JP6853879B2 - ウェーハベースの光源パラメータ制御 - Google Patents
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Description
この出願は、2016年10月17日に出願された米国特許出願第15/295,280号に関し、同特許は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (21)
- パルス光ビームを生成する光源と、
前記パルス光ビームと光学的に相互作用するスペクトル特徴選択システムと、
前記パルス光ビームでリソグラフィ装置に位置付けられた基板を露光するために、前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンするスキャン光学システムと、
前記基板の各サブエリアにおいて少なくとも1つのリソグラフィ性能パラメータを決定する計測装置であって、サブエリアが、前記基板の全エリアの一部分である、計測装置と、
前記スペクトル特徴選択システム、前記光源及び前記計測装置に接続された制御システムであって、各基板サブエリアにおいて、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータを受信し、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータを分析し、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータの前記分析に基づいて、
第1の信号を前記スペクトル特徴選択システムに送信することによって前記パルス光ビームの第1のスペクトル特徴を修正し、
前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正している間に第2の信号を前記スペクトル特徴選択システムに送信することによって前記パルス光ビームの第2のスペクトル特徴を維持する
制御システムと
を含む、
前記スペクトル特徴選択システムが、
分散光学素子及び少なくとも3つの屈折光学素子を含むビームエキスパンダであって、前記パルス光ビームが、分散光学素子及び前記多数の屈折光学素子の各々と相互作用する、分散光学素子及びビームエキスパンダと、
多数のアクチュエータを含む作動システムであって、前記多数のアクチュエータの各々が、前記少なくとも3つの屈折光学素子のうちの1つを前記パルス光ビームに対して回転させる、作動システムと
を含み、
前記作動システムが、前記屈折光学素子の少なくとも1つと関連付けられた高速アクチュエータを含み、前記高速アクチュエータが、回転ステージを含み、前記回転ステージが、回転軸の周りを回転し、前記関連付けられた屈折光学素子を前記回転軸の周りで回転させるために前記関連付けられた屈折光学素子と機械的にリンクされた領域を含む、
第1の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的粗く変化させ、第2の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を比較的細かく変化させ、第3の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的細かく変化させる、フォトリソグラフィ装置。 - 前記基板の各サブエリアが前記基板の露光フィールドであるか、又は、各サブエリアが前記パルス光ビームの単一パルスに対応する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- 前記スペクトル特徴選択システムが、スペクトル特徴作動機構を含み、前記スペクトル特徴作動機構が、前記スペクトル特徴作動機構の1つ又は複数の要素を変更し、それにより、前記パルス光ビームとの相互作用を変更する作動システムを含む、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ性能パラメータが、所望の位置からの前記基板の位置の平均オフセット及び前記基板のステージ振動のうちの1つ又は複数を含む、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ性能パラメータが、前記基板の中央サブエリアから前記基板のエッジのサブエリアまで様々である前記基板の位置を含む、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- パルス光ビームを生成する光源と、
前記パルス光ビームと光学的に相互作用するスペクトル特徴選択システムと、
前記パルス光ビームでリソグラフィ装置に位置付けられた基板を露光するために、前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンするスキャン光学システムと、
前記基板の各サブエリアにおいて少なくとも1つのリソグラフィ性能パラメータを決定する計測装置であって、サブエリアが、前記基板の全エリアの一部分である、計測装置と、
前記スペクトル特徴選択システム、前記光源及び前記計測装置に接続された制御システムであって、各基板サブエリアにおいて、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータを受信し、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータを分析し、
前記決定されたリソグラフィ性能パラメータの前記分析に基づいて、
第1の信号を前記スペクトル特徴選択システムに送信することによって前記パルス光ビームの第1のスペクトル特徴を修正し、
前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正している間に第2の信号を前記スペクトル特徴選択システムに送信することによって前記パルス光ビームの第2のスペクトル特徴を維持する
制御システムと
を含む、
前記スペクトル特徴選択システムが、少なくとも3つの屈折光学素子を含み、
第1の屈折光学素子の回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的粗く変化させ、第2の屈折光学素子の回転が、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を比較的細かく変化させ、第3の屈折光学素子の回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的細かく変化させる、フォトリソグラフィ装置。 - 前記ビームエキスパンダが、第4の屈折光学素子を含み、前記第4の屈折光学素子の回転が、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を比較的粗く変化させる、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- 前記制御システムが、前記リソグラフィ性能パラメータが許容範囲外にあるかどうかを判断することによって、前記決定されたリソグラフィ性能パラメータを分析し、
前記制御システムが、前記リソグラフィ性能パラメータが許容範囲外にあると判断された場合は、前記スペクトル特徴選択システムに前記第1の信号を送信することによって、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。 - 前記スキャン光学システムが、前記パルス光ビームが前記基板の各サブエリアと相互作用するように、前記パルス光ビーム及び前記基板のうちの1つ又は複数を横平面に沿って互いに対して移動させるように構成され、前記横平面が、前記パルス光ビームが誘導される軸方向に垂直なものである、請求項1に記載のフォトリソグラフィ装置。
- 光源からパルス光ビームを生成することと、
前記パルス光ビームで基板の各サブエリアに露光することを含めて前記パルス光ビームで前記基板に露光するために、リソグラフィ露光装置の前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンすることであって、サブエリアが、前記基板の全エリアの一部分である、スキャンすることと、
前記基板の各サブエリアに対して、
前記基板の前記サブエリアと関連付けられたリソグラフィ性能パラメータを受信することと、
前記受信されたリソグラフィ性能パラメータを分析することと、
前記分析に基づいて、スペクトル特徴選択システムによって、前記パルス光ビームの少なくとも第1のスペクトル特徴を修正し、前記パルス光ビームの少なくとも第2のスペクトル特徴を維持することと
を含み、
前記スペクトル特徴選択システムが、
分散光学素子及び少なくとも3つの屈折光学素子を含むビームエキスパンダであって、前記パルス光ビームが、分散光学素子及び前記多数の屈折光学素子の各々と相互作用する、分散光学素子及びビームエキスパンダと、
多数のアクチュエータを含む作動システムであって、前記多数のアクチュエータの各々が、前記少なくとも3つの屈折光学素子のうちの1つを前記パルス光ビームに対して回転させる、作動システムと
を含み、
前記作動システムが、前記屈折光学素子の少なくとも1つと関連付けられた高速アクチュエータを含み、前記高速アクチュエータが、回転ステージを含み、前記回転ステージが、回転軸の周りを回転し、前記関連付けられた屈折光学素子を前記回転軸の周りで回転させるために前記関連付けられた屈折光学素子と機械的にリンクされた領域を含む、
第1の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的粗く変化させ、第2の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を比較的細かく変化させ、第3の屈折光学素子の前記回転が、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を比較的細かく変化させる、フォトリソグラフィ方法。 - 前記基板の各サブエリアにおいて前記リソグラフィ性能パラメータを受信することが、前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンしている間に前記基板の各サブエリアにおいて前記リソグラフィ性能パラメータを受信することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記サブエリアにおいて前記リソグラフィ性能パラメータを受信することが、前記基板の物理的プロパティのエラー、前記基板上に形成されたフィーチャのコントラスト、前記パルス光ビームが露光された前記基板の各サブエリアのクリティカルディメンション、ターゲットに対する又は下位のフィーチャに対する前記基板上に形成された前記フィーチャの配置(所望の/ターゲット場所に対するX,Y場所)、フォトレジストプロファイル、前記基板の側壁角、前記基板の位置の変化、所望の位置からの前記基板の位置の平均オフセット、前記基板のステージ振動、及び、前記基板の中央サブエリアから前記基板のエッジのサブエリアまで様々である前記基板の位置のうちの1つ又は複数を受信することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記基板の各サブエリアにおいて前記リソグラフィ性能パラメータを受信することが、前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンする前に前記基板の各サブエリアにおいて前記リソグラフィ性能パラメータを受信することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記第1のスペクトル特徴を修正することが、前記パルス光ビームの波長を修正することを含み、
前記第2のスペクトル特徴を維持することが、前記パルス光ビームの帯域幅を帯域幅の範囲内に維持することを含む、請求項10に記載の方法。 - 前記パルス光ビームの前記帯域幅を前記帯域幅の範囲内に維持することが、前記パルス光ビームの前記帯域幅を+/−10フェムトメートル(fm)内又は+/−1fm内に維持することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正することが、前記パルス光ビームが通過する第1のプリズムシステムを回転させることを含み、
前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を維持することが、前記パルス光ビームが通過する第2のプリズムシステムを回転させることを含み、
前記第1のプリズムシステム及び前記第2のプリズムシステムが、スペクトル特徴選択システム内のコンポーネントである、請求項10に記載の方法。 - 前記基板の少なくとも各サブエリアにおいて、前記光源から生成された前記パルス光ビームのスペクトル特徴を推定することと、
前記推定されたスペクトル特徴が許容範囲内にあるかどうかを判断することと、
前記推定されたスペクトル特徴が前記許容範囲内にないと判断された場合は、前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を修正することと
をさらに含み、
前記スペクトル特徴が、前記第1のスペクトル特徴及び前記第2のスペクトル特徴のうちの1つ又は複数である、請求項10に記載の方法。 - 前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を維持することが、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴の前記修正に起因する前記第2のスペクトル特徴の変化を補償するために前記第2のスペクトル特徴を調整することを含み、
前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を調整することが、前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正することと同時に起こる、請求項10に記載の方法。 - 前記受信されたリソグラフィ性能パラメータを分析することが、前記リソグラフィ性能パラメータに基づいて、所望の位置からの前記基板の位置の平均オフセットを含む前記基板の物理的プロパティが許容範囲外にあるかどうかを判断することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記第1のスペクトル特徴を修正することにより、前記基板における前記パルス光ビームの第1の条件が修正され、前記パルス光ビームの前記第2のスペクトル特徴を維持することにより、前記基板における前記パルス光ビームの第2の条件が特定のレベルに維持される、請求項10に記載の方法。
- 光源からパルス光ビームを生成することと、
基板のエッジロールオフを前記基板の各サブエリアと相関させるレシピを受信することであって、サブエリアが、前記基板の全エリアの一部分である、受信することと、
前記パルス光ビームで前記基板の各サブエリアに露光することを含めて前記パルス光ビームで前記基板に露光するために、リソグラフィ露光装置の前記基板にわたって前記パルス光ビームをスキャンすることと、
前記基板における焦点位置を調整し、前記露光されているサブエリアに基づいてエッジロールオフを補償するために、前記パルス光ビームの少なくとも波長を修正することと、
前記基板における前記焦点位置を調整し、前記露光されているサブエリアに対するエッジロールオフを補償するために、前記パルス光ビームの前記波長を修正している間に、前記パルス光ビームの少なくとも帯域幅を維持することと
を含む、フォトリソグラフィ方法。
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