KR20140123842A - Camera assembly of film deposition system - Google Patents

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KR20140123842A
KR20140123842A KR20130041217A KR20130041217A KR20140123842A KR 20140123842 A KR20140123842 A KR 20140123842A KR 20130041217 A KR20130041217 A KR 20130041217A KR 20130041217 A KR20130041217 A KR 20130041217A KR 20140123842 A KR20140123842 A KR 20140123842A
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황세한
조준희
변주순
이상봉
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주식회사 원익아이피에스
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Abstract

Disclosed is a camera assembly capable of preventing the misalignment of an optical axis of a camera device even though a top plate of a deposition chamber is deformed. The disclosed camera assembly includes a pair of vertical frames which are connected to the top plate of the deposition chamber, a horizontal frame which connects the pair of the vertical frames and mounts a camera, and the camera device which is mounted on the horizontal frame.

Description

박막 증착 시스템의 카메라 어셈블리{Camera assembly of film deposition system}[0001] The present invention relates to a camera assembly of a film deposition system,

본 발명은 증착챔버에 설치되는 카메라 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착챔버의 상판에 변형이 발생되더라도 카메라장치의 광축이 변경되는 것을 최소화할 수 있는 박막 증착 시스템의 카메라 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a camera assembly installed in a deposition chamber, and more particularly, to a camera assembly of a thin film deposition system capable of minimizing an optical axis change of a camera apparatus even if deformation occurs in an upper plate of the deposition chamber.

일반적으로 유기 발광 소자(OLED)와 같은 평판 디스플레이 소자는 글라스 상에 박막을 증착하는 공정 등을 포함하는 다수의 공정을 진행함으로써 제조된다. 이때, 글라스 상에 박막을 증착하는 공정은 글라스(Glass)과 마스크(Mask)를 얼라인시키는 과정이 선행되어야 한다. In general, a flat panel display device such as an organic light emitting diode (OLED) is manufactured by carrying out a plurality of processes including a process of depositing a thin film on a glass. At this time, the process of depositing the thin film on the glass should precede the process of aligning the glass and the mask.

상기의 글라스와 마스크를 얼라인시키는 과정은, 기준이 되는 글라스를 증착챔버의 내부로 반입시켜 위치 고정시키고, 이 위치 고정된 글라스를 기준으로 마스크를 움직임으로써 이루어진다. The process of aligning the glass and the mask is performed by bringing the reference glass into the deposition chamber and fixing the position, and moving the mask with respect to the position-fixed glass.

그리고 글라스와 마스크의 얼라인이 이루어지는 과정은 증착챔버의 외측에 설치되는 카메라장치를 통해 확인할 수 있다. 더불어 상기의 카메라장치는 상술한 바와 같은 글라스와 마스크의 얼라인 이외에 다양한 과정을 확인할 수도 있다.The process of aligning the glass and the mask can be confirmed through a camera device installed outside the deposition chamber. In addition, the above-described camera apparatus can confirm various processes in addition to the above-described alignment of the glass and the mask.

한편, 증착챔버는 증착과정이 발생되는 고온의 열로 인해 열변형이 발생될 수 있고, 진공압에 의한 변형이 발생될 수도 있다. 이와 같이 증착챔버의 외면에 열변형 및/또는 진공압이 발생될 경우에는 이 증착챔버의 상면에 설치되는 카메라장치의 광축이 어긋날 수 있고, 이로 인해 광축이 어긋난 카메라장치를 원활하게 사용할 수 없게 되는 문제점이 있다.On the other hand, the deposition chamber may be thermally deformed due to heat at a high temperature at which the deposition process occurs, and may be deformed by the vacuum pressure. When thermal deformation and / or vacuum pressure is generated on the outer surface of the deposition chamber, the optical axis of the camera device installed on the upper surface of the deposition chamber may be displaced, thereby making it impossible to smoothly use the camera device with the optical axis deviation. There is a problem.

따라서, 본 발명은 카메라장치가 설치되는 증착챔버의 상면에 열변형과 진공압에 의한 변형 중 적어도 하나가 발생되더라도 카메라장치의 광축이 어긋나는 것을 방지할 수 있는 박막 증착 시스템의 카메라 어셈블리를 제공한다.Accordingly, the present invention provides a camera assembly of a thin film deposition system capable of preventing an optical axis of a camera device from being displaced even if at least one of thermal deformation and deformation due to vacuum pressure occurs on a top surface of a deposition chamber on which a camera device is installed.

본 발명의 실시예에 따른 박막 증착 시스템의 카메라 어셈블리는 상기 챔버의 상면에 연결되는 적어도 한 쌍의 수직프레임과, 상기 한 쌍의 수직프레임을 연결하는 수평프레임과, 상기 수평프레임에 장착되는 카메라장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.The camera assembly of the thin film deposition system according to an embodiment of the present invention includes at least a pair of vertical frames connected to the upper surface of the chamber, a horizontal frame connecting the pair of vertical frames, And a control unit.

본 발명의 실시예에 따르면, 카메라장치가 수직프레임과 수평프레임을 포함하는 설치프레임에 설치되어 있으므로, 증착챔버의 상면에 열변형과 진공압에 의한 변형 중 적어도 하나가 발생되어도 그 변형량을 줄일 수 있게 되어 카메라장치의 광축이 어긋나는 것을 줄일 수 있다.According to the embodiment of the present invention, since the camera device is installed in the installation frame including the vertical frame and the horizontal frame, even if at least one of the thermal deformation and the deformation due to the vacuum pressure occurs on the upper surface of the deposition chamber, So that the optical axis of the camera apparatus can be prevented from being deviated.

또, 본 발명의 실시예에 따르면, 수직프레임의 하단에 볼조인트가 설치되어 있으므로, 볼조인트 자체의 움직임으로 증착챔버의 상면의 변형량을 줄일 수 있으므로 카메라장치의 광축이 어긋나는 것을 더욱 줄일 수 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, since the ball joint is provided at the lower end of the vertical frame, the deformation amount of the upper surface of the deposition chamber can be reduced by the movement of the ball joint itself, so that the deviation of the optical axis of the camera apparatus can be further reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카메라장치가 설치된 증착챔버를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 얼라인장치의 글라스로더를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카메라 설치구조를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 카메라 설치구조를 설명하기 위해 도시한 도면이다.1 is a perspective view illustrating a deposition chamber in which a camera device according to an embodiment of the present invention is installed.
2 is a perspective view showing a glass loader of the aligning apparatus shown in Fig.
3 is a view for explaining a camera installation structure according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining a camera installation structure according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시 예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish it, will be described with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. The embodiments are provided so that those skilled in the art can easily carry out the technical idea of the present invention to those skilled in the art.

도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.In the drawings, embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown and are exaggerated for clarity. Although specific terms are used herein, they are used for the purpose of describing the invention and are not used to limit the scope of the invention as defined in the claims or the meaning of the claims.

본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는' 또는 '결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해서 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
The expression " and / or " is used herein to mean including at least one of the elements listed before and after. Also, the expression "connected" or "coupled" is used to mean directly connecting to another element or indirectly connecting with another element. The singular forms herein include plural forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, the terms "comprises" or "comprising" used in the specification mean the presence or addition of one or more other elements, steps, operations and elements.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명의 실시예에 따른 박막 증착 시스템은 인라인으로 연결되는 다수의 챔버들(미도시)을 포함한다. 이때, 상기의 챔버들은 도면에 구체적으로 도시되지는 않았지만 폐루프(Close loop)를 형성할 수 있으며, 인라인 방식이 아닌 클러스터 방식으로 배치될 수도 있다.A thin film deposition system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of chambers (not shown) connected in-line. At this time, although the chambers are not specifically shown in the drawings, they may form a closed loop, and may be arranged in a cluster manner instead of an in-line method.

상기의 다수의 챔버들 중에는 증착공정이 수행되는 증착챔버를 포함한다.Among the plurality of chambers includes a deposition chamber in which a deposition process is performed.

증착챔버에는 선행 챔버로부터 이송된 글라스를 마스크와 얼라인시키는 얼라인장치(100,도 1 참조)와, 이 얼라인장치에 의해 마스크와 얼라인된 글라스의 증착면에 메탈 소스를 이용하여 소정 박막을 증착시키는 증착장치(미도시)가 설치된다. 더불어 증착챔버에는 얼라인장치에 의한 얼라인과정 및 증착장치에 의한 증착과정을 확인할 수 있는 카메라장치(40)가 설치된다.
The deposition chamber is provided with an alignment device 100 (see FIG. 1) for aligning the glass transferred from the preceding chamber with the mask, and a metal film on the deposition surface of the glass aligned with the mask by the alignment device, (Not shown) for depositing a metal layer on the substrate. In addition, the deposition chamber is provided with a camera device 40 for confirming the alignment process by the alignment device and the deposition process by the deposition device.

한편, 상기의 증착챔버에 설치되는 얼라인장치는 기준이 기준이 되는 제1부재(예로 들면, 글라스)와 이 제1부재에 얼라인시키는 제2부재(예로 들면, 마스크)를 상호간에 얼라인시키기 위해 마련된 것으로서, 글라스에 증착이 수행되는 증착챔버의 내외부에 설치된다. 그리고 얼라인장치(100)는 글라스와 마스크의 얼라인이 수행되는 얼라인챔버에 설치될 수도 있다.On the other hand, the aligning apparatus provided in the deposition chamber has a first member (for example, a glass) and a second member (for example, a mask) for aligning the reference member with the first member And is installed inside and outside the deposition chamber in which deposition is performed on the glass. And the aligning apparatus 100 may be installed in an alignment chamber in which glass and mask alignment are performed.

도 1 및 도 2를 참고하여 상기의 얼라인장치(100)에 대해 설명하면 다음과 같다. Referring to FIGS. 1 and 2, the aligning apparatus 100 will be described as follows.

얼라인장치(100)는 이송로봇(미도시)에 의해 이송되는 글라스를 전달받아 위치 고정시키는 글라스 로더(110)와, 마스크를 지지하는 마스크 홀더(120)와, 글라스 로더(110)에 위치 고정된 글라스 측으로 마스크 홀더(120)에 지지된 마스크를 상승시켜 글라스와 마스크를 얼라인 시키는 마스크 홀더 승강부(150)를 포함한다.The aligning apparatus 100 includes a glass loader 110 for receiving and transporting a glass conveyed by a transfer robot (not shown), a mask holder 120 for supporting the mask, And a mask holder lifting part 150 for lifting a mask supported on the mask holder 120 toward the glass side to align the glass and the mask.

구체적으로, 글라스 로더(110)는 상술한 바와 같이 이송로봇에 의해 이송되는 글라스를 전달받아 위치 고정시키는 역할을 한다.Specifically, the glass loader 110 receives the glass transferred by the transfer robot and fixes the position thereof.

상기의 각 글라스 로더(110)는 이송로봇에 의해 증착챔버의 내부로 이송된 글라스가 안착되는 다수의 안착팁(1115)을 갖는 글라스 안착프레임(1110)과, 글라스 안착프레임(1110)을 이송로봇 측으로 이동시켜 이송로봇에 안착되어 있는 글라스를 다수의 안착팁(1115)으로 하여금 전달받게 하는 이동유닛(1120)과, 다수의 안착팁(1115)에 안착되어 있는 글라스의 상면을 클램핑하여 마스크에 안착되기 전 글라스를 위치 고정시키는 글라스 클램핑유닛(1130)을 포함한다.Each of the glass loaders 110 includes a glass mounting frame 1110 having a plurality of mounting tips 1115 on which a glass transferred to the inside of the deposition chamber is transferred by a transfer robot, A moving unit 1120 that moves the glass mounted on the transfer robot to a plurality of mounting tips 1115 to move the glass mounted on the transfer robot to receive a plurality of mounting tips 1115 and clamps the upper surface of the glass placed on the plurality of mounting tips 1115, And a glass clamping unit 1130 for fixing the glass before it is placed.

글라스 안착프레임(1110)에는 상술한 바와 같이 다수의 안착팁(1115)이 형성되어 있다. 이러한 다수의 안착팁(1115)은 이동유닛(1120)에 의해 글라스가 지지된 이송로봇 측으로 이동되어 글라스의 저면을 지지한다.A plurality of seating tips 1115 are formed in the glass seating frame 1110 as described above. The plurality of seating tips 1115 are moved by the moving unit 1120 to the conveying robot side where the glass is supported to support the bottom surface of the glass.

이동유닛(1120)은 상술한 바와 같이 글라스를 위치 고정시키기 위해 글라스 안착프레임(1110)을 이송로봇 측으로 전진시키고, 그 외에는 글라스 안착프레임(1110)을 이송로봇이 이송된 위치로부터 후진 즉, 회피시키는 역할을 한다.The movable unit 1120 advances the glass seating frame 1110 to the transport robot side to fix the position of the glass as described above and moves the glass seating frame 1110 backward or avoid the position of the transport robot 1110 It plays a role.

이러한 이동유닛(1120)은 글라스의 지지를 위한 글라스 안착프레임(1110)의 이동방향 즉, 전후방향으로 제1이동레일(1122)이 형성되어 있는 고정프레임(1121)과, 이 고정프레임(1121)의 제1이동레일(1122)을 따라 이동 가능하며 그 상면에 글라스 안착프레임(1110)의 좌우방향으로 제2이동레일(1124)이 형성되어 있고, 글라스 안착프레임(1110)이 연결되어 있는 제1이동프레임(1123)과, 이 제1이동프레임(1123)의 제2이동레일(1124)을 따라 이동되는 제2이동프레임(1125)과, 이 제2이동프레임(1125)에 일단이 자동 조심 볼 베어링(미도시)을 통해 연결되는 연결링크(1127)와, 이 연결링크(1127)의 타단에 연결되는 액츄에이터(1129)를 포함한다.The movable unit 1120 includes a fixed frame 1121 in which the first movable rail 1122 is formed in the moving direction of the glass mounting frame 1110 for supporting the glass, And a second movable rail 1124 is formed on the upper surface of the second movable rail 1122 in the left and right direction of the glass mounting frame 1110. The first movable rail 1124 is connected to the first movable rail 1122, A second moving frame 1125 which is moved along the second moving rail 1124 of the first moving frame 1123 and a second moving frame 1125 which is one end of the second moving frame 1125, A connection link 1127 connected through a bearing (not shown), and an actuator 1129 connected to the other end of the connection link 1127.

글라스 클램핑유닛(1130)은 상술한 바와 같이 다수의 안착팁(1115)에 안착되어 있는 글라스의 상면(예를 들면, 글라스의 비증착면)을 클램핑하여 글라스의 위치를 고정시키는 역할을 한다.The glass clamping unit 1130 clamps the position of the glass by clamping the upper surface of the glass (for example, the non-deposition surface of the glass) that is seated on the plurality of seating tips 1115 as described above.

이러한 글라스 클램핑유닛(1130)은 글라스 안착프레임(1110)의 전면 즉, 글라스와 대향되는 일면에서 상하로 설치되는 레일부재(1131)를 따라 승강되는 승강프레임(1132)과, 이 승강프레임(1132)에 설치되는 다수의 클램핑부재(1133)를 포함한다. 이때의 다수의 클램핑부재(1133)는 다수의 안착팁(1115)에 안착되어 있는 글라스를 클램핑할 때 하강되는 클램핑부재(1133)의 가압력에 의해 글라스의 손상을 방지하고자 각 안착팁(1115)에 대응되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
The glass clamping unit 1130 includes a lifting frame 1132 that is lifted and lowered along a rail member 1131 that is vertically installed on a front surface of the glass mounting frame 1110, And a plurality of clamping members 1133 which are installed in the clamping member 1133. [ At this time, the plurality of clamping members 1133 are attached to the respective seating tips 1115 in order to prevent the glass from being damaged by the pressing force of the clamping member 1133 which is lowered when clamping the glass that is seated on the plurality of seating tips 1115 It is preferably formed at a corresponding position.

마스크 홀더(120)는 증착챔버의 내부에 설치된다. 이러한 마스크 홀더(120)는 마스크가 지지되는 하판(121)과, 이 하판(121)과 이격 배치되어 그 상면에 후술할 마스크 홀더 승강부(150)의 승강부재(153)과 연결되는 상판(123)과, 하판(121)과 상판(123)을 상호 연결하는 연결기둥(125)을 포함한다.The mask holder 120 is installed inside the deposition chamber. The mask holder 120 includes a lower plate 121 on which a mask is supported and a lower plate 121 spaced apart from the lower plate 121 and connected to an elevation member 153 of a mask holder lifting unit 150 And a connecting column 125 connecting the lower plate 121 and the upper plate 123 to each other.

하판(121)은 마스크의 마스크 프레임이 실질적으로 지지되며, 증착과정에서 증발된 소스가 글라스의 증착면에 증착될 수 있도록 중공(122)이 형성되어 있다.The lower plate 121 is substantially supported with the mask frame of the mask, and a hollow 122 is formed so that the evaporated source can be deposited on the deposition surface of the glass during the deposition process.

상판(123)은 상술한 바와 같이 하판(121)과 연결기둥(125)에 의해 연결되고, 그 상면에 승강부재(153)의 하단과 결합된다. 즉, 본 발명의 실시예에서는 승강부재(153)의 승강에 따라 상판(123)과 하판(121)이 승강되어 하판(121)에 지지되어 있는 마스크를 승강시킬 수 있게 된다.
The upper plate 123 is connected to the lower plate 121 by the connecting pillar 125 and is coupled to the lower end of the elevating member 153 on the upper surface thereof. That is, in the embodiment of the present invention, the upper plate 123 and the lower plate 121 are lifted and lowered by the elevation of the lifting member 153, so that the mask supported by the lower plate 121 can be raised and lowered.

마스크 홀더 승강부(150)는 상술한 바와 같이 마스크 홀더(120)를 승강시켜 글라스 로더(110)에 위치 고정되어 있는 글라스 측으로 마스크를 이동시키는 역할을 한다. 이러한 마스크 홀더 승강부(150)는 증착챔버의 외부 즉, 증착챔버의 상판(25)에 설치되는 것으로서, 액츄에이터(151)와, 이 액츄에이터(151)의 구동력에 의해 마스크 홀더(120)를 승강시키는 승강부재(153)를 포함한다.The mask holder lifting unit 150 moves the mask holder 120 up and down to move the mask to the glass side fixed to the glass loader 110 as described above. The mask holder lifting unit 150 is installed on the outer surface of the deposition chamber, that is, on the top plate 25 of the deposition chamber. The mask holder lifting unit 150 includes an actuator 151 and a driving force of the actuator 151 And an elevating member 153.

그리고 상기의 마스크 홀더 승강부(150)는 액츄에이터(151)와 승강축 사이에 액츄에이터(151)의 구동력을 승강축으로 전달하는 동력전달부재를 더 포함할 수 있으나, 본 발명의 실시예에서는 도면 작성의 편의를 위해 동력전달부재를 생략하였다.The mask holder elevating unit 150 may further include a power transmitting member for transmitting the driving force of the actuator 151 between the actuator 151 and the elevating shaft as an elevating shaft. In the embodiment of the present invention, The power transmitting member is omitted for convenience.

또, 상기의 마스크 홀더 승강부(150)는 마스크 홀더(120)를 승강시킬 수 있으면 상술한 구성 이외에 다양한 수단이 적용될 수도 있다.
In addition, if the mask holder lifting part 150 can elevate the mask holder 120, various means other than the above-described configuration may be applied.

더불어 상기의 얼라인장치(100)는 마스크 홀더(120)의 승강에 따라 마스크에 안착된 글라스를 냉각시키는 동시에 눌러주는 쿨링 플레이트(130)와, 쿨링 플레이트(130)와 연결되어 있으며 마스크에 안착되어 있는 글라스의 처짐을 방지하기 위해 마스크 중 마스크 시트를 자기력을 이용하여 잡아 당겨 쿨링 플레이트(130)에 글라스를 밀착시키게 하는 마그넷 플레이트(140)와, 마그넷 플레이트(140)를 승강시키는 마그넷 플레이트 승강부(미도시)를 포함하는데, 이때의 쿨링 플레이트(130), 마그넷 플레이트(140) 및 마그넷 플레이트 승강부에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
In addition, the aligning apparatus 100 includes a cooling plate 130 for cooling and pressing the glass placed on the mask as the mask holder 120 moves up and down, a cooling plate 130, A magnet plate 140 for pulling the mask sheet out of the mask by magnetic force to adhere the glass to the cooling plate 130 to prevent the glass plate from sagging and a magnet plate lifting and lowering unit for lifting and lowering the magnet plate 140 The cooling plate 130, the magnet plate 140, and the magnet plate lifting unit will not be described in detail.

증착장치(미도시)는 통상의 증착챔버에 설치되는 장치로서 구체적인 설명을 생략한다.
A deposition apparatus (not shown) is installed in a conventional deposition chamber, and a detailed description thereof will be omitted.

카메라장치(40)는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 증착챔버의 상판(25)에 형성되는 투시창(26)을 통해 증착챔버 내부에서 이루어지는 과정(예로 들면, 글라스와 마스크의 얼라인 과정 및 글라스에 수행되는 박막 증착 과정 등)을 확인한다.1 and 3, the camera device 40 includes a process of being performed inside a deposition chamber through a sight window 26 formed on an upper plate 25 of a deposition chamber (for example, a process of aligning a glass and a mask And the thin film deposition process performed on the glass).

상기의 카메라장치(40)를 설치하기 위한 카메라 어셈블리의 일 실시예는 다음과 같다.An embodiment of the camera assembly for installing the camera device 40 is as follows.

본 발명의 실시예에 따른 카메라 어셈블리는 도시된 바와 같이 증착챔버의 상판(25)에 설치되어 있는 두 개의 볼조인트(60)와, 이 두 개의 볼조인트(60)와 연결되며 카메라장치(40)가 장착되는 설치프레임(50)을 포함한다.The camera assembly according to the embodiment of the present invention includes two ball joints 60 installed on an upper plate 25 of a deposition chamber as shown in the figure, a camera device 40 connected to the two ball joints 60, And a mounting frame 50 to which the mounting frame 50 is mounted.

먼저, 각 볼조인트(60)는 증착챔버의 상판(25)에 형성된 설치공(27)에 삽입되는 하우징(61)과, 이 하우징(61)의 내측에 장착되는 볼시트(63)와, 이 볼시트(63)에 안착되어 회동되는 볼스터드(65)를 포함한다.Each of the ball joints 60 includes a housing 61 inserted into an installation hole 27 formed in an upper plate 25 of a deposition chamber, a ball seat 63 mounted on the inner side of the housing 61, And a ball stud 65 which is seated on the ball seat 63 and rotated.

설치프레임(50)은 각 볼조인트(60)의 볼스터드(65)와 결합되는 두 개의 수직프레임(51)과, 각 수직프레임(51)의 상단에 연결되고 카메라장치(40)가 연결브라켓(45)에 의해 장착되는 수평프레임(53)을 포함한다. 이때, 수직프레임(51)과 수평프레임(53)을 포함하는 설치프레임(50)은 탄성력을 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
The mounting frame 50 has two vertical frames 51 which are engaged with the ball studs 65 of the respective ball joints 60 and are connected to the upper ends of the vertical frames 51 and the camera device 40 is connected to the connecting brackets 45). ≪ / RTI > At this time, the installation frame 50 including the vertical frame 51 and the horizontal frame 53 is preferably made of a material having elasticity.

한편, 상기의 증착챔버는 증착장치(미도시)를 이용하여 글라스에 박막을 증착하는 증착과정에서 고온의 내부환경을 갖게 된다. 이와 같이 고온의 내부환경을 갖는 증착챔버를 지속적으로 사용하다 보면 카메라장치가 설치되는 증착챔버의 상면에서 열변형과 진공압에 의한 변형 중 적어도 하나가 발생될 수 있다. On the other hand, the deposition chamber has a high-temperature internal environment in a deposition process for depositing a thin film on a glass using a deposition apparatus (not shown). When the deposition chamber having such a high temperature internal environment is continuously used, at least one of thermal deformation and deformation due to vacuum pressure may be generated on the upper surface of the deposition chamber where the camera device is installed.

그리고 상기와 같이 증착챔버의 상면에서 변형이 발생되면 이 증착챔버의 상판에 설치되는 카메라장치(40)의 광축 역시 초기 위치로부터 어긋날 수 있는데, 본 발명의 실시예에서는 상술한 카메라 어셈블리를 가짐에 카메라장치(40)의 광축이 어긋나는 것을 방지할 수 있다.When the upper surface of the deposition chamber is deformed as described above, the optical axis of the camera device 40 installed on the upper plate of the deposition chamber may also deviate from the initial position. In the embodiment of the present invention, It is possible to prevent the optical axis of the device 40 from deviating.

구체적으로, 본 발명의 실시예에서는 증착챔버의 상판(25)에서 열변형이 발생되면, 상판(25)에 연결되는 설치프레임(50) 역시 변형이 발생될 수 있다. Specifically, in the embodiment of the present invention, if thermal deformation occurs in the upper plate 25 of the deposition chamber, the mounting frame 50 connected to the upper plate 25 may also be deformed.

상기의 과정에서 수직프레임(51)은 상판(25)에서 발생되어 전달되는 변형에 의해 1차로 변형되고, 수평프레임(53)은 수직프레임(51)에서 발생되어 전달되는 변형에 의해 2차로 변형된다. In the above process, the vertical frame 51 is deformed by the deformation generated in the upper plate 25, and the horizontal frame 53 is secondarily deformed by the deformation generated in the vertical frame 51 .

예를 들면, 수직프레임(51)은 탄성력을 갖는 재질로 이루어져 있어 상판(25)의 변형이 발생될 경우, 상판(25)으로부터 직교하는 방향으로 설치되는 초기 위치와 비교할 때 경사지게 배치될 수 있다. For example, the vertical frame 51 is made of a material having an elastic force and can be inclined when compared with an initial position, which is installed in a direction orthogonal to the upper plate 25 when deformation of the upper plate 25 occurs.

상기의 과정을 통해 수평프레임(53)은 수직프레임(51)의 상단의 위치에 따라 완만한 굴곡된 형상으로 변형될 수 있는데, 이와 같이 수평프레임의 변형은 완만한 굴곡된 형상으로 변형됨에 따라 카메라장치가 상판에 직접 설치되는 경우 보다 그 변형이 적음을 알 수 있다.Through the above process, the horizontal frame 53 can be deformed into a gently curved shape according to the position of the upper end of the vertical frame 51. As the deformation of the horizontal frame is transformed into a gently curved shape, It can be seen that the deformation is less than when the device is directly mounted on the top plate.

더욱 본 발명의 실시예에서는 수직프레임(51)의 하단이 상판(25)에 설치되는 볼조인트(60)에 연결됨에 따라 수직프레임(51)의 변형 역시 볼조인트의 자체 움직임에 따라 감소될 수 있다.Further, in the embodiment of the present invention, since the lower end of the vertical frame 51 is connected to the ball joint 60 provided on the upper plate 25, the deformation of the vertical frame 51 can also be reduced according to the self-motion of the ball joint .

이때, 카메라장치(40)가 상판(25)에 직접 설치되는 경우, 설치프레임(50)에만 설치되는 경우 및 볼조인트(60)와 설치프레임(50)에 설치되는 경우의 광축 변동량을 살펴보면 하기의 표와 같다.The amount of optical axis variation when the camera device 40 is installed directly on the upper plate 25, when the camera device 40 is installed only on the installation frame 50, and when the camera device 40 is installed on the ball joint 60 and the installation frame 50, Table.

상판에 직접 설치Direct installation on top 500㎛500 탆 설치프레임에 설치Installed in the installation frame 80㎛80 탆 볼조인트와 설치프레임에 설치Mounted on ball joint and mounting frame 5~10㎛5 to 10 μm

따라서 본 발명의 실시예에서, 증착챔버의 상판에서 발생되는 변형은 수직프레임(51)을 거쳐 카메라장치(40)가 설치되는 수평프레임(53)으로 전달되므로, 종래의 카메라장치가 직접 설치되는 상판의 변형량과 비교할 때 수평프레임(53)의 변형량이 상대적으로 적게 된다. Therefore, in the embodiment of the present invention, the deformation generated in the upper plate of the deposition chamber is transmitted to the horizontal frame 53 on which the camera device 40 is installed via the vertical frame 51, The amount of deformation of the horizontal frame 53 is relatively small.

더욱 증착챔버의 상판에서 발생되는 변형은 수직프레임의 하단이 상판에 설치되는 볼조인트에 연결될 경우 수직프레임과 연결되는 볼스터드가 볼시트의 내부에서 회동될 수 있으므로 더욱 수평프레임의 변형량이 현격하게 줄어들 수 있다.
Further, when the lower end of the vertical frame is connected to the ball joint installed on the upper plate, the deformation caused by the upper plate of the deposition chamber can be rotated inside the ball seat, so that the deformation amount of the horizontal frame is significantly reduced .

또한, 본 발명의 카메라 어셈블리의 다른 실시예를 살펴보면 다음과 같다.Another embodiment of the camera assembly of the present invention will be described below.

카메라 어셈블리는 도 4에 도시된 바와 같이, 챔버의 상면에 연결되는 한 쌍의 수직프레임(51)과, 이 한 쌍의 수직프레임(51)을 상호 연결하는 수평프레임(53)을 포함하는 설치프레임과, 수평프레임(53)에 장착되는 카메라장치(40)와, 수직프레임(51)과 수평프레임(53) 중 어느 하나의 프레임에 설치되어 다른 하나의 프레임과 연결되는 볼조인트(60')를 포함할 수 있다.The camera assembly comprises a pair of vertical frames 51 connected to the upper surface of the chamber and a horizontal frame 53 interconnecting the pair of vertical frames 51, A camera device 40 mounted on the horizontal frame 53 and a ball joint 60 'provided on one of the vertical frame 51 and the horizontal frame 53 and connected to the other frame .

여기서, 설치프레임과 카메라장치 및 볼조인트의 상세 구조는 앞선 일실시예와 동일하므로 구체적인 설명을 생략한다.
Here, the detailed structure of the installation frame, the camera device, and the ball joint are the same as those of the previous embodiment, so a detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention. . Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

20: 증착챔버 25: 증착챔버의 상판
26: 투시공 27: 볼조인트 설치공
40: 카메라장치 50: 설치프레임
51: 수직프레임 53: 수평프레임
60,60' 볼조인트 61: 하우징
63: 볼시트 65: 볼스터드
100: 얼라인장치 110: 글라스 로더
1110: 글라스 안착프레임 1115: 안착팁
1120: 이동유닛 1130: 글라스 클램핑유닛
120: 마스크 홀더 150: 마스크 홀더 승강부20: Deposition chamber 25: Deposition chamber top plate
26: Two-step installation 27: Ball joint installation hole
40: camera device 50: installation frame
51: vertical frame 53: horizontal frame
60, 60 'ball joint 61: housing
63: ball seat 65: ball stud
100: alignment device 110: glass loader
1110: Glass mount frame 1115: Mounting tip
1120: mobile unit 1130: glass clamping unit
120: mask holder 150: mask holder elevating part

Claims (4)

박막 증착 시스템의 챔버에 설치되는 카메라 어셈블리에 있어서,
상기 카메라 어셈블리는, 상기 챔버의 상면에 연결되는 적어도 한 쌍의 수직프레임과, 상기 한 쌍의 수직프레임을 연결하는 수평프레임과, 상기 수평프레임에 장착되는 카메라장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라 어셈블리.A camera assembly installed in a chamber of a thin film deposition system,
Wherein the camera assembly comprises at least a pair of vertical frames connected to an upper surface of the chamber, a horizontal frame connecting the pair of vertical frames, and a camera device mounted to the horizontal frame. . 제1항에 있어서,
상기 카메라장치는 연결브라켓에 의해 상기 수평프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 카메라 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the camera device is mounted to the horizontal frame by a connection bracket. 제1항에 있어서,
상기 카메라 어셈블리는 상기 챔버의 상면에 설치되는 적어도 한 쌍의 볼조인트를 더 포함하고,
상기 각 수직프레임의 하단은 상기 각 볼조인트에 연결되는 것을 특징으로 하는 카메라 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the camera assembly further comprises at least a pair of ball joints mounted on an upper surface of the chamber,
And the lower ends of the vertical frames are connected to the respective ball joints. 제1항에 있어서,
상기 카메라 어셈블리는 상기 수직프레임 또는 수평프레임 중 어느 하나에 설치되는 볼조인트를 더 포함하고,
상기 볼조인트가 설치되는 수직프레임 또는 수평프레임 중 나머지 하나의 프레임의 단부는 상기 볼조인트와 연결되는 것을 특징으로 하는 카메라 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the camera assembly further comprises a ball joint installed in one of the vertical frame and the horizontal frame,
Wherein an end of the other one of the vertical frame or the horizontal frame to which the ball joint is installed is connected to the ball joint.
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