KR101243317B1 - Apparatus For Transferring Substrate - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 개시된다. 본 발명의 기판 이송 장치는, 기판(100)의 저면, 또는 기판(100)의 저면을 지지하기 위한 홀더(110)의 저면을 지지하는 핸드(120); 상기 핸드(120)가 복수개로 설치된 로봇 암(130); 상기 핸드(120)를 따라 설치되어 상기 핸드(120) 상에 있는 상기 기판(100) 또는 상기 홀더(110)를 각각 흡입하는 흡입부(140); 및 상기 핸드(120)를 따라 배치되어 상기 흡입부(140)에 연결됨으로써 상기 흡입부(140)에 외부의 진공 압력을 제공하는 진공튜브(145)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명은 대형화된 기판과 홀더를 지지하기 위한 핸드의 외부에 흡입부와 진공튜브를 구성함으로써 핸드의 내부에 진공통로를 구성하는 제작 상의 어려움을 해결하고, 대형화된 기판과 홀더에 맞게 진공압력을 제공하여 기판과 홀더를 안정하게 고정시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.A substrate transfer apparatus is disclosed. The substrate transfer apparatus of the present invention includes a hand 120 supporting a bottom surface of the substrate 100 or a bottom surface of a holder 110 for supporting the bottom surface of the substrate 100; A robot arm 130 having a plurality of hands 120 installed therein; A suction unit 140 installed along the hand 120 to suck the substrate 100 or the holder 110 on the hand 120, respectively; And a vacuum tube 145 disposed along the hand 120 to be connected to the suction unit 140 to provide an external vacuum pressure to the suction unit 140. The present invention solves the manufacturing difficulties of constructing a vacuum passage inside the hand by configuring the suction unit and the vacuum tube on the outside of the hand for supporting the enlarged substrate and holder, and the vacuum to match the enlarged substrate and holder By providing pressure, an effect of stably fixing the substrate and the holder can be obtained.

Description

기판 이송 장치{Apparatus For Transferring Substrate}Substrate transfer device {Apparatus For Transferring Substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 기판과 홀더를 이송하는 중에 미끄럼을 방지하여 기판과 홀더의 얼라인먼트를 유지하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that maintains alignment of a substrate and a holder by preventing slipping while transferring the substrate and the holder.

평판 디스플레이 제조에 사용되는 대면적 기판 처리 시스템은 크게 증착 장치와 어닐링 장치로 구분된다.Large area substrate processing systems used in flat panel display manufacture are largely divided into deposition apparatuses and annealing apparatuses.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 화학 증착 장치와 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리 증착 장치가 있다. 또한, 어닐링 장치는 증착 공정 후에 결정화, 상변화 등을 위해 수반되는 열처리 단계를 담당하는 장치이다.The deposition apparatus is a device that is responsible for forming a transparent conductive layer, an insulating layer, a metal layer, or a silicon layer, which constitute a core component of a flat panel display, such as low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) or plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). There are physical vapor deposition devices such as chemical vapor deposition devices and sputtering. In addition, the annealing device is a device that is in charge of the subsequent heat treatment step for crystallization, phase change, etc. after the deposition process.

예를 들자면, LCD의 경우에 있어서, 대표적인 증착 장치로는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)의 액티브 물질에 해당하는 비정질 실리콘을 유리 기판 상에 증착하는 실리콘 증착 장치가 있고, 대표적인 어닐링 장치로는 유리 기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 결정화시키는 실리콘 결정화 장치가 있다.For example, in the case of LCD, a typical deposition apparatus includes a silicon deposition apparatus for depositing amorphous silicon corresponding to an active material of a thin film transistor (TFT) on a glass substrate, and a representative annealing apparatus is a typical annealing apparatus. There is a silicon crystallization apparatus for crystallizing amorphous silicon deposited on a glass substrate with polysilicon.

일반적으로 증착 공정과 어닐링 공정은 모두 기판을 소정의 온도로 열처리하는 공정을 수행해야 한다. 이와 같은 열처리 공정을 수행하기 위해서는 기판의 히팅이 가능한 챔버에 기판을 로딩 및 언로딩하는 공정이 필요하다.In general, both the deposition process and the annealing process must perform a process of heat-treating the substrate to a predetermined temperature. In order to perform the heat treatment process, a process of loading and unloading the substrate into a chamber in which the substrate can be heated is required.

도 1은 글래스 기판의 열처리 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1: is a figure which shows roughly the structure of the heat processing apparatus 1 of a glass substrate.

도시한 바와 같이, 열처리 장치(1)는 열처리를 필요로 하는 글래스 기판(10)이 복수개로 탑재되어 있는 카세트(20), 글래스 기판(10)의 변형을 방지하기 위한 홀더가 탑재되어 있는 홀더 탑재부(40), 카세트(20)에 탑재되어 있는 글래스 기판(10)을 홀더 탑재부(40)에 탑재되어 있는 홀더에 탑재하는 글래스 트랜스퍼 로봇(30), 글래스 기판(10)에 대하여 열처리 공간을 제공하기 위해 석영 재질로 이루어지는 챔버(60), 글래스 기판(10)이 탑재된 홀더를 보트(62)에 로딩하는 홀더 트랜스퍼 로봇(50)을 포함하여 이루어진다.As shown in the drawing, the heat treatment apparatus 1 includes a cassette 20 on which a plurality of glass substrates 10 which require heat treatment are mounted, and a holder mounting portion on which holders for preventing deformation of the glass substrate 10 are mounted. To provide a heat treatment space for the glass transfer robot 30 and the glass substrate 10 for mounting the glass substrate 10 mounted on the cassette 20 to the holder mounted on the holder mounting portion 40. The holder 60 includes a holder transfer robot 50 for loading the holder on which the chamber 60 made of quartz material and the glass substrate 10 are mounted on the boat 62.

챔버(60)에는 챔버(60) 내부의 히팅 환경을 조성하기 위해 열을 발생시키는 히터(64)가 설치된다. 글래스 기판(10)과 홀더가 탑재된 상태로 보트(62)는 보트 승강 장치(미도시)에 의해 글래스 기판(10)의 열처리가 이루어지는 챔버(60) 내부로 장입된다. 글래스 기판(10)이 홀더에 탑재된 상태에서 챔버(60)에 로딩되는 것은 열처리 공정 진행 도중 글래스 기판(10)이 변형되는 것을 방지하기 위함이다.The chamber 60 is provided with a heater 64 that generates heat to create a heating environment inside the chamber 60. With the glass substrate 10 and the holder mounted thereon, the boat 62 is charged into the chamber 60 where the heat treatment of the glass substrate 10 is performed by a boat elevating device (not shown). The glass substrate 10 is loaded in the chamber 60 while the glass substrate 10 is mounted in the holder to prevent the glass substrate 10 from being deformed during the heat treatment process.

이와 같이, 홀더 트랜스퍼 로봇(50)은 홀더에 탑재된 글래스 기판(10)을 보트(62)에 로딩하는 역할, 즉 홀더 및 글래스 기판(10)을 홀더 탑재부(40)로부터 보트(62)까지 이송하는 역할을 한다. 그러나, 종래의 홀더 트랜스퍼 로봇은 홀더 및 기판 이송 과정 중에 외부 환경 요인(예를 들어, 예기치 못한 진동 등)으로 인하여 홀더 또는 기판이 홀더 트랜스퍼 로봇 상에서 미끄러지거나 홀더와 기판의 초기 얼라인 상태가 흐트러질 수 있는 문제점이 있었다.As such, the holder transfer robot 50 loads the glass substrate 10 mounted on the holder into the boat 62, that is, transfers the holder and the glass substrate 10 from the holder mounting portion 40 to the boat 62. It plays a role. However, conventional holder transfer robots may cause the holder or substrate to slide on the holder transfer robot due to external environmental factors (eg, unexpected vibration, etc.) during the holder and substrate transfer process, or the initial alignment of the holder and the substrate may be disturbed. There was a problem that could be.

만일 이송 과정 중에 홀더 트랜스퍼 로봇 상에서 상기와 같은 문제점이 발생하게 되면 홀더에 탑재된 글래스 기판(10)이 보트(62)에 정확하게 로딩되지 못하여 열처리 공정이 원활하게 진행되지 못하는 문제점이 있었다.If the above problems occur on the holder transfer robot during the transfer process, the glass substrate 10 mounted on the holder may not be correctly loaded on the boat 62, and thus, the heat treatment process may not proceed smoothly.

상기와 같은 문제점들을 해결한 종래기술로서는 글래스 기판을 열처리하기 위하여 글래스 기판이 탑재된 홀더를 암에 탑재하여 보트로 이송하는 중에, 글래스 기판과 홀더 사이의 공기와, 홀더와 암 사이의 공기를 흡입하여 암 상에서 글래스 기판과 홀더의 고정 상태가 유지되도록 함으로써, 암으로부터 기판과 홀더의 미끄러짐을 방지하고, 얼라인 상태가 계속적으로 유지될 수 있도록 하는 기판 이송 장치가 있다.In the prior art, which solves the above problems, the glass substrate is mounted on an arm in order to heat-treat the glass substrate, and the air is sucked in between the glass substrate and the holder and the air between the holder and the arm while being transferred to the boat. Thereby, there is a substrate transfer device which prevents the substrate and the holder from slipping from the arm and maintains the alignment state by maintaining the fixed state of the glass substrate and the holder on the arm.

이와 같은 종래의 기판 이송 장치는 주로 4세대 이하 평판 디스플레이를 제작하는데 사용되는 것으로서, 기판과 홀더를 이송하기 위한 핸드의 길이가 비교적 짧아서 핸드 자체에 진공을 위한 관로를 형성하여 기판과 홀더에 진공압력을 제공할 수 있었다.Such conventional substrate transfer apparatuses are mainly used to produce flat panel displays of 4th generation or less, and the hands for transferring the substrate and the holder are relatively short, so that a vacuum pipe is formed on the substrate and the holder by forming a pipeline for vacuum on the hands themselves. Could provide.

그러나, 1,300 mm x 1,500 mm과 같은 5.5 세대 이상의 평판 디스플레이를 제작하는 경우, 글래스 기판이 대형화되어 글래스 기판을 지지하는 핸드의 길이가 상당히 길어져서, 핸드 자체에 진공을 위한 관로를 형성하기 어려운 문제점이 있다.However, when manufacturing 5.5 generations or more of flat panel displays such as 1,300 mm x 1,500 mm, the glass substrate becomes larger and the length of the hand supporting the glass substrate becomes considerably longer, making it difficult to form a pipeline for the vacuum on the hand itself. have.

더욱이, 종래의 기판 이송 장치는 대형화된 기판을 지지하는 핸드의 길이가 상당히 길어질 경우, 재질이 기판의 중량을 견디기 어렵고, 열로 인해 휘거나 틀어지는 등, 기판을 손상시킬 수 있는 문제가 있다.In addition, the conventional substrate transfer apparatus has a problem in that, when the length of the hand supporting the enlarged substrate becomes considerably longer, the material may not be able to withstand the weight of the substrate, and the substrate may be damaged, such as bending or twisting due to heat.

본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 5.5세대 이상의 대형화된 글래스 기판이 탑재되는 홀더를 보트로 로딩하기 위하여 이송하는 도중 외부 환경에 의하여 암으로부터 홀더와 글래스 기판이 미끄러지거나 정렬이 흐트러지는 것을 방지할 수 있으며, 핸드 내부에 관로의 구성없이 기판과 홀더에 진공 압력을 제공할 수 있으며, 상당히 길어진 길이에도 기판과 홀더의 중량을 견딜 수 있으며, 열로 인해 변형이 방지되어 기판의 손상을 방지하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and the holder and the glass substrate are slid or the alignment of the glass substrate is distracted from the arm by the external environment during transport to load the holder on which the 5.5-generation or larger glass substrate is mounted to the boat. It can prevent losing, provide vacuum pressure to the substrate and holder without the conduit inside the hand, withstand the weight of the substrate and the holder even with a very long length, and prevent deformation due to heat to prevent damage to the substrate. It is to provide a substrate transfer device that prevents.

본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판(100)의 저면 또는 기판(100)의 저면을 지지하기 위한 홀더(110)의 저면을 지지하는 핸드(120); 상기 핸드(120)가 복수개로 설치된 로봇 암(130); 상기 핸드(120)를 따라 설치되어 상기 핸드(120) 상에 있는 상기 기판(100) 또는 상기 홀더(110)를 각각 흡입하는 흡입부(140) 및 상기 핸드(120)를 따라 배치되어 상기 흡입부(140)에 연결됨으로써 상기 흡입부(140)에 외부의 진공 압력을 제공하는 진공튜브(145)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer apparatus according to the present invention includes a hand 120 supporting a bottom surface of the holder 110 for supporting a bottom surface of the substrate 100 or a bottom surface of the substrate 100; A robot arm 130 having a plurality of hands 120 installed therein; The suction unit 140 is installed along the hand 120 and disposed along the hand 120 to suck the substrate 100 or the holder 110 on the hand 120, respectively. It is characterized in that it comprises a vacuum tube 145 for providing an external vacuum pressure to the suction unit 140 by being connected to (140).

또한, 상기 핸드(120)의 재질은 세라믹을 포함할 수 있다.In addition, the material of the hand 120 may include a ceramic.

또한, 상기 세라믹은 알루미나(Al2O3)를 포함할 수 있다.In addition, the ceramic may include alumina (Al 2 O 3 ).

또한, 상기 로봇 암(130)은 상기 핸드(120)의 일단부가 삽입되는 삽입구가 형성되어 상기 핸드(120)의 저면부를 지지하는 고정부(131)를 포함하며, 상기 고정부(131)는 단면이 "

Figure 112012105435487-pat00001
" 와 같이 형성될 수 있다.In addition, the robot arm 130 includes a fixing part 131 which is formed with an insertion hole into which one end of the hand 120 is inserted to support the bottom of the hand 120, and the fixing part 131 has a cross section. This "
Figure 112012105435487-pat00001
It may be formed as ".

또한, 상기 고정부(131)는 상기 로봇 암(130)의 저면부에 4개가 전면으로 돌출되게 설치될 수 있다.In addition, four fixing parts 131 may be installed to protrude to the front of the bottom of the robot arm 130.

또한, 상기 4개의 고정부(131)에 설치되는 상기 4개의 핸드(120) 중 내측에 설치된 2개의 핸드(120)에는 상기 홀더(110)를 흡입하기 위한 흡입부(141)가 3개씩 각각 설치되고, 외측에 설치된 2개의 핸드(120)에는 상기 기판(100)을 흡입하기 위한 흡입부(142)가 3개씩 각각 설치될 수 있다.In addition, three suction units 141 for sucking the holder 110 are installed in two of the four hands 120 installed inside the four fixing parts 131. In addition, two suction units 142 for suctioning the substrate 100 may be provided in each of the two hands 120 installed at the outside.

또한, 상기 홀더(110)에는 상기 기판(100)의 저면과 연통하는 관통홀(111)이 형성되고, 상기 흡입부(140)는 홀더(110)의 저면에 흡착되는 흡착판(144)을 포함한다.In addition, the holder 110 has a through hole 111 communicating with the bottom surface of the substrate 100, and the suction part 140 includes an adsorption plate 144 that is adsorbed on the bottom surface of the holder 110. .

또한, 상기 흡입부(140)는 상기 핸드(120)의 측면부에 형성된 고정홈(121)에 안착되어 고정되고, 상기 진공튜브(145)를 상면부로 연결하는 흡입통로(146)가 형성된 고정 브라켓(147); 및 상기 고정 브라켓(147)과 상기 진공튜브(145)를 연결하는 피팅(148)을 포함할 수 있다.In addition, the suction unit 140 is fixed to the fixing groove 121 formed in the side surface of the hand 120, the fixing bracket having a suction passage 146 for connecting the vacuum tube 145 to the upper surface portion ( 147); And a fitting 148 connecting the fixing bracket 147 and the vacuum tube 145.

또한, 상기 흡입부(140)에는 상기 흡입통로(146)에 연결되어 상기 홀더(110)의 저면에 밀착되는 흡착판(144)이 구비될 수 있다.In addition, the suction unit 140 may be provided with a suction plate 144 connected to the suction passage 146 to be in close contact with the bottom surface of the holder 110.

또한, 상기 핸드(120)의 상면에는 상기 홀더(110)의 저면을 지지하는 홀더 지지돌기(122)가 형성될 수 있다.In addition, a holder support protrusion 122 may be formed on an upper surface of the hand 120 to support a bottom surface of the holder 110.

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상기와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 글래스 기판을 열처리하기 위하여 글래스 기판을 탑재한 홀더를 암에 탑재하여 보트로 이송하는 도중 글래스 기판과 홀더 사이의 공기와 홀더와 암 사이의 공기를 흡입하여 암 상에서 글래스 기판과 홀더의 고정 상태가 유지되도록 할 수 있고, 암으로부터 기판과 홀더의 미끄러짐을 방지하여 얼라인 상태가 계속적으로 유지될 수 있도록 하는 효과를 얻을 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the present invention sucks the air between the glass substrate and the holder and the air between the holder and the arm during the transfer to the boat by mounting the holder with the glass substrate on the arm to heat-treat the glass substrate. The fixing state of the glass substrate and the holder can be maintained on the arm, and the alignment state can be continuously maintained by preventing the substrate and the holder from slipping from the arm.

그리고, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 5.5세대 이상의 대형화된 기판과 홀더를 지지하기 위한 핸드의 외부에 흡입부와 진공튜브를 구성함으로써 핸드의 내부에 진공통로를 구성하는 제작 상의 어려움을 해결하고, 대형화된 기판과 홀더에 맞게 진공압력을 제공하여 기판과 홀더를 안정하게 고정시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the substrate transfer device according to the present invention solves the manufacturing difficulties of constructing a vacuum passage inside the hand by configuring the suction unit and the vacuum tube on the outside of the hand for supporting the 5.5 or more generations of the substrate and the holder, It is possible to obtain an effect of stably fixing the substrate and the holder by providing a vacuum pressure for the enlarged substrate and the holder.

그리고, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 핸드를 열에 견딜 수 있는 세라믹으로 구성함으로써 기판의 중량을 충분히 견딜 수 있고, 기판의 열처리 이송 과정에서 핸드에 전달되는 열로 인한 핸드의 변형이 방지됨으로써 기판의 손상을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the substrate transfer apparatus according to the present invention is able to withstand the weight of the substrate by being made of a ceramic that can withstand the heat sufficiently, the deformation of the hand due to the heat transferred to the hand during the heat treatment transfer process of the substrate is prevented damage to the substrate The effect of preventing this can be obtained.

도 1은 글래스 기판의 열처리 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 기판과 홀더가 안착된 사시도이다.
도 3은 도 1의 하방 사시도이다.
도 4는 도 1의 측면도이다.
도 5는 도 1의 평면도이다.
도 6은 도 5의 측단면도이다.
도 7은 도 6의 A 부분에 대한 확대도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 흡입부에 대한 확대도이다.
도 9는 도 8의 Ⅰ-Ⅰ 단면도이다.
도 10은 도 8의 Ⅱ-Ⅱ 단면도이다.1 is a front view schematically showing the configuration of a heat treatment apparatus for a glass substrate.
2 is a perspective view of the substrate and the holder is seated in the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a bottom perspective view of FIG. 1.
4 is a side view of FIG. 1.
5 is a plan view of FIG. 1.
Fig. 6 is a side sectional view of Fig. 5. Fig.
FIG. 7 is an enlarged view of a portion A of FIG. 6.
8 is an enlarged view of a suction part of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 8.
FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 8.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 홀더(110) 상에 안착된 기판(100)을 열처리를 위한 보트에 적재하는 장치로서, 홀더(110), 핸드(120), 로봇 암(130), 흡입부(140), 진공튜브(145)를 포함한다.2 and 3, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is an apparatus for loading a substrate 100 seated on a holder 110 in a boat for heat treatment, and includes a holder 110 and a hand. 120, the robot arm 130, the suction unit 140, and a vacuum tube 145.

보트에서 열처리되는 기판(100)은 유리로 이루어진 5.5세대 이상의 대형 기판(100)으로서, 엘씨디(LCD)와 같은 평판 디스플레이의 전면패널을 구성한다. 5.5 세대의 대형 기판(100)은 가로가 1500mm이고 세로가 1300mm인 직사각형의 유리패널이다.The substrate 100 to be heat-treated in the boat is a 5.5 generation or larger large substrate 100 made of glass, and constitutes a front panel of a flat panel display such as an LCD. The large substrate 100 of the 5.5 generation is a rectangular glass panel having a width of 1500 mm and a height of 1300 mm.

홀더(110)는 대형화된 기판(100)의 중량을 지지하여 기판(100)의 이송이나 열처리 상태에서 기판(100)의 변형을 방지하는 일종의 받침판이다. 핸드(120)는 간격을 두고 배치되어 있으며, 기판(100)이 안착된 홀더(110)의 길이보다 길게 형성되어 홀더(110)의 이송 중에 홀더(110)를 지지하는 역할을 수행한다.The holder 110 is a kind of support plate that supports the weight of the enlarged substrate 100 and prevents deformation of the substrate 100 in the transfer or heat treatment state of the substrate 100. The hands 120 are disposed at intervals, and are formed longer than the length of the holder 110 on which the substrate 100 is seated to support the holder 110 during the transfer of the holder 110.

도 3과 도 4를 참조하면, 핸드(120)는 홀더(110)의 저면부와 같이 평평하게 상면부가 형성되고, 로봇 암(130) 측에서 단부 측으로 점차 폭이 좁고 얇게 형성됨을 알 수 있다. 또한, 핸드(120)는 열에 견디는 세라믹 패널로서, 중량이 다른 세라믹 재질에 비교적 가볍고 가공성이 좋은 알루미나(Al2O3)로 형성될 수 있다. 핸드(120)는 알루미나 외에 알루미늄과 성질이 유사한 경금속을 포함하는 재질로도 구성이 가능하다.3 and 4, it can be seen that the hand 120 is formed to have an upper surface flat as the bottom of the holder 110, and is gradually narrower and thinner from the robot arm 130 side to the end side. In addition, the hand 120 is a heat resistant ceramic panel, and may be formed of alumina (Al 2 O 3 ) having a relatively light weight and good workability in a ceramic material having a different weight. The hand 120 may be made of a material including alumina and other light metals having similar properties to aluminum.

로봇 암(130)은 기구적으로 상하/전후 이동이 가능한 로봇에 연결되는 것으로서, 핸드(120)를 보트 측으로 이동시켜 기판(100)이 안착된 홀더(110)를 보트의 내측에 적재하는 기능을 수행한다. 로봇 암(130)의 전방부에 홀더(110)를 이송하기 위한 복수의 핸드(120)가 일정간격으로 배치된다. 로봇 암(130)의 저면부에는 각각의 핸드(120)가 끼워져 결합되기 위한 삽입구를 형성하는 고정부(131)가 결합되어 있다.The robot arm 130 is mechanically connected to the robot capable of moving up / down, and moves the hand 120 to the boat side to load the holder 110 on which the substrate 100 is seated inside the boat. To perform. A plurality of hands 120 for transferring the holder 110 to the front of the robot arm 130 is disposed at a predetermined interval. The bottom portion of the robot arm 130 is coupled to the fixing portion 131 forming an insertion hole for each hand 120 is fitted and coupled.

도 3과 도 5를 참조하면, 고정부(131)는 로봇 암(130)의 저면부에 4개가 전면으로 돌출되게 설치되며, 도 6과 같이 그 단면은 "

Figure 112010034874821-pat00002
"와 같이 형성된다. 그리고, 4개의 고정부(131)에 설치되는 4개의 핸드(120) 중 내측에 설치된 2개의 핸드(120)에는 홀더(110)을 흡입하기 위한 흡입부(141)가 3개씩 각각 설치되고, 외측에 설치된 2개의 핸드(120)에는 기판(100)을 흡입하기 위한 흡입부(142)가 3개씩 각각 설치된다.3 and 5, four fixing parts 131 are installed at the bottom of the robot arm 130 so as to protrude to the front, and as shown in FIG.
Figure 112010034874821-pat00002
And a suction part 141 for sucking the holder 110 in the two hands 120 installed inside of the four hands 120 installed in the four fixing parts 131. Each of the two hands 120 installed on the outside is provided with three suction units 142 for sucking the substrate 100.

즉, 로봇 암(130)은 전면부에 설치되는 4개의 핸드(120)에 의해 기판(100)이 안착된 홀더(110)를 지지하여 이송한다. 이때, 로봇 암(130)에 적재된 홀더(110)와 기판(100)은 4개 핸드(120)의 내측 2개와 외측 2개에 각각 일정간격으로 배치된 6개의 흡입부(140)에 의해 균일한 힘으로 고정된다.That is, the robot arm 130 supports and transports the holder 110 on which the substrate 100 is seated by four hands 120 installed at the front part. In this case, the holder 110 and the substrate 100 loaded on the robot arm 130 are uniformly provided by six suction parts 140 disposed at regular intervals on two inner and two outer sides of the four hands 120, respectively. It is fixed by one force.

로봇 암(130)의 내측에 설치된 2개의 핸드(120)에 각각 3개씩 있는 6개의 흡입부(141)는 홀더(110)의 가운데 부분을 흡입함으로써 전체적으로 홀더(110)의 정렬이 흐트러지는 현상을 방지할 수 있다.The six suction parts 141 each of three of the two hands 120 installed inside the robot arm 130 suck the central portion of the holder 110 to distract the alignment of the holder 110 as a whole. It can prevent.

로봇 암(130)의 외측에 설치된 2개의 핸드(120)에 각각 3개씩 있는 6개의 흡입부(142)는 홀더(110)를 관통하여 가운데 측보다 외곽 측을 고정시키고, 전체적으로 기판(100)을 흡착하여 기판(100)의 위치를 홀더(110)에 고정시킨다.Six suction units 142, each of which are three on two hands 120 installed outside the robot arm 130, penetrate the holder 110 to fix the outer side rather than the center side, and the substrate 100 as a whole. By adsorption, the position of the substrate 100 is fixed to the holder 110.

도 3과 도 5를 참조하면, 흡입부(140)는 도시되지 않았으나 외부에 설치된 공지의 진공펌프에 의해 진공압력을 제공받는다. 흡입부(140)와 진공펌프 사이에는 진공펌프 측에 진공압력을 전달하는 관로로서, 진공튜브(145)가 설치된다. 진공튜브(145)는 열에 견딜 수 있는 플라스틱, 카본, 합성고무 또는 알루미늄 등과 같은 금속재질의 관이 될 수 있다. 흡입부(140)는 진공튜브(145)를 따라 직렬로 연결된다.3 and 5, the suction unit 140 is provided with a vacuum pressure by a known vacuum pump installed outside, although not shown. A vacuum tube 145 is installed between the suction unit 140 and the vacuum pump as a pipe for transmitting a vacuum pressure to the vacuum pump side. The vacuum tube 145 may be a tube made of metal such as plastic, carbon, synthetic rubber, or aluminum that can withstand heat. The suction part 140 is connected in series along the vacuum tube 145.

도 6과 도 7을 참조하면, 흡입부(140)는 홀더(110) 또는 기판(100)를 흡입하기 위한 흡착판(144)을 포함한다. 흡입부(140) 중, 기판(100)을 흡입하는 흡입부(142)와 대응되는 홀더(110)의 부위에는 관통홀(111)이 형성되고, 흡입부(142)의 흡착판(144)은 관통홀(111)을 통하여 기판(100)을 흡착한다. 흡착판(144)은 진공튜브(145)의 진공 압력을 제공받는다.6 and 7, the suction unit 140 includes a suction plate 144 for sucking the holder 110 or the substrate 100. A through hole 111 is formed in a portion of the holder 110 corresponding to the suction unit 142 that sucks the substrate 100, and the suction plate 144 of the suction unit 142 passes through the suction unit 140. The substrate 100 is adsorbed through the hole 111. The suction plate 144 is provided with the vacuum pressure of the vacuum tube 145.

또한, 도시하지는 않았으나, 흡입부(140) 중 홀더(110)를 흡입하는 흡입부(141)에는 홀더(110)의 저면에 밀착되는 밀착링(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 밀착링은 흡입부(141)의 상부에 설치되어 홀더(110)에 밀착됨으로써 흡입부(141)에서 홀더(110)에 가해지는 진공 압력의 누설을 방지할 수 있다. 또한, 상기 밀착링은 흡입부(141)로 전해지는 충격을 일정 부분 감쇠하는 기능도 할 수 있다.In addition, although not shown, the suction part 141 for sucking the holder 110 of the suction part 140 may be provided with a close contact ring (not shown) in close contact with the bottom surface of the holder 110. The adhesion ring may be installed on the upper portion of the suction unit 141 to be in close contact with the holder 110 to prevent leakage of the vacuum pressure applied to the holder 110 at the suction unit 141. In addition, the adhesion ring may also function to attenuate a portion of the impact transmitted to the suction unit 141.

도 7을 참조하면, 핸드(120)의 상면에는 홀더(110)의 저면을 지지하여 홀더(110)와 핸드(120)의 유격을 유지하는 홀더 지지돌기(122)가 형성된다. 홀더 지지돌기(122)는 홀더(110)와 핸드(120)의 틈새를 제공하여 4개의 핸드(120)로부터 홀더(110)의 이탈을 용이하게 하고, 핸드(120)와 홀더(110)의 열전달을 차단한다.Referring to FIG. 7, a holder support protrusion 122 may be formed on an upper surface of the hand 120 to support a bottom surface of the holder 110 to maintain a clearance between the holder 110 and the hand 120. The holder support protrusion 122 provides clearance between the holder 110 and the hand 120 to facilitate the detachment of the holder 110 from the four hands 120, and heat transfer between the hand 120 and the holder 110. To block.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 핸드(120)의 측면부에는 흡입부(140)가 안치되어 고정되는 고정홈(121)이 형성될 수 있다. 고정홈(121)은 핸드(120)의 측면부를 절삭 가공하여 형성할 수 있다. 흡입부(140)는 고정홈(121)의 내측에서 육각 볼트나 나사와 같은 체결 수단에 의해 고정될 수 있다.8 to 10, a fixing groove 121 in which the suction part 140 is placed and fixed may be formed in the side portion of the hand 120. The fixing groove 121 may be formed by cutting the side portion of the hand 120. The suction part 140 may be fixed by a fastening means such as a hexagonal bolt or a screw in the fixing groove 121.

이때, 흡입부(140)는 핸드(120)의 측면부에 형성된 고정홈(121)에 안착되어 고정되고 진공튜브(145)를 연결하는 흡입통로(146)가 형성된 고정 브라켓(147), 및 고정 브라켓(147)과 진공튜브(145)를 연결하는 피팅(148)을 포함한다.At this time, the suction unit 140 is fixed to the fixing groove 121 formed in the side portion of the hand 120 and the fixing bracket 147, the suction bracket 147 formed with the suction passage 146 connecting the vacuum tube 145, and the fixing bracket 147 and the fitting 148 connecting the vacuum tube 145.

도 9와 도 10을 참조하면, 고정 브라켓(147)은 핸드(120)의 고정홈(121)에 있는 턱(124)에 일측 부분이 안착된다. 고정 브라켓(147)의 흡입통로(146)는 “⊥”와 같이 형성되어 있다. 피팅(148)은 진공튜브(145)가 결합될 수 있게 흡입통로(146)의 양측에 설치된다. 흡입통로(146)의 상부 측에는 흡입을 위한 흡착판(144)이 연결 설치될 수 있다.9 and 10, one side of the fixing bracket 147 is seated on the jaw 124 in the fixing groove 121 of the hand 120. The suction passage 146 of the fixing bracket 147 is formed as "⊥". The fitting 148 is installed at both sides of the suction passage 146 so that the vacuum tube 145 can be coupled. An upper side of the suction passage 146 may be connected to the suction plate 144 for suction.

도 8 내지 도 10에는 흡착판(144)이 도시되어 있다. 흡착판(144)은 홀더(110)의 저면과 같이 평평한 면에 밀착하여 진공튜브(145)의 흡입력을 홀더(110) 및 기판(100)에 제공할 수 있다. 즉, 흡착부(141)의 흡착판(144)은 홀더(110)를 흡착하여 홀더(110)의 위치 고정이 가능하고, 흡착부(142)의 흡착판(144)은 홀더(110) 상에 안착된 기판(100)을 관통홀(111)을 통하여 홀더(110)측으로 흡착함으로써 기판(100)의 위치 고정이 가능하다.8 to 10 show the adsorption plate 144. The suction plate 144 may be in close contact with a flat surface such as the bottom of the holder 110 to provide a suction force of the vacuum tube 145 to the holder 110 and the substrate 100. That is, the adsorption plate 144 of the adsorption part 141 may adsorb the holder 110 to fix the position of the holder 110, and the adsorption plate 144 of the adsorption part 142 may be seated on the holder 110. By fixing the substrate 100 to the holder 110 through the through hole 111, the position of the substrate 100 may be fixed.

도 1 내지 도 7을 참조하여, 상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 작동의 일 예를 살펴본다. 본 실시예는 배경기술에 기술한 글래스 트랜스퍼 로봇과 홀더 트랜스퍼 로봇 등에 적용될 수 있다.With reference to Figures 1 to 7, looks at an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention as described above. This embodiment can be applied to the glass transfer robot and the holder transfer robot described in the background art.

먼저, 글래스 트랜스퍼 로봇의 경우, 기판(100)을 소정의 기판 카세트로부터 소정의 홀더 탑재부의 홀더(110) 상으로 이송하는 로봇이다.
본 실시예는 기판(100)이 안착된 홀더(110)를 보트로 이송하는 홀더 트랜스퍼 로봇에 적용된 경우이다. 즉, 로봇 암(130)이 상기 홀더 탑재부로 이동되고, 핸드(120)에 의해 기판(100)이 안착된 홀더(110)가 지지된다. 이때, 홀더(110)는 핸드(120)에 적용된 홀더용 흡입부(141)에 의해 위치가 고정된다. 또한, 기판(100)은 기판용 흡입부(142)에 의해 위치가 고정된다. 이때, 홀더(110)와 핸드(120)는 홀더 지지돌기(122)에 의해 틈새가 유지된다. 이후, 기판(100)이 안착된 홀더(110)는 핸드(120)에 의해 지지된 상태로 로봇 암(130)의 이동에 의해 열처리를 위한 보트에 적재가 완료된다. 홀더(110)가 적재된 보트는 열처리용 챔버로 이동되고, 기판(100)의 열처리가 이루어진다.First, in the case of a glass transfer robot, it is a robot which transfers the board | substrate 100 from the predetermined board | substrate cassette onto the holder 110 of a predetermined holder mounting part.
This embodiment is a case where the substrate 100 is applied to a holder transfer robot that transfers the holder 110 on which the substrate 100 is seated. That is, the robot arm 130 is moved to the holder mounting part, and the holder 110 on which the substrate 100 is seated is supported by the hand 120. At this time, the holder 110 is fixed in position by the holder suction part 141 applied to the hand 120. In addition, the position of the substrate 100 is fixed by the suction part 142 for the substrate. At this time, the holder 110 and the hand 120 is maintained by the holder support protrusion 122 gap. Subsequently, the holder 110 on which the substrate 100 is mounted is completed to be loaded on the boat for heat treatment by the movement of the robot arm 130 while being supported by the hand 120. The boat on which the holder 110 is loaded is moved to a heat treatment chamber, and heat treatment of the substrate 100 is performed.

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상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.The drawings of the embodiments of the present invention described above are omitted in detail, and are schematically illustrated so as to easily identify parts belonging to the technical idea of the present invention. It should be noted that the above-described embodiments are not intended to limit the technical spirit of the present invention and are merely a reference for understanding the technical scope of the present invention.

100: 기판 110: 홀더
111: 관통홀 120: 핸드
121: 고정홈 122: 홀더 지지돌기
130: 로봇 암 131: 고정부
140: 흡입부 144: 흡착판
145: 진공튜브 146: 흡입통로
147: 고정 브라켓 148: 피팅100: substrate 110: holder
111: through hole 120: hand
121: fixing groove 122: holder support projection
130: robot arm 131: fixed portion
140: suction part 144: suction plate
145: vacuum tube 146: suction passage
147: fixing bracket 148: fitting

Claims (11)

상면에 기판(100)의 저면이 탑재 지지되는 홀더(110)의 저면을 지지하는 핸드(120); 상기 핸드(120)가 복수개로 설치된 로봇 암(130); 각각의 상기 핸드(120)를 따라 각각 복수개 설치되어 상기 핸드(120) 상에 있는 상기 홀더(110) 또는 상기 홀더(110)에 탑재 지지된 상기 기판(100)을 각각 흡입하는 흡입부(140); 및 상기 핸드(120)를 따라 배치되어 상기 흡입부(140)에 연결됨으로써 상기 흡입부(140)에 외부의 진공 압력을 제공하는 진공튜브(145)를 포함하며,
상기 로봇 암(130)은 상기 핸드(120)의 일단부가 삽입되는 삽입구가 형성되어 상기 핸드(120)의 저면부를 지지하는 고정부(131)를 포함하고,
상기 고정부(131)는 단면이 "
Figure 112012105435487-pat00016
" 와 같이 형성되어 상기 로봇 암(130)의 저면부에 4개가 전면으로 돌출되게 설치되고,
상기 흡입부(140)는 상기 진공튜브(145)와 연통된 흡입통로(146)가 형성된 고정 브라켓(147), 상기 고정 브라켓(147)과 상기 진공튜브(145)를 연결하는 피팅(148)을 가지면서 상기 핸드(120)의 측면부에 형성된 고정홈(121)에 안착 고정된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.A hand 120 supporting a bottom surface of the holder 110 on which the bottom surface of the substrate 100 is mounted and supported on the top surface; A robot arm 130 having a plurality of hands 120 installed therein; A plurality of suction units 140 are installed along each of the hands 120 to suck the holder 110 on the hand 120 or the substrate 100 mounted on and supported by the holder 110, respectively. ; And a vacuum tube 145 disposed along the hand 120 to be connected to the suction unit 140 to provide an external vacuum pressure to the suction unit 140.
The robot arm 130 includes a fixing part 131 which is formed with an insertion hole into which one end of the hand 120 is inserted to support the bottom of the hand 120.
The fixing part 131 has a cross section "
Figure 112012105435487-pat00016
It is formed as "4" is installed on the bottom of the robot arm 130 protrudes to the front,
The suction unit 140 may include a fixing bracket 147 having a suction passage 146 communicating with the vacuum tube 145, and a fitting 148 connecting the fixing bracket 147 and the vacuum tube 145. Substrate transfer apparatus, characterized in that seated and fixed in the fixing groove 121 formed in the side portion of the hand (120). 제1항에 있어서,
상기 핸드(120)의 재질은 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
Substrate transfer apparatus, characterized in that the material of the hand 120 comprises a ceramic. 제2항에 있어서,
상기 세라믹은 알루미나(Al2O3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 2,
The ceramic substrate transfer apparatus, characterized in that the alumina (Al 2 O 3 ). 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
4개의 상기 고정부(131)에 설치되는 4개의 상기 핸드(120) 중 내측에 설치된 2개의 상기 핸드(120)에는 상기 홀더(110)를 흡입하기 위한 흡입부(141)가 3개씩 각각 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
Of the four hands 120 installed on the four fixing parts 131, two of the hands 120 installed inside the three suction parts 141 for sucking the holder 110 are respectively provided. A substrate transfer apparatus characterized by the above-mentioned. 제6항에 있어서,
상기 고정 브라켓(147)에는 상기 흡입통로(146)에 연결되어 상기 홀더(110)의 저면에 밀착되는 흡착판(144)이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method according to claim 6,
The fixing bracket 147 is connected to the suction passage 146 is provided with a suction plate 144 is in close contact with the bottom surface of the holder 110, characterized in that the substrate transfer device. 제1항에 있어서,
상기 홀더(110)에는 상기 기판(100)의 저면과 연통하는 관통홀(111)이 형성되고,
4개의 상기 핸드(120) 중 외측에 설치된 2개의 상기 핸드(120)에는 상기 기판(110)을 흡입하기 위한 흡입부(142)가 3개씩 각각 설치되며,
상기 흡입부(142)에는 상기 관통홀(111)을 통과하여 상기 기판(100)을 상기 홀더(110)측으로 흡입하는 흡착판(144)이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The holder 110 is formed with a through hole 111 in communication with the bottom surface of the substrate 100,
Two suction units 142 for suctioning the substrate 110 are respectively provided in two of the four hands 120 disposed on the outside of the four hands 120.
The suction part 142 is provided with a suction plate (144) for passing through the through hole (111) to suck the substrate 100 to the holder (110) side. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 핸드(120)의 상면에는 상기 홀더(110)의 저면을 지지하는 홀더 지지돌기(122)가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The substrate transport apparatus, characterized in that the holder support protrusions (122) for supporting the bottom surface of the holder (110) is formed on the upper surface of the hand (120). 삭제delete
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