JP6869136B2 - Industrial robot - Google Patents
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Description
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys a predetermined object to be conveyed.
従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第1ハンドおよび第2ハンドと、第1ハンドが固定される第1ハンド支持部材と、第2ハンドが固定される第2ハンド支持部材と、第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材を保持するアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。
Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in
また、特許文献1に記載の産業用ロボットは、アームに対して第1ハンド支持部材を往復移動させる第1駆動機構と、アームに対して第2ハンド支持部材を往復移動させる第2駆動機構とを備えている。第1駆動機構は、外周面にオネジが形成される第1ネジ部材と、第1ハンド支持部材に固定されるとともに第1ネジ部材に係合する第1ナット部材と、第1ネジ部材を回転させる第1モータとを備えている。第2駆動機構は、外周面にオネジが形成される第2ネジ部材と、第2ハンド支持部材に固定されるとともに第2ネジ部材に係合する第2ナット部材と、第2ネジ部材を回転させる第2モータとを備えている。第1ネジ部材は、アームの左側面に沿って配置されている。第2ネジ部材は、アームの右側面に沿って配置されている。
Further, the industrial robot described in
特許文献1に記載の産業用ロボットでは、アームの左側面に沿って配置される第1ネジ部材と第1ナット部材とを用いて第1ハンド支持部材を前後方向に移動させているため、第1ハンドに搭載されるガラス基板の重心位置の影響等で、移動時の第1ハンド支持部材に、第1ネジ部材を中心とするモーメントが生じるおそれがある。また、この産業用ロボットでは、アームの右側面に沿って配置される第2ネジ部材と第2ナット部材とを用いて第2ハンド支持部材を前後方向に移動させているため、第2ハンドに搭載されるガラス基板の重心位置の影響等で、移動時の第2ハンド支持部材に、第2ネジ部材を中心とするモーメントが生じるおそれがある。したがって、特許文献1に記載の産業用ロボットでは、第1ハンドおよび第2ハンドの動作が不安定になるおそれがある。
In the industrial robot described in
そこで、本発明の課題は、アームに対して直線的に往復移動する第1ハンドおよび第2ハンドを有する産業用ロボットにおいて、第1ハンドおよび第2ハンドの動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is an industrial robot capable of stabilizing the operation of the first hand and the second hand in an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate with respect to the arm. It is to provide robots.
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される第1ハンドおよび第2ハンドと、第1ハンドが固定される第1ハンド支持部材と、第2ハンドが固定される第2ハンド支持部材と、第1ハンド支持部材と第2ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材を保持するアームと、アームに対して第1ハンド支持部材を往復移動させる第1駆動機構と、アームに対して第2ハンド支持部材を往復移動させる第2駆動機構とを備え、第1駆動機構および第2駆動機構は、アームの内部に配置され、アームに対する第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、第1駆動機構は、駆動源としての第1モータと、第1モータの動力で左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向におけるアームの一端側の内部に配置される2個の第1駆動プーリと、左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向におけるアームの他端側の内部に配置される2個の第1従動プーリと、第1ハンド支持部材に固定されるとともに第1駆動プーリと第1従動プーリとに架け渡される2本の第1ベルトとを備え、第2駆動機構は、駆動源としての第2モータと、第2モータの動力で左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向におけるアームの他端側の内部に配置される2個の第2駆動プーリと、左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向におけるアームの一端側の内部に配置される2個の第2従動プーリと、第2ハンド支持部材に固定されるとともに第2駆動プーリと第2従動プーリとに架け渡される2本の第2ベルトとを備え、第1モータの回転中心と第2モータの回転中心とは同じ高さで配置され、前後方向から見たときに、第1ベルトは、第1モータの両側のそれぞれに配置され、第2ベルトは、第2モータの両側のそれぞれに配置されるとともに、左右方向で第1ベルトと隣り合うように、かつ、第1ベルトと同じ高さで配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, in the industrial robot of the present invention, the first hand and the second hand on which the object to be transported is mounted, the first hand support member to which the first hand is fixed, and the second hand are provided. The first hand support member and the second hand support member so that the fixed second hand support member, the first hand support member, and the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. A first drive mechanism including an arm for holding the arm, a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member with respect to the arm, and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm. And the second drive mechanism is arranged inside the arm, and the moving direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm is the front-rear direction, and the direction orthogonal to the up-down direction and the front-back direction is the left-right direction. The first drive mechanism rotates with the power of the first motor as the drive source in the left-right direction as the axial direction of rotation, and is arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction. A drive pulley, two first driven pulleys that rotate in the left-right direction as the axial direction of rotation and are arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction, and two first driven pulleys that are fixed to and first hand support members. It is equipped with two first belts that are bridged by one drive pulley and the first driven pulley, and the second drive mechanism is a shaft that rotates in the left-right direction by the power of the second motor as a drive source and the second motor. Two second drive pulleys that rotate in the direction and are placed inside the other end of the arm in the front-rear direction, and rotate in the left-right direction as the axis of rotation and are placed inside one end of the arm in the front-back direction. It is provided with two second driven pulleys to be used, and two second belts fixed to the second hand support member and bridged between the second drive pulley and the second driven pulley, and the rotation of the first motor. The center and the center of rotation of the second motor are arranged at the same height, and when viewed from the front-rear direction, the first belt is arranged on each side of the first motor, and the second belt is of the second motor. It is characterized in that it is arranged on each of both sides, adjacent to the first belt in the left-right direction, and at the same height as the first belt.
本発明の産業用ロボットでは、アームに対する第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材の移動方向である前後方向から見たときに、第1ハンド支持部材に固定される第1ベルトは、第1モータの両側のそれぞれに配置され、第2ハンド支持部材に固定される第2ベルトは、第2モータの両側のそれぞれに配置されている。すなわち、本発明では、第1モータの左右の両側に配置される2本の第1ベルトが第1ハンド支持部材に固定され、第2モータの左右の両側に配置される2本の第2ベルトが第2ハンド支持部材に固定されている。そのため、本発明では、特許文献1に記載の産業用ロボットのように、移動時の第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材にモーメントが生じることを防止することが可能になる。したがって、本発明では、第1ハンド支持部材および第2ハンド支持部材の動作を安定させることが可能になり、その結果、第1ハンドおよび第2ハンドの動作を安定させることが可能になる。
In the industrial robot of the present invention, the first belt fixed to the first hand support member is a first belt when viewed from the front-rear direction, which is the movement direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm. The second belts arranged on both sides of the motor and fixed to the second hand support member are arranged on both sides of the second motor. That is, in the present invention, the two first belts arranged on the left and right sides of the first motor are fixed to the first hand support member, and the two second belts arranged on the left and right sides of the second motor. Is fixed to the second hand support member. Therefore, in the present invention, it is possible to prevent a moment from being generated in the first hand support member and the second hand support member during movement as in the industrial robot described in
また、本発明では、第1モータの回転中心と第2モータの回転中心とが同じ高さで配置されるとともに、第2ベルトは、左右方向で第1ベルトと隣り合うように、かつ、第1ベルトと同じ高さで配置されているため、アームの内部に配置される第1駆動機構および第2駆動機構の高さを低くすることが可能になる。したがって、本発明では、第1ハンドおよび第2ハンドの動作を安定させることが可能であっても、上下方向におけるアームの厚さを薄くすることが可能になり、その結果、産業用ロボットの高さを低くすることが可能になる。 Further, in the present invention, the rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor are arranged at the same height, and the second belt is adjacent to the first belt in the left-right direction and is second. Since the belts are arranged at the same height as one belt, the heights of the first drive mechanism and the second drive mechanism arranged inside the arm can be lowered. Therefore, in the present invention, even if the movements of the first hand and the second hand can be stabilized, the thickness of the arm in the vertical direction can be reduced, and as a result, the height of the industrial robot can be reduced. It becomes possible to lower the height.
本発明において、前後方向から見たときに、第1モータの回転中心と第2モータの回転中心とが一致していることが好ましい。このように構成すると、左右方向におけるアームの幅を狭めることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor coincide with each other when viewed from the front-rear direction. With this configuration, the width of the arm in the left-right direction can be narrowed.
本発明において、第1ハンド支持部材の左右方向の両端側には、第1ハンドが固定される第1ハンド固定部が形成され、第2ハンド支持部材の左右方向の両端側には、第2ハンドが固定される第2ハンド固定部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、第1ハンドが左右の両側で第1ハンド支持部材に支持されるため、第1ハンド支持部材と一緒に前後方向に移動する第1ハンドの状態を安定させることが可能になる。同様に、第2ハンドが左右の両側で第2ハンド支持部材に支持されるため、第2ハンド支持部材と一緒に前後方向に移動する第2ハンドの状態を安定させることが可能になる。 In the present invention, first hand fixing portions for fixing the first hand are formed on both ends in the left-right direction of the first hand support member, and second hands are fixed on both ends in the left-right direction of the second hand support member. It is preferable that a second hand fixing portion for fixing the hand is formed. With this configuration, since the first hand is supported by the first hand support member on both the left and right sides, it is possible to stabilize the state of the first hand that moves in the front-rear direction together with the first hand support member. Become. Similarly, since the second hand is supported by the second hand support member on both the left and right sides, it is possible to stabilize the state of the second hand that moves in the front-rear direction together with the second hand support member.
本発明において、第1駆動機構は、2個の第1駆動プーリが固定される第1回転軸を備え、第2駆動機構は、2個の第2駆動プーリが固定される第2回転軸を備え、2個の第1従動プーリは、第2回転軸に回転可能に保持され、2個の第2従動プーリは、第1回転軸に回転可能に保持されていることが好ましい。このように構成すると、第1従動プーリが回転可能に保持される軸や第2従動プーリが回転可能に保持される軸が別途設けられている場合と比較して、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。 In the present invention, the first drive mechanism includes a first rotating shaft to which two first drive pulleys are fixed, and the second drive mechanism has a second rotating shaft to which two second drive pulleys are fixed. It is preferable that the two first driven pulleys are rotatably held by the second rotating shaft and the two second driven pulleys are rotatably held by the first rotating shaft. With this configuration, the configuration of the industrial robot is simplified as compared with the case where a shaft for holding the first driven pulley rotatably and a shaft for holding the second driven pulley rotatably are separately provided. It becomes possible to change.
本発明において、たとえば、第1モータおよび第2モータは、第1モータの出力軸と第2モータの出力軸とが反対方向に突出するように、アームの中心部分の内部に配置されている。また、本発明において、たとえば、第1駆動機構は、第1モータの出力軸に連結される第3回転軸と、第3回転軸の先端部に固定される第1傘歯車と、第1回転軸に固定されるとともに第1傘歯車に噛み合う第2傘歯車とを備え、第2駆動機構は、第2モータの出力軸に連結される第4回転軸と、第4回転軸の先端部に固定される第3傘歯車と、第2回転軸に固定されるとともに第3傘歯車に噛み合う第4傘歯車とを備えている。 In the present invention, for example, the first motor and the second motor are arranged inside the central portion of the arm so that the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor project in opposite directions. Further, in the present invention, for example, the first drive mechanism includes a third rotating shaft connected to the output shaft of the first motor, a first captive gear fixed to the tip of the third rotating shaft, and a first rotation. It is equipped with a second umbrella gear that is fixed to the shaft and meshes with the first umbrella gear, and the second drive mechanism is attached to the fourth rotating shaft connected to the output shaft of the second motor and the tip of the fourth rotating shaft. It includes a third bevel gear that is fixed and a fourth bead gear that is fixed to the second rotating shaft and meshes with the third bevel gear.
以上のように、本発明では、アームに対して直線的に往復移動する第1ハンドおよび第2ハンドを有する産業用ロボットにおいて、第1ハンドおよび第2ハンドの動作を安定させることが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocates with respect to an arm, it is possible to stabilize the operation of the first hand and the second hand. ..
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(産業用ロボットの概略構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の背面図である。
(Outline configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of the
本形態の産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板2(以下、「基板2」とする。)を真空中で搬送するロボットである。このロボット1は、液晶ディスプレイ装置の製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムは、中心に配置されるトランスファーチャンバー3(以下、「チャンバー3」とする。)と、チャンバー3を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー4(以下、「チャンバー4」とする。)とを備えている(図1参照)。
The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “
チャンバー3、4の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー3、4は、真空チャンバーである。チャンバー3の内部には、ロボット1の一部が配置されている。ロボット1は、チャンバー4への基板2の搬入とチャンバー4からの基板2の搬出とを行う。チャンバー4の内部には、各種の装置等が配置されており、チャンバー4の内部では、基板2に対して各種の処理が行われる。
The inside of the
ロボット1は、基板2が搭載される第1ハンドとしてのハンド5と、基板2が搭載される第2ハンドとしてのハンド6と、ハンド5が固定される第1ハンド支持部材としてのハンド支持部材7と、ハンド6が固定される第2ハンド支持部材としてのハンド支持部材8と、ハンド支持部材7、8を保持するアーム9と、アーム9が回動可能に連結される本体部10とを備えている。
The
本体部10は、アーム9の中心部が固定される円柱状の昇降部材12(図2参照)と、昇降部材12を昇降させる昇降機構と、昇降部材12を回動させる回動機構と、これらの構成が収容されるケース体13とを備えている。ケース体13は、略有底円筒状に形成されている。ケース体13の上端には、円板状に形成されたフランジ14が固定されている。フランジ14には、昇降部材12の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。
The main body 10 includes a columnar elevating member 12 (see FIG. 2) to which the central portion of the arm 9 is fixed, an elevating mechanism for elevating the elevating
ハンド5、6およびアーム9は、本体部10の上側に配置されている。上述のように、ロボット1の一部は、チャンバー3の内部に配置されている。具体的には、ロボット1の、フランジ14の下端面よりも上側の部分がチャンバー3の内部に配置されている。すなわち、ロボット1の、フランジ14の下端面よりも上側の部分は、真空領域VRの中に配置されており、ハンド5、6およびアーム9は、真空チャンバー内(真空中)に配置されている。一方、ロボット1の、フランジ14の下端面よりも下側の部分は、大気領域ARの中(大気中)に配置されている。
The hands 5, 6 and the arm 9 are arranged on the upper side of the main body 10. As described above, a part of the
アーム9は、ハンド支持部材7とハンド支持部材8とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材7、8を保持している。ロボット1は、アーム9に対してハンド支持部材7を往復移動させる第1駆動機構としての駆動機構17と、アーム9に対してハンド支持部材8を往復移動させる第2駆動機構としての駆動機構18とを備えている(図4参照)。
The arm 9 holds the
以下、ハンド5、6、ハンド支持部材7、8、アーム9および駆動機構17、18の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明では、アーム9に対するハンド支持部材7、8の移動方向である図1等のX方向を「前後方向」とし、上下方向(鉛直方向)と前後方向とに直交する図1等のY方向を「左右方向」とする。また、前後方向のうちのX1方向側を「前」側とし、その反対側であるX2方向側を「後ろ」側とする。
Hereinafter, specific configurations of the hands 5, 6, the
(ハンド、ハンド支持部材、アームおよび駆動機構の構成)
図4(A)は、図1に示すアーム9の内部構造を説明するための平面図であり、図4(B)は、図4(A)のE−E方向からアーム9の内部構造を説明するための図である。図5(A)は、図4(A)のF部の拡大図であり、図5(B)は、図4(B)のG部の拡大図である。図6(A)は、図4(A)のH部の拡大図であり、図6(B)は、図4(A)のJ部の拡大図である。図7(A)は、図4(A)のK−K方向からアーム9の内部構造を説明するための図であり、図7(B)は、図4(A)のL−L方向からアーム9の内部構造を説明するための図である。図8は、図4(B)のN−N方向からハンド支持部材7、8、アーム9および駆動機構17、18の構成を説明するための断面図である。図9は、図4(B)のQ−Q方向からハンド支持部材7、8、アーム9および駆動機構17、18の構成を説明するための断面図である。
(Structure of hand, hand support member, arm and drive mechanism)
4 (A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in FIG. 1, and FIG. 4 (B) shows the internal structure of the arm 9 from the EE direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating. 5 (A) is an enlarged view of the F portion of FIG. 4 (A), and FIG. 5 (B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4 (B). 6 (A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (A), and FIG. 6 (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 4 (A). FIG. 7 (A) is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 from the KK direction of FIG. 4 (A), and FIG. 7 (B) is a diagram from the LL direction of FIG. 4 (A). It is a figure for demonstrating the internal structure of an arm 9. FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the
ハンド5は、基板2が搭載される複数のフォーク20と、複数のフォーク20の基端部(後端部)が固定されるハンド基部21とを備えている。ハンド6は、ハンド5と同様に、基板2が搭載される複数のフォーク20と、複数のフォーク20の基端部(後端部)が固定されるハンド基部22とを備えている。本形態のハンド5、6は、6本のフォーク20を備えている。フォーク20は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部21、22は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部21の長さ(左右方向の長さ)は、ハンド基部22の長さ(左右方向の長さ)よりも長くなっている。
The hand 5 includes a plurality of
ハンド5とハンド6とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド5が上側に配置され、ハンド6が下側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド基部21が上側に配置され、ハンド基部22が下側に配置されている。また、図3に示すように、ハンド5とハンド6とは、前後方向から見たときに、ハンド基部21の中心とハンド基部22の中心とが左右方向において一致するように配置されている。すなわち、ハンド5とハンド6とは、前後方向から見たときに、ハンド5の中心とハンド6の中心とが左右方向において一致するように配置されている。 The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this embodiment, the hand 5 is arranged on the upper side and the hand 6 is arranged on the lower side when viewed from the front-rear direction. That is, when viewed from the front-rear direction, the hand base 21 is arranged on the upper side and the hand base 22 is arranged on the lower side. Further, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arranged so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction.
アーム9は、ハンド6の下側に配置されている。このアーム9は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。また、アーム9は、中空状に形成されている。アーム9の左右方向の幅は、ハンド5、6の左右方向の幅よりも狭くなっている。アーム9は、前後方向から見たときに、ハンド5、6の中心とアーム9の中心とが左右方向において一致するように配置されている。アーム9は、アーム9のフレームであるアームフレーム23と、アーム9の上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材24と、アーム9の中心部に配置される箱状のモータ収容部材25と、モータ収容部材25の上面に固定される上面カバー26とを備えている。なお、図4〜図9では、カバー部材24の図示を省略している。
The arm 9 is arranged below the hand 6. The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. Further, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width of the arm 9 in the left-right direction is narrower than the width of the hands 5 and 6 in the left-right direction. The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide with each other in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 includes an arm frame 23 which is a frame of the arm 9, a cover member 24 which constitutes the vertical, horizontal, and front-rear side surfaces of the arm 9, and a box-shaped
アームフレーム23は、前後方向におけるアーム9の全域でアーム9のフレームを構成している。このアームフレーム23は、アームフレーム23の右側面を構成する右側板部23aと、アームフレーム23の左側面を構成する左側板部23bと、アームフレーム23の上側面を構成する上側板部23cと、アームフレーム23の下側面を構成する下側板部23dとを備えている。
The arm frame 23 constitutes the frame of the arm 9 over the entire area of the arm 9 in the front-rear direction. The arm frame 23 includes a right
右側板部23a、左側板部23b、上側板部23cおよび下側板部23dは、平板状に形成されている。右側板部23aは、右側板部23aの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部23bは、左側板部23bの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。上側板部23cは、上側板部23cの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部23dは、下側板部23dの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。
The right
右側板部23aと左側板部23bとは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。上側板部23cは、右側板部23aの上端および左側板部23bの上端にネジによって固定されている。下側板部23dは、右側板部23aの下端および左側板部23bの下端にネジによって固定されている。上側板部23cの右端および下側板部23dの右端は、右側板部23aよりも右側に配置され、上側板部23cの左端および下側板部23dの左端は、左側板部23bよりも左側に配置されている。
The right
モータ収容部材25は、上面側が開口する略直方体の箱状に形成されている。また、モータ収容部材25は、前後方向に細長い略直方体の箱状に形成されている。モータ収容部材25には、駆動機構17を構成する後述のモータ37と、駆動機構18を構成する後述のモータ38とが収容されている。モータ収容部材25は、アームフレーム23の中心部分に固定されている。すなわち、モータ収容部材25は、アーム9の中心部分に配置されている。モータ収容部材25の底面の中心は、昇降部材12の上端に固定されている。すなわち、アーム9の中心は、本体部10に回動可能に連結されている。なお、モータ収容部材25の、下端部以外の大半部分は、左右方向において、右側板部23aと左側板部23bとの間に配置されている(図5(A)、図9参照)。
The
上面カバー26は、長方形の平板状に形成されている。上面カバー26は、モータ収容部材25の上面側に形成される開口部を塞ぐようにモータ収容部材25の上面に固定されている。アーム9の中心部分の内部には、モータ収容部材25と上面カバー26とによって画定される内部空間Sが形成されている。モータ収容部材25の底面部の中心には、上下方向に貫通する貫通穴25aが形成されている。上述のように、昇降部材12は、円筒状に形成されている。昇降部材12は、貫通穴25aを囲むようにモータ収容部材25の底面に固定されており、ケース体13の内部と内部空間Sとが通じている。ケース体13の内部および内部空間Sは、大気圧となっている。
The
図8、図9に示すように、右側板部23aの右面および左側板部23bの左面には、ハンド支持部材7を前後方向へ案内するためのガイドレール29が固定されている。また、右側板部23aの右面および左側板部23bの左面には、ハンド支持部材8を前後方向へ案内するためのガイドレール30が固定されている。ガイドレール29、30は、ガイドレール29、30の長手方向と前後方向とが一致するように、右側板部23aおよび左側板部23bに固定されている。
As shown in FIGS. 8 and 9,
本形態では、前後方向で分割された複数のガイドレール29が右側板部23aおよび左側板部23bに固定されている(図7参照)。同様に、前後方向で分割された複数のガイドレール30が右側板部23aおよび左側板部23bに固定されている。右側板部23aの右面に固定されるガイドレール29と、左側板部23bの左面に固定されるガイドレール29とは、上下方向において同じ位置に配置されている。同様に、右側板部23aの右面に固定されるガイドレール30と、左側板部23bの左面に固定されるガイドレール30とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、ガイドレール30は、ガイドレール29の上側に配置されている。
In this embodiment, a plurality of
ハンド支持部材7は、ガイドレール29に沿って前後方向にスライドする2個のスライド部7aと、ハンド5のハンド基部21が固定される2個のハンド固定部7bとから構成されている。同様に、ハンド支持部材8は、ガイドレール30に沿って前後方向にスライドする2個のスライド部8aと、ハンド6のハンド基部22が固定される2個のハンド固定部8bとから構成されている。
The
図8、図9に示すように、2個のスライド部7aのそれぞれは、右側板部23aおよび左側板部23bの左右方向の外側に配置されている。2個のスライド部8aのそれぞれは、右側板部23aおよび左側板部23bの左右方向の外側に配置されている。また、2個のスライド部8aは、2個のスライド部7aの上側に配置されている。図3に示すように、右側に配置されるスライド部7a、8aの右端部分は、カバー部材24の右側面よりも右側へ突出し、左側に配置されるスライド部7a、8aの左端部分は、カバー部材24の左側面よりも左側へ突出している。
As shown in FIGS. 8 and 9, each of the two
2個のハンド固定部7bのうちの一方のハンド固定部7bは、右側に配置されるスライド部7aの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部7aに固定されており、このハンド固定部7bの上端には、図3に示すように、ハンド基部21の右端部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部7bは、左側に配置されるスライド部7aの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部7aに固定されており、このハンド固定部7bの上端には、図3に示すように、ハンド基部21の左端部分の下面が固定されている。このように、ハンド支持部材7の左右方向の両端側には、ハンド5が固定される第1ハンド固定部としてのハンド固定部7bが形成されている。
One of the two
2個のハンド固定部8bのうちの一方のハンド固定部8bは、右側に配置されるスライド部8aの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部8aに固定されており、このハンド固定部8bの上端には、図3に示すように、ハンド基部22の、左右方向の中心よりも右寄りの部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部8bは、左側に配置されるスライド部8aの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部8aに固定されており、このハンド固定部8bの上端には、図3に示すように、ハンド基部22の、左右方向の中心よりも左寄りの部分の下面が固定されている。このように、ハンド支持部材8の左右方向の両端側には、ハンド6が固定される第2ハンド固定部としてのハンド固定部8bが形成されている。
One of the two
右側に配置されるスライド部7aには、右側に配置されるガイドレール29に係合するガイドブロック31が固定され、左側に配置されるスライド部7aには、左側に配置されるガイドレール29に係合するガイドブロック31が固定されている。同様に、右側に配置されるスライド部8aには、右側に配置されるガイドレール30に係合するガイドブロック32が固定され、左側に配置されるスライド部8aには、左側に配置されるガイドレール30に係合するガイドブロック32が固定されている。
A
具体的には、2個のスライド部7aのそれぞれに3個のガイドブロック31が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている(図7(B)参照)。また、2個のスライド部8aのそれぞれに3個のガイドブロック32が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている(図7(A)参照)。本形態では、ガイドレール29とガイドブロック31とによってハンド支持部材7を前後方向へ案内するガイド機構33が構成されている。また、ガイドレール30とガイドブロック32とによってハンド支持部材8を前後方向へ案内するガイド機構34が構成されている。
Specifically, three
駆動機構17、18は、アーム9の内部に配置されている。駆動機構17は、駆動源としてのモータ37を備えている。駆動機構18は、駆動源としてのモータ38を備えている。モータ37、38は、内部空間Sに配置されている。すなわち、モータ37、38は、アーム9の中心部分の内部に配置されている。モータ37、38は、所定のブラケットを介して、モータ収容部材25に固定されている。モータ37とモータ38とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、モータ37が後ろ側に配置され、モータ38が前側に配置されている。本形態のモータ37は、第1モータであり、モータ38は、第2モータである。
The
モータ37、38は、モータ37、38の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、モータ37、38は、モータ37の出力軸とモータ38の出力軸とが反対方向に突出するように内部空間Sに配置されている。すなわち、モータ37、38は、モータ37の出力軸とモータ38の出力軸とが反対方向に突出するように、アーム9の中心部分の内部に配置されている。具体的には、モータ37の出力軸が後ろ側に向かって突出し、モータ38の出力軸が前側に向かって突出するように、モータ37、38が内部空間Sに配置されている。
The
モータ37の回転中心とモータ38の回転中心とは同じ高さで配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、モータ37の回転中心とモータ38の回転中心とが一致している。また、前後方向から見たときに、モータ37、38の回転中心とアーム9の中心とは略一致している。なお、モータ37、38には、冷却用のエア配管(図示省略)が巻き付けられている。
The center of rotation of the
また、駆動機構17は、モータ37の出力軸に連結される第3回転軸としての回転軸39と、回転軸39の先端部に固定される第1傘歯車としての傘歯車40と、傘歯車40に噛み合う第2傘歯車としての傘歯車41と、傘歯車41が固定される第1回転軸としての回転軸42とを備えている。同様に、駆動機構18は、モータ38の出力軸に連結される第4回転軸としての回転軸43と、回転軸43の先端部に固定される第3傘歯車としての傘歯車44と、傘歯車44に噛み合う第4傘歯車としての傘歯車45と、傘歯車45が固定される第2回転軸としての回転軸46とを備えている。
Further, the
さらに、駆動機構17は、回転軸42に固定される2個の駆動プーリ48と、回転軸46に回転可能に保持される2個の従動プーリ49と、駆動プーリ48と従動プーリ49とに架け渡される2本のベルト50とを備えている。同様に、駆動機構18は、回転軸46に固定される2個の駆動プーリ52と、回転軸42に回転可能に保持される2個の従動プーリ53と、駆動プーリ52と従動プーリ53とに架け渡される2本のベルト54とを備えている。本形態の駆動プーリ48は第1駆動プーリであり、従動プーリ49は第1従動プーリであり、ベルト50は第1ベルトであり、駆動プーリ52は第2駆動プーリであり、従動プーリ53は第2従動プーリであり、ベルト54は第2ベルトである。
Further, the
回転軸39は、回転軸39の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ37の出力軸の先端(後端)にカップリング55を介して連結されている(図5参照)。回転軸43は、回転軸43の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ38の出力軸の先端(前端)にカップリング55を介して連結されている(図5参照)。傘歯車40、41、回転軸42、駆動プーリ48および従動プーリ53は、アーム9の後端側の内部(前後方向におけるアーム9の一端側の内部)に配置されている。傘歯車44、45、回転軸46、駆動プーリ52および従動プーリ49は、アーム9の前端側の内部(前後方向におけるアーム9の他端側の内部)に配置されている。
The rotating
また、駆動機構17は、回転軸39を回転可能に保持するとともに内部空間Sからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール56を備えている。同様に、駆動機構18は、回転軸43を回転可能に保持するとともに内部空間Sからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール57を備えている。図5に示すように、磁性流体シール56は、モータ収容部材25の後面を構成する後壁部25bに固定されている。磁性流体シール57は、モータ収容部材25の前面を構成する前壁部25cに固定されている。具体的には、磁性流体シール56は、後壁部25bを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で後壁部25bに固定され、磁性流体シール57は、前壁部25cを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で前壁部25cに固定されている。
Further, the
また、回転軸39、43は、アームフレーム23に固定される複数の軸受59に回転可能に支持されている。なお、本形態の回転軸39は、長さの短い2本の短軸と、長さの長い1本の長軸とによって形成されている。2本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング55を介してモータ37の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール56に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車40が固定されている。一方の短軸と長軸の前端とは、磁性流体シール56の後ろ側に配置されるカップリング60によって連結され(図5参照)、他方の短軸と長軸の後端とは、最も後ろ側の軸受59の前側に配置されるカップリング60によって連結されている(図6(B)参照)。
Further, the rotating
同様に、本形態の回転軸43は、長さの短い2本の短軸と、長さの長い1本の長軸とによって形成されている。2本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング55を介してモータ38の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール57に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車44が固定されている。一方の短軸と長軸の後端とは、磁性流体シール57の前側に配置されるカップリング60によって連結され(図5参照)、他方の短軸と長軸の前端とは、最も前側の軸受59の後ろ側に配置されるカップリング60によって連結されている(図6(A)参照)。なお、回転軸39、43は、1本の長軸によって構成されていても良い。
Similarly, the rotating
回転軸42は、アーム9に回転可能に支持されている。この回転軸42は、傘歯車40の後ろ側に配置されている。回転軸42は、回転軸42の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ37の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸42に固定される駆動プーリ48は、モータ37の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸42に回転可能に保持される従動プーリ53も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車41は、左右方向における回転軸42の中心側に固定されている。回転軸42の左右の両端側は、右側板部23aおよび左側板部23bよりも左右方向の外側に突出している。
The
回転軸46は、アーム9に回転可能に支持されている。この回転軸46は、傘歯車44の前側に配置されている。回転軸46は、回転軸46の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ38の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸46に固定される駆動プーリ52は、モータ38の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸46に回転可能に保持される従動プーリ49も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車45は、左右方向における回転軸46の中心側に固定されている。回転軸46の左右の両端側は、右側板部23aおよび左側板部23bよりも左右方向の外側に突出している。回転軸46は、上下左右方向において、回転軸42と同じ位置に配置されている。
The
2個の駆動プーリ48のそれぞれは、左右方向における回転軸42の両端部のそれぞれに固定されている。従動プーリ53は、傘歯車41と駆動プーリ48との間で回転軸42に回転可能に保持されており、2個の従動プーリ53は、2個の駆動プーリ48よりも左右方向の内側に配置されている。また、2個の従動プーリ53は、右側板部23aおよび左側板部23bよりも左右方向の外側に配置されている。
Each of the two drive pulleys 48 is fixed to both ends of the
2個の従動プーリ49のそれぞれは、左右方向における回転軸46の両端部のそれぞれに回転可能に保持されている。従動プーリ49は、左右方向において駆動プーリ48と同じ位置に配置されている。駆動プーリ52は、傘歯車45と従動プーリ49との間で回転軸46に固定されており、2個の駆動プーリ52は、2個の従動プーリ49よりも左右方向の内側に配置されている。また、2個の駆動プーリ52は、右側板部23aおよび左側板部23bよりも左右方向の外側に配置されている。駆動プーリ52は、左右方向において従動プーリ53と同じ位置に配置されている。
Each of the two driven
ベルト50は、ハンド支持部材7に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、2本のベルト50のそれぞれの一部が2個のスライド部7aのそれぞれの上端部に固定されている。本形態のベルト50は、有端ベルトであり、駆動プーリ48および従動プーリ49に架け渡されたベルト50の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部7aに固定されている(図7(B)参照)。また、ベルト50は、ハンド固定部7bよりも左右方向の内側に配置されている。なお、ベルト50は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
The
ベルト54は、ハンド支持部材8に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、2本のベルト54のそれぞれの一部が2個のスライド部8aのそれぞれの下端部に固定されている。ベルト50と同様に、本形態のベルト54は、有端ベルトであり、駆動プーリ52および従動プーリ53に架け渡されたベルト54の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部8aに固定されている(図7(A)参照)。また、ベルト54は、ハンド固定部8bよりも左右方向の内側に配置されている。なお、ベルト54は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
The
駆動プーリ48、52および従動プーリ49、53が上述のように配置されているため、前後方向から見たときに、2本のベルト50のそれぞれは、モータ37、38の左右の両側のそれぞれに配置され、2本のベルト54のそれぞれは、モータ37、38の左右の両側のそれぞれに配置されている。具体的には、前後方向から見たときに、2本のベルト50のそれぞれは、モータ37、38の回転中心に対して左右対称に配置され、2本のベルト54のそれぞれは、モータ37、38の回転中心に対して左右対称に配置されている。
Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven
また、ベルト54は、ベルト50と左右方向で隣り合うように、かつ、ベルト50と同じ高さで配置されている。すなわち、アーム9の内部の左右の両端側において、ベルト54は、左右方向の内側でベルト50と隣り合うように、かつ、ベルト50と同じ高さで配置されている。また、アーム9の内部の左右の両端側において、ベルト54は、左右方向の外側で右側板部23aおよび左側板部23bと隣り合うように配置されている。
Further, the
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、モータ37の左右の両側に配置される2本のベルト50がハンド支持部材7に固定され、モータ38の左右の両側に配置される2本のベルト54がハンド支持部材8に固定されている。そのため、本形態では、上述の特許文献1に記載の産業用ロボットのように、移動時のハンド支持部材7、8にモーメントが生じることを防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド支持部材7、8の動作を安定させることが可能になり、その結果、ハンド5、6の動作を安定させることが可能になる。
(Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the two
また、本形態では、ハンド支持部材7の左右方向の両端側にハンド5が固定されるハンド固定部7bが形成されており、ハンド5が左右の両側でハンド支持部材7に支持されている。同様に、本形態では、ハンド支持部材8の左右方向の両端側にハンド6が固定されるハンド固定部8bが形成されており、ハンド6が左右の両側でハンド支持部材8に支持されている。そのため、本形態では、ハンド支持部材7と一緒に前後方向に移動するハンド5の状態、および、ハンド支持部材8と一緒に前後方向に移動するハンド6の状態を安定させることが可能になる。
Further, in the present embodiment,
本形態では、モータ37の回転中心とモータ38の回転中心とが同じ高さで配置されるとともに、ベルト54は、左右方向でベルト50と隣り合うように、かつ、ベルト50と同じ高さで配置されている。そのため、本形態では、アーム9の内部に配置される駆動機構17、18の高さを低くすることが可能になる。したがって、本形態では、ハンド5、6の動作を安定させることが可能であっても、アーム9の厚さ(上下方向の厚さ)を薄くすることが可能になり、その結果、ロボット1の高さを低くすることが可能になる。また、本形態では、チャンバー3の中に配置されるアーム9の厚さを薄くすることが可能になるため、チャンバー3の高さを低くすることが可能になる。
In this embodiment, the rotation center of the
本形態では、前後方向から見たときに、モータ37の回転中心とモータ38の回転中心とが一致している。そのため、本形態では、アーム9の幅(左右方向の幅)を狭めることが可能になる。また、本形態では、駆動プーリ48が固定される回転軸42に従動プーリ53が回転可能に保持され、駆動プーリ52が固定される回転軸46に従動プーリ49が回転可能に保持されているため、従動プーリ53が回転可能に保持される軸や従動プーリ49が回転可能に保持される軸が別途設けられている場合と比較して、ロボット1の構成を簡素化することが可能になる。
In this embodiment, the center of rotation of the
(他の実施の形態)
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
(Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.
上述した形態では、従動プーリ49は、回転軸46に回転可能に保持されているが、従動プーリ49を回転可能に保持する軸が別途設けられていても良い。同様に、上述した形態では、従動プーリ53は、回転軸42に回転可能に保持されているが、従動プーリ53を回転可能に保持する軸が別途設けられていても良い。また、上述した形態では、ベルト54は、左右方向の内側でベルト50と隣り合うように配置されているが、たとえば、右側に配置されるベルト50の右側にベルト54が配置されていても良いし、左側に配置されるベルト50の左側にベルト54が配置されていても良い。
In the above-described embodiment, the driven
上述した形態において、前後方向から見たときに、モータ37の回転中心とモータ38の回転中心とが左右方向でずれていても良い。また、上述した形態において、モータ37は、アーム9の後端部の内部に配置されていても良いし、モータ38は、アーム9の前端部の内部に配置されていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド支持部材7の左右方向の一方側のみに、ハンド5が固定されるハンド固定部7bが形成されていても良いし、ハンド支持部材8の左右方向の一方側のみに、ハンド6が固定されるハンド固定部8bが形成されていても良い。
In the above-described embodiment, the center of rotation of the
上述した形態において、特許文献1に記載された産業用ロボットのように、アーム9は、アーム支持部材に対して前後方向に直線的に往復移動可能となるようにアーム支持部材に保持されていても良い。また、上述した形態において、アーム9の内部の全体が大気圧となっていても良い。また、アーム9の内部の全体が真空となっていても良い。すなわち、モータ37、38は、真空中に配置されていても良い。
In the above-described embodiment, the arm 9 is held by the arm support member so as to be linearly reciprocating in the front-rear direction with respect to the arm support member, as in the industrial robot described in
上述した形態において、ロボット1は、大気中で基板2を搬送するロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット1によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板2であるが、ロボット1によって搬送される搬送対象物は、たとえば、有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、ガラス基板2以外の搬送対象物であっても良い。
In the above-described embodiment, the
1 ロボット(産業用ロボット)
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
5 ハンド(第1ハンド)
6 ハンド(第2ハンド)
7 ハンド支持部材(第1ハンド支持部材)
7b ハンド固定部(第1ハンド固定部)
8 ハンド支持部材(第2ハンド支持部材)
8b ハンド固定部(第2ハンド固定部)
9 アーム
17 駆動機構(第1駆動機構)
18 駆動機構(第2駆動機構)
37 モータ(第1モータ)
38 モータ(第2モータ)
39 回転軸(第3回転軸)
40 傘歯車(第1傘歯車)
41 傘歯車(第2傘歯車)
42 回転軸(第1回転軸)
43 回転軸(第4回転軸)
44 傘歯車(第3傘歯車)
45 傘歯車(第4傘歯車)
46 回転軸(第2回転軸)
48 駆動プーリ(第1駆動プーリ)
49 従動プーリ(第1従動プーリ)
50 ベルト(第1ベルト)
52 駆動プーリ(第2駆動プーリ)
53 従動プーリ(第2従動プーリ)
54 ベルト(第2ベルト)
X 前後方向
Y 左右方向
1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, object to be transported)
5 hands (1st hand)
6 hands (2nd hand)
7 Hand support member (first hand support member)
7b Hand fixing part (1st hand fixing part)
8 Hand support member (second hand support member)
8b Hand fixing part (second hand fixing part)
9
18 Drive mechanism (second drive mechanism)
37 motor (first motor)
38 motor (second motor)
39 rotation axis (third rotation axis)
40 Bevel gear (1st bevel gear)
41 Bevel gear (second bevel gear)
42 rotation axis (first rotation axis)
43 Rotation axis (4th rotation axis)
44 Bevel gear (3rd bevel gear)
45 Bevel gear (4th bevel gear)
46 rotation axis (second rotation axis)
48 Drive pulley (1st drive pulley)
49 Driven pulley (1st driven pulley)
50 belt (1st belt)
52 Drive pulley (2nd drive pulley)
53 Driven pulley (second driven pulley)
54 belt (second belt)
X Front-back direction Y Left-right direction
Claims (6)
前記第1駆動機構および前記第2駆動機構は、前記アームの内部に配置され、
前記アームに対する前記第1ハンド支持部材および前記第2ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第1駆動機構は、駆動源としての第1モータと、前記第1モータの動力で左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向における前記アームの一端側の内部に配置される2個の第1駆動プーリと、左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向における前記アームの他端側の内部に配置される2個の第1従動プーリと、前記第1ハンド支持部材に固定されるとともに前記第1駆動プーリと前記第1従動プーリとに架け渡される2本の第1ベルトとを備え、
前記第2駆動機構は、駆動源としての第2モータと、前記第2モータの動力で左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向における前記アームの他端側の内部に配置される2個の第2駆動プーリと、左右方向を回転の軸方向として回転するとともに前後方向における前記アームの一端側の内部に配置される2個の第2従動プーリと、前記第2ハンド支持部材に固定されるとともに前記第2駆動プーリと前記第2従動プーリとに架け渡される2本の第2ベルトとを備え、
前記第1モータの回転中心と前記第2モータの回転中心とは同じ高さで配置され、
前後方向から見たときに、前記第1ベルトは、前記第1モータの両側のそれぞれに配置され、前記第2ベルトは、前記第2モータの両側のそれぞれに配置されるとともに、左右方向で前記第1ベルトと隣り合うように、かつ、前記第1ベルトと同じ高さで配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 The first and second hands on which the object to be transported is mounted, the first hand support member to which the first hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand. With respect to the arm holding the first hand support member and the second hand support member and the arm so that the support member and the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. A first drive mechanism for reciprocating the first hand support member and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm are provided.
The first drive mechanism and the second drive mechanism are arranged inside the arm.
When the moving direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm is the front-rear direction, and the direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is the left-right direction
The first drive mechanism is a first motor as a drive source, and two are arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating in the left-right direction as an axial direction of rotation by the power of the first motor. First drive pulley, two first driven pulleys that rotate in the left-right direction as the axial direction of rotation and are arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction, and are fixed to the first hand support member. It is provided with two first belts that are bridged to the first drive pulley and the first driven pulley.
The second drive mechanism rotates with the power of the second motor as a drive source and the left-right direction as the axial direction of rotation by the power of the second motor, and is arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction. Fixed to the second drive pulley, two second driven pulleys that rotate in the left-right direction as the axial direction of rotation and are arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction, and the second hand support member. It is provided with two second belts that are bridged to the second drive pulley and the second driven pulley.
The center of rotation of the first motor and the center of rotation of the second motor are arranged at the same height.
When viewed from the front-rear direction, the first belt is arranged on each side of the first motor, the second belt is arranged on each side of the second motor, and the belt is arranged in the left-right direction. An industrial robot characterized in that it is arranged adjacent to the first belt and at the same height as the first belt.
前記第2ハンド支持部材の左右方向の両端側には、前記第2ハンドが固定される第2ハンド固定部が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。 First hand fixing portions for fixing the first hand are formed on both ends of the first hand support member in the left-right direction.
The industrial robot according to claim 1 or 2, wherein second hand fixing portions for fixing the second hand are formed on both ends of the second hand support member in the left-right direction.
前記第2駆動機構は、2個の前記第2駆動プーリが固定される第2回転軸を備え、
2個の前記第1従動プーリは、前記第2回転軸に回転可能に保持され、
2個の前記第2従動プーリは、前記第1回転軸に回転可能に保持されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。 The first drive mechanism includes a first rotation shaft to which the two first drive pulleys are fixed.
The second drive mechanism includes a second rotating shaft to which the two second drive pulleys are fixed.
The two first driven pulleys are rotatably held by the second rotating shaft.
The industrial robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the two second driven pulleys are rotatably held by the first rotating shaft.
前記第2駆動機構は、前記第2モータの出力軸に連結される第4回転軸と、前記第4回転軸の先端部に固定される第3傘歯車と、前記第2回転軸に固定されるとともに前記第3傘歯車に噛み合う第4傘歯車とを備えることを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。 The first drive mechanism is fixed to the third rotating shaft connected to the output shaft of the first motor, the first bevel gear fixed to the tip of the third rotating shaft, and the first rotating shaft. It also has a second bevel gear that meshes with the first bevel gear.
The second drive mechanism is fixed to the fourth rotating shaft connected to the output shaft of the second motor, the third bevel gear fixed to the tip of the fourth rotating shaft, and the second rotating shaft. The industrial robot according to claim 5, further comprising a fourth bevel gear that meshes with the third bevel gear.
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