shafts is connected to the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 56. A bevel gear 40 is fixed to the other short shaft. One short axis and the front end of the long axis are connected by a coupling 60 arranged behind the ferrofluidic seal 56 (see FIG. 5), and the other short axis and the rear end of the long axis are the rearmost. It is connected by a coupling 60 arranged on the front side of the bearing 59 on the side (see FIG. 6B).

同様に、本形態の回転軸４３は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５７に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４４が固定されている。一方の短軸と長軸の後端とは、磁性流体シール５７の前側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の前端とは、最も前側の軸受５９の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ａ）参照）。なお、回転軸３９、４３は、１本の長軸によって構成されていても良い。 Similarly, the rotating shaft 43 of the present embodiment is formed by two short shafts having a short length and one long shaft having a long length. One of the two short shafts is connected to the output shaft of the motor 38 via the coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 57. A bevel gear 44 is fixed to the other short shaft. One short shaft and the rear end of the long shaft are connected by a coupling 60 arranged on the front side of the ferrofluidic seal 57 (see FIG. 5), and the other short shaft and the front end of the long shaft are on the frontmost side. It is connected by a coupling 60 arranged behind the bearing 59 (see FIG. 6 (A)). The rotation shafts 39 and 43 may be configured by one long shaft.

回転軸４２は、傘歯車４０の後ろ側に配置されている。回転軸４２は、回転軸４２の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４２に固定される駆動プーリ４８は、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４２に回転可能に保持される従動プーリ５３も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４１は、左右方向における回転軸４２の中心側に固定されている。 The rotating shaft 42 is arranged behind the bevel gear 40. The rotating shaft 42 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 42 and the left-right direction coincide with each other, and the rotating shaft 42 rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation by the power of the motor 37. That is, the drive pulley 48 fixed to the rotating shaft 42 rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axial direction of rotation. Further, the driven pulley 53 rotatably held by the rotating shaft 42 also rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation. The bevel gear 41 is fixed to the center side of the rotating shaft 42 in the left-right direction.

回転軸４６は、傘歯車４４の前側に配置されている。回転軸４６は、回転軸４６の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４６に固定される駆動プーリ５２は、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４６に回転可能に保持される従動プーリ４９も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４５は、左右方向における回転軸４６の中心側に固定されている。 The rotating shaft 46 is arranged on the front side of the bevel gear 44. The rotation shaft 46 is arranged so that the axial direction of the rotation shaft 46 and the left-right direction coincide with each other, and the rotation shaft 46 rotates with the left-right direction as the rotation axis direction by the power of the motor 38. That is, the drive pulley 52 fixed to the rotating shaft 46 rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axial direction of rotation. Further, the driven pulley 49 rotatably held by the rotating shaft 46 also rotates with the left-right direction as the axial direction of rotation. The bevel gear 45 is fixed to the center side of the rotating shaft 46 in the left-right direction.

２個の駆動プーリ４８のそれぞれは、左右方向における回転軸４２の両端部のそれぞれに固定されている。従動プーリ５３は、傘歯車４１と駆動プーリ４８との間で回転軸４２に回転可能に保持されており、２個の従動プーリ５３は、２個の駆動プーリ４８よりも左右方向の内側に配置されている。２個の従動プーリ４９のそれぞれは、左右方向における回転軸４６の両端部のそれぞれに回転可能に保持されている。駆動プーリ５２は、傘歯車４５と従動プーリ４９との間で回転軸４６に固定されており、２個の駆動プーリ５２は、２個の従動プーリ４９よりも左右方向の内側に配置されている。 Each of the two drive pulleys 48 is fixed to both ends of the rotating shaft 42 in the left-right direction. The driven pulley 53 is rotatably held by the rotating shaft 42 between the bevel gear 41 and the drive pulley 48, and the two driven pulleys 53 are arranged inside the two drive pulleys 48 in the left-right direction. Has been done. Each of the two driven pulleys 49 is rotatably held at both ends of the rotating shaft 46 in the left-right direction. The drive pulley 52 is fixed to the rotating shaft 46 between the bevel gear 45 and the driven pulley 49, and the two drive pulleys 52 are arranged inside the two driven pulleys 49 in the left-right direction. ..

ベルト５０は、ハンド支持部材７に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５０のそれぞれの一部が２個のスライド部７ａのそれぞれの上端部に固定されている。本形態のベルト５０は、有端ベルトであり、駆動プーリ４８および従動プーリ４９に架け渡されたベルト５０の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部７ａに固定されている（図７（Ｂ）参照）。なお、ベルト５０は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。 The belt 50 is fixed to the hand support member 7. Specifically, a part of each of the two belts 50 is fixed to the upper end of each of the two slide portions 7a by a predetermined mounting member and a bolt. The belt 50 of this embodiment is an end-ended belt, and both ends of the belt 50 bridged to the drive pulley 48 and the driven pulley 49 are fixed to the slide portion 7a by mounting members and bolts (FIG. 7 (FIG. 7). B) See). The belt 50 may be an endless belt formed in an annular shape.

ベルト５４は、ハンド支持部材８に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５４のそれぞれの一部が２個のスライド部８ａのそれぞれの下端部に固定されている。ベルト５０と同様に、本形態のベルト５４は、有端ベルトであり、駆動プーリ５２および従動プーリ５３に架け渡されたベルト５４の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部８ａに固定されている（図７（Ａ）参照）。なお、ベルト５４は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。 The belt 54 is fixed to the hand support member 8. Specifically, a part of each of the two belts 54 is fixed to the lower end of each of the two slide portions 8a by a predetermined mounting member and a bolt. Like the belt 50, the belt 54 of this embodiment is an end-ended belt, and both ends of the belt 54 bridged to the drive pulley 52 and the driven pulley 53 are fixed to the slide portion 8a by mounting members and bolts, respectively. (See FIG. 7 (A)). The belt 54 may be an endless belt formed in an annular shape.

駆動プーリ４８、５２および従動プーリ４９、５３が上述のように配置されているため、前後方向から見たときに、２本のベルト５０のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置され、２本のベルト５４のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置されている。また、ベルト５４は、ベルト５０と左右方向で隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。すなわち、アーム９の内部の左右の両端側において、ベルト５４は、左右方向の内側でベルト５０と隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。 Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven pulleys 49 and 53 are arranged as described above, when viewed from the front-rear direction, the two belts 50 are respectively on the left and right sides of the motors 37 and 38, respectively. Each of the two belts 54 is arranged on each of the left and right sides of the motors 37 and 38. Further, the belt 54 is arranged so as to be adjacent to the belt 50 in the left-right direction and at the same height as the belt 50. That is, the belts 54 are arranged on the left and right ends of the arm 9 so as to be adjacent to the belt 50 on the inside in the left-right direction and at the same height as the belt 50.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。そのため、本形態では、内部が高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、モータ３７、３８と、高温のチャンバー４との距離を確保することが可能になる（図１参照）。したがって、本形態では、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、モータ３７、３８の温度の上昇を抑制することが可能になり、その結果、モータ３７、３８の、熱の影響による損傷を抑制することが可能になる。また、本形態では、本体部１０に回動可能に連結されるアーム９の中心部にモータ３７、３８が配置されているため、本体部１０に対して回動するアーム９等のイナーシャを低減することが可能になる。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9. Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the chamber 4 having a high temperature inside, the distance between the motors 37 and 38 and the high temperature chamber 4 is secured. Is possible (see FIG. 1). Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the chamber 4 which is hot, it is possible to suppress the temperature rise of the motors 37 and 38, and as a result, the temperature rise of the motors 37 and 38 can be suppressed. , It becomes possible to suppress damage to the motors 37 and 38 due to the influence of heat. Further, in the present embodiment, since the motors 37 and 38 are arranged at the center of the arm 9 rotatably connected to the main body 10, the inertia of the arm 9 or the like rotating with respect to the main body 10 is reduced. It becomes possible to do.

本形態では、モータ３７、３８が配置される内部空間Ｓは、大気圧となっている。そのため、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、冷却用のエアを用いてモータ３７、３８を効率的に冷却することが可能になる。したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、モータ３７、３８の温度の上昇を効果的に抑制することが可能になり、その結果、モータ３７、３８の、熱の影響による損傷を防止することが可能になる。また、本形態では、大気圧となっている内部空間Ｓにモータ３７、３８が配置されているため、モータ３７、３８の潤滑剤として高価な真空グリースを使用する必要がなくなる。したがって、本形態では、ロボット１のイニシャルコストおよびランニングコストを低減することが可能になる。 In this embodiment, the internal space S in which the motors 37 and 38 are arranged has an atmospheric pressure. Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4, the motors 37 and 38 can be efficiently cooled by using the cooling air. .. Therefore, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4, it is possible to effectively suppress the temperature rise of the motors 37 and 38, and as a result, the temperature rise of the motors 37 and 38 can be suppressed. , It becomes possible to prevent damage to the motors 37 and 38 due to the influence of heat. Further, in the present embodiment, since the motors 37 and 38 are arranged in the internal space S having an atmospheric pressure, it is not necessary to use expensive vacuum grease as a lubricant for the motors 37 and 38. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the initial cost and the running cost of the robot 1.

本形態では、回転軸３９を回転可能に支持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５６が、内部空間Ｓを画定する後壁部２５ｂに取り付けられ、回転軸４３を回転可能に支持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５７が、内部空間Ｓを画定する前壁部２５ｃに取り付けられている。そのため、本形態では、アーム９の内部において、アーム９の中心部分に形成される内部空間Ｓのみが大気圧となる。したがって、本形態では、アーム９の端部まで大気圧となる空間が広がっている場合と比較して、アーム９の内部の構成を簡素化することが可能になるとともに、真空領域ＶＲへ空気が流出するおそれを低減することが可能になる。 In this embodiment, a magnetic fluid seal 56 that rotatably supports the rotating shaft 39 and prevents the outflow of air from the internal space S is attached to the rear wall portion 25b that defines the internal space S, so that the rotating shaft 43 can rotate. A magnetic fluid seal 57 that supports the internal space S and prevents the outflow of air from the internal space S is attached to the front wall portion 25c that defines the internal space S. Therefore, in the present embodiment, inside the arm 9, only the internal space S formed in the central portion of the arm 9 becomes the atmospheric pressure. Therefore, in this embodiment, it is possible to simplify the internal configuration of the arm 9 as compared with the case where the space where the atmospheric pressure becomes the atmospheric pressure extends to the end of the arm 9, and the air is sent to the vacuum region VR. It is possible to reduce the risk of outflow.

また、本形態では、アーム９の中心側に磁性流体シール５６、５７が配置されているため、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、磁性流体シール５６、５７と高温のチャンバー４との距離を確保することが可能になる。したがって、本形態では、磁性流体シール５６、５７の温度の上昇を抑制することが可能になり、その結果、磁性流体シール５６、５７の、熱の影響による損傷を抑制することが可能になる。 Further, in the present embodiment, since the magnetic fluid seals 56 and 57 are arranged on the center side of the arm 9, the magnetic fluid seal is used even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to the high temperature chamber 4. It is possible to secure a distance between 56 and 57 and the high temperature chamber 4. Therefore, in this embodiment, it is possible to suppress an increase in the temperature of the magnetic fluid seals 56 and 57, and as a result, it is possible to suppress damage to the magnetic fluid seals 56 and 57 due to the influence of heat.

本形態では、駆動プーリ４８が固定される回転軸４２に従動プーリ５３が回転可能に保持され、駆動プーリ５２が固定される回転軸４６に従動プーリ４９が回転可能に保持されている。そのため、本形態では、従動プーリ５３が回転可能に保持される軸や従動プーリ４９が回転可能に保持される軸が別途設けられている場合と比較して、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。また、本形態では、アーム９の内部に配置される２本のベルト５０と２本のベルト５４とが左右方向で並ぶように配置されているため、アーム９の厚さ（上下方向の厚さ）を薄くすることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１の高さを低くすることが可能になる。 In this embodiment, the driven pulley 53 of the rotary shaft 42 to which the drive pulley 48 is fixed is rotatably held, and the driven pulley 49 of the rotary shaft 46 to which the drive pulley 52 is fixed is rotatably held. Therefore, in the present embodiment, the configuration of the robot 1 is simplified as compared with the case where the shaft in which the driven pulley 53 is rotatably held and the shaft in which the driven pulley 49 is rotatably held are separately provided. Becomes possible. Further, in the present embodiment, since the two belts 50 and the two belts 54 arranged inside the arm 9 are arranged so as to be arranged in the left-right direction, the thickness of the arm 9 (thickness in the vertical direction). ) Can be made thinner. Therefore, in this embodiment, the height of the robot 1 can be lowered.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態では、従動プーリ４９は、回転軸４６に回転可能に保持されているが、従動プーリ４９を回転可能に保持する軸が別途設けられていても良い。同様に、上述した形態では、従動プーリ５３は、回転軸４２に回転可能に保持されているが、従動プーリ５３を回転可能に保持する軸が別途設けられていても良い。また、上述した形態では、ベルト５４は、左右方向の内側でベルト５０と隣り合うように配置されているが、たとえば、右側に配置されるベルト５０の右側にベルト５４が配置されていても良いし、左側に配置されるベルト５０の左側にベルト５４が配置されていても良い。 In the above-described embodiment, the driven pulley 49 is rotatably held by the rotating shaft 46, but a shaft for rotatably holding the driven pulley 49 may be separately provided. Similarly, in the above-described embodiment, the driven pulley 53 is rotatably held by the rotating shaft 42, but a shaft that rotatably holds the driven pulley 53 may be separately provided. Further, in the above-described embodiment, the belt 54 is arranged so as to be adjacent to the belt 50 inside in the left-right direction, but for example, the belt 54 may be arranged on the right side of the belt 50 arranged on the right side. However, the belt 54 may be arranged on the left side of the belt 50 arranged on the left side.

上述した形態において、図１０に示すように、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。具体的には、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれにおいて、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。この場合であっても、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。なお、図１０では、上述した形態と同様の構成については同一の符号を付している。 In the above-described embodiment, as shown in FIG. 10, the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap each other in the vertical direction. Specifically, the belt 50 and the belt 54 may be arranged so as to overlap each other in the vertical direction on each of the left and right sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction. Even in this case, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9. In FIG. 10, the same reference numerals are given to the same configurations as those described above.

上述した形態では、ベルト５０、５４を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させているが、上述の特許文献１に記載された産業用ロボットのように、ネジ部材を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させても良い。この場合であっても、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。また、上述した形態において、特許文献１に記載された産業用ロボットのように、アーム９は、アーム支持部材に対して前後方向に直線的に往復移動可能となるようにアーム支持部材に保持されていても良い。 In the above-described embodiment, the hand support members 7 and 8 are moved in the front-rear direction by using the belts 50 and 54, but the hand is used by using a screw member like the industrial robot described in the above-mentioned Patent Document 1. The support members 7 and 8 may be moved in the front-rear direction. Even in this case, the motors 37 and 38 are arranged inside the central portion of the arm 9. Further, in the above-described embodiment, the arm 9 is held by the arm support member so as to be linearly reciprocating in the front-rear direction with respect to the arm support member, as in the industrial robot described in Patent Document 1. You may be.

上述した形態において、モータ３７、３８の出力軸と左右方向とが一致するようにモータ３７、３８が配置されていても良い。また、上述した形態において、アーム９の内部の全体が大気圧となっていても良い。また、アーム９の内部の全体が真空となっていても良い。すなわち、モータ３７、３８は、真空中に配置されていても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、たとえば、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、ガラス基板２以外の搬送対象物であっても良い。 In the above-described embodiment, the motors 37 and 38 may be arranged so that the output shafts of the motors 37 and 38 coincide with each other in the left-right direction. Further, in the above-described form, the entire inside of the arm 9 may have an atmospheric pressure. Further, the entire inside of the arm 9 may be evacuated. That is, the motors 37 and 38 may be arranged in a vacuum. Further, in the above-described embodiment, the object to be conveyed by the robot 1 is the glass substrate 2 for the liquid crystal display, but the object to be conveyed by the robot 1 is, for example, for an organic EL (organic electroluminescence) display. It may be a glass substrate of the above, or it may be an object to be transported other than the glass substrate 2.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８ ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９ アーム
１０ 本体部
１７ 駆動機構（第１駆動機構）
１８ 駆動機構（第２駆動機構）
２５ｂ 後壁部（第１壁部）
２５ｃ 前壁部（第２壁部）
３７ モータ（第１モータ）
３８ モータ（第２モータ）
３９ 回転軸（第１回転軸）
４０ 傘歯車（第１傘歯車）
４１ 傘歯車（第２傘歯車）
４２ 回転軸（第３回転軸）
４３ 回転軸（第２回転軸）
４４ 傘歯車（第３傘歯車）
４５ 傘歯車（第４傘歯車）
４６ 回転軸（第４回転軸）
４８ 駆動プーリ（第１駆動プーリ）
４９ 従動プーリ（第１従動プーリ）
５０ ベルト（第１ベルト）
５２ 駆動プーリ（第２駆動プーリ）
５３ 従動プーリ（第２従動プーリ）
５４ ベルト（第２ベルト）
５６ 磁性流体シール（第１磁性流体シール）
５７ 磁性流体シール（第２磁性流体シール）
Ｓ 内部空間 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, object to be transported)
5 hands (1st hand)
6 hands (2nd hand)
7 Hand support member (first hand support member)
8 Hand support member (second hand support member)
9 Arm 10 Main body 17 Drive mechanism (1st drive mechanism)
18 Drive mechanism (second drive mechanism)
25b Rear wall (first wall)
25c front wall (second wall)
37 motor (first motor)
38 motor (second motor)
39 rotation axis (first rotation axis)
40 Bevel gear (1st bevel gear)
41 Bevel gear (second bevel gear)
42 rotation axis (third rotation axis)
43 Rotation axis (2nd rotation axis)
44 Bevel gear (3rd bevel gear)
45 Bevel gear (4th bevel gear)
46 Rotation axis (4th rotation axis)
48 Drive pulley (1st drive pulley)
49 Driven pulley (1st driven pulley)
50 belt (1st belt)
52 Drive pulley (second drive pulley)
53 Driven pulley (second driven pulley)
54 belt (second belt)
56 Magnetic fluid seal (first magnetic fluid seal)
57 Ferrofluidic seal (second ferrofluidic seal)
S internal space

Claims (6)

真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第１ハンド支持部材と前記第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材を保持するアームと、前記アームに対して前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、前記アームに対して前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備え、
前記第１駆動機構は、駆動源としての第１モータを備え、
前記第２駆動機構は、駆動源としての第２モータを備え、
前記アームに対する前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とすると、
前記第１モータおよび前記第２モータは、前記アームの前後方向の中心部分の内部に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 An industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum.
The first and second hands on which the object to be transported is mounted, the first hand support member to which the first hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand. An arm that holds the first hand support member and the second hand support member, and the arm so that the hand support member and the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. On the other hand, a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm are provided.
The first drive mechanism includes a first motor as a drive source.
The second drive mechanism includes a second motor as a drive source.
When the moving direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm is the front-rear direction,
An industrial robot characterized in that the first motor and the second motor are arranged inside a central portion of the arm in the front-rear direction. 前記アームが回動可能に連結される本体部を備え、
前記アームの中心が前記本体部に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 A main body portion to which the arm is rotatably connected is provided.
The industrial robot according to claim 1, wherein the center of the arm is connected to the main body portion. 前記アームの前後方向の中心部分の内部には、前記第１モータおよび前記第２モータが配置される内部空間が形成され、
前記内部空間は、大気圧となっていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。 An internal space in which the first motor and the second motor are arranged is formed inside the central portion of the arm in the front-rear direction.
The industrial robot according to claim 2, wherein the internal space has an atmospheric pressure. 前記内部空間には、前記第１モータの出力軸と前記第２モータの出力軸とが反対方向に突出するように前記第１モータおよび前記第２モータが配置され、
前記第１駆動機構は、前記第１モータの出力軸に連結される第１回転軸と、前記第１回転軸を回転可能に支持するとともに前記内部空間からの空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールとを備え、
前記第２駆動機構は、前記第２モータの出力軸に連結される第２回転軸と、前記第２回転軸を回転可能に支持するとともに前記内部空間からの空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールとを備え、
前記アームは、前記内部空間を画定するとともに前記第１磁性流体シールを保持する第１壁部と、前記内部空間を画定するとともに前記第２磁性流体シールを保持する第２壁部とを備えることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。 In the internal space, the first motor and the second motor are arranged so that the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor project in opposite directions.
The first drive mechanism is a first magnetic fluid that rotatably supports the first rotating shaft connected to the output shaft of the first motor and the first rotating shaft and prevents air from flowing out from the internal space. With a seal,
The second drive mechanism is a second magnetic fluid that rotatably supports the second rotating shaft connected to the output shaft of the second motor and the second rotating shaft and prevents the outflow of air from the internal space. With a seal,
The arm includes a first wall portion that defines the internal space and holds the first magnetic fluid seal, and a second wall portion that defines the internal space and holds the second magnetic fluid seal. 3. The industrial robot according to claim 3. 前記第１回転軸は、前後方向と前記第１回転軸の軸方向とが一致するように配置され、
前記第２回転軸は、前後方向と前記第２回転軸の軸方向とが一致するように配置され、
前記第１駆動機構は、前記第１回転軸の先端部に固定される第１傘歯車と、前記第１傘歯車に噛み合う第２傘歯車と、前記第２傘歯車が固定される第３回転軸と、前記第３回転軸に固定される２個の第１駆動プーリとを備え、
前記第２駆動機構は、前記第２回転軸の先端部に固定される第３傘歯車と、前記第３傘歯車に噛み合う第４傘歯車と、前記第４傘歯車が固定される第４回転軸と、前記第４回転軸に固定される２個の第２駆動プーリとを備えることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。 The first rotation axis is arranged so that the front-rear direction and the axial direction of the first rotation axis coincide with each other.
The second rotation axis is arranged so that the front-rear direction and the axial direction of the second rotation axis coincide with each other.
The first drive mechanism includes a first bevel gear fixed to the tip of the first rotating shaft, a second bevel gear that meshes with the first bevel gear, and a third rotation in which the second bevel gear is fixed. A shaft and two first drive pulleys fixed to the third rotation shaft are provided.
The second drive mechanism includes a third bevel gear fixed to the tip of the second rotating shaft, a fourth bevel gear that meshes with the third bevel gear, and a fourth rotation in which the fourth bevel gear is fixed. The industrial robot according to claim 4, further comprising a shaft and two second drive pulleys fixed to the fourth rotating shaft. 前記第１駆動機構は、前記第４回転軸に回転可能に保持される２個の第１従動プーリと、前記第１ハンド支持部材に固定されるとともに前記第１駆動プーリと前記第１従動プーリとに架け渡される２本の第１ベルトとを備え、
前記第２駆動機構は、前記第３回転軸に回転可能に保持される２個の第２従動プーリと、前記第２ハンド支持部材に固定されるとともに前記第２駆動プーリと前記第２従動プーリとに架け渡される２本の第２ベルトとを備え、
前記第２傘歯車は、前記第３回転軸の軸方向における前記第３回転軸の中心側に固定され、
２個の前記第１駆動プーリのそれぞれは、前記第３回転軸の軸方向における前記第３回転軸の両端部のそれぞれに固定され、
前記第２従動プーリは、前記第２傘歯車と前記第１駆動プーリとの間で前記第３回転軸に回転可能に保持され、
前記第４傘歯車は、前記第４回転軸の軸方向における前記第４回転軸の中心側に固定され、
２個の前記第１従動プーリのそれぞれは、前記第４回転軸の軸方向における前記第４回転軸の両端部のそれぞれに回転可能に保持され、
前記第２駆動プーリは、前記第４傘歯車と前記第１従動プーリとの間で前記第４回転軸に固定されていることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。 The first drive mechanism is fixed to the two first driven pulleys rotatably held by the fourth rotating shaft, the first hand support member, and the first drive pulley and the first driven pulley. Equipped with two first belts that are laid over to
The second drive mechanism is fixed to the two second driven pulleys rotatably held by the third rotating shaft and the second hand support member, and the second drive pulley and the second driven pulley. Equipped with two second belts that are laid over to
The second bevel gear is fixed to the center side of the third rotating shaft in the axial direction of the third rotating shaft.
Each of the two first drive pulleys is fixed to each of both ends of the third rotation shaft in the axial direction of the third rotation shaft.
The second driven pulley is rotatably held by the third rotating shaft between the second bevel gear and the first drive pulley.
The fourth bevel gear is fixed to the center side of the fourth rotating shaft in the axial direction of the fourth rotating shaft.
Each of the two first driven pulleys is rotatably held at both ends of the fourth rotating shaft in the axial direction of the fourth rotating shaft.
The industrial robot according to claim 5, wherein the second drive pulley is fixed to the fourth rotating shaft between the fourth bevel gear and the first driven pulley.
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