JP6853124B2 - 対基板作業システム、および対基板作業装置 - Google Patents

Description

本明細書は、基板に部品を実装するための対基板作業を実施する対基板作業システム、および、対基板作業システムを構成する対基板作業装置に関し、より詳細には、動作状況を表すログ情報の取得に関する。

プリント配線が施された基板に部品を実装するための諸作業（以下、対基板作業と称する）を実施して、回路基板を量産する技術が普及している。対基板作業を実施する対基板作業装置として、はんだ印刷装置、部品装着装置、リフロー装置、基板検査装置などがある。これらの対基板作業装置を連結して対基板作業システムを構成することが一般的になっている。対基板作業装置は、一般的に、対基板作業の実施を制御する制御部を備える。さらに、制御部は、対基板作業を実施している動作状況を表すログ情報を取得して、メモリに記憶することが多い。この種のログ情報の取得および記憶に関する技術例が特許文献１、２に開示されている。

特許文献１の半導体製造制御装置は、共通変数領域内の所定領域の内容を定期的に書き換えるメインＣＰＵと、所定領域の内容が変化しないときにメインＣＰＵの処理を代行するサブメインＣＰＵとを有する。実施例には、メインＣＰＵがダウンしたと判断した場合に、サブメインＣＰＵがメインＣＰＵに対応したメモリの情報を取得し、その情報に基づき総合管理を代行する構成が開示されている。これによれば、メインＣＰＵの停止から立ち上げまでに要する時間の浪費を防ぐとともに、停止原因に対して適切な対処を行える、とされている。

また、特許文献２の半導体露光装置において、装置の制御系統は、各ユニットの動作を直接的に制御するユニット用ＣＰＵと、各ユニット用ＣＰＵを制御する上位のマスタＣＰＵとを含む。そして、各ユニットは、ユニット用ＣＰＵを単独でリセットする手段と、リセットによるデータ消去から特定データを保護する手段とを備え、マスタＣＰＵは、保護された特定データを取得する手段を備える。これによれば、ユニット用ＣＰＵの各種データを捨て去ることなく有効に利用することにより、短時間で的確に原因を追及できる、とされている。

特開平５−２９８１５２号公報 特開平４−９１４２３号公報

ところで、特許文献１では、通常時に総合管理の制御を行うメインＣＰＵと、メインＣＰＵがダウンした制御異常時に総合管理を代行するサブメインＣＰＵを有することで、信頼性を向上させている。しかしながら、サブメインＣＰＵは、制御異常時の信頼性を高めるものであって、通常時には動作しない。このため、サブメインＣＰＵによって装置のコストが大幅に増加し、コストパーフォマンスに課題が生じる。

また、特許文献２では、各ユニット用ＣＰＵで制御異常が発生してリセットする場合に、通常であれば消去される特定データをマスタＣＰＵで取得することができる。しかしながら、マスタＣＰＵで制御異常が発生した場合には、対応することができない。つまり、マスタＣＰＵの制御状況を監視するために別のＣＰＵが必要となり、やはり装置のコストが増加する。

本明細書では、制御異常が発生したときの即応性を高めつつ、システム構成や装置構成を簡素化してコストの増加を抑制した対基板作業システム、およびこの対基板作業システムを構成する対基板作業装置を提供することを解決すべき課題とする。

本明細書は、基板に所定の対基板作業を実施する対基板作業装置を含む複数の装置で構成された対基板作業システムであって、それぞれの前記装置に設けられて、それぞれの前記装置の動作を制御するとともに、それぞれの前記装置の動作状況を表すログ情報をメモリに記憶する制御部と、複数の前記装置のうちの第１装置の第１制御部に制御異常が発生したときに、複数の前記装置のうちの第２装置の第２制御部からの制御にしたがって、前記第１装置の第１ログ情報を前記メモリから取得するログ取得部と、を備える対基板作業システムを開示する。

また、本明細書は、基板に所定の対基板作業を実施する対基板作業装置であって、前記対基板作業の実施を制御するとともに、前記対基板作業の実施状況を表すログ情報をメモリに記憶する制御部と、他の第３装置の第３制御部に制御異常が発生したときに、前記制御部からの制御にしたがって前記第３装置にアクセスし、前記第３装置の動作状況を表す第３ログ情報を取得して前記メモリに記憶するログ記憶部、および、前記制御部に制御異常が発生したときに、前記第３装置の前記第３制御部からの制御にしたがって、前記メモリから前記ログ情報を読み出して転送するログ読み出し部、の少なくとも一方と、を備える対基板作業装置を開示する。

本明細書で開示する対基板作業システムや対基板作業装置によれば、或る装置の制御部に制御異常が発生したときに、別の装置の制御部からの制御にしたがって、ログ取得部は或る装置のログ情報を取得することができる。したがって、制御異常が発生したときのログ情報を逸失することがなく、制御異常に対する即応性が高められる。さらに、ログ取得部は、対基板作業システムや対基板作業装置が元々有する機能の応用によって実現可能であり、ＣＰＵ等を追加して設置する必要がない。したがって、システム構成や装置構成は簡素化され、コストの増加が抑制される。

第１実施形態の対基板作業システムの全体構造を示す斜視図である。 第１実施形態の対基板作業システムの制御の構成を示すブロック図である。 部品装着装置の装着制御部の動作フローを示すフロー図である。 ベース装置のベース制御部の動作フローを示すフロー図である。 第１実施形態の対基板作業システムの全体動作を説明する図である。 第２実施形態の対基板作業システムの制御の構成を示すブロック図である。

１．第１実施形態の対基板作業システム１の全体構造
第１実施形態の対基板作業システム１について、図１〜図５を参考にして説明する。図１は、第１実施形態の対基板作業システム１の全体構造を示す斜視図である。対基板作業システム１は、ベース装置２および４台の部品装着装置３で構成される。図１の左上から右下に向かう方向が基板Ｋを搬送するＸ軸方向であり、左下から右上に向かう方向が部品装着装置３の前後方向となるＹ軸方向である。

ベース装置２は、大きな矩形状に形成されている。ベース装置２は、内部にベース制御部６（図２参照）を有する。ベース装置２の上側に、４台の同一構造の部品装着装置３が列設される。それぞれの部品装着装置３は、対基板作業として、部品の装着作業を実施する。部品装着装置３は、基板搬送装置３１、部品供給装置３２、部品移載装置３３、部品カメラ３４、装着制御部５、および機台３９などで構成される。

基板搬送装置３１は、部品装着装置３のＹ軸方向の中央付近に、機台３９上をＸ軸方向に横断して配設される。基板搬送装置３１は、第１搬送レーン３１１および第２搬送レーン３１２を有する。各搬送レーンは、一対のガイドレール、基板Ｋを搬送する一対のコンベアベルト、基板Ｋを位置決めするクランプ装置などで構成される。

部品供給装置３２は、部品装着装置３の前側に着脱可能に装備される。部品供給装置３２は、Ｙ軸方向に延在する複数のフィーダ装置３２１がＸ軸方向に列設されて構成される。フィーダ装置３２１は、供給リール３２２からキャリアテープを繰り出して、部品を供給する。部品供給装置３２は、フィーダ装置３２１のいくつかをトレイ式装置に置換することが可能となっている。トレイ式装置は、複数の部品を載置したトレイを用いて、部品を供給する。

部品移載装置３３は、ロータリツール３３１およびＸ−Ｙ駆動機構３３２などで構成される。ロータリツール３３１は、Ｘ−Ｙ駆動機構３３２によって、水平二方向に駆動される。ロータリツール３３１は、下側に複数本の吸着ノズルを有する。各吸着ノズルは、部品供給装置３２から部品を吸着して、基板搬送装置３１が位置決めした基板Ｋの上面に装着する。部品移載装置３３は、ロータリツール３３１に代えて、挟持式装着具を有してもよい。

部品カメラ３４は、基板搬送装置３１と部品供給装置３２との間の機台３９の上面に、上向きに設けられている。部品カメラ３４は、複数本の吸着ノズルがそれぞれ部品を吸着して基板Ｋに移動する途中の状態を撮影する。これにより、部品カメラ３４は、複数本の吸着ノズルにそれぞれ保持された部品を一括して撮像できる。取得された撮像データは画像処理されて、部品の吸着状態が確認される。

装着制御部５は、装着作業の詳細な手順や方法を記述したジョブデータに基づいて、装着作業に関連する各種の動作（装着動作）を制御する。装着制御部５は、基板搬送装置３１、部品供給装置３２、部品移載装置３３、および部品カメラ３４に各種の指令を送信するとともに、動作状況などに関する情報を受信する。

２．第１実施形態の対基板作業システム１の制御の構成
図２は、第１実施形態の対基板作業システム１の制御の構成を示すブロック図である。図示されるように、４台の部品装着装置３の装着制御部５は、ベース装置２のベース制御部６に通信接続されている。４台の部品装着装置３は、制御の構成も同一であるので、以降では１台について説明する。ベース制御部６は、さらに、上位のホストコンピュータ９に通信接続されている。部品装着装置３は第１装置に相当し、ベース装置２は第２装置に相当する。

装着制御部５には、第１メモリ５１および第１メモリ共有部５２が付設される。第１メモリ共有部５２は、ログ読み出し部５３の機能を含む。装着制御部５は、装着動作を制御するとともに、動作状況を表す第１ログ情報を取得して第１メモリ５１に記憶する。第１ログ情報は、基板搬送装置３１、部品供給装置３２、部品移載装置３３、および部品カメラ３４の少なくとも一つの動作状況を表す。第１メモリ共有部５２は、第１メモリ５１にバス接続される。第１メモリ共有部５２は、自律的に動作せず、通常時に装着制御部５からの制御指令Ｃ１にしたがって第１メモリ５１にアクセスする。

ベース制御部６は、情報および指令の受け渡し動作を制御する。詳述すると、ベース制御部６は、４台の部品装着装置３の各装着制御部５から受け取った情報を適宜編集して、ホストコンピュータ９に送信する。また、ベース制御部６は、ホストコンピュータ９からの指令を中継して、各装着制御部５に受け渡す。

ベース制御部６には、第２メモリ６１および第２メモリ共有部６２が付設される。第２メモリ共有部６２は、ログ記憶部６３の機能を含む。ベース制御部６は、情報及び指令の受け渡し動作を制御するとともに、動作状況を表す第２ログ情報を取得して、第２メモリ６１に記憶する。第２メモリ共有部６２は、第２メモリ６１にバス接続される。第２メモリ共有部６２は、自律的に動作せず、通常時にベース制御部６からの制御指令Ｃ２にしたがって第２メモリ６１にアクセスする。

第１メモリ共有部５２と第２メモリ共有部６２の間は、情報伝送ケーブル７で接続され、高速での情報伝送が可能となっている。情報伝送の方式として、ダイレクトメモリアクセスと呼ばれる方式を適用でき、これに限定されない。情報伝送ケーブル７を経由する情報転送速度は、装着制御部５とベース制御部６の間の通信速度よりも高速である。したがって、第１メモリ５１と第２メモリ６１の間で大量の情報を転送する場合、通信によらず、情報伝送ケーブル７を経由する情報転送が行われる。これにより、通信による場合と比較して、転送所要時間が短縮される。

第２メモリ共有部６２のログ記憶部６３は、ベース制御部６からログ取得指令Ｃ３を受け取ったときに、ログ取得指令Ｃ３を第１メモリ共有部５２のログ読み出し部５３に転送する。第１メモリ共有部５２のログ読み出し部５３は、ログ取得指令Ｃ３にしたがい、第１メモリ５１から第１ログ情報を読み出して転送する。ログ記憶部６３は、転送された第１ログ情報を受け取って、第２メモリ６１に記憶する。ログ取得指令Ｃ３は、実質的に、第１メモリ５１の指定領域のメモリ内容を第２メモリ６１の指定領域に転写する指令である。ログ読み出し部５３およびログ記憶部６３は、ログ取得部を構成する。

３．第１実施形態の対基板作業システム１の動作および作用
次に、対基板作業システム１の動作および作用について、第１ログ情報の取り扱いを主にして説明する。図３は、部品装着装置３の装着制御部５の動作フローを示すフロー図である。装着制御部５は、装着動作の制御と並行して、図３に示される動作フローを実行する。図３のステップＳ１で、装着制御部５は、内蔵のタイマをリセットスタートさせて、経過時間Ｔ１の計時を開始する。次のステップＳ２で、装着制御部５は、第１ログ情報を取得して、第１メモリ５１に記憶する。

次のステップＳ３で、装着制御部５は、経過時間Ｔ１が一定時間ＴＤに達したか否か判定する。一定時間ＴＤとして１０秒を例示でき、これに限定されない。装着制御部５は、経過時間Ｔ１が一定時間ＴＤに達していない場合に、動作フローの実行をステップＳ２に戻す。装着制御部５は、経過時間Ｔ１が一定時間ＴＤに達するまで、ステップＳ２およびステップＳ３で構成されるループを繰り返す。

経過時間Ｔ１が一定時間ＴＤに達すると、装着制御部５は、動作フローの実行をステップＳ３からステップＳ４に進める。ステップＳ４で、装着制御部５は、ハートビート信号ＨＢをベース制御部６に送信する。ハートビート信号ＨＢは、装着制御部５が正常に動作していることを表す信号である。この後、装着制御部５は、動作フローの実行をステップＳ１に戻して、以下繰り返し動作する。

装着制御部５が正常に動作している間、一定時間ＴＤの間に多数の第１ログ情報が記憶される。かつ、一定時間ＴＤごとに、ハートビート信号ＨＢが送信される。また、装着制御部５に制御異常が発生すると、ハートビート信号ＨＢが送信されなくなる。さらに、第１ログ情報の記憶動作も途切れる。なお、一定時間ＴＤごとにハートビート信号ＨＢを送信する別法として、装着制御部５に付属されたタイマ割り込み機能を利用してもよい。

制御異常が発生した直前の第１ログ情報は、部品装着装置３で発生した異常現象の解明や原因の特定、対策の立案などに関して、重要な判断材料となる。にもかかわらず、制御異常が発生した装着制御部５は、第１メモリ５１から第１ログ情報を読み出せない。この問題点への対策として、ログ読み出し部５３およびログ記憶部６３が設けられる。

図４は、ベース装置２のベース制御部６の動作フローを示すフロー図である。ベース制御部６は、情報および指令の受け渡し動作の制御と並行して、図４に示される動作フローを実行する。図４のステップＳ１１で、ベース制御部６は、内蔵のタイマをリセットスタートさせて、待機時間Ｔ２の計時を開始する。次のステップＳ１２で、ベース制御部６は、装着制御部５がハートビート信号ＨＢを送信しているか否かに関わらず、受信処理を試行する。次のステップＳ１３で、ベース制御部６は、ハートビート信号ＨＢを受信したか否かに応じて、動作フローの分岐先を制御する。ハートビート信号ＨＢを受信した場合、ベース制御部６は、動作フローの実行をステップＳ１１に戻す。

ハートビート信号ＨＢを受信しなかった場合のステップＳ１４で、ベース制御部６は、待機時間Ｔ２が所定時間ＴＷに達したか否か判定する。所定時間ＴＷは、一定時間ＴＤよりも長く設定されている。一定時間ＴＤが１０秒である場合の所定時間ＴＷとして１２秒を例示でき、これに限定されない。ベース制御部６は、待機時間Ｔ２が所定時間ＴＷに達していないと、動作フローの実行をステップＳ１２に戻す。

ベース制御部６は、ステップＳ１２〜ステップＳ１４で構成されるループを繰り返し、途中でハートビート信号ＨＢを受信すると，動作フローの実行をステップＳ１３からステップＳ１１に戻す。装着制御部５が正常に動作している間、ベース制御部６は、一定時間ＴＤごとにハートビート信号ＨＢを受信する。このとき、ステップＳ１１でタイマのリセットスタートが繰り返されるため、待機時間Ｔ２は、所定時間ＴＷに達しない。

ところが、装着制御部５に制御異常が発生すると、ベース制御部６は、ハートビート信号ＨＢを受信しなくなる。これにより、ループが繰り返されて待機時間Ｔ２が所定時間ＴＷに達する。すると、ベース制御部６は、動作フローの実行をステップＳ１４からステップＳ１５に進める。ステップＳ１５で、ベース制御部６は、ログ取得指令Ｃ３をログ記憶部６３に指令する。次のステップＳ１６で、ログ記憶部６３およびログ読み出し部５３が共同して動作する。これにより、第１メモリ５１の第１ログ情報は、情報伝送ケーブル７を経由して転送され、第２メモリ６１に記憶される。次のステップＳ１７で、ベース制御部６は、制御異常が発生した旨を通知して、動作フローを終了する。

図５は、第１実施形態の対基板作業システム１の全体動作を説明する図である。図５の左側から右側へと、ベース制御部６、装着制御部５、ログ記憶部６３、およびログ読み出し部５３が並んでいる。また、図５の上側から下側へと、時間が経過する。図５の例で、装着制御部５は、ハートビート信号ＨＢを３回送信した後に、制御異常が発生している。制御異常が発生した以降、装着制御部５は、ハートビート信号ＨＢを送信しない。

このため、ベース制御部６は、３回目のハートビート信号ＨＢを受信してから所定時間ＴＷが経過した後に、ログ取得指令Ｃ３を指令する。そのすぐ後に、ベース制御部６は、制御異常が発生した旨を通知し、停止してオペレータを待つ。ログ取得指令Ｃ３は、ログ記憶部６３を経由してログ読み出し部５３まで転送される。これによりログ読み出し部５３は、第１メモリ５１にアクセスして第１ログ情報を読み出し、ログ記憶部６３に転送する。ログ記憶部６３は、第２メモリ６１にアクセスして、第１ログ情報を記憶する。

この後、通知を受けたオペレータは、装着制御部５に制御異常が発生してベース制御部６が停止した状況を把握する。オペレータは、ベース制御部６を操作して、第２メモリ６１から第１ログ情報を読み出すことができる。第１ログ情報は、装着制御部５に制御異常が発生した直前の情報を含んでいる。

第１実施形態の対基板作業システム１によれば、部品装着装置３の装着制御部５に制御異常が発生したときに、ベース装置２のベース制御部６からの制御にしたがって、部品装着装置３の第１ログ情報を取得することができる。したがって、制御異常が発生した直前の第１ログ情報を逸失することがない。これにより、異常現象の解明や原因の特定、対策の立案などが効率的に実施される。例えば、重要な判断材料となる第１ログ情報が有ることによって、異常現象が明確に解明される。また例えば、原因を特定して対策を立案するまでの時間が短縮される。したがって、制御異常に対する即応性が高められる。

さらに、ログ読み出し部５３およびログ記憶部６３は、対基板作業システム１が元々有する第１メモリ共有部５２および第２メモリ共有部６２の機能の応用によって実現される。したがって、ＣＰＵ等を追加して設置する必要がない。これにより、システム構成が簡素化されて、コストの増加が抑制される。

４．第２実施形態の対基板作業システム１Ａ
次に、第２実施形態の対基板作業システム１Ａについて、第１実施形態と異なる点を主にして説明する。第１実施形態では、ベース装置２のベース制御部６が部品装着装置３の第１ログ情報を取得するという、一方向のログ情報取得機能が実現されている。これに対して、第２実施形態では、２台の部品装着装置３がペアとなって、双方向のログ情報取得機能を備える。

図６は、第２実施形態の対基板作業システム１Ａの制御の構成を示すブロック図である。図６において、第１部品装着装置３Ａと第２部品装着装置３Ｂがペアとなり、第３部品装着装置３Ｃと第４部品装着装置３Ｄがペアとなっている。以降では、第１部品装着装置３Ａが第１装置に相当し、第２部品装着装置３Ｂが第２装置に相当する態様について詳述する。第２実施形態において、ベース制御部６Ａは、第１実施形態と同様に、情報および指令の受け渡し動作を制御する。ただし、ベース制御部６Ａは、メモリ６１Ａが付設されているが、メモリ共有部が付設されない。

第１部品装着装置３Ａの装着制御部５Ａには、第１メモリ５１Ａおよび第１メモリ共有部５２Ａが付設される。第１メモリ共有部５２Ａは、ログ読み出し部５５の機能を含む。装着制御部５Ａは、装着動作を制御するとともに、動作状況を表す第１ログ情報を取得して第１メモリ５１Ａに記憶する。第１メモリ共有部５２Ａは、第１メモリ５１Ａにバス接続される。第１メモリ共有部５２Ａは、自律的に動作せず、通常時に装着制御部５Ａからの制御指令Ｃ１にしたがって第１メモリ５１Ａにアクセスする。

同様に、第２部品装着装置３Ｂの装着制御部５Ｂには、第２メモリ５１Ｂおよび第２メモリ共有部５２Ｂが付設される。第２メモリ共有部５２Ｂは、ログ記憶部５７の機能を含む。装着制御部５Ｂは、装着動作を制御するとともに、動作状況を表す第２ログ情報を取得して第２メモリ５１Ｂに記憶する。第２メモリ共有部５２Ｂは、第２メモリ５１Ｂにバス接続される。第２メモリ共有部５２Ｂは、自律的に動作せず、通常時に装着制御部５Ｂからの制御指令Ｃ４にしたがって第２メモリ５１Ｂにアクセスする。

装着制御部５Ａと装着制御部５Ｂの間は、通信接続される。第１メモリ共有部５２Ａと第２メモリ共有部５２Ｂの間は、情報伝送ケーブル７Ａで接続され、高速での情報伝送が可能となっている。情報伝送ケーブル７Ａを経由する情報転送速度は、装着制御部５Ａと装着制御部５Ｂの間の通信速度よりも高速である。したがって、第１メモリ５１Ａと第２メモリ５１Ｂの間で大量の情報を転送する場合、通信によらず、情報伝送ケーブル７Ａを経由する情報転送が行われる。これにより、通信による場合と比較して、転送所要時間が短縮される。

第２メモリ共有部５２Ｂのログ記憶部５７は、装着制御部５Ｂからログ取得指令Ｃ５を受け取ったときに、ログ取得指令Ｃ５を第１メモリ共有部５２Ａのログ読み出し部５５に転送する。第１メモリ共有部５２Ａのログ読み出し部５５は、ログ取得指令Ｃ５にしたがい、第１メモリ５１Ａから第１ログ情報を読み出して転送する。ログ記憶部５７は、転送された第１ログ情報を受け取って、第２メモリ５１Ｂに記憶する。ログ読み出し部５５およびログ記憶部５７は、第１部品装着装置３Ａから第２部品装着装置３Ｂに向かう一方向のログ取得部を構成する。

また、ログ記憶部５７は、ログ読み出し部５８の機能を兼ね備える。さらに、ログ読み出し部５５はログ記憶部５６の機能を兼ね備える。これらの機能について詳述する。ログ記憶部５６は、装着制御部５Ａからログ取得指令Ｃ６を受け取ったときに、ログ取得指令Ｃ６をログ読み出し部５８に転送する。ログ読み出し部５８は、ログ取得指令Ｃ６にしたがい、第２メモリ５１Ｂから第２ログ情報を読み出して転送する。ログ記憶部５６は、転送された第２ログ情報を受け取って、第１メモリ５１Ａに記憶する。ログ読み出し部５８およびログ記憶部５６は、第２部品装着装置３Ｂから第１部品装着装置３Ａに向かう他方向のログ取得部を構成する。

第１部品装着装置３Ａの装着制御部５Ａで制御異常が発生したとき、一方向のログ取得部が動作する。第２部品装着装置３Ｂの装着制御部５Ｂで制御異常が発生したとき、他方向のログ取得部が動作する。一方向および他方向にログ情報を取得する動作および作用は、第１実施形態と同様であるので、説明は省略する。

第２実施形態の対基板作業システム１Ａでは、装着制御部５Ａおよび装着制御部５Ｂの一方に制御異常が発生したときに、他方からの制御にしたがって、第１ログ情報または第２ログ情報を取得することができる。したがって、第１実施形態と同様、制御異常に対する即応性が高められる。さらに、ログ読み出し部（５５、５８）およびログ記憶部（５６、５７）は、対基板作業システム１Ａが元々有する第１メモリ共有部５２Ａおよび第２メモリ共有部５２Ｂの機能の応用によって実現される。これにより、システム構成が簡素化されて、コストの増加が抑制される。

５．実施形態の応用および変形
なお、第１実施形態において、所定時間ＴＷとして、１２秒に代え２２秒を設定してもよい。この態様では、ベース制御部６は、ハートビート信号ＨＢを２回続けて受信できなかった場合に、ログ取得指令Ｃ３を指令する。これによれば、一過性の通信障害によるハートビート信号ＨＢの１回だけの未受信は、制御異常と誤解されない。また、第２実施形態で説明した第１部品装着装置３Ａや第２部品装着装置３Ｂは、ログ記憶部およびログ読み出し部の少なくとも一方を備える実施形態の部品装着装置となっている。さらに、対基板作業システム（１、１Ａ）は、部品装着装置３以外の対基板作業装置を含んでもよい。第１および第２実施形態は、その他にも様々な応用や変形が可能である。

１、１Ａ：対基板作業システム ２：ベース装置 ３：部品装着装置 ３Ａ：第１部品装着装置 ３Ｂ：第２部品装着装置 ３１：基板搬送装置 ３２：部品供給装置 ３３：部品移載装置 ３４：部品カメラ ５、５Ａ、５Ｂ：装着制御部 ５１、５１Ａ：第１メモリ ５１Ｂ：第２メモリ ５２、５２Ａ：第１メモリ共有部 ５２Ｂ：第２メモリ共有部 ５３、５５、５８：ログ読み出し部 ５６、５７：ログ記憶部 ６、６Ａ：ベース制御部 ６１：第２メモリ ６２：第２メモリ共有部 ６３：ログ記憶部 ７、７Ａ：情報伝送ケーブル Ｃ３、Ｃ５、Ｃ６：ログ取得指令 ＨＢ：ハートビート信号 Ｔ１：経過時間 Ｔ２：待機時間 ＴＤ：一定時間 ＴＷ：所定時間

Claims (5)

1. 基板に所定の対基板作業を実施する対基板作業装置を含む複数の装置で構成された対基板作業システムであって、
   それぞれの前記装置に設けられて、それぞれの前記装置の動作を制御するとともに、それぞれの前記装置の動作状況を表すログ情報をメモリに記憶する制御部と、
   複数の前記装置のうちの第１装置の第１制御部に制御異常が発生したときに、複数の前記装置のうちの第２装置の第２制御部からの制御にしたがって、前記第１装置の第１ログ情報を前記メモリから取得するログ取得部と、
   を備える対基板作業システム。
2. 前記メモリは、
   前記第１装置に設けられて前記第１装置の前記第１ログ情報が記憶される第１メモリ、および、
   前記第２装置に設けられて前記第２装置の第２ログ情報が記憶される第２メモリを含み、
   前記ログ取得部は、
   前記第１装置に設けられ、前記第１メモリから前記第１ログ情報を読み出して転送するログ読み出し部、および、
   前記第２装置に設けられ、転送された前記第１ログ情報を受け取って前記第２メモリに記憶するログ記憶部を含む、
   請求項１に記載の対基板作業システム。
3. 前記ログ記憶部は、前記第２メモリから前記第２ログ情報を読み出して転送するログ読み出し機能を有し、
   前記ログ読み出し部は、転送された前記第２ログ情報を受け取って前記第１メモリに記憶するログ記憶機能を有し、
   前記ログ取得部は、前記第１装置および前記第２装置の間で前記ログ情報の双方向の取得が可能である、
   請求項２に記載の対基板作業システム。
4. 前記第１装置の前記第１制御部と、前記第２装置の前記第２制御部の間は通信接続されており、
   前記ログ読み出し部と前記ログ記憶部の間の情報転送速度は、前記第１制御部と前記第２制御部の間の通信速度よりも高速である、
   請求項２または３に記載の対基板作業システム。
5. 基板に所定の対基板作業を実施する対基板作業装置であって、
   前記対基板作業の実施を制御するとともに、前記対基板作業の実施状況を表すログ情報をメモリに記憶する制御部と、
   他の第３装置の第３制御部に制御異常が発生したときに、前記制御部からの制御にしたがって前記第３装置にアクセスし、前記第３装置の動作状況を表す第３ログ情報を取得して前記メモリに記憶するログ記憶部、および、
   前記制御部に制御異常が発生したときに、前記第３装置の前記第３制御部からの制御にしたがって、前記メモリから前記ログ情報を読み出して転送するログ読み出し部、の少なくとも一方と、
   を備える対基板作業装置。

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