JP6678277B2 - ウェーハステージ振動の制御 - Google Patents
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Description
本出願は、2016年10月17日に出願された米国特許出願第15/295,280号に関連し、この米国特許出願はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
但し、CAは、パルス光ビーム110がウェーハ120に向けられたときにパルス光ビーム110が経験する色収差である。従って、制御システム185は、実効ステージ振動の一定値を維持するように、グラフ1200が得られた後でBWを計算することができる。グラフ1250は、測定されたステージ振動SVMを相殺し、実効ステージ振動SVEを一定に維持するために使用することができる、光ビーム110のBWの値を示す。
Claims (22)
- パルス光源から、パルス光ビームを生成することと、
前記パルス光ビームを、リソグラフィ露光装置のステージに取り付けられた基板に向けることと、
前記パルス光ビームと前記基板との間の走査動作を行うことであって、前記走査動作は、前記パルス光ビームを前記基板の各サブエリアに投影すること、並びに前記パルス光ビーム及び前記基板のうちの1つ又は複数を互いに対して移動させること、を含む、行うことと、
基板の各サブエリア毎に、前記ステージの振動の値を決定することと、
前記基板の各サブエリア毎に、前記パルス光ビームの帯域幅に対する調節量を決定することであって、前記調節量は、前記基板にわたって焦点ボケを所定の値の範囲内に維持するように、前記ステージ振動のばらつきを補償する、決定することと、
前記パルス光ビームが基板を露光しているときに、前記パルス光ビームの前記帯域幅を前記決定された調節量によって変更し、それによって前記ステージ振動のばらつきを補償することと、を含む方法。 - 特定のサブエリアにおける前記帯域幅に対する前記調節量を決定することは、ルックアップテーブルにアクセスして実効ステージ振動を一定に維持する前記帯域幅の値を決定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームを前記基板に向ける前に、前記ルックアップテーブルを生成することを更に含む、請求項2に記載の方法。
- 基板の各サブエリア毎に前記ステージ振動の前記値を決定することは、前記パルス光ビームと前記基板との間で走査動作が行われた後で、前記基板の各サブエリア毎に前記ステージ振動の前記値を決定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームが基板を露光しているときに、前記パルス光ビームの前記帯域幅を前記決定された調節量によって変更することは、前記パルス光ビームが前記パルス光ビームによってまだ走査されていない基板を露光しているときに、前記パルス光ビームの前記帯域幅を前記決定された調節量によって変更することを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記帯域幅に対する前記調節量を決定することは、前記パルス光ビームを前記基板に向ける前に行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記帯域幅に対する前記調節量を決定することは、前記パルス光ビームが前記基板に向けられかつ前記基板の各サブエリアに向けられている間に行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記帯域幅を変更することは、スペクトル特徴選択装置の1つ又は複数の光学コンポーネントを調節することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記スペクトル特徴選択装置の1つ又は複数の光学コンポーネントを調節することは、前記スペクトル特徴選択装置のプリズムを回転及び平行移動させることを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記焦点ボケを前記所定の範囲内に維持することはまた、前記基板内に形成されるフィーチャのクリティカルディメンジョンを所定の範囲内に維持する、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記帯域幅を変更することは、前記パルス光ビームのパルスのバーストの合間に前記帯域幅を変更することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板に向けられた前記パルス光ビームの帯域幅を測定すること、及び前記測定された帯域幅が帯域幅の許容範囲外である場合に前記パルス光ビームの前記帯域幅を調節すること、を更に含む、請求項1に記載の方法。
- パルス光ビームを生成する光源と、
前記パルス光ビームをリソグラフィ露光装置のステージに取り付けられた基板に向けるビーム指向システムと、
前記パルス光ビームを前記基板の各サブエリアに投影し、かつ前記パルス光ビーム及び前記基板のうちの1つ又は複数を互いに対して移動させるように構成された走査システムと、
基板の各サブエリア毎に、前記ステージの振動の値を決定するように構成された計測装置と、
前記光源、前記走査システム、及び前記計測装置に接続された制御システムであって、
前記計測装置から、各サブエリア毎の前記ステージ振動の前記決定された値を受け取り、
各サブエリア毎に、前記パルス光ビームの帯域幅に対する調節量を決定し、前記調節量は、前記基板にわたって焦点ボケを所定の値の範囲内に維持するように前記ステージ振動のばらつきを補償し、
前記光源に信号を送信して、前記パルス光ビームが基板を露光しているときに、前記パルス光ビームの前記帯域幅を前記決定された調節量によって修正し、それによって前記ステージ振動のばらつきを補償する、ように構成された制御システムと、を含む装置。 - 前記走査システムは、前記パルス光ビーム及び前記基板のうちの1つ又は複数を横方向の平面に沿って互いに対して移動させるように構成される、請求項13に記載の装置。
- 前記横方向の平面は、前記パルス光ビームが沿って向けられる軸方向に垂直であり、前記計測装置は、前記軸方向に沿って、前記ステージの前記振動の前記値を決定するように構成される、請求項14に記載の装置。
- 前記パルス光ビームのスペクトル特徴を選択するように構成されたスペクトル特徴選択装置を更に含み、前記スペクトル特徴選択装置は、前記パルス光ビームの経路内に配置された1組の光学コンポーネントを含み、前記スペクトル特徴選択装置には前記制御システムが接続されている、請求項13に記載の装置。
- 前記制御システムは、前記スペクトル特徴選択装置に信号を送信して少なくとも1つの光学コンポーネントを動かし、それによって前記パルス光ビームの前記帯域幅を変更することにより、前記光源に信号を送信して前記パルス光ビームの前記帯域幅を修正する、請求項16に記載の装置。
- 前記スペクトル特徴選択装置の前記1組の光学コンポーネントは少なくとも1つのプリズムを含み、前記制御システムは、前記少なくとも1つのプリズムに関連付けられた高速アクチュエータに信号を送信して前記プリズムを回転させ、それによって前記帯域幅を変更することにより、前記スペクトル特徴選択装置に前記信号を送信して前記少なくとも1つの光学コンポーネントを動かし、それによって前記パルス光ビームの前記帯域幅を変更する、請求項17に記載の装置。
- 前記スペクトル特徴選択装置の前記1組の光学コンポーネントは、
前記パルス光ビームと相互作用するように配置された分散光学素子と、
前記分散光学素子と前記光源との間の前記パルス光ビームの前記経路内に配置された複数のプリズムと、を含む、請求項16に記載の装置。 - 前記スペクトル特徴選択装置は、プリズムに関連付けられ、かつ前記関連付けられたプリズムを回転させ、それによって前記パルス光ビームのスペクトル特徴を調節するように構成された、少なくとも1つの高速アクチュエータを含む作動システムを含む、請求項16に記載の装置。
- 前記高速アクチュエータは、回転軸を中心に回転し、かつ前記プリズムに機械的に連結された領域を含む、回転ステージを含む、請求項20に記載の装置。
- 前記回転ステージは、丸々360°の回転角に沿って前記回転軸を中心に回転するように構成される、請求項21に記載の装置。
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