JP4731267B2 - Robot hand and workpiece transfer robot using the same - Google Patents

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Description

本発明は、高温環境の下でガラス基板やウェハー等のワークを取り扱うロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットに関する。   The present invention relates to a robot hand that handles a workpiece such as a glass substrate or a wafer in a high temperature environment, and a workpiece transfer robot using the same.

従来から、液晶ディスプレーやプラズマディスプレー等のフラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）や半導体の製造工程においては、これらの基材である平板状のガラスやウェハー等の基板をワークとしてある工程から別の工程へ搬送するために基板搬送ロボットが多用されている。さらに、その製造工程の中には、高温の加熱炉で加工処理する工程が含まれている。例えば、ガラス基板を製造する場合に、工程間搬送用のカセットからガラス基板を取り出し、ガラス基板の表面に薬液を塗布して、高温の加熱炉に搬入し、その高温下で薬液を溶融させてガラス基板の表面に製膜を構成する工程を設置することがある。この工程においては、ガラス基板は高温の加熱炉内で処理されることから、通常のガラス基板搬送用ハンドにより高温で製膜処理されたガラス基板を連続的に次工程の処理装置に搬送する。このような搬送の際には、製膜後のガラス基板を搬送して加熱炉内で高温となったハンドで、次に加工するガラス基板を取り出し薬液を塗布すると、ハンドの熱でガラス基板に塗布した薬液にムラができたりする一方、連続的搬送によりハンドが高温化して高温の加熱炉内でハンド自体が変形したりするおそれがある。   Conventionally, in flat panel displays (FPD) such as liquid crystal displays and plasma displays, and semiconductor manufacturing processes, these substrates, such as flat glass and wafers, are transported from one process to another as a workpiece. In order to do this, a substrate transfer robot is frequently used. Further, the manufacturing process includes a process of processing in a high-temperature heating furnace. For example, when manufacturing a glass substrate, take out the glass substrate from the cassette for transport between processes, apply the chemical on the surface of the glass substrate, carry it into a high-temperature heating furnace, and melt the chemical at that high temperature. A process for forming a film may be provided on the surface of the glass substrate. In this step, since the glass substrate is processed in a high-temperature heating furnace, the glass substrate formed at a high temperature by a normal glass substrate transfer hand is continuously transferred to the processing apparatus of the next step. During such transport, the glass substrate after film formation is transported and the glass substrate to be processed next is taken out with a hand that has become hot in the heating furnace, and the chemical solution is applied to the glass substrate with the heat of the hand. While the applied chemical solution may be uneven, the hand may become hot due to continuous conveyance and the hand itself may be deformed in a high-temperature heating furnace.

このような問題に対応するために、冷却媒体が循環するパイプ体をハンドの周囲に延接して、高温環境においてハンドを冷却しつつ、ガラス基板を搬送するロボットのハンドが提案されている。（特許文献１参照）   In order to cope with such a problem, a robot hand that conveys a glass substrate while cooling a hand in a high temperature environment by extending a pipe body around which a cooling medium circulates has been proposed. (See Patent Document 1)

特開２００２−３４６９６５号JP 2002-346965 A

しかしながら、特許文献１のロボットのハンドにおいては、冷却媒体がパイプ体の上流部から下流部へ循環する間に冷却媒体の温度が上昇して、下流部のハンドを十分に冷却できない一方、上流部のハンドを冷却しすぎるという不具合がある。また、冷却媒体が循環するパイプ体と接する部分のみが冷却され、ハンド全体を十分に冷却することができないという不具合がある。   However, in the robot hand of Patent Document 1, the temperature of the cooling medium rises while the cooling medium circulates from the upstream portion to the downstream portion of the pipe body, and the downstream hand cannot be sufficiently cooled. There is a problem of overcooling the hand. In addition, there is a problem that only the portion in contact with the pipe body through which the cooling medium circulates is cooled, and the entire hand cannot be sufficiently cooled.

即ち、ハンドの冷却媒体上流部と下流部においてのみならず、ハンドのパイプ体と接する部分とその他の部分において冷却が不均一になるという問題がある。さらに、不均一な冷却により、ハンド自体が歪んで変形し易くなるという問題もある。   That is, there is a problem that cooling is not uniform not only in the upstream and downstream portions of the cooling medium of the hand, but also in the portion in contact with the pipe body of the hand and other portions. Furthermore, there is a problem that the hand itself is easily distorted and deformed due to uneven cooling.

また、特許文献１のロボットのハンドにおいては、中実素材を切削加工したハンドの周囲に熱伝導率の高い金属等よりなるパイプ体を延設しているため、ハンドが比較的重くなってしまい、ロボットの運動性能や作動効率に悪影響を及ぼすという問題がある。   Further, in the robot hand of Patent Document 1, a pipe body made of a metal having high thermal conductivity is extended around the hand obtained by cutting a solid material, so that the hand becomes relatively heavy. There is a problem of adversely affecting the motion performance and operation efficiency of the robot.

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、高温環境の下で処理されるガラス基板等のワークを搬送する際、ハンドを効率良く均一に冷却することができるとともに、従来に比較して軽量な構造のロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットを提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and its purpose is to efficiently and uniformly cool the hand when transporting a workpiece such as a glass substrate to be processed in a high-temperature environment. An object of the present invention is to provide a robot hand having a lighter structure as compared to the prior art and a workpiece transfer robot using the same.

かかる目的を達成するため、本発明のロボットのハンドは、外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを備え、前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とする。 To achieve the above object, the hand of the robot of the present invention includes: a mounting portion for mounting the workpiece is formed into a shape having a hollow that has been isolated from the outside, and the medium inlet tube for introducing a cooling medium into the hollow , and a said hollow from the cooling medium medium discharge port for discharging, said in the hollow is provided with a plurality said medium inlet tube, along with varied their lengths, each medium spout on their tips Is provided .

本発明によれば、外部と隔絶された載置部の中空に、媒体導入管によって冷却媒体を導入する一方で、中空に設けた媒体排出口から使用済みの冷却媒体を排出するので、載置部の中空内に冷却媒体が流れ、載置部をその内側の中空から均一に効率よく冷却することができる。
さらに、中空内には媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたため、長さの異なる複数の媒体導入管の先端に設けた媒体噴出口から効率良く冷却媒体を噴出させるので、媒体導入管の長さに応じて冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に分散配置することができる。従って、効率よく均一にハンドの載置部を冷却することができる。 According to the present invention, since the cooling medium is introduced into the hollow of the mounting part isolated from the outside by the medium introduction pipe, the used cooling medium is discharged from the medium discharge port provided in the hollow. hollow cooling medium flows parts, the mounting portion can be uniformly and efficiently cooling a hollow inside.
Further, a plurality of medium introduction pipes are provided in the hollow, and the lengths thereof are different, and the medium ejection ports are provided at the tips of the medium introduction pipes, so that they are provided at the tips of the plurality of medium introduction pipes having different lengths. Since the cooling medium is efficiently ejected from the medium outlet, the peripheral area of the medium outlet having a high cooling efficiency can be dispersedly arranged in the hollow according to the length of the medium introduction pipe. Therefore, the placement part of the hand can be cooled efficiently and uniformly.

本発明のロボットのハンドでは、前記媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に前記載置部の先端から基端における前記中空に少なくとも１つ以上設けることが好ましい。 In the robot hand according to the present invention, it is preferable that at least one medium ejection port of the medium introduction tube is provided in the hollow from the distal end of the placement unit to the proximal end in addition to the distal end of the medium introduction tube .

本発明によれば、媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に載置部の先端から基端における中空に少なくとも１つ以上設けたので、使用前の冷涼な冷却媒体の噴出によって冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に複数分散して設けることになり、均一且つ高効率に中空内を冷却することができ、ひいては均一に効率よくハンドの載置部を冷却することができる。 According to the present invention, since at least one medium ejection port of the medium introduction tube is provided in the hollow from the distal end of the mounting portion to the proximal end in addition to the distal end of the medium introduction tube, a cool cooling medium before use is provided. A plurality of peripheral areas of the medium ejection port with high cooling efficiency are dispersed and provided in the hollow by jetting, and the inside of the hollow can be cooled uniformly and with high efficiency. Can be cooled.

本発明のロボットのハンドでは、前記冷却媒体として気体を用い、前記媒体排出口を前記載置部の基端またはその近傍に設けるとともに、塵埃除去フィルターを介して前記中空の外部に前記冷却媒体を排出することが好ましい。   In the robot hand of the present invention, gas is used as the cooling medium, and the medium discharge port is provided at or near the base end of the mounting portion, and the cooling medium is disposed outside the hollow through a dust removal filter. It is preferable to discharge.

本発明によれば、載置部の基端部またはその近傍から塵埃除去された清浄な気体として使用済みの冷却媒体が排出されるので、ハンド先端側寄りの載置部に載置されるワークが排出される使用済みの冷却媒体で汚染されることがない。   According to the present invention, since the used cooling medium is discharged as clean gas from which dust has been removed from the base end portion of the mounting portion or the vicinity thereof, the work placed on the mounting portion closer to the front end side of the hand Will not be contaminated by the used cooling medium that is discharged.

本発明のロボットのハンドでは、前記媒体排出口は、前記冷却媒体を前記ロボットのワークエリアの外部へ排出する媒体排出管に連通接続されていることが好ましい。   In the robot hand of the present invention, it is preferable that the medium discharge port is connected to a medium discharge pipe for discharging the cooling medium to the outside of the work area of the robot.

本発明によれば、媒体排出口から使用済みの冷却媒体が媒体排出管に導かれロボットのワークエリアの外部に排出されるので、ワークエリア内で搬送されるワークが使用済みの冷却媒体で汚染されることがない。   According to the present invention, since the used cooling medium is guided from the medium discharge port to the medium discharge pipe and discharged to the outside of the work area of the robot, the work conveyed in the work area is contaminated with the used cooling medium. It will not be done.

本発明のロボットのハンドでは、前記載置部が、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されていることが好ましい。この場合、カーボン繊維は熱伝導性が良好であるので、載置部をその中空側の冷却媒体によって効率的に冷却することができる。   In the robot hand of the present invention, it is preferable that the mounting portion is formed of a mixed material of carbon fiber and heat-resistant resin. In this case, since the carbon fiber has good thermal conductivity, the mounting portion can be efficiently cooled by the cooling medium on the hollow side.

更に、本発明のロボットのハンドでは、前記中空の外部に面する前記載置部の表面にアルミ層を設けることが好ましい。この場合、載置部の表面に設けられたアルミ層が外部からの熱を反射して、載置部が高熱化することを防止し、中空内の冷却媒体による冷却効率を一層高めることができる。   Furthermore, in the robot hand of the present invention, it is preferable to provide an aluminum layer on the surface of the mounting portion facing the hollow exterior. In this case, the aluminum layer provided on the surface of the mounting portion reflects heat from the outside to prevent the mounting portion from becoming high temperature, and the cooling efficiency by the cooling medium in the hollow can be further increased. .

本発明のロボットのハンドでは、前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなることが好ましい。本発明によれば、載置部の基端側を厚く形成する一方、先端側を薄く形成したので、基端部の剛性を高めることができ、ひいては大きなワーク荷重のかかる基端側での載置部の撓みを防止することができる。また、基端側に複数の媒体導入管を配置する中空のスペースを確保することができる。   In the robot hand of the present invention, it is preferable that the thickness of the mounting portion is gradually reduced from the proximal end toward the distal end. According to the present invention, since the base end side of the mounting portion is formed thick, while the tip end side is thinly formed, the rigidity of the base end portion can be increased, and consequently the mounting on the base end side where a large work load is applied. The bending of the placement portion can be prevented. Further, a hollow space in which a plurality of medium introduction pipes are arranged on the base end side can be secured.

本発明のワーク搬送ロボットは、外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを有するワーク載置用ハンドと、前記媒体導入管に前記冷却媒体を圧送する手段と、を備え、前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とする。 Workpiece conveying robot of the present invention includes: a mounting portion for mounting the workpiece is formed into a shape having a hollow that has been isolated from the outside, and the medium inlet tube for introducing a cooling medium into said hollow, the cooling medium from the hollow And a means for pressure-feeding the cooling medium to the medium introduction pipe, and a plurality of medium introduction pipes are provided in the hollow. The lengths of the medium are made different, and medium outlets are respectively provided at the tips thereof .

本発明によれば、冷却媒体を媒体導入管へ圧送して、この媒体導入管を介してワーク載置用ハンドの外部と隔絶された中空に冷却媒体を導入するとともに、中空内には媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設け、媒体噴出口から効率良く冷却媒体を噴出させるので、媒体導入管の長さに応じて冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に分散配置することができるとともに、中空の他端側に設けた媒体排出口から使用済みの冷却媒体を排出してハンドを内部側から全体的に冷却するようにしたので、効率良く且つ均一にハンドを冷却することができる。 According to the present invention, the cooling medium is pumped to the medium introduction pipe, and the cooling medium is introduced into the hollow isolated from the outside of the work placing hand via the medium introduction pipe, and the medium is introduced into the hollow. A plurality of pipes are provided, and the lengths thereof are made different, and a medium jet outlet is provided at each end of the pipe so that the cooling medium is efficiently ejected from the medium jet outlet. Therefore, depending on the length of the medium introduction pipe The peripheral area of the medium jet outlet with high cooling efficiency can be dispersedly arranged in the hollow, and the used cooling medium is discharged from the medium discharge port provided at the other end of the hollow to remove the hand from the inside. Therefore, the hand can be efficiently and uniformly cooled.

本発明のワーク搬送ロボットでは、前記媒体導入管と前記圧送手段との間に塵埃除去フィルターを設けることが好ましい。この場合、媒体導入管や媒体排出口などの冷却媒体の流路およびワーク載置用ハンドの中空に塵埃が持ち込まれて残留堆積することがなく、媒体の流路が詰まったり、ハンドの外へ排出されたりすることを防止することができる。   In the workpiece transfer robot of the present invention, it is preferable that a dust removal filter is provided between the medium introduction tube and the pressure feeding unit. In this case, dust is not brought into the flow path of the cooling medium such as the medium introduction pipe and the medium discharge port and the hollow of the work placement hand, and the medium flow path is clogged or removed from the hand. It can be prevented from being discharged.

本発明のロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットによれば、載置部に高温の外部と隔絶された中空と、その中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、中空から冷却媒体を排出する媒体排出口とを設け、中空に冷却媒体を導入する一方で、中空から冷却媒体を排出するようにしたので、載置部の中空内に冷却媒体が流れ、載置部をその内側の中空から均一に冷却することができる。 According to the hand and the work conveying robot using the same robot present invention, a hollow which is isolated from the high temperature of the outside mounting portion, and the medium inlet tube for introducing a cooling medium in the hollow, the coolant from the hollow a discharge to the medium outlet is provided, while introducing hollow cooling medium. Thus discharging cooling medium from the hollow, the cooling medium in the hollow mounting portion flows mounting portion of the inner It can cool uniformly from the hollow.

また、本発明のロボットのハンドでは、媒体導入管の媒体噴出口を、媒体導入管の先端以外に載置部の先端から基端における中空に少なくとも１つ以上設けることとしたので、冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に複数分散して設けることになり、均一且つ高効率に載置部の中空内を冷却することができ、ひいては効率よく均一に載置部を冷却することができる。さらに、均一な冷却により、ハンド自体の歪みや変形を防止できる。 Further, in the robot hand of the present invention, since at least one medium ejection port of the medium introduction tube is provided in the hollow from the distal end of the mounting portion to the proximal end in addition to the distal end of the medium introduction tube , the cooling efficiency is improved. A plurality of peripheral areas of the high medium ejection port are dispersed in the hollow so that the inside of the mounting portion can be cooled uniformly and efficiently, and by extension, the mounting portion can be efficiently and uniformly cooled. Can do. Further, the uniform cooling can prevent distortion and deformation of the hand itself.

このように、本発明によれば、高温環境の下で処理されるワークを搬送する際、ハンド全体を均一に効率良く冷却することができるロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットを従来に比較して軽量で簡易な構成によって実現することができる。   Thus, according to the present invention, a robot hand that can cool the entire hand uniformly and efficiently when a workpiece to be processed in a high temperature environment is conveyed and a workpiece conveyance robot using the same are conventionally provided. In comparison, it can be realized by a light and simple configuration.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本実施の形態にかかるワーク搬送ロボットの概要を示す。図１Ａはその上面図であり、図１Ｂはその側断面図である。このワーク搬送ロボット１は、高温環境の加熱炉に対してワークを搬送および搬出するための構成である搬送系統および、ハンドを冷却するための構成であるハンド冷却系統を備えてなる。なお、本実施の形態のワーク搬送ロボット１は、一定の清浄度が要求されるフラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）の製造工程で使用され、ワークとしてガラス基板Ｗを搬送するものである。   FIG. 1 shows an outline of a workpiece transfer robot according to this embodiment. FIG. 1A is a top view thereof, and FIG. 1B is a side sectional view thereof. The workpiece transfer robot 1 includes a transfer system that is a configuration for transferring and unloading a workpiece to a heating furnace in a high-temperature environment, and a hand cooling system that is a configuration for cooling the hand. Note that the workpiece transfer robot 1 of the present embodiment is used in a flat panel display (FPD) manufacturing process that requires a certain degree of cleanliness, and transfers a glass substrate W as a workpiece.

（搬送系統の概要）
まず、搬送系統を説明する。ワーク搬送ロボット１（以下では単に「ロボット１」という）は、基台２上の関節部３を中心に回転可能な第１アーム６と、この第１アーム６の先端側の関節部４に回転可能に連結された第２アーム７と、第２アーム７の先端部の関節部５に回転可能に連結されたハンド１０とを備えている。 (Outline of transport system)
First, the transport system will be described. A workpiece transfer robot 1 (hereinafter simply referred to as “robot 1”) rotates to a first arm 6 that can rotate around a joint 3 on a base 2 and to a joint 4 on the distal end side of the first arm 6. A second arm 7 that can be connected and a hand 10 that is rotatably connected to the joint 5 at the tip of the second arm 7 are provided.

各関節部３〜５にはプーリが内蔵されると共に関節部３、４同士と関節部４、５同士はそれぞれタイミングベルトで連結されてハンド１０が常時一定方向を向きながら直線上を移動するように設けられている。そして、ハンド１０は、図示しない加熱炉に対して進入および退出可能とされており、加熱炉と図示しないカセットとの間でガラス基板Ｗを載置して搬送する。   Each of the joints 3 to 5 has a built-in pulley, and the joints 3 and 4 and the joints 4 and 5 are connected to each other by a timing belt so that the hand 10 always moves on a straight line while facing a certain direction. Is provided. The hand 10 can enter and leave a heating furnace (not shown), and places and transports the glass substrate W between the heating furnace and a cassette (not shown).

また、ハンド１０は、後述するようにカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成され、以下で詳細に説明するハンドを冷却するためのハンド冷却機構を有している。一方、基台２、第１アーム６および第２アーム７は、加熱炉に隣接するワークエリア内において作動するものである。これらワークエリア内に配置される構成は、特別の耐熱加工を必要とせず常温で使用されるアルミ合金等の材料により形成されている。   The hand 10 is formed of a mixed material of carbon fiber and heat-resistant resin as will be described later, and has a hand cooling mechanism for cooling the hand described in detail below. On the other hand, the base 2, the first arm 6, and the second arm 7 operate in a work area adjacent to the heating furnace. The configuration arranged in these work areas is made of a material such as an aluminum alloy that does not require special heat-resistant processing and is used at room temperature.

なお、本実施の形態では、ロボット１を上述のような搬送作動を行う搬送系よりなる水平多関節型ロボットとしているが、本発明の適用はこのような水平多関節型ロボットに限られるものではなく高温環境下でワークを搬送するロボットのハンドに広く適用することができる。また、ワークとしては、ガラス基板に限られるものではなく、半導体のウェハー等をワークとして搬送してもよい。   In the present embodiment, the robot 1 is a horizontal articulated robot composed of a transport system that performs the transport operation as described above. However, the application of the present invention is not limited to such a horizontal articulated robot. It can be widely applied to robot hands that transport workpieces in a high temperature environment. The workpiece is not limited to a glass substrate, and a semiconductor wafer or the like may be transported as a workpiece.

（ハンド冷却系統の概要）
ロボット１の冷却系統は、ワークエリアの外側から冷却媒体を圧送する手段とハンド１０内における冷却機構と使用後の冷却媒体を排出手段とを有する一連の冷却媒体の経路である。なお、図中の矢印は冷却媒体の流れる方向を示し、図１Ｂの矢印Ｘは大気吸気方向（冷却媒体の圧送方向）を、矢印Ｙは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。また、ハンド１０内における冷却機構については後述する。 (Overview of hand cooling system)
The cooling system of the robot 1 is a series of cooling medium paths having means for pumping the cooling medium from the outside of the work area, a cooling mechanism in the hand 10, and discharging means for the used cooling medium. In addition, the arrow in a figure shows the direction through which a cooling medium flows, the arrow X of FIG. 1B shows the air intake direction (cooling medium pumping direction), and the arrow Y shows the discharge direction of a used cooling medium. The cooling mechanism in the hand 10 will be described later.

ロボット１は、冷却媒体として常温の大気を用い、冷却媒体を圧送する圧送手段として、空気を圧送するコンプレッサー８を有し、コンプレッサー８のハンド１０側にはエアーフィルター９が設けられている。   The robot 1 uses normal-temperature air as a cooling medium, and has a compressor 8 that pumps air as a pumping unit that pumps the cooling medium. An air filter 9 is provided on the hand 10 side of the compressor 8.

エアーフィルター９は、コンプレッサー８から圧送された空気から塵埃や水分を除去して、清浄なドライエアーとするものである。そして、コンプレッサー８およびエアーフィルター９は、媒体圧送管１３に接続されている。   The air filter 9 removes dust and moisture from the air pumped from the compressor 8 to obtain clean dry air. The compressor 8 and the air filter 9 are connected to the medium pressure feeding pipe 13.

媒体圧送管１３は、ロボット１の内部を引き回されて、ハンド１０に冷却媒体としての清浄なドライエアーを圧送するものである。媒体圧送管１３は、基台２から第１アーム６、第２アームおよび間接部３〜５を経由して、ハンド１０の載置部１１に搬送系統の駆動と緩衝しないように接続されている。本実施の形態では、媒体圧送管１３は間接部３〜５の図示しないプーリの中央に設けた空孔を経由してタイミングベルトとの緩衝を避けるように配置されている。   The medium pressure feeding pipe 13 is drawn around the inside of the robot 1 and pumps clean dry air as a cooling medium to the hand 10. The medium pressure feeding pipe 13 is connected from the base 2 via the first arm 6, the second arm and the indirect parts 3 to 5 so as not to be buffered with the driving of the transport system to the placement part 11 of the hand 10. . In the present embodiment, the medium pressure feeding pipe 13 is disposed so as to avoid buffering with the timing belt via a hole provided in the center of a pulley (not shown) of the indirect portions 3 to 5.

本実施の形態のロボット１は、フラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）の製造工程で要求される清浄度を保つため、ハンド１０を冷却した後の使用済みの冷却媒体をワークエリアの外側に排出する媒体排出管１４が、媒体圧送管１３同様に搬送系統と緩衝しないように設けられている。なお、媒体排出管１４の終端にフィルター１４ａを取り付けた場合は、ワークエリア内に使用済みの冷却媒体である空気を排気してもよい。この場合でも、ワークエリアのワーク搬送領域から離れた領域に排気部を設けることができるので、清浄環境を劣化させることはない。   The robot 1 according to the present embodiment discharges the used cooling medium after cooling the hand 10 to the outside of the work area in order to maintain the cleanliness required in the flat panel display (FPD) manufacturing process. The pipe 14 is provided so as not to be buffered with the transport system like the medium pressure feeding pipe 13. When the filter 14a is attached to the end of the medium discharge pipe 14, air that is a used cooling medium in the work area may be exhausted. Even in this case, the exhaust section can be provided in an area of the work area away from the work transfer area, so that the clean environment is not deteriorated.

本実施の形態では、冷却媒体および冷却媒体を圧送する手段として圧縮空気（大気）およびこれを圧縮するコンプレッサー８を使用しているが、これに替えて種々の気体や水等の液体を冷却媒体として圧送する構成とすることができる。例えば、ボンベ入りの圧縮窒素を用いれば、窒素が気化する際に冷却されるので、良好な冷却媒体を得ることができる。この場合の窒素は清浄であるためエアーフィルター９を省略することもできる。   In the present embodiment, the compressed air (atmosphere) and the compressor 8 for compressing the cooling medium and the cooling medium are used as the cooling medium and the means for pumping the cooling medium. Instead, various gases and liquids such as water are used as the cooling medium. It can be set as the structure which pumps as. For example, if compressed nitrogen containing a cylinder is used, the nitrogen is cooled when it is vaporized, so that a good cooling medium can be obtained. Since the nitrogen in this case is clean, the air filter 9 can be omitted.

また、工場用の圧縮空気供給系統から圧縮空気を引き込めば、ロボット１が独立のコンプレッサー８を備える必要がなくなるので、経済的である。更に、ハンド冷却系統を閉じた体系とし、媒体圧送管１３と媒体排出管１４とを冷却機を介して接続してもよい。なお、媒体圧送管１３は、必要により断熱材で被覆してもよい。   Further, if the compressed air is drawn from the factory compressed air supply system, it is not necessary for the robot 1 to be provided with an independent compressor 8, which is economical. Further, the hand cooling system may be closed, and the medium pumping pipe 13 and the medium discharge pipe 14 may be connected via a cooler. The medium pumping tube 13 may be covered with a heat insulating material if necessary.

（冷却ハンドの構成）
次に、図２および図３を参照しつつ、本実施の形態のハンド１０およびその冷却機構を説明する。図２は、本実施の形態にかかるハンドの上面の断面図である。図３（Ａ）は本実施の形態にかかるハンドの載置部の上面部分断面図であり、図３（Ｂ）はその側断面図である。また、図３（Ａ）（Ｂ）において、矢印Ｘは冷却媒体の圧送方向を、矢印Ｙは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。 (Structure of cooling hand)
Next, the hand 10 and its cooling mechanism of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a cross-sectional view of the upper surface of the hand according to the present embodiment. FIG. 3A is a partial top cross-sectional view of the placement unit of the hand according to the present embodiment, and FIG. 3B is a side cross-sectional view thereof. 3A and 3B, the arrow X indicates the pumping direction of the cooling medium, and the arrow Y indicates the discharging direction of the used cooling medium.

ハンド１０は、ワークとしてガラス基板Ｗを載置部１１に載置して、これを加熱炉に対して搬入および搬出するものである。ハンド１０は、ワークを載置する４本の載置部１１と連結部１２とにより構成され、載置部１１が連結部１２により一体に連結支持されている。また、連結部１２の略中央部には、ハンド１０を第２アーム７に対して回転可能に支持する関節部５が設けられている。なお、本実施の形態では、ガラス基板Ｗが載置される載置部１１は４本設けられているが、搬送するガラス基板Ｗのサイズに応じて、２本以上の適宜の数とすることができる。   The hand 10 places a glass substrate W on the placement unit 11 as a work, and carries it in and out of the heating furnace. The hand 10 is composed of four placement portions 11 on which a workpiece is placed and a connection portion 12, and the placement portion 11 is integrally connected and supported by the connection portion 12. Further, a joint portion 5 that supports the hand 10 so as to be rotatable with respect to the second arm 7 is provided at a substantially central portion of the connecting portion 12. In addition, in this Embodiment, although the four mounting parts 11 in which the glass substrate W is mounted are provided, according to the size of the glass substrate W to convey, it shall be an appropriate number of two or more. Can do.

載置部１１は、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により内部を中空の長尺形状に形成され、その内部の中空１１ａが外部環境と隔絶された密閉状態とされている。この載置部１１の内側の中空１１ａには、媒体圧送管１３からの冷却媒体を導入する媒体導入管１５が設けられている。媒体導入管１５は、その先端に媒体噴出口１６を有している。更に、載置部１１の基端には、中空１１ａから使用済みの冷却媒体を排出する媒体排出口１７が設けられている。   The mounting portion 11 is formed in a hollow long shape with a mixed material of carbon fiber and heat-resistant resin, and the inside hollow 11a is in a sealed state isolated from the external environment. A medium introduction tube 15 for introducing a cooling medium from the medium pressure feeding tube 13 is provided in the hollow 11 a inside the placement unit 11. The medium introduction tube 15 has a medium ejection port 16 at its tip. Furthermore, a medium discharge port 17 for discharging the used cooling medium from the hollow 11a is provided at the base end of the mounting portion 11.

媒体導入管１５は、図２に示すように、長さを異ならせた媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄとして、各載置部１１に４本ずつ設けられている。媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄは、載置部１１の基端において媒体圧送管１３に接続され、媒体圧送管１３から分岐するようにしている。また、媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄの先端には、媒体噴出口１６ａ、１６ｂ、１６ｃおよび１６ｄが設けられている。   As shown in FIG. 2, four medium introduction pipes 15 are provided on each mounting portion 11 as medium introduction pipes 15a, 15b, 15c and 15d having different lengths. The medium introduction pipes 15 a, 15 b, 15 c, and 15 d are connected to the medium pressure feeding pipe 13 at the base end of the mounting portion 11 and are branched from the medium pressure feeding pipe 13. Further, medium ejection ports 16a, 16b, 16c and 16d are provided at the tips of the medium introduction pipes 15a, 15b, 15c and 15d.

媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄの長さを異ならせているので、媒体噴出口１６ａ、１６ｂ、１６ｃおよび１６ｄは、中空１１ｂ内に略等間隔で配置されることとなる。このように媒体噴出口を等間隔で配置することにより、中空１１ｂ内を均一に効率良く冷却することができ、ひいては載置部１１を中空１１ａの側から均一且つ効率よく冷却することができる。   Since the lengths of the medium introduction pipes 15a, 15b, 15c, and 15d are different, the medium ejection ports 16a, 16b, 16c, and 16d are arranged at substantially equal intervals in the hollow 11b. Thus, by arranging the medium outlets at equal intervals, the inside of the hollow 11b can be cooled uniformly and efficiently, and by extension, the mounting portion 11 can be cooled uniformly and efficiently from the side of the hollow 11a.

本実施の形態では、媒体導入管１５を分岐させてその長さを異ならせることにより、媒体排出口１６をほぼ等間隔に配置しているが、媒体導入管１５を媒体圧送管１３から分岐させずに１本とし、その基端から先端の間に等間隔で複数の媒体噴出口１６を設けるようにしてもよい。このように媒体噴出口１６を等間隔で複数配置すれば、同様に均一且つ効率よい冷却効果を得ることができる。   In this embodiment, the medium introduction pipe 15 is branched and the lengths thereof are varied to arrange the medium discharge ports 16 at substantially equal intervals. However, the medium introduction pipe 15 is branched from the medium pressure feed pipe 13. Instead, one medium may be provided, and a plurality of medium jets 16 may be provided at equal intervals between the base end and the tip end. If a plurality of medium jets 16 are arranged at equal intervals in this way, a uniform and efficient cooling effect can be obtained similarly.

次に、このような冷却機構を内部に備える載置部１１は、熱伝導性能が良好なカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されているので、載置部をその中空１１ａ内に導入される冷却媒体によって効率的に冷却することができる。   Next, since the mounting part 11 provided with such a cooling mechanism is formed of a mixed material of carbon fiber and heat-resistant resin having good heat conduction performance, the mounting part is introduced into the hollow 11a. Can be efficiently cooled by the cooling medium.

更に、載置部１１の外部に面する表面には、アルミ層（図示しない）が設けられている。載置部の表面に設けられたアルミ層が外部から照射される熱を反射して、載置部１１の耐熱性を高め、載置部が高熱化することを防止し、中空１１ａ内に導入される冷却媒体による冷却効率を一層高めることができる。なお、アルミ層は、載置部を形成する際に、真空蒸着や箔貼り付け等の適宜の方法により形成される。   Furthermore, an aluminum layer (not shown) is provided on the surface facing the outside of the mounting portion 11. The aluminum layer provided on the surface of the mounting part reflects the heat radiated from the outside to increase the heat resistance of the mounting part 11 and prevent the mounting part from becoming hot, and is introduced into the hollow 11a. It is possible to further increase the cooling efficiency by the cooling medium. The aluminum layer is formed by an appropriate method such as vacuum deposition or foil attachment when forming the placement portion.

また、載置部１１は、その厚みが基端から先端に向けて次第に薄くなるテーパー形状に形成され、その短手方向の断面は略長方形で、ガラス基板Ｗを載置する上面１１ｂが平板状とされている。従って、載置部１１の基端が厚く先端が薄いので、基端部分の剛性を高めることができる。このため、モーメントが最大になる基端部分で十分な剛性を確保することができる。また、先端側が基端側よりも軽量であるので、載置部の重心が基端側になると共に、載置部全体が軽量化される。これらの理由により、ロボット１の共振周波数が上がるので、作動速度を高めることができる。   Further, the mounting portion 11 is formed in a taper shape whose thickness gradually decreases from the base end to the tip end, the cross section in the short direction is substantially rectangular, and the upper surface 11b on which the glass substrate W is placed is a flat plate shape. It is said that. Therefore, since the base end of the mounting portion 11 is thick and the tip is thin, the rigidity of the base end portion can be increased. For this reason, sufficient rigidity can be ensured at the base end portion where the moment is maximized. Further, since the distal end side is lighter than the proximal end side, the center of gravity of the placement portion becomes the proximal end side, and the entire placement portion is reduced in weight. For these reasons, since the resonance frequency of the robot 1 is increased, the operating speed can be increased.

また、載置部１１の基端が厚く先端が薄いので、ワークの重量で先端側が下方に撓んだとしても下の載置部１１あるいはワークなどと干渉することを防止できる。また、ガラス基板Ｗを載置する上面１１ｂが平板状とされているので、ガラス基板Ｗを安定保持することができる。   Moreover, since the base end of the mounting part 11 is thick and the tip is thin, even if the tip side is bent downward due to the weight of the work, it is possible to prevent interference with the lower mounting part 11 or the work. Moreover, since the upper surface 11b on which the glass substrate W is placed has a flat plate shape, the glass substrate W can be stably held.

更に、厚く形成した載置部１１の基端側に媒体導入管１５を厚さ方向に複数重ねて配置することができる。この場合、媒体導入管１５を増設することができるので、一層良好な冷却効率を得ることができる。   Furthermore, a plurality of medium introduction pipes 15 can be arranged in the thickness direction on the base end side of the mounting portion 11 formed thick. In this case, since the medium introduction pipe 15 can be added, a better cooling efficiency can be obtained.

次に、連結部１２は、４本の載置部１１の基端を連結し保持するものであり、載置部１１と同様にカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成され、載置部１１とは独立の密閉構造の箱型とされている。連結部１２の内部は、載置部１１に接続されている媒体圧送管１３、媒体排出管１４および後述する吸着パッド用配管２０やセンサ１９の配線などが通過する中空１２ａとされている。なお、使用前の冷却媒体を送る媒体圧送管１３と媒体排出管１４は接触しないように離れて配置され、媒体圧送管１３は必要により断熱材で被覆されている。   Next, the connection part 12 connects and holds the base ends of the four placement parts 11, and is formed of a mixed material of carbon fiber and a heat-resistant resin, like the placement part 11. 11 is a box shape with an airtight structure independent of 11. The inside of the connecting portion 12 is a hollow 12a through which a medium pressure feeding pipe 13, a medium discharge pipe 14, and a suction pad pipe 20 (to be described later) and the wiring of the sensor 19 pass. In addition, the medium pumping pipe 13 for sending the cooling medium before use and the medium discharge pipe 14 are arranged so as not to contact each other, and the medium pumping pipe 13 is covered with a heat insulating material as necessary.

連結部１２の中央部は、関節部５により第２アーム７に連結されている。関節部５は、媒体圧送管１３、媒体排出管１４および後述する吸着パッド用配管２０やセンサ１９の配線を通過させる一方、第２アーム７側と連結部中空１２ａとを連通させないようにシール構造とされている。従って、ハンド１０側から第２アーム７を経由して、ワーク搬送ロボット本体の内部に高温の空気が伝わることはない。   The central portion of the connecting portion 12 is connected to the second arm 7 by the joint portion 5. The joint portion 5 has a sealing structure so as to allow the second arm 7 side and the connecting portion hollow 12a not to communicate with each other while allowing the medium pressure feed pipe 13, the medium discharge pipe 14, and the suction pad pipe 20 and the wiring of the sensor 19 described later to pass therethrough. It is said that. Therefore, high-temperature air is not transmitted from the hand 10 side to the inside of the work transfer robot body via the second arm 7.

次に、載置部１１の上面１１ｂには、ワークを吸着保持するための吸着パッド１８およびハンド１０に対するガラス基板Ｗの位置を走査確認するセンサ１９が設けられている。   Next, on the upper surface 11 b of the mounting portion 11, a suction pad 18 for sucking and holding a workpiece and a sensor 19 for scanning and confirming the position of the glass substrate W with respect to the hand 10 are provided.

吸着パッド１８は、載置部１１にワークを載置する際に、これを吸着して安定保持するものである。吸着パッド１８には、載置部１１の内側から吸着パッド用配管２０が接続されている。吸着パッド用配管２０は、載置部１１から連結部１２を経由してロボット１の内部を引き回され、図示しない吸着駆動源に接続されている。   The suction pad 18 sucks and stably holds a workpiece when the workpiece is placed on the placement portion 11. A suction pad pipe 20 is connected to the suction pad 18 from the inside of the placement portion 11. The suction pad piping 20 is routed from the placement unit 11 through the connecting unit 12 to the inside of the robot 1 and connected to a suction drive source (not shown).

センサ１９には、載置部１１にガラス基板Ｗを載置する際に、ハンド１０をワークに対して正対させるために、ワークを走査してワークとハンド１０の相対位置を確認するものである。センサ１９の配線（図示しない）は、吸着パッド用配管２０と同様に載置部１１から連結部１２を経由してロボット１の内部を引き回され、図示しないロボットの作動制御部に接続されている。   The sensor 19 scans the work and confirms the relative position of the work and the hand 10 so that the hand 10 faces the work when the glass substrate W is placed on the placement unit 11. is there. The wiring (not shown) of the sensor 19 is routed through the inside of the robot 1 from the mounting portion 11 via the connecting portion 12 in the same manner as the suction pad pipe 20 and is connected to an operation control portion of the robot (not shown). Yes.

（ハンド冷却作動）
次に、以上のように構成されたワーク搬送ロボットにおけるハンドの冷却作動について説明する。 (Hand cooling operation)
Next, the cooling operation of the hand in the workpiece transfer robot configured as described above will be described.

まず、ワークエリア外のコンプレッサー８及びエアーフィルター９から媒体圧送管１３へ冷却媒体としての清浄なドライエアーが圧送される。ドライエアーはロボット１内の媒体圧送管１３を経由してハンド１０の連結部１２で各載置部１１へ分岐圧送される。更に、載置部１１の基端近傍において媒体導入管１５ａ〜１５ｄに分岐して、載置部１１の中空１１ａへ圧送される。   First, clean dry air as a cooling medium is pumped from the compressor 8 and the air filter 9 outside the work area to the medium pumping pipe 13. The dry air is branched and fed to each placement unit 11 through the connecting unit 12 of the hand 10 via the medium feeding tube 13 in the robot 1. Further, in the vicinity of the base end of the mounting portion 11, the medium is branched into the medium introduction pipes 15 a to 15 d and is pumped to the hollow 11 a of the mounting portion 11.

媒体導入管１５ａ〜１５ｄに圧送されたドライエアーは、図２に示すように、各媒体噴出口１６ａ〜１６ｄから中空１１ａに噴出する。ここで、媒体噴出口１６ａから噴出するドライエアーは、図中の矢印Ａのように載置部１１の先端近傍を冷却しつつ、載置部１１の基端へ向けて流れる。また、媒体噴出口１６ｂから噴出するドライエアー（図中矢印Ｂ）は、その媒体噴出口の周辺領域を冷却して載置部１１の基端へ向けて流れる。同様にして、媒体噴出口１６ｃ、１６ｄからそれぞれ噴出するドライエアー(図中矢印Ｃ、Ｄ)は、各々の媒体噴出口の周辺領域を冷却して載置部１１の基端の媒体排出口１７へ導かれる。こうして使用済みのドライエアー（図中矢印Ｅ）は、媒体排出管１４を経由して、ワークエリア外へ排出される。   As shown in FIG. 2, the dry air pumped to the medium introduction pipes 15a to 15d is ejected from the medium ejection openings 16a to 16d into the hollow 11a. Here, the dry air ejected from the medium ejection port 16a flows toward the base end of the placement unit 11 while cooling the vicinity of the front end of the placement unit 11 as indicated by an arrow A in the drawing. Further, the dry air (arrow B in the figure) ejected from the medium ejection port 16 b flows toward the base end of the mounting portion 11 while cooling the peripheral region of the medium ejection port. Similarly, the dry air (arrows C and D in the figure) ejected from the medium ejection ports 16c and 16d cools the peripheral area of each medium ejection port, and the medium discharge port 17 at the base end of the mounting portion 11 is used. Led to. The used dry air (arrow E in the figure) is thus discharged out of the work area via the medium discharge pipe 14.

このように、ドライエアーはコンプレッサー８によって連続的に圧送される一方、各媒体噴出口１６ａ〜１６ｄの周辺領域を冷却した後に媒体排出口１７から排出されるので、冷却媒体の循環が形成さる。この冷却媒体の循環は、中空１１ａ内においては、常に載置部１１の先端側から基端側に向けて流れるように形成されることになる。   Thus, while the dry air is continuously pumped by the compressor 8, the area around each of the medium ejection ports 16 a to 16 d is cooled and then discharged from the medium discharge port 17, thereby forming a circulation of the cooling medium. The circulation of the cooling medium is formed so as to always flow from the front end side to the base end side of the mounting portion 11 in the hollow 11a.

本発明では、上述のような載置部１１の先端側から基端側に向けて流れる冷却媒体の循環によって載置部１１の中空１１ａが冷却されるので、載置部１１を中空１１ａの側から全体的に効率良く冷却することができる。また、分散配置された媒体噴出口１６ａ〜１６ｄの近傍の領域がそれぞれ冷却されるので、載置部１１の先端から基端までを均一に冷却することができる。   In the present invention, since the hollow 11a of the mounting portion 11 is cooled by the circulation of the cooling medium flowing from the distal end side to the proximal end side of the mounting portion 11 as described above, the mounting portion 11 is moved to the side of the hollow 11a. Therefore, it is possible to cool efficiently from the whole. Moreover, since the area | region of the vicinity of the medium ejection ports 16a-16d distributed is each cooled, from the front-end | tip of the mounting part 11 to a base end can be cooled uniformly.

なお、このようなドライエアー（冷却媒体）の循環量は、コンプレッサー８（圧送手段）の圧力を適宜制御することができるので、冷却能力を適宜調節することができる。従って、載置部１１に温度センサを設けて、載置部１１の温度に合わせて冷却能力を制御するようにしてもよい。   In addition, since the circulation amount of such dry air (cooling medium) can appropriately control the pressure of the compressor 8 (pressure feeding means), the cooling capacity can be appropriately adjusted. Therefore, a temperature sensor may be provided in the mounting unit 11 to control the cooling capacity in accordance with the temperature of the mounting unit 11.

（別の実施の形態）
次の本発明における別の実施の形態を説明する。図４は、この別の実施の形態にかかるハンドの要部拡大図である。なお、上述の実施の形態と同じ構成については、同じ符号を付しその説明は省略する。 (Another embodiment)
Another embodiment of the present invention will be described below. FIG. 4 is an enlarged view of a main part of a hand according to another embodiment. In addition, about the same structure as the above-mentioned embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

本実施の形態において、上述の実施の形態と異なる点は、媒体排出管１４およびその先端のフィルター１４ａに替えて、連結部１２に設けた排気フィルター２１から直接に使用済みのドライエアーＥを排出する構成としたことである。   In the present embodiment, the difference from the above-described embodiment is that the used dry air E is directly discharged from the exhaust filter 21 provided in the connecting portion 12 instead of the medium discharge pipe 14 and the filter 14a at the tip thereof. It is that it was set as the structure to do.

本実施の形態では、連結部１２の載置部１１の取り付け部とは反対側には、塵埃を除去する排気フィルター２１が設けられている。また、載置部１１の媒体排出口１７は、連結部中空１２ａと連通する短い管により形成されている。この媒体排出口１７の管は、図中の矢印Ｆで示すように、使用済みドライエアーを排気フィルター２１の側に向けて排気するように設けられている。なお、媒体排出口１７は、単純な孔としてもよい。
In the present embodiment, an exhaust filter 21 for removing dust is provided on the opposite side of the connecting portion 12 from the mounting portion 11 mounting portion. Also, the medium discharge opening 17 of the mount 11 is formed by a short tube which communicates with the connecting portion hollow 12 a. The pipe of the medium discharge port 17 is provided to exhaust used dry air toward the exhaust filter 21 as indicated by an arrow F in the drawing. The medium discharge port 17 may be a simple hole .

ドライエアーが圧送される一方で連結部１２の関節部５はシール構造とされているので、上述の構成により載置部１１から排出されたドライエアーＦは、連結部１２の長手方向に排気フィルター２１に向けて流れ、図中の矢印Ｇで示すように、排気フィルター２１から載置部１１とは反対の方向に排気される。   Since the joint portion 5 of the connecting portion 12 has a seal structure while the dry air is pumped, the dry air F discharged from the mounting portion 11 with the above-described configuration is exhausted in the longitudinal direction of the connecting portion 12. As shown by the arrow G in the figure, the exhaust gas is exhausted from the exhaust filter 21 in the direction opposite to the placement unit 11.

本実施の形態によっても、載置部１１の中空１１ａにおける良好な冷却効果を得ることができる。そのうえ、排出口１７から排出されたエアー（図中の矢印Ｆ）により連結部１２を冷却することができる。従って、ハンド１０全体として一層良好な冷却効果を得ることができる。   Also according to the present embodiment, it is possible to obtain a good cooling effect in the hollow 11a of the mounting portion 11. In addition, the connecting portion 12 can be cooled by the air discharged from the discharge port 17 (arrow F in the figure). Therefore, a better cooling effect can be obtained for the hand 10 as a whole.

また、媒体排出管１４を関節部５からロボット１の本体内を引き回す必要がなく、複雑な配管を簡略にすることができる。なお、本実施の形態では、冷却媒体の排気Ｇは排気フィルター２１から載置部１１に載置されるワークＷとは反対の方向に排出するので、ワークを汚染することはない。   Further, it is not necessary to route the medium discharge pipe 14 from the joint portion 5 in the main body of the robot 1, so that complicated piping can be simplified. In the present embodiment, the exhaust G of the cooling medium is discharged from the exhaust filter 21 in the direction opposite to the work W placed on the placement unit 11, so that the work is not contaminated.

本発明の実施の形態にかかるワーク搬送ロボットの概要を示す。（Ａ）はその上面図であり、（Ｂ）はその側断面図である。The outline | summary of the workpiece conveyance robot concerning embodiment of this invention is shown. (A) is the top view, (B) is the sectional side view. 本発明の実施の形態にかかるハンドの上面断面図である。It is an upper surface sectional view of a hand concerning an embodiment of the invention. （Ａ）は、本発明の実施の形態にかかる載置部の上面面図（部分断面図）であり、（Ｂ）は、その側断面図である。(A) is a top view (partial sectional view) of the mounting portion according to the embodiment of the present invention, and (B) is a side sectional view thereof. 本発明における別の実施の形態にかかるハンドの要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the hand concerning another embodiment in this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ ワーク搬送ロボット
２ 基台
３、４、５ 関節部
６ 第１アーム
７ 第２アーム
８ コンプレッサー
９ エアーフィルター
１０ ハンド
１１ 載置部
１１ａ 中空
１２ 連結部
１２ａ 連結部中空
１３ 媒体圧送管
１４ 媒体排出管
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ 媒体導入管
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ 媒体噴出口
１７ 媒体排出口
１８ 吸着パッド
１９ センサ
２０ 吸着パッド用配管
２１ 排気フィルター
Ｗ ワーク（ガラス基板）

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work conveyance robot 2 Base 3, 4, 5 Joint part 6 1st arm 7 2nd arm 8 Compressor 9 Air filter 10 Hand 11 Placement part 11a Hollow 12 Connection part 12a Connection part hollow 13 Medium pressure feed pipe 14 Medium discharge pipe 15a, 15b, 15c, 15d Medium introduction pipes 16a, 16b, 16c, 16d Medium outlet 17 Medium outlet 18 Suction pad 19 Sensor 20 Suction pad piping 21 Exhaust filter W Workpiece (glass substrate)

Claims (10)

外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、
前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、
前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを備え、
前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とするロボットのハンド。 A placement portion that is formed in a shape having a hollow isolated from the outside and places the workpiece;
A medium introduction tube for introducing a cooling medium into said hollow,
And a medium discharge port for discharging the cooling medium from said hollow,
A robot hand characterized in that a plurality of the medium introduction pipes are provided in the hollow, the lengths of which are different, and the medium outlets are respectively provided at the tips thereof . 前記媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に前記載置部の先端から基端における前記中空に少なくとも１つ以上設けたことを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。 2. The robot hand according to claim 1, wherein at least one medium ejection port of the medium introduction tube is provided in the hollow from the distal end to the proximal end of the placement portion in addition to the distal end of the medium introduction tube. . 前記冷却媒体として気体を用い、前記媒体排出口を前記載置部の基端またはその近傍に設けるとともに、塵埃除去フィルターを介して前記中空の外部に前記冷却媒体を排出することを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。   A gas is used as the cooling medium, the medium discharge port is provided at or near the base end of the mounting portion, and the cooling medium is discharged to the outside of the hollow through a dust removing filter. The robot hand according to Item 1. 前記媒体排出口は、前記冷却媒体を前記ロボットのワークエリアの外部へ排出する媒体排出管に連通接続されていることを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。   The robot hand according to claim 1, wherein the medium discharge port is connected to a medium discharge pipe for discharging the cooling medium to the outside of a work area of the robot. 前記載置部が、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のロボットのハンド。 The robot hand according to any one of claims 1 to 4, wherein the placement portion is formed of a mixed material of carbon fiber and heat-resistant resin. 前記中空の外部に面する前記載置部の表面にアルミ層を設けたことを特徴とする請求項５記載のロボットのハンド。 6. The robot hand according to claim 5 , wherein an aluminum layer is provided on the surface of the mounting portion facing the hollow exterior. 前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなることを特徴とする請求項５記載のロボットのハンド。 6. The robot hand according to claim 5 , wherein the thickness of the mounting portion is gradually reduced from the proximal end toward the distal end. 外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを有するワーク載置用ハンドと、
前記媒体導入管に前記冷却媒体を圧送する手段と、を備え、
前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とするワーク搬送ロボット。 A mounting portion which is formed into a shape having a hollow that has been isolated from the outside for placing a workpiece, and the medium inlet tube for introducing a cooling medium into said hollow, and a medium discharge port for discharging the cooling medium from the hollow A work placement hand having
Means for pumping the cooling medium to the medium introduction pipe ,
A plurality of the medium introduction pipes are provided in the hollow, their lengths are varied, and a medium ejection port is provided at each of the tips of the workpiece transfer robot. 前記媒体導入管と前記圧送手段との間に塵埃除去フィルターを設けたことを特徴とする請求項８記載のワーク搬送ロボット。   9. The workpiece transfer robot according to claim 8, wherein a dust removal filter is provided between the medium introduction tube and the pressure feeding unit. 前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなるように形成され、厚く形成された前記載置部の基端側に前記媒体導入管を厚さ方向に複数重ねて配置することを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。The mounting portion is formed so that the thickness of the placement portion gradually decreases from the proximal end toward the distal end, and a plurality of the medium introduction pipes are stacked in the thickness direction on the proximal end side of the thick placement portion. The robot hand according to claim 1.
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