JP6852099B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
前記研磨体を間に挟んで前記被研磨物に対向するとともに、変位可能な軸部を有する複数個の形状追従機構と、
前記形状追従機構を支持する支持体と、
前記軸部同士を連結するリンク機構と、
を備え、
前記リンク機構は、少なくとも、互いに隣接する2本の前記軸部同士を連結するリンク部材を含み、
前記リンク部材を介して連結された前記2本の軸部中の一方が前記被研磨物から反力を受けて後退したとき、他方が前進する研磨装置が提供される。
14…先端アーム 16…研磨機構
20…制御部 22…ワーク
34…偏心回転用モータ(偏心回転手段) 36…偏心用駆動軸
38…駆動ギヤ 40、42…従動ギヤ
44…偏心用従動軸 46…偏心継手
48、50…偏心用回転軸 52…偏心回転機構
60…支持体 70…無端ベルト(研磨体)
72…周回用モータ 74…周回用駆動軸
76…駆動プーリ 78…従動プーリ
82…内周ベルト 84…外周ベルト
86…外方テンショナ(張力付与手段)
90、90a〜90h…形状追従機構
92…軸部 94…揺動部
100…回転軸 122…ボールジョイント
130…揺動カバー 140…リンク機構
142a〜142d…第1小リンク部材〜第4小リンク部材
144…第1傾動軸
146a、146b…第1中リンク部材、第2中リンク部材
148…第2傾動軸 150…大リンク部材
152…第3傾動軸 160…A部(研磨開始点)
162…B部(被研磨領域) 164…C部(被研磨領域)
166…D部(研磨終了点) 170a、170b…凸部
172…凹部
Claims (9)
- 伸縮可能な研磨体によって被研磨物を研磨する研磨装置であって、
前記研磨体を間に挟んで前記被研磨物に対向するとともに、変位可能な軸部を有する複数個の形状追従機構と、
前記形状追従機構を支持する支持体と、
前記軸部同士を連結するリンク機構と、
を備え、
前記リンク機構は、少なくとも、互いに隣接する2本の前記軸部同士を連結するリンク部材と、前記リンク部材同士を連結する別のリンク部材とを含み、
前記リンク部材を介して連結された前記2本の軸部中の一方が前記被研磨物から反力を受けて後退したとき、他方が前進する研磨装置。 - 伸縮可能な研磨体によって被研磨物を研磨する研磨装置であって、
前記研磨体を間に挟んで前記被研磨物に対向するとともに、変位可能な軸部を有する複数個の形状追従機構と、
前記形状追従機構を支持する支持体と、
前記軸部同士を連結するリンク機構と、
前記支持体を偏心回転させる偏心回転手段と、
を備え、
前記リンク機構は、少なくとも、互いに隣接する2本の前記軸部同士を連結するリンク部材を含み、
前記リンク部材を介して連結された前記2本の軸部中の一方が前記被研磨物から反力を受けて後退したとき、他方が前進する研磨装置。 - 請求項2記載の研磨装置において、前記リンク機構は、前記リンク部材同士を連結する別のリンク部材をさらに含む研磨装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記リンク機構に、前記軸部を位置決め固定するロック手段が設けられた研磨装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記形状追従機構の、前記研磨体に臨む先端に揺動可能な揺動部が設けられた研磨装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記形状追従機構の、前記研磨体に臨む先端が回転可能である研磨装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の研磨装置において、複数個の前記形状追従機構が千鳥状に配設された研磨装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記支持体を保持するロボットを備える研磨装置。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記研磨体が周回可能な無端ベルトであり、且つ前記無端ベルトに周回する駆動力を付与する駆動力付与手段を備える研磨装置。
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