JP6861921B1 - シリコン芯線のエッチング装置およびシリコン芯線のエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1に示すように、シリコン芯線C1のエッチング装置1は、第1エッチング液槽11と、第2エッチング液槽12と、洗浄槽13と、カセット台20と、芯線ホルダ30と、クレーン(位置変化機構)40と、を備える。
シリコン芯線C1のエッチング方法について、図1および図6〜図8を用いて説明する。
本実施形態において、カセット台20は対になった突起の形状の挿入部22を備え、挿入部22の対となった突起の間に、芯線支持板31が挿入される。しかし、本発明はこれに限定されず、カセット台20には、突起形状の挿入部22の代わりに、芯線支持板31を挿入するための溝が形成されていてもよい。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図9に示すように、実施形態2は、カセット台60に、短尺芯線ホルダ70および中尺芯線ホルダ80が取り付けられる点で、実施形態1と相違している。
本実施形態において、カセット台20は、8個の短尺用挿入部62と、8個の中尺用挿入部63と、を備える。しかし、本発明はこれに限定されず、カセット台20には、合計で16個を超える数の挿入部が、左右方向に異なる位置に設けられていてもよい。この場合、芯線支持板31が挿入される挿入部の位置を変更することにより、2枚の芯線支持板31の間の距離がより細かく変更可能である。したがって、シリコン芯線C1の長さに応じて、2枚の芯線支持板31の間の距離がより細かく変更可能であるので、シリコン芯線C2、C3の長さを問わず、芯線支持板31がシリコン芯線C2、C3をより確実に支持することができる。
図10に示すように、実施形態3は、芯線ホルダ30ではなく、カセット台20が着脱可能なフック233を備える点で、実施形態1と相違している。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。また、図10では、芯線ホルダ30が支持するべきシリコン芯線C1を省略して示す。
実施形態3についても、実施形態2と同様に、カセット台60に、短尺芯線ホルダ70および中尺芯線ホルダ80を取り付け、固定具23で固定する構成としてもよい。この場合であっても、固定具23の位置を変更することにより、フック233の位置調整を容易に行うことができる。そのため、クレーン40によりカセット台20を上下に移動させるときにも、カセット台40が備える前後方向および左右方向に延びる棒状部を略水平に保つことが容易となる。また、1つのカセット台20は2つのフック233を備えるので、クレーン40は2本のアーム41を備えればよく、エッチング装置1を複雑な構成とする必要がない。
本発明の一態様に係るシリコン芯線のエッチング装置は、シリコン芯線が浸漬されるエッチング液を収容するエッチング液槽と、前記シリコン芯線が貫通する孔が少なくとも1つ形成されており、前記シリコン芯線を支持する複数の芯線支持部材と、前記シリコン芯線が、前記複数の芯線支持部材を貫通し前記エッチング液に浸漬された状態で、前記孔に対して前記シリコン芯線が貫通する相対位置を変化させる位置変化機構と、を備えている。
<シリコン芯線C1の準備>
本実施例の対象となるシリコン芯線C1として、延伸方向に直交する断面形状が一辺10mmの正方形であり、延伸方向の長さが1200mmの角柱状のシリコン芯線C1を9本準備した。
図2に示す芯線支持板31として、直径20mmの円形状の貫通孔31Aが均等な配置となるように9個形成された、厚みが10mmの芯線支持板31を2枚準備した。この芯線支持板31を、それぞれ9個の貫通孔31Aの位置が、上下方向および前後方向にそれぞれ同じ位置に配置されるように、左右方向に1m離して配置した。そして、図2に示すように、芯線支持板31に連結部33およびフック32を取り付けることで、芯線ホルダ30を準備した。
次に、2枚の芯線支持板31において、上下方向および前後方向に同じ位置に配置された2つの貫通孔31Aを1組として、9組の貫通孔31Aそれぞれにシリコン芯線C1を1本ずつ挿入した。このとき、各シリコン芯線C1は、その両端が芯線支持板31から左右方向外側に約100mm突出した状態となるように、芯線ホルダ30に配置した。
芯線支持板31をカセット台20の挿入部22に挿入することにより、前記シリコン芯線C1を支持する芯線ホルダ30を、図2に示すカセット台20に取り付けた。この状態で、カセット台20の固定具(図示せず)により、芯線ホルダ30をカセット台20に固定し、芯線ホルダ30およびカセット台20を一体化させた。
図4および図5に示すように、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、クレーン40で上下方向および前後方向へ移動可能とするため、芯線ホルダ30のフック32をクレーン40のアーム41に取り付けた。
次に、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30をクレーン40で上昇させることにより、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を第2エッチング液L2から取り出した。その後、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30をクレーン40で移動させることにより、洗浄槽13に収容された洗浄水L3に、シリコン芯線C1を支持する芯線ホルダ30およびカセット台20の全体を浸漬した(第2浸漬工程)。なお、洗浄水L3は、比抵抗が2MΩcmの純水とした。そして、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり40回の速度で2分間、上下方向に往復移動させた。このとき、貫通孔31Aに対してシリコン芯線C1が貫通する相対位置が変化していることを目視により確認した(第2位置変化工程)。
その後、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を洗浄槽13から取り出し、芯線ホルダ30およびカセット台20に付着した余分な洗浄水L3を除去した。そして、シリコン芯線C1を芯線ホルダ30およびカセット台20ごと乾燥させた。
乾燥後、得られた9本のシリコン芯線C1を目視により観察した。9本のシリコン芯線C1は全て、表面全体が均一で金属光沢を有しており、エッチングムラがないことがわかった。また、9本のシリコン芯線C1は全て、エッチング工程および洗浄工程を通して、芯線ホルダ30から脱落することはなかった。
実施例1の<エッチング>および<洗浄>において、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を上下方向に往復移動させず、静止させた状態で浸漬したことを除き、実施例1と同様の処理を行った。浸漬時間はそれぞれ、第1エッチング液L1で5分間、第2エッチング液L2で10分間、洗浄水L3で2分間とした。
実施例1の<エッチング>において、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を上下方向に往復移動させず、静止させた状態で浸漬したことを除き、実施例1と同様の処理を行った。なお、比較例1とは、<洗浄:第2浸漬工程および第2位置変化工程>において、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり40回の速度で2分間、上下方向に往復移動させた点で異なる。
芯線ホルダ30に、一辺が20mmの正方形の貫通孔31Aが均等な配置となるように9個形成された、厚みが10mmの芯線支持板31を2枚使用したことを除き、実施例1と同様の処理を行った。
<エッチング>における一体化したカセット台20および芯線ホルダ30の往復移動の速度を、1分当たり80回としたことを除き、実施例2と同様の処理を行った。具体的には、シリコン芯線C1を第1エッチング液L1に浸漬した状態で、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり80回の速度で5分間、上下方向に往復移動させた。また、シリコン芯線C1を第2エッチング液L2に浸漬した状態で、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり80回の速度で10分間、上下方向に往復移動させた。
芯線ホルダ30に、直径20mmの円に内接する正六角形の貫通孔31Aが均等な配置となるように9個形成された、厚みが10mmの芯線支持板31を2枚使用したことを除き、実施例1と同様の処理を行った。
<エッチング>における一体化したカセット台20および芯線ホルダ30の往復移動の速度を、1分当たり60回としたことを除き、実施例4と同様の処理を行った。具体的には、シリコン芯線C1を第1エッチング液L1に浸漬した状態で、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり60回の速度で5分間、上下方向に往復移動させた。また、シリコン芯線C1を第2エッチング液L2に浸漬した状態で、一体化したカセット台20および芯線ホルダ30を、1分当たり60回の速度で10分間、上下方向に往復移動させた。
11 第1エッチング液槽(エッチング液槽)
12 第2エッチング液槽(エッチング液槽)
13 洗浄槽
20、60 カセット台
22 挿入部
30 芯線ホルダ
31 芯線支持板(芯線支持部材)
31A 貫通孔(孔)
33、73、83 連結部
40 クレーン(位置変化機構)
41 アーム
43 昇降機構
62 短尺用挿入部
63 中尺用挿入部
70 短尺芯線ホルダ
80 中尺芯線ホルダ
C1 シリコン芯線
C2 短尺シリコン芯線(シリコン芯線)
C3 中尺シリコン芯線(シリコン芯線)
L1 第1エッチング液(エッチング液)
L2 第2エッチング液(エッチング液)
L3 洗浄水
S1 貫通工程
S3、S6 第1浸漬工程
S4、S7 第1位置変化工程
S9 第2浸漬工程
S10 第2位置変化工程
Claims (8)
- シリコン芯線が浸漬されるエッチング液を収容するエッチング液槽と、
前記シリコン芯線が貫通する孔が少なくとも1つ形成されており、前記シリコン芯線を支持する複数の芯線支持部材と、
前記シリコン芯線が、前記複数の芯線支持部材を貫通し前記エッチング液に浸漬された状態で、前記孔に対して前記シリコン芯線が貫通する相対位置を変化させる位置変化機構と、を備えていることを特徴とするシリコン芯線のエッチング装置。 - 前記位置変化機構は、前記芯線支持部材を上下方向に往復移動させることを特徴とする、請求項1に記載のシリコン芯線のエッチング装置。
- 前記孔を形成する縁部は、連続した曲線状となるように形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のシリコン芯線のエッチング装置。
- 前記シリコン芯線は、前記複数の芯線支持部材に含まれる少なくとも2つの前記芯線支持部材に形成された前記孔をそれぞれ貫通するものであり、
前記2つの芯線支持部材の間の距離は、前記シリコン芯線の長さに応じて変更可能であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載のシリコン芯線のエッチング装置。 - 前記芯線支持部材には前記孔が複数形成されていることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載のシリコン芯線のエッチング装置。
- 前記シリコン芯線が浸漬される洗浄水を収容する洗浄槽をさらに備え、
前記位置変化機構は、前記エッチング液に浸漬された前記シリコン芯線が、前記複数の芯線支持部材を貫通し前記洗浄水に浸漬された状態で、前記孔に対して前記シリコン芯線が貫通する相対位置を変化させることを特徴とする、請求項1から5の何れか1項に記載のシリコン芯線のエッチング装置。 - シリコン芯線を支持する複数の芯線支持部材に形成された孔に、前記シリコン芯線を貫通させる貫通工程と、
前記芯線支持部材に支持された前記シリコン芯線をエッチング液に浸漬する第1浸漬工程と、
前記孔に対して前記シリコン芯線が貫通する相対位置を変化させる第1位置変化工程と、を備えることを特徴とする、シリコン芯線のエッチング方法。 - 前記第1位置変化工程の後に、前記芯線支持部材に支持された前記シリコン芯線を洗浄水に浸漬する第2浸漬工程と、
前記孔に対して、前記洗浄水に浸漬された状態の前記シリコン芯線が貫通する相対位置を変化させる第2位置変化工程と、をさらに備えることを特徴とする、請求項7に記載のシリコン芯線のエッチング方法。
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