KR102340217B1 - industrial robot - Google Patents

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KR102340217B1
KR102340217B1 KR1020197036454A KR20197036454A KR102340217B1 KR 102340217 B1 KR102340217 B1 KR 102340217B1 KR 1020197036454 A KR1020197036454 A KR 1020197036454A KR 20197036454 A KR20197036454 A KR 20197036454A KR 102340217 B1 KR102340217 B1 KR 102340217B1
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fixed
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다카유키 야자와
요시키 시무라
요스케 다카세
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇은, 제1 핸드가 고정되는 핸드 지지 부재(7)와, 제2 핸드가 고정되는 핸드 지지 부재(8)와, 암에 대하여 전후 방향으로 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키기 위한 제1 모터(37) 및 벨트(50)와, 암에 대하여 전후 방향으로 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키기 위한 제2 모터 및 벨트(54)를 구비하고 있다. 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 지지 부재(7)에 고정되는 벨트(50)는 제1 모터(37)의 양측의 각각에 배치되고, 핸드 지지 부재(8)에 고정되는 벨트(54)는 제2 모터의 양측의 각각에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는 좌우 방향으로 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다.An industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate with respect to an arm, the industrial robot capable of stabilizing the operation of the first hand and the second hand is provided. This industrial robot has a hand support member 7 to which a first hand is fixed, a hand support member 8 to which a second hand is fixed, and an arm for reciprocating the hand support member 7 in the front-rear direction with respect to the arm. A first motor (37) and a belt (50), and a second motor and a belt (54) for reciprocating the hand support member (8) with respect to the arm are provided. The belt 50 fixed to the hand supporting member 7 when viewed from the front-rear direction is arranged on each of both sides of the first motor 37, and the belt 54 fixed to the hand supporting member 8 is the second motor placed on each side of the Moreover, the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the belt 50 in the left-right direction, and is also arrange|positioned at the same height as the belt 50. As shown in FIG.

Figure R1020197036454
Figure R1020197036454

Description

산업용 로봇industrial robot

본 발명은, 소정의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport target.

종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암을 보유 지지하는 암 지지 부재를 구비하고 있다. 암은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재는 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, a second hand support member to which the second hand is fixed, and a second hand support member to which the second hand is fixed; An arm holding the first hand supporting member and the second hand supporting member, and an arm supporting member holding the arm are provided. The arm is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. The first hand supporting member and the second hand supporting member are linearly reciprocating with respect to the arm in the front-rear direction.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제1 나사 부재와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 나사 부재에 걸림 결합하는 제1 너트 부재와, 제1 나사 부재를 회전시키는 제1 모터를 구비하고 있다. 제2 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제2 나사 부재와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 나사 부재에 걸림 결합하는 제2 너트 부재와, 제2 나사 부재를 회전시키는 제2 모터를 구비하고 있다. 제1 나사 부재는 암의 좌측면을 따라 배치되어 있다. 제2 나사 부재는 암의 우측면을 따라 배치되어 있다.Moreover, the industrial robot described in patent document 1 is provided with the 1st drive mechanism which reciprocates the 1st hand support member with respect to an arm, and the 2nd drive mechanism which reciprocates the 2nd hand support member with respect to the arm. The first driving mechanism includes a first screw member having an external thread formed on an outer circumferential surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member for rotating the first screw member. A motor is provided. The second driving mechanism includes a second screw member having an external thread formed on an outer circumferential surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member for rotating the second screw member. A motor is provided. The first screw member is disposed along the left side of the arm. The second screw member is disposed along the right side of the arm.

일본 특허 공개 제2015-80828호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2015-80828

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 암의 좌측면을 따라 배치되는 제1 나사 부재와 제1 너트 부재를 이용하여 제1 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 이동시키고 있기 때문에, 제1 핸드에 탑재되는 유리 기판의 무게 중심 위치의 영향 등으로, 이동 시의 제1 핸드 지지 부재에, 제1 나사 부재를 중심으로 하는 모멘트가 생길 우려가 있다. 또한 이 산업용 로봇에서는, 암의 우측면을 따라 배치되는 제2 나사 부재와 제2 너트 부재를 이용하여 제2 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 이동시키고 있기 때문에, 제2 핸드에 탑재되는 유리 기판의 무게 중심 위치의 영향 등으로, 이동 시의 제2 핸드 지지 부재에, 제2 나사 부재를 중심으로 하는 모멘트가 생길 우려가 있다. 따라서 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작이 불안정해질 우려가 있다.In the industrial robot described in Patent Document 1, since the first hand support member is moved in the front-rear direction using the first screw member and the first nut member disposed along the left side of the arm, the glass mounted on the first hand Due to the influence of the position of the center of gravity of the substrate or the like, there is a possibility that a moment centered on the first screw member may occur in the first hand supporting member during movement. In addition, in this industrial robot, since the second hand support member is moved in the front-rear direction using the second screw member and the second nut member disposed along the right side of the arm, the center of gravity of the glass substrate mounted on the second hand Due to the influence of the position or the like, there is a possibility that a moment centered on the second screw member may occur in the second hand supporting member during movement. Therefore, in the industrial robot described in patent document 1, there exists a possibility that the operation|movement of a 1st hand and a 2nd hand may become unstable.

그래서 본 발명의 과제는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of stabilizing the operation of the first hand and the second hand in an industrial robot having a first hand and a second hand reciprocating linearly with respect to an arm. have.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재와 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구는 암의 내부에 배치되고, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면, 제1 구동 기구는, 구동원으로서의 제1 모터와, 제1 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 종동 풀리와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 구동 풀리와 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고, 제2 구동 기구는, 구동원으로서의 제2 모터와, 제2 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 종동 풀리와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 구동 풀리와 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고, 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되고, 전후 방향에서 보았을 때에 제1 벨트는 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 제2 벨트는 제2 모터의 양측의 각각에 배치됨과 함께, 좌우 방향으로 제1 벨트와 인접하도록, 또한 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention provides a first hand and a second hand on which an object to be transported is mounted, a first hand support member on which the first hand is fixed, and a second hand support on which the second hand is fixed. an arm for holding the first hand supporting member and the second hand supporting member so that the member, the first hand supporting member and the second hand supporting member can linearly reciprocate in the same horizontal direction; A first drive mechanism for reciprocating the hand support member and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm, wherein the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed inside the arm; Assuming that the moving directions of the first and second hand supporting members with respect to the arm are referred to as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the up-down direction and the front-rear direction is referred to as the left-right direction, the first drive mechanism includes a first motor as a drive source and , two first drive pulleys arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis direction of rotation by the power of the first motor; two first driven pulleys arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction while rotating as the Two first belts are provided, and the second drive mechanism includes a second motor as a drive source and a power of the second motor to rotate in a left-right direction as an axial direction of rotation, and the other end of the arm in the front-rear direction. two second driving pulleys disposed inside the side, and two second driven pulleys disposed inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as an axial direction of rotation; It is fixed to the second hand support member and includes two second belts installed on the second driving pulley and the second driven pulley, wherein the rotational center of the first motor and the rotational center of the second motor are arranged at the same height, When viewed from the front-rear direction, the first belt is attached to each of both sides of the first motor. It is characterized in that the second belt is disposed on each of both sides of the second motor, adjacent to the first belt in the left-right direction, and disposed at the same height as the first belt.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향인 전후 방향에서 보았을 때에, 제1 핸드 지지 부재에 고정되는 제1 벨트는 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 제2 핸드 지지 부재에 고정되는 제2 벨트는 제2 모터의 양측의 각각에 배치되어 있다. 즉, 본 발명에서는, 제1 모터의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 제1 벨트가 제1 핸드 지지 부재에 고정되고, 제2 모터의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 제2 벨트가 제2 핸드 지지 부재에 고정되어 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 이동 시의 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재에 모멘트가 생기는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 동작을 안정시키는 것이 가능해지며, 그 결과, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, when viewed from the front-rear direction that is the movement direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm, the first belt fixed to the first hand support member is each on both sides of the first motor. A second belt disposed on the second hand supporting member and fixed to the second hand supporting member is disposed on each of both sides of the second motor. That is, in the present invention, two first belts disposed on the left and right sides of the first motor are fixed to the first hand support member, and the two second belts disposed on the left and right sides of the second motor are the second hands. It is fixed to the support member. Therefore, in this invention, like the industrial robot of patent document 1, it becomes possible to prevent that a moment arises in the 1st hand support member and the 2nd hand support member at the time of movement. Accordingly, in the present invention, it is possible to stabilize the motions of the first hand supporting member and the second hand supporting member, and as a result, it becomes possible to stabilize the motions of the first hand and the second hand.

또한 본 발명에서는, 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심이 동일한 높이로 배치됨과 함께, 제2 벨트는 좌우 방향으로 제1 벨트와 인접하도록, 또한 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되어 있기 때문에, 암의 내부에 배치되는 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능하더라도 상하 방향에 있어서의 암의 두께를 얇게 하는 것이 가능해지며, 그 결과, 산업용 로봇의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.In addition, in the present invention, the rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor are arranged at the same height, and the second belt is adjacent to the first belt in the left-right direction and is arranged at the same height as the first belt, Therefore, it becomes possible to make the height of the 1st drive mechanism and 2nd drive mechanism arrange|positioned inside the arm low. Therefore, in the present invention, even if it is possible to stabilize the operation of the first hand and the second hand, it becomes possible to reduce the thickness of the arm in the vertical direction, and as a result, it becomes possible to lower the height of the industrial robot.

본 발명에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때에 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심이 일치하고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면 좌우 방향에 있어서의 암의 폭을 좁히는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that the rotational center of the first motor coincides with the rotational center of the second motor when viewed from the front-rear direction. When comprised in this way, it becomes possible to narrow the width|variety of the arm in the left-right direction.

본 발명에 있어서, 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고, 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면 제1 핸드가 좌우의 양측에서 제1 핸드 지지 부재에 지지되기 때문에, 제1 핸드 지지 부재와 함께 전후 방향으로 이동하는 제1 핸드의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다. 마찬가지로 제2 핸드가 좌우의 양측에서 제2 핸드 지지 부재에 지지되기 때문에, 제2 핸드 지지 부재와 함께 전후 방향으로 이동하는 제2 핸드의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.In the present invention, a first hand holding portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right direction, and a second hand is fixed at both ends of the second hand supporting member in the left and right direction. It is preferable that the second hand fixing portion to be formed is formed. With this configuration, since the first hand is supported by the first hand support member on both left and right sides, it becomes possible to stabilize the state of the first hand moving in the front-rear direction together with the first hand support member. Similarly, since the second hand is supported by the second hand support member on both the left and right sides, it becomes possible to stabilize the state of the second hand moving in the front-rear direction together with the second hand support member.

본 발명에 있어서, 제1 구동 기구는, 2개의 제1 구동 풀리가 고정되는 제1 회전축을 구비하고, 제2 구동 기구는, 2개의 제2 구동 풀리가 고정되는 제2 회전축을 구비하고, 2개의 제1 종동 풀리는 제2 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고, 2개의 제2 종동 풀리는 제1 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 제2 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 산업용 로봇의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In the present invention, the first drive mechanism includes a first rotation shaft to which two first drive pulleys are fixed, and the second drive mechanism includes a second rotation shaft to which two second drive pulleys are fixed, 2 It is preferable that two 1st driven pulleys are rotatably held by a 2nd rotation shaft, and two 2nd driven pulleys are rotatably held by a 1st rotation shaft. If comprised in this way, compared with the case where the shaft by which the 1st driven pulley is rotatably held, and the shaft by which the 2nd driven pulley is rotatably held are provided separately, it becomes possible to simplify the structure of an industrial robot.

본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 모터 및 제2 모터는, 제1 모터의 출력축과 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 또한 본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 구동 기구는, 제1 모터의 출력축에 연결되는 제3 회전축과, 제3 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 제1 회전축에 고정됨과 함께 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어를 구비하고, 제2 구동 기구는, 제2 모터의 출력축에 연결되는 제4 회전축과, 제4 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 제2 회전축에 고정됨과 함께 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어를 구비하고 있다.In the present invention, for example, the first motor and the second motor are disposed inside the central portion of the arm so that the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor protrude in opposite directions. Further, in the present invention, for example, the first drive mechanism includes a third rotation shaft connected to the output shaft of the first motor, a first bevel gear fixed to the tip of the third rotation shaft, and a first rotation shaft fixed to the first rotation shaft. A second bevel gear meshing with the first bevel gear is provided, and the second driving mechanism includes a fourth rotation shaft connected to the output shaft of the second motor, a third bevel gear fixed to the tip of the fourth rotation shaft, and a second rotation shaft It is provided with a 4th bevel gear which meshes with the 3rd bevel gear while being fixed to the.

이상과 같이 본 발명에서는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, in the industrial robot having the first hand and the second hand reciprocating linearly with respect to the arm, it is possible to stabilize the operation of the first hand and the second hand.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 배면도이다.
도 4의 (A)는 도 1에 도시하는 암의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, (B)는 (A)의 E-E 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (A)는 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다.
도 7의 (A)는 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, (B)는 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view of the industrial robot shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a rear view of the industrial robot shown in Fig. 1;
Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm shown in Fig. 1, and (B) is a diagram for explaining the internal structure of the arm in the EE direction of (A).
FIG. 5A is an enlarged view of part F of FIG. 4A, and (B) is an enlarged view of part G of FIG. 4B.
FIG. 6A is an enlarged view of part H of FIG. 4A , and (B) is an enlarged view of part J of FIG. 4A .
7 (A) is a view for explaining the internal structure of the arm in the KK direction of FIG. 4 (A), (B) is for explaining the internal structure of the arm in the LL direction of FIG. 4 (A) It is a drawing.
FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the first hand support member, the second hand support member, the arm, the first drive mechanism, and the second drive mechanism in the NN direction in FIG. 4B .
9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the first hand supporting member, the second hand supporting member, the arm, the first driving mechanism, and the second driving mechanism in the QQ direction in FIG. 4B .

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Schematic configuration of industrial robots)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 배면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 . FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 .

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 진공 중에서 반송하는 로봇이다. 이 로봇(1)은 액정 디스플레이 장치의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 이 제조 시스템은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(3)(이하, 「챔버(3)」라 함)와, 챔버(3)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)를 구비하고 있다(도 1 참조).Industrial robot 1 (hereinafter, referred to as "robot 1") of this form conveys the glass substrate 2 for liquid crystal displays (henceforth "substrate 2") which is a conveyance object in a vacuum a robot that does This robot 1 is incorporated and used in a manufacturing system of a liquid crystal display device. In this manufacturing system, a transfer chamber 3 (hereinafter, referred to as "chamber 3") arranged at the center and a plurality of process chambers 4 arranged to surround the chamber 3 (hereinafter referred to as "chamber ( 4)") is provided (refer to FIG. 1).

챔버(3, 4)의 내부는 진공으로 되어 있다. 즉, 챔버(3, 4)는 진공 챔버이다. 챔버(3)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)은, 챔버(4)로의 기판(2)의 반입과 챔버(4)로부터의 기판(2)의 반출을 행한다. 챔버(4)의 내부에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 챔버(4)의 내부에서는 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다.The interior of the chambers 3 and 4 is in a vacuum. That is, the chambers 3 and 4 are vacuum chambers. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . The robot 1 carries in the board|substrate 2 into the chamber 4, and carries out the board|substrate 2 out of the chamber 4. As shown in FIG. Various devices and the like are arranged inside the chamber 4 , and various processes are performed on the substrate 2 inside the chamber 4 .

로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 제1 핸드로서의 핸드(5)와, 기판(2)이 탑재되는 제2 핸드로서의 핸드(6)와, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(7)와, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(8)와, 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하는 암(9)과, 암(9)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다.The robot 1 includes a hand 5 serving as a first hand on which the substrate 2 is mounted, a hand 6 serving as a second hand on which the substrate 2 is mounted, and a first hand on which the hand 5 is fixed. a hand supporting member 7 as a supporting member, a hand supporting member 8 as a second hand supporting member to which the hand 6 is fixed, and an arm 9 holding the hand supporting members 7 and 8; The arm 9 is provided with the body part 10 which is connected rotatably.

본체부(10)는, 암(9)의 중심부가 고정되는 원기둥형의 승강 부재(12)(도 2 참조)와, 승강 부재(12)를 승강시키는 승강 기구와, 승강 부재(12)를 회동시키는 회동 기구와, 이들의 구성이 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다. 플랜지(14)에는, 승강 부재(12)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.The body portion 10 includes a cylindrical lifting member 12 (see FIG. 2 ) to which the central portion of the arm 9 is fixed, a lifting mechanism for raising and lowering the lifting member 12 , and rotating the lifting member 12 . It is provided with a rotating mechanism to make the swivel, and a case body 13 in which these structures are accommodated. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13 . The flange 14 is formed with a through hole in which the upper end side portion of the elevating member 12 is disposed.

핸드(5, 6) 및 암(9)은 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이 로봇(1)의 일부는 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(5, 6) 및 암(9)은 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다.The hands 5 and 6 and the arm 9 are disposed above the body portion 10 . As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . Specifically, the portion above the lower end surface of the flange 14 of the robot 1 is disposed inside the chamber 3 . That is, the portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hands 5 and 6 and the arms 9 are disposed in the vacuum chamber (in a vacuum). have. On the other hand, the part of the robot 1 lower than the lower end surface of the flange 14 is arrange|positioned in the waiting area AR (in waiting|standby).

암(9)은, 핸드 지지 부재(7)와 핸드 지지 부재(8)가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하고 있다. 로봇(1)은, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구로서의 구동 기구(17)와, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구로서의 구동 기구(18)를 구비하고 있다(도 4 참조).The arm 9 holds the hand support members 7 and 8 so that the hand support member 7 and the hand support member 8 can linearly reciprocate in the same horizontal direction. The robot 1 has a drive mechanism 17 as a first drive mechanism for reciprocally moving the hand support member 7 with respect to the arm 9 , and a drive mechanism 17 for reciprocating the hand support member 8 with respect to the arm 9 . The drive mechanism 18 as a 2nd drive mechanism is provided (refer FIG. 4).

이하, 핸드(5, 6), 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구체적인 구성을 설명한다. 또한 이하의 설명에서는, 암(9)에 대한 핸드 지지 부재(7, 8)의 이동 방향인 도 1 등의 X 방향을 「전후 방향」이라 하고, 상하 방향(연직 방향)과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「좌우 방향」이라 한다. 또한 전후 방향 중의 X1 방향측을 「전방」측이라 하고 그 반대측인 X2 방향측을 「후방」측이라 한다.Hereinafter, specific configurations of the hands 5 and 6, the hand supporting members 7 and 8, the arms 9 and the driving mechanisms 17 and 18 will be described. In addition, in the following description, the X direction in FIG. 1 etc., which is the movement direction of the hand support members 7 and 8 with respect to the arm 9, is called "front-back direction", and is perpendicular to the vertical direction (vertical direction) and the front-back direction. The Y direction in FIG. 1 and the like is referred to as “left and right direction”. In addition, the X1 direction side of the front-back direction is called "front" side, and the X2 direction side which is the opposite side is called "rear" side.

(핸드, 핸드 지지 부재, 암 및 구동 기구의 구성)(Configuration of hand, hand support member, arm and drive mechanism)

도 4의 (A)는, 도 1에 도시하는 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4의 (B)는, 도 4의 (A)의 E-E 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은, 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는, 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in Fig. 1, and Fig. 4(B) is the arm 9 in the EE direction of Fig. 4(A). It is a drawing for explaining an internal structure. Fig. 5(A) is an enlarged view of part F of Fig. 4(A), and Fig. 5(B) is an enlarged view of part G of Fig. 4(B). Fig. 6(A) is an enlarged view of part H of Fig. 4(A), and Fig. 6(B) is an enlarged view of part J of Fig. 4(A). Fig. 7(A) is a view for explaining the internal structure of the arm 9 in the KK direction in Fig. 4(A), and Fig. 7(B) is the LL direction in Fig. 4(A). It is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 . Fig. 8 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the hand supporting members 7 and 8, the arms 9 and the driving mechanisms 17 and 18 in the N-N direction in Fig. 4B. Fig. 9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the hand support members 7 and 8, the arms 9, and the drive mechanisms 17 and 18 in the Q-Q direction in Fig. 4B.

핸드(5)는, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(21)를 구비하고 있다. 핸드(6)는 핸드(5)와 마찬가지로, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(22)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(5, 6)는 6개의 포크(20)를 구비하고 있다. 포크(20)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21, 22)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 대략 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21)의 길이(좌우 방향의 길이)는 핸드 기부(22)의 길이(좌우 방향의 길이)보다도 길게 되어 있다.The hand 5 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 21 to which base ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed. The hand 6, like the hand 5, includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 22 to which proximal ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed, have. The hands 5 and 6 of this form are provided with the six forks 20. The fork 20 is formed in an elongated straight line in the front-rear direction. The hand bases 21 and 22 are formed in a substantially rectangular flat plate shape elongated in the left-right direction. The length (length in the left-right direction) of the hand base 21 is longer than the length (length in the left-right direction) of the hand base 22 .

핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 방향으로 서로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)가 상측에 배치되고 핸드(6)가 하측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)가 상측에 배치되고 핸드 기부(22)가 하측에 배치되어 있다. 또한 도 3에 도시한 바와 같이 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)의 중심과 핸드 기부(22)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 즉, 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)의 중심과 핸드(6)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다.The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this form, when seen from the front-back direction, the hand 5 is arrange|positioned at the upper side, and the hand 6 is arrange|positioned at the lower side. That is, when seen from the front-back direction, the hand base 21 is arrange|positioned at the upper side, and the hand base 22 is arrange|positioned at the lower side. Moreover, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arrange|positioned so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 may correspond in the left-right direction when seen from the front-back direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arrange|positioned so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 may correspond in the left-right direction when seen from the front-back direction.

암(9)은 핸드(6)의 하측에 배치되어 있다. 이 암(9)은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 또한 암(9)은 중공형으로 형성되어 있다. 암(9)의 좌우 방향의 폭은 핸드(5, 6)의 좌우 방향의 폭보다도 좁게 되어 있다. 암(9)은, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5, 6)의 중심과 암(9)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 암(9)은, 암(9)의 프레임인 암 프레임(23)과, 암(9)의 상하, 좌우 및 전후의 측면을 구성하는 커버 부재(24)와, 암(9)의 중심부에 배치되는 상자형의 모터 수용 부재(25)와, 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되는 상면 커버(26)를 구비하고 있다. 또한 도 4 내지 도 9에서는 커버 부재(24)의 도시를 생략하고 있다.The arm 9 is disposed below the hand 6 . The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. In addition, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width in the left-right direction of the arm 9 is narrower than the width in the left-right direction of the hands 5 and 6 . The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 includes an arm frame 23 that is a frame of the arm 9 , a cover member 24 constituting the upper, lower, left, and front and rear side surfaces of the arm 9 , and is disposed at the center of the arm 9 . It is provided with the box-shaped motor accommodating member 25 which becomes used, and the upper surface cover 26 fixed to the upper surface of the motor accommodating member 25. As shown in FIG. 4 to 9, illustration of the cover member 24 is abbreviate|omitted.

암 프레임(23)은, 전후 방향에 있어서의 암(9)의 전역에서 암(9)의 프레임을 구성하고 있다. 이 암 프레임(23)은, 암 프레임(23)의 우측면을 구성하는 우측 판부(23a)와, 암 프레임(23)의 좌측면을 구성하는 좌측 판부(23b)와, 암 프레임(23)의 상측면을 구성하는 상측 판부(23c)와, 암 프레임(23)의 하측면을 구성하는 하측 판부(23d)를 구비하고 있다.The arm frame 23 constitutes a frame of the arm 9 over the entire area of the arm 9 in the front-rear direction. The arm frame 23 includes a right plate part 23a constituting the right side surface of the arm frame 23 , a left plate part 23b constituting the left side surface of the arm frame 23 , and an upper portion of the arm frame 23 . The upper plate part 23c constituting the side surface and the lower plate part 23d constituting the lower side surface of the arm frame 23 are provided.

우측 판부(23a), 좌측 판부(23b), 상측 판부(23c) 및 하측 판부(23d)는 평판 형으로 형성되어 있다. 우측 판부(23a)는, 우측 판부(23a)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 좌측 판부(23b)는, 좌측 판부(23b)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는, 상측 판부(23c)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 하측 판부(23d)는, 하측 판부(23d)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다.The right plate part 23a, the left plate part 23b, the upper plate part 23c, and the lower plate part 23d are formed in flat plate shape. The right board part 23a is arrange|positioned so that the thickness direction of the right board part 23a and the left-right direction may correspond, and the left board part 23b is arrange|positioned so that the thickness direction and the left-right direction of the left board part 23b may correspond. The upper plate part 23c is arrange|positioned so that the thickness direction of the upper plate part 23c and an up-down direction may correspond, and the lower plate part 23d is arrange|positioned so that the thickness direction of the lower plate part 23d and an up-down direction may correspond.

우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b)는 좌우 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는 우측 판부(23a)의 상단부 및 좌측 판부(23b)의 상단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 하측 판부(23d)는 우측 판부(23a)의 하단부 및 좌측 판부(23b)의 하단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 상측 판부(23c)의 우단부 및 하측 판부(23d)의 우단부는 우측 판부(23a)보다도 우측에 배치되고, 상측 판부(23c)의 좌단부 및 하측 판부(23d)의 좌단부는 좌측 판부(23b)보다도 좌측에 배치되어 있다.The right plate part 23a and the left plate part 23b are arrange|positioned in the state which spaced apart in the left-right direction. The upper plate part 23c is being fixed to the upper end of the right plate part 23a and the upper part of the left plate part 23b with screws. The lower plate part 23d is being fixed to the lower end part of the right plate part 23a and the lower end part of the left plate part 23b with a screw. The right end of the upper plate part 23c and the right end of the lower plate part 23d are disposed on the right side of the right plate part 23a, and the left end of the upper plate part 23c and the left end of the lower plate part 23d are the left plate part 23b. It is placed on the left.

모터 수용 부재(25)는, 상면측이 개구되는, 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)에는, 구동 기구(17)를 구성하는 후술하는 모터(37)와, 구동 기구(18)를 구성하는 후술하는 모터(38)가 수용되어 있다. 모터 수용 부재(25)는 암 프레임(23)의 중심 부분에 고정되어 있다. 즉, 모터 수용 부재(25)는 암(9)의 중심 부분에 배치되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면의 중심은 승강 부재(12)의 상단부에 고정되어 있다. 즉, 암(9)의 중심은 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)의, 하단부 이외의 대부분의 부분은, 좌우 방향에 있어서 우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b) 사이에 배치되어 있다(도 5의 (A), 도 9 참조).The motor accommodating member 25 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape with an upper surface side open. Moreover, the motor accommodation member 25 is formed in the box shape of a substantially rectangular parallelepiped elongate in the front-back direction. In the motor accommodating member 25 , a motor 37 to be described later constituting the drive mechanism 17 and a motor 38 to be described later constituting the drive mechanism 18 are accommodated. The motor accommodating member 25 is fixed to the central portion of the arm frame 23 . That is, the motor accommodating member 25 is disposed at the central portion of the arm 9 . The center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 is fixed to the upper end of the lifting member 12 . That is, the center of the arm 9 is rotatably connected to the main body 10 . Moreover, most parts other than the lower end of the motor accommodation member 25 are arrange|positioned between the right board part 23a and the left board part 23b in the left-right direction (refer FIG.5(A), FIG.9).

상면 커버(26)는 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 상면 커버(26)는, 모터 수용 부재(25)의 상면측에 형성되는 개구부를 막도록 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되어 있다. 암(9)의 중심 부분의 내부에는, 모터 수용 부재(25)와 상면 커버(26)에 의하여 획정되는 내부 공간 S가 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면부의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(25a)이 형성되어 있다. 상술한 바와 같이 승강 부재(12)는 원통형으로 형성되어 있다. 승강 부재(12)는, 관통 구멍(25a)을 둘러싸도록 모터 수용 부재(25)의 저면에 고정되어 있으며, 케이스체(13)의 내부와 내부 공간 S가 통하고 있다. 케이스체(13)의 내부 및 내부 공간 S는 대기압으로 되어 있다.The upper cover 26 is formed in a rectangular flat plate shape. The upper surface cover 26 is being fixed to the upper surface of the motor accommodation member 25 so as to close the opening formed on the upper surface side of the motor accommodation member 25 . An inner space S defined by the motor accommodating member 25 and the upper surface cover 26 is formed inside the central portion of the arm 9 . A through hole 25a penetrating in the vertical direction is formed in the center of the bottom surface of the motor accommodating member 25 . As described above, the lifting member 12 is formed in a cylindrical shape. The elevating member 12 is fixed to the bottom surface of the motor accommodation member 25 so as to surround the through hole 25a, and the inside of the case body 13 and the internal space S communicate with each other. The inside and the internal space S of the case body 13 are atmospheric pressure.

도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(29)이 고정되어 있다. 또한 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(30)이 고정되어 있다. 가이드 레일(29, 30)은, 가이드 레일(29, 30)의 긴 변 방향과 전후 방향이 일치하도록 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다.8 and 9, a guide rail 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction is fixed on the right side of the right side plate part 23a and the left side side of the left side plate part 23b. have. Moreover, the guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-back direction is being fixed to the right side of the right side plate part 23a, and the left side surface of the left side plate part 23b. The guide rails 29 and 30 are being fixed to the right plate part 23a and the left plate part 23b so that the longitudinal direction of the guide rails 29 and 30 and the front-back direction may correspond.

본 형태에서는, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(29)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다(도 7 참조). 마찬가지로, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(30)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(29)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(29)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 마찬가지로, 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(30)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(30)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한 가이드 레일(30)은 가이드 레일(29)의 상측에 배치되어 있다.In this form, the some guide rail 29 divided|segmented in the front-back direction is being fixed to the right board part 23a and the left board part 23b (refer FIG. 7). Similarly, the plurality of guide rails 30 divided in the front-rear direction are being fixed to the right plate portion 23a and the left plate portion 23b. The guide rail 29 fixed to the right surface of the right plate part 23a and the guide rail 29 fixed to the left surface of the left plate part 23b are arrange|positioned at the same position in an up-down direction. Similarly, the guide rail 30 fixed to the right surface of the right plate part 23a and the guide rail 30 fixed to the left surface of the left plate part 23b are arrange|positioned at the same position in an up-down direction. In addition, the guide rail 30 is disposed above the guide rail 29 .

핸드 지지 부재(7)는, 가이드 레일(29)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(7a)와, 핸드(5)의 핸드 기부(21)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(7b)로 구성되어 있다. 마찬가지로 핸드 지지 부재(8)는, 가이드 레일(30)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(8a)와, 핸드(6)의 핸드 기부(22)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(8b)로 구성되어 있다.The hand support member 7 includes two slide portions 7a that slide in the front-rear direction along the guide rail 29 and two hand fixing portions 7b to which the hand base 21 of the hand 5 is fixed. is composed of Similarly, the hand supporting member 8 includes two slide portions 8a that slide in the front-rear direction along the guide rail 30 and two hand fixing portions 8b to which the hand base 22 of the hand 6 is fixed. ) is composed of

도 8, 도 9에 도시한 바와 같이 2개의 슬라이드부(7a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 2개의 슬라이드부(8a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 또한 2개의 슬라이드부(8a)는 2개의 슬라이드부(7a)의 상측에 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 우단부 부분은 커버 부재(24)의 우측면보다도 우측으로 돌출되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 좌단부 부분은 커버 부재(24)의 좌측면보다도 좌측으로 돌출되어 있다.8, 9, each of the two slide parts 7a is arrange|positioned outside the right-hand plate part 23a and the left-hand plate part 23b in the left-right direction. Each of the two slide parts 8a is arrange|positioned on the outer side in the left-right direction of the right board part 23a and the left board part 23b. Moreover, the two slide parts 8a are arrange|positioned above the two slide parts 7a. As shown in Fig. 3, the right end portion of the slide portions 7a, 8a disposed on the right protrudes to the right rather than the right side surface of the cover member 24, and the left end of the slide portions 7a, 8a disposed on the left side. The minor part projects to the left of the left side of the cover member 24 .

2개의 핸드 고정부(7b) 중 한쪽 핸드 고정부(7b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 우단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(7b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 좌단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 이와 같이, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 양 단부측에는, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 고정부로서의 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있다.One hand holding part 7b of the two hand holding parts 7b is fixed to this slide part 7a so as to extend obliquely upward from the right end side of the slide part 7a disposed on the right side, As shown in FIG. 3, the lower surface of the right end part of the hand base 21 is fixed to the upper end of this hand fixing part 7b. The other hand holding part 7b is fixed to this slide part 7a so as to extend obliquely upward from the left end side of the slide part 7a disposed on the left side, and of this hand holding part 7b As shown in FIG. 3, the lower surface of the left end part of the hand base 21 is being fixed to the upper end part. In this way, on both end sides of the hand supporting member 7 in the left and right direction, hand holding parts 7b as the first hand holding parts to which the hands 5 are fixed are formed.

2개의 핸드 고정부(8b) 중 한쪽 핸드 고정부(8b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 우측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(8b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 좌측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 이와 같이, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 양 단부측에는, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 고정부로서의 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있다.One hand holding part 8b of the two hand holding parts 8b is fixed to this slide part 8a so as to extend obliquely upward from the right end side of the slide part 8a disposed on the right side, As shown in FIG. 3, the lower surface of the part of the right side vicinity of the hand base 22 rather than the center in the left-right direction is fixed to the upper end of this hand holding part 8b. The other hand holding part 8b is fixed to this slide part 8a so as to extend obliquely upward from the left end side of the slide part 8a disposed on the left side, and of this hand holding part 8b As shown in FIG. 3, the lower surface of the part of the left-hand side vicinity of the center of the left-right direction of the hand base 22 is fixed to the upper end part as shown in FIG. In this way, on both end sides of the hand holding member 8 in the left and right direction, hand holding parts 8b as second hand holding parts to which the hands 6 are fixed are formed.

우측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되어 있다. 마찬가지로, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되어 있다.A guide block 31 engaged with the guide rail 29 disposed on the right is fixed to the slide part 7a disposed on the right side, and the guide rail disposed on the left side is fixed to the slide part 7a disposed on the left side. A guide block 31 engaged with the (29) is fixed. Similarly, the guide block 32 engaged with the guide rail 30 disposed on the right is fixed to the slide part 8a disposed on the right side, and the slide part 8a disposed on the left side is disposed on the left side. A guide block 32 that engages with the guide rail 30 is fixed.

구체적으로는 2개의 슬라이드부(7a)의 각각에 3개의 가이드 블록(31)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 2개의 슬라이드부(8a)의 각각에 3개의 가이드 블록(32)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 본 형태에서는 가이드 레일(29)과 가이드 블록(31)에 의하여, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(33)가 구성되어 있다. 또한 가이드 레일(30)과 가이드 블록(32)에 의하여, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(34)가 구성되어 있다.Specifically, the three guide blocks 31 are being fixed to each of the two slide parts 7a in a state spaced apart in the front-back direction (refer FIG.7(B)). Moreover, three guide blocks 32 are fixed to each of the two slide parts 8a in the state spaced apart in the front-back direction (refer FIG.7(A)). In this form, the guide mechanism 33 which guides the hand support member 7 in the front-back direction is comprised by the guide rail 29 and the guide block 31. As shown in FIG. Moreover, the guide mechanism 34 which guides the hand support member 8 in the front-back direction is comprised by the guide rail 30 and the guide block 32. As shown in FIG.

구동 기구(17, 18)는 암(9)의 내부에 배치되어 있다. 구동 기구(17)는 구동원으로서의 모터(37)를 구비하고 있다. 구동 기구(18)는 구동원으로서의 모터(38)를 구비하고 있다. 모터(37, 38)는 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 모터(37, 38)는 소정의 브래킷에 의해 모터 수용 부재(25)에 고정되어 있다. 모터(37)와 모터(38)는 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 구체적으로는 모터(37)가 후방측에 배치되고 모터(38)가 전방측에 배치되어 있다. 본 형태의 모터(37)는 제1 모터이고 모터(38)는 제2 모터이다.The drive mechanisms 17 and 18 are arranged inside the arm 9 . The drive mechanism 17 is provided with the motor 37 as a drive source. The drive mechanism 18 is provided with the motor 38 as a drive source. The motors 37 and 38 are arranged in the inner space S. That is, the motors 37 and 38 are disposed inside the central portion of the arm 9 . The motors 37 and 38 are fixed to the motor accommodating member 25 by a predetermined bracket. The motor 37 and the motor 38 are arrange|positioned in the state which spaced apart in the front-back direction. Specifically, the motor 37 is disposed on the rear side and the motor 38 is disposed on the front side. The motor 37 of this form is a 1st motor, and the motor 38 is a 2nd motor.

모터(37, 38)는, 모터(37, 38)의 출력축의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 모터(37)의 출력축이 후방측을 향하여 돌출되고 모터(38)의 출력축이 전방측을 향하여 돌출되도록 모터(37, 38)가 내부 공간 S에 배치되어 있다.The motors 37 and 38 are arranged so that the axial direction of the output shaft of the motors 37 and 38 coincides with the front-rear direction. Further, the motors 37 and 38 are arranged in the inner space S so that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 protrude in opposite directions. That is, the motors 37 and 38 are disposed inside the central portion of the arm 9 so that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 protrude in opposite directions. Specifically, the motors 37 and 38 are arranged in the inner space S so that the output shaft of the motor 37 protrudes toward the rear side and the output shaft of the motor 38 protrudes toward the front side.

모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 일치하고 있다. 또한 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 회전 중심과 암(9)의 중심은 대략 일치하고 있다. 또한 모터(37, 38)에는 냉각용 에어 배관(도시 생략)이 감겨 있다.The rotation center of the motor 37 and the rotation center of the motor 38 are arranged at the same height. In this form, when seen from the front-back direction, the rotation center of the motor 37 and the rotation center of the motor 38 correspond. Moreover, when seen from the front-back direction, the rotation center of the motors 37 and 38 and the center of the arm 9 substantially coincide. Further, a cooling air pipe (not shown) is wound around the motors 37 and 38 .

또한 구동 기구(17)는, 모터(37)의 출력축에 연결되는 제3 회전축으로서의 회전축(39)과, 회전축(39)의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어로서의 베벨 기어(40)와, 베벨 기어(40)에 맞물리는 제2 베벨 기어로서의 베벨 기어(41)와, 베벨 기어(41)가 고정되는 제1 회전축으로서의 회전축(42)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 모터(38)의 출력축에 연결되는 제4 회전축으로서의 회전축(43)과, 회전축(43)의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어로서의 베벨 기어(44)와, 베벨 기어(44)에 맞물리는 제4 베벨 기어로서의 베벨 기어(45)와, 베벨 기어(45)가 고정되는 제2 회전축으로서의 회전축(46)을 구비하고 있다.In addition, the drive mechanism 17 includes a rotation shaft 39 as a third rotation shaft connected to the output shaft of the motor 37 , a bevel gear 40 as a first bevel gear fixed to the tip of the rotation shaft 39 , and a bevel gear A bevel gear 41 as a second bevel gear meshed with 40 and a rotation shaft 42 as a first rotation shaft to which the bevel gear 41 is fixed are provided. Similarly, the drive mechanism 18 includes a rotation shaft 43 as a fourth rotation shaft connected to the output shaft of the motor 38 , a bevel gear 44 as a third bevel gear fixed to the distal end of the rotation shaft 43 , and a bevel gear A bevel gear 45 serving as a fourth bevel gear meshed with 44 and a rotating shaft 46 serving as a second rotating shaft to which the bevel gear 45 is fixed are provided.

또한, 구동 기구(17)는, 회전축(42)에 고정되는 2개의 구동 풀리(48)와, 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(49)와, 구동 풀리(48)와 종동 풀리(49)에 가설되는 2개의 벨트(50)를 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(46)에 고정되는 2개의 구동 풀리(52)와, 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(53)와, 구동 풀리(52)와 종동 풀리(53)에 가설되는 2개의 벨트(54)를 구비하고 있다. 본 형태의 구동 풀리(48)는 제1 구동 풀리이고, 종동 풀리(49)는 제1 종동 풀리이고, 벨트(50)는 제1 벨트이고, 구동 풀리(52)는 제2 구동 풀리이고, 종동 풀리(53)는 제2 종동 풀리이고, 벨트(54)는 제2 벨트이다.In addition, the drive mechanism 17 includes two drive pulleys 48 fixed to the rotary shaft 42 , two driven pulleys 49 rotatably held by the rotary shaft 46 , and a drive pulley 48 . and two belts 50 installed on the driven pulley 49 . Similarly, the drive mechanism 18 includes two drive pulleys 52 fixed to the rotary shaft 46 , two driven pulleys 53 rotatably held by the rotary shaft 42 , and a drive pulley 52 , Two belts 54 installed on the driven pulley 53 are provided. The drive pulley 48 of this form is a 1st drive pulley, the driven pulley 49 is a 1st driven pulley, the belt 50 is a 1st belt, the drive pulley 52 is a 2nd drive pulley, a driven pulley Pulley 53 is a second driven pulley, and belt 54 is a second belt.

회전축(39)은, 회전축(39)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 출력축 선단(후단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 회전축(43)은, 회전축(43)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 출력축 선단(전단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 베벨 기어(40, 41), 회전축(42), 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(53)는 암(9)의 후단부측의 내부(전후 방향에 있어서의 암(9)의 일 단부측의 내부)에 배치되어 있다. 베벨 기어(44, 45), 회전축(46), 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(49)는 암(9)의 전단부측의 내부(전후 방향에 있어서의 암(9)의 타 단부측의 내부)에 배치되어 있다.The rotating shaft 39 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 39 and the front-rear direction coincide, and is connected to the front end (rear end) of the output shaft of the motor 37 by a coupling 55 (refer to FIG. 5 ). . The rotating shaft 43 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 43 and the front-rear direction coincide, and is connected to the front end (front end) of the output shaft of the motor 38 by a coupling 55 (refer to FIG. 5 ). . The bevel gears 40 and 41, the rotating shaft 42, the driving pulley 48, and the driven pulley 53 are located inside the rear end side of the arm 9 (on the one end side of the arm 9 in the front-rear direction). placed inside). The bevel gears 44 and 45, the rotating shaft 46, the drive pulley 52 and the driven pulley 49 are inside the front end side of the arm 9 (the inside of the other end side of the arm 9 in the front-rear direction). ) is placed in

또한 구동 기구(17)는, 회전축(39)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(56)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(43)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(57)을 구비하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 자성 유체 시일(56)은, 모터 수용 부재(25)의 후방면을 구성하는 후방 벽부(25b)에 고정되어 있다. 자성 유체 시일(57)은, 모터 수용 부재(25)의 전방면을 구성하는 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다. 구체적으로는 자성 유체 시일(56)은, 후방 벽부(25b)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 후방 벽부(25b)에 고정되고, 자성 유체 시일(57)은, 전방 벽부(25c)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다.Moreover, the drive mechanism 17 is provided with the magnetic fluid seal 56 which holds the rotating shaft 39 rotatably and prevents the outflow of air from the internal space S. Similarly, the drive mechanism 18 is provided with the magnetic fluid seal 57 which holds the rotation shaft 43 rotatably and prevents the outflow of air from the internal space S. As shown in FIG. 5 , the magnetic fluid seal 56 is being fixed to the rear wall portion 25b constituting the rear surface of the motor accommodating member 25 . The magnetic fluid seal 57 is being fixed to the front wall portion 25c constituting the front surface of the motor accommodating member 25 . Specifically, the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall portion 25b in a state of being inserted into a through hole penetrating the rear wall portion 25b in the front-rear direction, and the magnetic fluid seal 57 is formed by the front wall portion ( It is being fixed to the front wall part 25c in the state inserted in the through hole which penetrates 25c) in the front-back direction.

또한 회전축(39, 43)은, 암 프레임(23)에 고정되는 복수의 베어링(59)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한 본 형태의 회전축(39)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(37)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(56)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(40)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 전단부는, 자성 유체 시일(56)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 후단부는, 가장 후방측의 베어링(59)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (B) 참조).Moreover, the rotating shafts 39 and 43 are rotatably supported by the some bearing 59 fixed to the arm frame 23. As shown in FIG. Moreover, the rotating shaft 39 of this form is formed by the two short axis|shafts of length, and one long axis|shaft. One of the two short axes is connected to the output shaft of the motor 37 by the coupling 55 , and is rotatably held by the magnetic fluid seal 56 . A bevel gear 40 is fixed to the other short axis. The front end of one minor axis and the major axis is connected by a coupling 60 disposed on the rear side of the magnetic fluid seal 56 (see Fig. 5), and the other minor axis and the rear end of the major axis are connected to the rearmost bearing ( 59) is connected by a coupling 60 disposed on the front side (refer to (B) of FIG. 6).

마찬가지로 본 형태의 회전축(43)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(38)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(57)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(44)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 후단부는, 자성 유체 시일(57)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 전단부는, 가장 전방측의 베어링(59)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (A) 참조). 또한 회전축(39, 43)은 1개의 장축에 의하여 구성되어 있어도 된다.Similarly, the rotating shaft 43 of this form is formed by two short axis|shafts in length, and one long axis|shaft. One of the two short axes is connected to the output shaft of the motor 38 by the coupling 55 , and is rotatably held by the magnetic fluid seal 57 . A bevel gear 44 is fixed to the other minor axis. One minor axis and the rear end of the long axis are connected by a coupling 60 disposed on the front side of the magnetic fluid seal 57 (see Fig. 5), and the other minor axis and the rear end of the long axis are connected to the front end of the most forward bearing ( 59) is connected by a coupling 60 disposed on the rear side (refer to FIG. 6(A)). In addition, the rotating shafts 39 and 43 may be comprised by one long shaft.

회전축(42)은 암(9)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 회전축(42)은 베벨 기어(40)의 후방측에 배치되어 있다. 회전축(42)은, 회전축(42)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(42)에 고정되는 구동 풀리(48)는 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(53)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(41)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 중심측에 고정되어 있다. 회전축(42)의 좌우의 양 단부측은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측으로 돌출되어 있다.The rotating shaft 42 is rotatably supported by the arm 9 . The rotating shaft 42 is disposed on the rear side of the bevel gear 40 . The rotating shaft 42 is arranged so that the axial direction of the rotating shaft 42 and the left-right direction coincide, and rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axial direction of rotation. That is, the drive pulley 48 fixed to the rotating shaft 42 rotates with the power of the motor 37 in the left-right direction as the axis of rotation. Further, the driven pulley 53 rotatably held by the rotating shaft 42 also rotates with the left-right direction as the axis of rotation. The bevel gear 41 is being fixed to the center side of the rotating shaft 42 in the left-right direction. The left and right both end sides of the rotating shaft 42 protrude outward in the left-right direction rather than the right plate part 23a and the left plate part 23b.

회전축(46)은 암(9)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 회전축(46)은 베벨 기어(44)의 전방측에 배치되어 있다. 회전축(46)은, 회전축(46)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(46)에 고정되는 구동 풀리(52)는 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(49)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(45)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 중심측에 고정되어 있다. 회전축(46)의 좌우의 양단부측은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우방향의 외측으로 돌출되어 있다. 회전축(46)은 상하 좌우 방향에 있어서 회전축(42)과 동일한 위치에 배치되어 있다.The rotating shaft 46 is rotatably supported by the arm 9 . This rotating shaft 46 is arranged on the front side of the bevel gear 44 . The rotation shaft 46 is arranged so that the axial direction of the rotation shaft 46 and the left-right direction coincide, and rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axial direction of rotation. That is, the drive pulley 52 fixed to the rotation shaft 46 rotates with the power of the motor 38 in the left-right direction as the axis of rotation. Further, the driven pulley 49 rotatably held by the rotating shaft 46 also rotates with the left-right direction as the axis of rotation. The bevel gear 45 is being fixed to the center side of the rotating shaft 46 in the left-right direction. The left and right both ends of the rotating shaft 46 protrude outward in the left-right direction rather than the right-side plate part 23a and the left-hand plate part 23b. The rotation shaft 46 is arranged at the same position as the rotation shaft 42 in the vertical, horizontal, and vertical directions.

2개의 구동 풀리(48)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 양 단부의 각각에 고정되어 있다. 종동 풀리(53)는 베벨 기어(41)와 구동 풀리(48) 사이에서 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있으며, 2개의 종동 풀리(53)는 2개의 구동 풀리(48)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 2개의 종동 풀리(53)는 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다.Each of the two drive pulleys 48 is being fixed to each of the both ends of the rotating shaft 42 in the left-right direction. The driven pulley 53 is rotatably held on the rotating shaft 42 between the bevel gear 41 and the driving pulley 48 , and the two driven pulleys 53 move left and right rather than the two driving pulleys 48 . is placed on the inside of Moreover, the two driven pulley 53 is arrange|positioned outside the right side plate part 23a and the left side plate part 23b in the left-right direction.

2개의 종동 풀리(49)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 종동 풀리(49)는 좌우 방향에 있어서 구동 풀리(48)와 동일한 위치에 배치되어 있다. 구동 풀리(52)는 베벨 기어(45)과 종동 풀리(49) 사이에서 회전축(46)에 고정되어 있으며, 2개의 구동 풀리(52)는 2개의 종동 풀리(49)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 2개의 구동 풀리(52)는 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 구동 풀리(52)는 좌우 방향에 있어서 종동 풀리(53)와 동일한 위치에 배치되어 있다.Each of the two driven pulleys 49 is rotatably held by each of the both ends of the rotating shaft 46 in the left-right direction. The driven pulley 49 is disposed at the same position as the driving pulley 48 in the left-right direction. The drive pulley 52 is fixed to the rotating shaft 46 between the bevel gear 45 and the driven pulley 49 , and the two drive pulleys 52 are disposed inside the two driven pulleys 49 in the left and right direction. has been Moreover, the two drive pulleys 52 are arrange|positioned outside the right-hand plate part 23a and the left-hand plate part 23b in the left-right direction. The drive pulley 52 is arrange|positioned at the same position as the driven pulley 53 in the left-right direction.

벨트(50)는 핸드 지지 부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(50)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(7a)의 각각의 상단부에 고정되어 있다. 본 형태의 벨트(50)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(49)에 가설된 벨트(50)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(7a)에 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 벨트(50)는 핸드 고정부(7b)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 벨트(50)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The belt 50 is fixed to the hand support member 7 . Specifically, a portion of each of the two belts 50 is fixed to the upper end of each of the two slide portions 7a by a predetermined mounting member and bolts. The belt 50 of this form is a stepped belt, and each of both ends of the belt 50 installed on the driving pulley 48 and the driven pulley 49 is fixed to the slide part 7a by an installation member and a bolt. There is (see Fig. 7(B)). Moreover, the belt 50 is arrange|positioned inside the left-right direction rather than the hand fixing part 7b. The belt 50 may be an endless belt formed in an annular shape.

벨트(54)는 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(54)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(8a)의 각각의 하단부에 고정되어 있다. 벨트(50)와 마찬가지로 본 형태의 벨트(54)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(53)에 가설된 벨트(54)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(8a)에 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 또한 벨트(54)는 핸드 고정부(8b)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The belt 54 is fixed to the hand support member 8 . Specifically, a portion of each of the two belts 54 is fixed to each lower end of the two slide portions 8a by a predetermined mounting member and bolts. Like the belt 50, the belt 54 of this form is a stepped belt, and each of both ends of the belt 54 installed on the drive pulley 52 and the driven pulley 53 is a slide part by an installation member and a bolt. It is fixed to (8a) (refer to (A) of FIG. 7). Moreover, the belt 54 is arrange|positioned inside the left-right direction rather than the hand fixing part 8b. The belt 54 may be an endless belt formed in an annular shape.

구동 풀리(48, 52) 및 종동 풀리(49, 53)가 상술한 바와 같이 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되어 있다. 구체적으로는, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 회전 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 회전 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되어 있다.Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven pulleys 49 and 53 are arranged as described above, each of the two belts 50 is the left and right sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction. are disposed on each, and each of the two belts 54 is disposed on each of the left and right sides of the motors 37 and 38, respectively. Specifically, when viewed from the front-rear direction, each of the two belts 50 is arranged symmetrically with respect to the rotation center of the motors 37 and 38 , and each of the two belts 54 is the motor 37 , 38 . It is arranged symmetrically with respect to the center of rotation of

또한 벨트(54)는 벨트(50)와 좌우 방향으로 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 즉, 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 또한 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 외측에서 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)와 인접하도록 배치되어 있다.Moreover, the belt 54 is arrange|positioned so that the belt 50 and the left-right direction may adjoin, and the belt 50 and the same height. That is, in both end sides of the left and right inside the arm 9, the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the belt 50 from the inside in the left-right direction, and is also arrange|positioned at the same height as the belt 50. Moreover, in the both end sides of the right and left inside the arm 9, the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the right plate part 23a and the left plate part 23b from the outer side in the left-right direction.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 모터(37)의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 벨트(50)가 핸드 지지 부재(7)에 고정되고, 모터(38)의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 벨트(54)가 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 이동 시의 핸드 지지 부재(7, 8)에 모멘트가 생기는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는 핸드 지지 부재(7, 8)의 동작을 안정시키는 것이 가능해지며, 그 결과, 핸드(5, 6)의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, two belts 50 arranged on the right and left sides of the motor 37 are fixed to the hand support member 7 , and the two belts arranged on the right and left sides of the motor 38 . (54) is fixed to the hand support member (8). Therefore, in this form, it becomes possible to prevent that a moment arises in the hand support members 7 and 8 at the time of movement like the industrial robot of patent document 1 mentioned above. Therefore, in this form, it becomes possible to stabilize the operation|movement of the hand support members 7 and 8, As a result, it becomes possible to stabilize the operation|movement of the hands 5 and 6.

또한 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 양 단부측에 핸드(5)가 고정되는 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있어서, 핸드(5)가 좌우의 양측에서 핸드 지지 부재(7)에 지지되어 있다. 마찬가지로 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 양 단부측에 핸드(6)가 고정되는 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있어서, 핸드(6)가 좌우의 양측에서 핸드 지지 부재(8)에 지지되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(7)와 함께 전후 방향으로 이동하는 핸드(5)의 상태, 및 핸드 지지 부재(8)과 함께 전후 방향으로 이동하는 핸드(6)의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.Moreover, in this form, the hand holding part 7b by which the hand 5 is fixed is formed in the both end sides of the left-right direction of the hand holding member 7, and the hand 5 is left and right both at the hand holding member ( 7) is supported. Similarly, in this form, hand holding parts 8b to which the hands 6 are fixed are formed on both ends of the hand supporting member 8 in the left and right directions, 8) is supported. Therefore, in this aspect, stabilizing the state of the hand 5 moving in the front-rear direction together with the hand support member 7 and the state of the hand 6 moving in the front-back direction together with the hand support member 8 is it becomes possible

본 형태에서는, 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 동일한 높이로 배치됨과 함께, 벨트(54)는 좌우 방향으로 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(9)의 내부에 배치되는 구동 기구(17, 18)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 핸드(5, 6)의 동작을 안정시키는 것이 가능하더라도 암(9)의 두께(상하 방향의 두께)를 얇게 하는 것이 가능해지며, 그 결과, 로봇(1)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 챔버(3) 내에 배치되는 암(9)의 두께를 얇게 하는 것이 가능해지기 때문에 챔버(3)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.In this form, while the rotation center of the motor 37 and the rotation center of the motor 38 are arrange|positioned at the same height, the belt 54 may adjoin the belt 50 in the left-right direction, and the same as the belt 50 placed at a height. Therefore, in this form, it becomes possible to make the height of the drive mechanisms 17 and 18 arrange|positioned inside the arm 9 low. Therefore, in this form, even if it is possible to stabilize the operation of the hands 5 and 6, it is possible to reduce the thickness (thickness in the vertical direction) of the arm 9, and as a result, to reduce the height of the robot 1 thing becomes possible Moreover, in this form, since it becomes possible to make thin the thickness of the arm 9 arrange|positioned in the chamber 3, it becomes possible to make the height of the chamber 3 low.

본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 일치하고 있다. 그 때문에 본 형태에서는 암(9)의 폭(좌우 방향의 폭)을 좁히는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 구동 풀리(48)가 고정되는 회전축(42)에 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되고, 구동 풀리(52)가 고정되는 회전축(46)에 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 로봇(1)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In this form, when seen from the front-back direction, the rotation center of the motor 37 and the rotation center of the motor 38 correspond. Therefore, in this form, it becomes possible to narrow the width|variety (width|variety of the left-right direction) of the arm 9. As shown in FIG. Moreover, in this form, the driven pulley 53 is rotatably held by the rotating shaft 42 to which the drive pulley 48 is fixed, and the driven pulley 49 is rotatably held to the rotating shaft 46 to which the drive pulley 52 is fixed. Since it is rotatably held, the configuration of the robot 1 is compared with a case in which a shaft on which the driven pulley 53 is rotatably held or a shaft on which the driven pulley 49 is rotatably held is separately provided. It becomes possible to simplify

(다른 실시 형태)(Other embodiment)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-mentioned form is an example of a suitable form of this invention, it is not limited to this, In the range which does not change the summary of this invention, various deformation|transformation implementation is possible.

상술한 형태에서는, 종동 풀리(49)는 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(49)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 마찬가지로 상술한 형태에서는, 종동 풀리(53)는 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(53)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록 배치되어 있지만, 예를 들어 우측에 배치되는 벨트(50)의 우측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 되고, 좌측에 배치되는 벨트(50)의 좌측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 된다.In the form mentioned above, although the driven pulley 49 is rotatably hold|maintained by the rotating shaft 46, the shaft which hold|maintains the driven pulley 49 rotatably may be provided separately. Similarly, in the form mentioned above, although the driven pulley 53 is rotatably hold|maintained by the rotating shaft 42, the shaft which holds the driven pulley 53 rotatably may be provided separately. Moreover, in the form mentioned above, although the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the belt 50 inside the left-right direction, for example, the belt 54 may be arrange|positioned on the right side of the belt 50 arrange|positioned on the right side. , the belt 54 may be arranged on the left side of the belt 50 arranged on the left side.

상술한 형태에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 좌우 방향으로 어긋나 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 모터(37)는 암(9)의 후단부의 내부에 배치되어 있어도 되고, 모터(38)는 암(9)의 전단부의 내부에 배치되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 일방측에만, 핸드(5)가 고정되는 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있어도 되고, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 일방측에만, 핸드(6)가 고정되는 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있어도 된다.In the aspect described above, when viewed from the front-rear direction, the rotational center of the motor 37 and the rotational center of the motor 38 may shift in the left-right direction. In addition, in the aspect mentioned above, the motor 37 may be arrange|positioned inside the rear end of the arm 9, and the motor 38 may be arrange|positioned inside the front end of the arm 9. As shown in FIG. Moreover, in the above-mentioned aspect, the hand holding part 7b to which the hand 5 is fixed may be formed only on one side of the left-right direction of the hand holding member 7, The left-right direction of the hand holding member 8 may be provided. The hand fixing part 8b to which the hand 6 is fixed may be provided only in one side.

상술한 형태에 있어서, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이, 암(9)은 암 지지 부재에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 암 지지 부재에 보유 지지되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 암(9)의 내부의 전체가 대기압으로 되어 있어도 된다. 또한 암(9)의 내부의 전체가 진공으로 되어 있어도 된다. 즉, 모터(37, 38)는 진공 중에 배치되어 있어도 된다.In the above aspect, like the industrial robot described in Patent Document 1, the arm 9 may be held by the arm support member so as to be linearly reciprocated with respect to the arm support member in the front-rear direction. In addition, in the aspect mentioned above, the whole inside of the arm 9 may be atmospheric pressure. Moreover, the whole inside of the arm 9 may be made into a vacuum. That is, the motors 37 and 38 may be arranged in a vacuum.

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기 중에서 기판(2)을 반송하는 로봇이어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은, 예를 들어 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 유리 기판(2) 이외의 반송 대상물이어도 된다.In the above aspect, the robot 1 may be a robot which conveys the board|substrate 2 in air|atmosphere. In addition, in the form mentioned above, although the conveyance target conveyed by the robot 1 is the glass substrate 2 for liquid crystal displays, the conveyance target conveyed by the robot 1 is organic electroluminescent (organic electroluminescent), for example. Sense) The glass substrate for a display may be sufficient, and conveyance objects other than the glass substrate 2 may be sufficient.

1: 로봇(산업용 로봇)
2; 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5; 핸드(제1 핸드)
6: 핸드(제2 핸드)
7: 핸드 지지 부재(제1 핸드 지지 부재)
7b: 핸드 고정부(제1 핸드 고정부)
8: 핸드 지지 부재(제2 핸드 지지 부재)
8b: 핸드 고정부(제2 핸드 고정부)
9: 암
17: 구동 기구(제1 구동 기구)
18: 구동 기구(제2 구동 기구)
37: 모터(제1 모터)
38: 모터(제2 모터)
39: 회전축(제3 회전축)
40: 베벨 기어(제1 베벨 기어)
41: 베벨 기어(제2 베벨 기어)
42: 회전축(제1 회전축)
43: 회전축(제4 회전축)
44: 베벨 기어(제3 베벨 기어)
45: 베벨 기어(제4 베벨 기어)
46: 회전축(제2 회전축)
48: 구동 풀리(제1 구동 풀리)
49: 종동 풀리(제1 종동 풀리)
50: 벨트(제1 벨트)
52: 구동 풀리(제2 구동 풀리)
53: 종동 풀리(제2 종동 풀리)
54: 벨트(제2 벨트)
X: 전후 방향
Y: 좌우 방향1: Robot (industrial robot)
2; Substrates (glass substrates, transported objects)
5; hand (first hand)
6: Hand (2nd hand)
7: Hand support member (first hand support member)
7b: hand fixing part (first hand fixing part)
8: hand support member (second hand support member)
8b: hand fixing part (second hand fixing part)
9: Cancer
17: drive mechanism (first drive mechanism)
18: drive mechanism (second drive mechanism)
37: motor (first motor)
38: motor (second motor)
39: rotation shaft (third rotation shaft)
40: bevel gear (first bevel gear)
41: bevel gear (second bevel gear)
42: rotation shaft (first rotation shaft)
43: rotation shaft (fourth rotation shaft)
44: bevel gear (third bevel gear)
45: bevel gear (fourth bevel gear)
46: rotation shaft (second rotation shaft)
48: drive pulley (first drive pulley)
49: driven pulley (first driven pulley)
50: belt (first belt)
52: drive pulley (second drive pulley)
53: driven pulley (second driven pulley)
54: belt (second belt)
X: forward and backward
Y: left and right

Claims (10)

반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 상기 제1 핸드 지지 부재와 상기 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 상기 암에 대하여 상기 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 상기 암에 대하여 상기 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고,
상기 제1 구동 기구 및 상기 제2 구동 기구는 상기 암의 내부에 배치되고,
상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면,
상기 제1 구동 기구는, 구동원으로서의 제1 모터와, 상기 제1 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 종동 풀리와, 상기 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제1 구동 풀리와 상기 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 구동원으로서의 제2 모터와, 상기 제2 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 종동 풀리와, 상기 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제2 구동 풀리와 상기 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고,
상기 제1 모터의 회전 중심과 상기 제2 모터의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되고,
전후 방향에서 보았을 때에 상기 제1 벨트는 상기 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 상기 제2 벨트는 상기 제2 모터의 양측의 각각에 배치됨과 함께, 좌우 방향으로 상기 제1 벨트와 인접하도록, 또한 상기 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되고,
상기 제1 구동 기구는, 2개의 상기 제1 구동 풀리가 고정되는 제1 회전축을 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 2개의 상기 제2 구동 풀리가 고정되는 제2 회전축을 구비하고,
2개의 상기 제1 종동 풀리는 상기 제2 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고,
2개의 상기 제2 종동 풀리는 상기 제1 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.first and second hands on which an object to be transported is mounted; a first hand support member on which the first hand is fixed; a second hand support member on which the second hand is fixed; An arm for holding the first and second hand support members and reciprocating the first hand support member with respect to the arm so that the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. a first drive mechanism for moving the second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm;
the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed inside the arm;
If the moving directions of the first hand supporting member and the second hand supporting member with respect to the arm are referred to as a front-rear direction, and a direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is referred to as the left-right direction,
The first drive mechanism includes a first motor as a drive source, and a power of the first motor rotates in a left-right direction as an axial direction of rotation, and is disposed inside one end side of the arm in the front-rear direction. Two first drive pulleys, two first driven pulleys arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis of rotation; and two first belts fixed to the member and installed on the first driving pulley and the first driven pulley,
The second drive mechanism includes a second motor as a drive source, and the power of the second motor rotates in a left-right direction as an axial direction of rotation, and is disposed inside the other end side of the arm in the front-rear direction. Two second drive pulleys, two second driven pulleys arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis of rotation; and two second belts fixed to the member and installed on the second driving pulley and the second driven pulley,
The rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor are disposed at the same height,
When viewed from the front-rear direction, the first belt is disposed on each of both sides of the first motor, the second belt is disposed on each of both sides of the second motor, and is adjacent to the first belt in the left-right direction , also arranged at the same height as the first belt,
The first driving mechanism includes a first rotating shaft to which the two first driving pulleys are fixed,
The second drive mechanism includes a second rotation shaft to which the two second drive pulleys are fixed,
The two first driven pulleys are rotatably held on the second rotating shaft,
The two second driven pulleys are rotatably held on the first rotating shaft. 제1항에 있어서,
전후 방향에서 보았을 때에 상기 제1 모터의 회전 중심과 상기 제2 모터의 회전 중심이 일치하고 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
Industrial robot, characterized in that the rotational center of the first motor coincides with the rotational center of the second motor when viewed from the front-rear direction. 제2항에 있어서,
상기 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고,
상기 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.3. The method of claim 2,
A first hand fixing portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right directions,
An industrial robot, characterized in that at both ends of the second hand support member in the left and right direction, second hand fixing parts to which the second hand is fixed are formed. 제1항에 있어서,
상기 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고,
상기 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
A first hand fixing portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right directions,
An industrial robot, characterized in that at both ends of the second hand support member in the left and right direction, second hand fixing parts to which the second hand is fixed are formed. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는, 상기 제1 모터의 출력축과 상기 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 상기 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first motor and the second motor, the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor are disposed inside the center portion of the arm so as to protrude in opposite directions industrial robot. 제9항에 있어서,
상기 제1 구동 기구는, 상기 제1 모터의 출력축에 연결되는 제3 회전축과, 상기 제3 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 상기 제1 회전축에 고정됨과 함께 상기 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어를 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 상기 제2 모터의 출력축에 연결되는 제4 회전축과, 상기 제4 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 상기 제2 회전축에 고정됨과 함께 상기 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.10. The method of claim 9,
The first driving mechanism includes a third rotating shaft connected to the output shaft of the first motor, a first bevel gear fixed to the tip of the third rotating shaft, and the first bevel gear while being fixed to the first rotating shaft. having a meshing second bevel gear;
The second driving mechanism includes a fourth rotation shaft connected to the output shaft of the second motor, a third bevel gear fixed to the tip of the fourth rotation shaft, and a third bevel gear fixed to the second rotation shaft and connected to the third bevel gear. Industrial robot characterized in that it has a meshing 4th bevel gear.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022015959A (en) * 2020-07-10 2022-01-21 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2258645A1 (en) * 1972-11-30 1974-06-20 Orenstein & Koppel Ag ELECTRIC MOTORS FOR THE SIMULTANEOUS DRIVE OF TWO AXES MOUNTED IN A RAILWAY TURNTABLE
DE3217301C2 (en) * 1982-05-05 1986-02-20 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Drive for electric rail locomotives
JPH1126550A (en) * 1997-07-04 1999-01-29 Tokyo Electron Ltd Substrate conveyer and apparatus for treating substrate, using the same
JP4302575B2 (en) * 2003-05-30 2009-07-29 東京エレクトロン株式会社 Substrate transfer apparatus and vacuum processing apparatus
JP4731267B2 (en) * 2005-09-29 2011-07-20 日本電産サンキョー株式会社 Robot hand and workpiece transfer robot using the same
JP4694436B2 (en) * 2006-07-28 2011-06-08 株式会社ダイヘン Transfer robot
JP5006409B2 (en) * 2007-12-05 2012-08-22 平田機工株式会社 Substrate transfer device and control method for substrate transfer device
KR100987362B1 (en) * 2008-09-02 2010-10-13 주식회사 티이에스 Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber
KR101023050B1 (en) * 2008-10-30 2011-03-24 주식회사 티이에스 Apparatus for transferring large size substrate for use in transfer chamber at vacuum atmosphere
JP6190692B2 (en) 2013-10-22 2017-08-30 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6299454B2 (en) * 2014-06-13 2018-03-28 トヨタ自動車株式会社 Transfer arm
JP6616606B2 (en) * 2015-07-13 2019-12-04 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot

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