JP6859869B2 - X線応力測定装置 - Google Patents
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Description
σ=K*M ・・・(1)
X線応力測定方法の対象となる試料の材料は様々であり、例えば鉄系材料から成る試料の場合、残留応力が高くなると回折X線強度分布曲線に現れるピークの半値幅が大きくなることが知られている。具体的には、α鉄ではその(211)面に特性X線であるCr-Kα線を照射したときに得られる回折X線強度分布曲線のピーク(ピーク位置2θ=約156deg)の半値幅は8〜9degに達する場合がある。これに対して、PSDの測定角度範囲はせいぜい18deg程度(ゴニオメータの半径が200mmの場合)であり、α鉄のような試料では回折X線強度分布曲線のピークがPSDの測定角度範囲に収まらない(図4参照)。
a)試料保持部と、
b)該試料保持部に保持された試料にX線を照射するX線照射部と、
c)所定の方向に一次元に配列された複数のX線検出素子を備え、前記X線照射部から前記試料に照射されたX線が前記試料において所定の角度範囲で回折されたX線である回折X線の強度を検出するX線検出部と、
d)前記試料保持部に保持された試料の表面に入射するX線と該表面とのなす角度と、前記試料で回折して前記X線検出部に向かう回折X線と該表面とのなす角度が所定の関係を保つように、前記X線照射部、前記X線検出部及び前記試料保持部をそれぞれ回動させる回動部と、
e)前記X線照射部及び前記X線検出部の位置関係を保ちつつ、前記試料保持部に保持された試料の表面に入射するX線と該表面とのなす角度が変化するように、前記X線照射部及び前記X線検出部と前記試料保持部のいずれか一方を回動させて該試料の応力値を測定する応力測定部と
を備えることを特徴とする。
f)前記試料保持部に保持された試料が無応力状態であるとき、該試料に対して入射するX線である入射X線と該試料の表面のなす角度がブラッグの式を満たす角度θ0となり、且つ、前記試料から出射する出射X線のうち前記入射X線の延長線とのなす角度が2θ0となる出射X線が前記X線検出部の中央のX線検出素子に入射するように、前記試料保持部、前記X線照射部及び前記X線検出部を配置して、前記X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値から仮の回折角2θψ0を求める第1測定部と、
g)前記第1測定部が仮の回折角2θψ0を求めたときの前記X線照射部と前記X線検出部の位置関係を保ちつつ、前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度がθ0+ψnとなるように、前記X線照射部及び前記X線検出部と前記試料保持部の少なくとも一方を回動させて、前記X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値から仮の回折角2θψnを求める第2測定部と、
h)前記仮の回折角2θψ0と角度0°の組、及び前記仮の回折角2θψnと前記角度ψnの組から仮の2θ−sin2ψ線図を作成して、同図における角度0°から角度ψnまでの角度ψ1〜ψn−1における仮の回折角2θψ1〜2θψn−1をそれぞれ求める回折角算出部と、
i)前記第1測定部が仮の回折角2θψ0を求めたときの前記X線照射部と前記X線検出部の位置関係を保ちつつ、前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度がθ0+ψ1〜θ0+ψn−1となるように、前記X線照射部及び前記X線検出部と前記試料保持部の少なくとも一方を順に回動させて該X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値からピークトップ位置を求め、これを角度ψ1〜ψn−1における真の回折角2θψ1〜2θψn−1として真の2θ−sin2ψ線図を作成し、この真の2θ−sin2ψ線図から前記試料の応力値を求める応力算出部と
を備えることが好ましい。
図5は本実施例に係るX線応力測定装置の概略構成を示している。このX線応力測定装置は、ゴニオメータ117と、該ゴニオメータ117の中心に取り付けられた試料ステージ113と、該ゴニオメータ117の外周部に取り付けられたX線照射部110及びX線検出部116とを備えている。X線検出部116は、多数の微小なX線検出素子がライン上に配列されてなる。X線照射部110はX線管球110aを備えており、そのターゲットの材質に応じた特定波長のX線を発生する。
ステップS1では、X線照射部110及びX線検出部116が図5に示す初期位置にあるとき、及びそこから角度ψn回動させた位置にあるときの2つの状態で、それぞれ回折X線強度分布曲線の作成動作が実行される(ステップS1)。これら2つの状態では、いずれも試料ステージ113は上述した位置にある。このため、X線照射部110及びX線検出部116が初期位置にあるときは試料Sの表面とこれに入射するX線とがなす角度はθとなり、X線照射部110及びX線検出部116が初期位置から角度ψn回動した位置にあるときは、試料Sの表面とこれに入射するX線とがなす角度はθ+ψnとなる。つまり、X線照射部110及びX線検出部116が初期位置にあるときは無応力状態の試料Sの表面部にある結晶粒のうち角度ψ=0°の結晶粒に対してブラッグの式を満たすX線がX線照射部110から入射し、X線照射部110及びX線検出部116が初期位置から角度ψn回動した位置にあるときは、無応力状態の試料Sの表面部にある結晶粒のうち角度ψ=ψnの結晶粒に対してブラッグの式を満たすX線がX線照射部110から入射する。
ここまでの動作が、本発明の第1及び第2測定部の動作内容となる。
110…X線照射部
11、111…照射側スリット
13…試料ホルダ
113…試料ステージ
15…出射側スリット
16、116…X線検出部
17、117…ゴニオメータ
100…制御部
101…表示部
102…入力部
120…データ処理部
121…データ収集部
122…回折角算出部
123…応力値算出部
S…試料
Claims (3)
- 多結晶体からなる試料に対してX線を照射したときに生じる回折現象を利用して該試料の応力を測定するX線応力測定装置であって、
試料保持部と、
該試料保持部に保持された試料にX線を照射するX線照射部と、
所定の方向に一次元に配列された複数のX線検出素子を備え、前記X線照射部から前記試料に照射されたX線が前記試料において所定の角度範囲で回折されたX線である回折X線の強度を検出するX線検出部と、
前記試料保持部に保持された試料が無応力状態であるとき、該試料に対して入射するX線である入射X線と該試料の表面のなす角度がブラッグの式を満たす角度θ 0 となり、且つ、前記試料から出射する出射X線のうち前記入射X線の延長線とのなす角度が2θ 0 となる出射X線が前記X線検出部の中央のX線検出素子に入射するように、前記試料保持部、前記X線照射部及び前記X線検出部を配置して、前記X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値から仮の回折角2θ ψ0 を求める第1測定部と、
前記第1測定部が仮の回折角2θ ψ0 を求めたときの前記X線照射部と前記X線検出部の位置関係を保ちつつ、前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度がθ 0 +ψ n となるように、前記X線照射部及び前記X線検出部と前記試料保持部の少なくとも一方を回動させて、前記X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値から仮の回折角2θ ψn を求める第2測定部と、
前記仮の回折角2θ ψ0 と角度0°の組、及び前記仮の回折角2θ ψn と前記角度ψ n の組から特定されるsin 2 ψを変数とする回折角2θ ψ の関数を用いて角度0°から角度ψ n までの角度ψ 1 〜ψ n−1 における仮の回折角2θ ψ1 〜2θ ψn−1 をそれぞれ求める回折角算出部と、
前記X線検出部を、仮の回折角2θ ψ1 〜2θ ψn−1 となる出射X線が前記X線検出部の中央のX線検出素子に入射するように配置し、前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度がθ 0 +ψ 1 〜θ 0 +ψ n−1 となるように、前記X線照射部及び前記X線検出部と前記試料保持部の少なくとも一方を順に回動させて該X線照射部から前記試料にX線を入射させ、そのときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値からピークトップ位置を求め、これを角度ψ 1 〜ψ n−1 における真の回折角2θ ψ1 〜2θ ψn−1 として特定されるsin 2 ψを変数とする回折角2θ ψ の関数から前記試料の応力値を求める応力算出部とを備え、
前記θ 0 +ψ 1 〜θ 0 +ψ n−1 の角度で前記X線照射部から前記試料にX線を入射したときの前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値に対し、前記X線検出部の測定角度範囲の端部に位置する前記X線検出素子の検出値から求められるベースラインを差し引く減算処理を行うことにより、前記ピークトップ位置を求めることを特徴とするX線応力測定装置。 - 前記第1測定部及び前記第2測定部が、前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値を縦軸、各X線検出素子に入射する回折X線の回折角を横軸とするグラフを作成し、該グラフをプロファイルフィッティング処理することにより、前記ピークトップ位置を求めることを特徴とする請求項1に記載のX線応力測定装置。
- 前記第1測定部及び前記第2測定部が、前記X線検出部の複数のX線検出素子の検出値を縦軸、各X線検出素子に入射する回折X線の回折角度を横軸とするグラフを作成し、該グラフにおけるベースラインを求め、これを前記グラフから差し引く減算処理を行った残りのグラフ波形を正規化してピークトップ位置を求めることを特徴とする請求項1に記載のX線応力測定装置。
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