JPH05208361A - 鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置 - Google Patents
鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置Info
- Publication number
- JPH05208361A JPH05208361A JP4015613A JP1561392A JPH05208361A JP H05208361 A JPH05208361 A JP H05208361A JP 4015613 A JP4015613 A JP 4015613A JP 1561392 A JP1561392 A JP 1561392A JP H05208361 A JPH05208361 A JP H05208361A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- pad
- finishing
- holder
- dressing device
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気ディスク用基板の表面を鏡面仕上げするパ
ッドが、砥粒によって目詰まりしたのを完全、迅速に解
消する。 【構成】ブロック状のホルダ１に、円柱状に束ねられた
回転ブラシ２の３個が並設され、各軸線の回りに回転さ
れる。同時にホルダ１は、図示してない往復駆動部によ
って長手方向に往復直進される。回転ブラシ２の上下の
各先端部が、図示してない上下対向形の回転定盤の各表
面に貼着される鏡面仕上げ用パッドに対し、往復直進と
回転とに基づく複雑な運動によってしゅう動し、パッド
表面に詰まった砥粒を除去、つまり目詰まりを解消す
る。なお、ホルダ１に付設されたノズル３から砥粒排出
用の液体が噴射されて目詰まり解消を支援する。
ッドが、砥粒によって目詰まりしたのを完全、迅速に解
消する。 【構成】ブロック状のホルダ１に、円柱状に束ねられた
回転ブラシ２の３個が並設され、各軸線の回りに回転さ
れる。同時にホルダ１は、図示してない往復駆動部によ
って長手方向に往復直進される。回転ブラシ２の上下の
各先端部が、図示してない上下対向形の回転定盤の各表
面に貼着される鏡面仕上げ用パッドに対し、往復直進と
回転とに基づく複雑な運動によってしゅう動し、パッド
表面に詰まった砥粒を除去、つまり目詰まりを解消す
る。なお、ホルダ１に付設されたノズル３から砥粒排出
用の液体が噴射されて目詰まり解消を支援する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、平板状ワークたとえ
ば磁気ディスク用基板の表面を鏡面仕上げするパッド
が、砥粒によって目詰まりしたのを完全、迅速に解消す
る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置に関する。
ば磁気ディスク用基板の表面を鏡面仕上げするパッド
が、砥粒によって目詰まりしたのを完全、迅速に解消す
る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について図６，図７を参照しなが
ら説明する。図６は要部であるブラシ部の斜視図であ
る。図６において、細長いブロック状のホルダ21の上下
各面に、プラスチックの毛様部材の束からなるブラシ22
が２列に並設される。また、ブラシ22の各列の外側に、
砥粒排出用の液体を噴射するための互いに連通するノズ
ル23が並設される。図７は従来例の使用時の側面図であ
る。図７において、11,12は上下の各側の定盤で、同軸
で互いに逆方向に回転される。この各定盤11,12 の対向
する表面には、図示してないが、パッドとしての熱硬化
性の発泡ポリウレタンの薄板が貼着されている。この上
下の各パッド間に、平板状ワークとしての磁気ディスク
用基板が挟まれ、その両側の各表面が、砥粒の供給の下
に回転されるパッドによって鏡面仕上げされる。ところ
で、この鏡面仕上げが、ある時間おこなわれると、パッ
ド表面の微小凹部に砥粒が詰まって鏡面仕上げの効力が
低下する。そこで、パッド表面の微小凹部に詰まった砥
粒を除去し、その目詰まりを解消する作業、つまりパッ
ドのドレッシング作業が必要になる。図７で、互いに逆
回転する各定盤11,12 の対向空間に、図６に示したブラ
シ22付きのホルダ21が、往復駆動部29に装着されて挿入
され、各定盤11,12 の共通な半径方向に往復直進する。
この往復直進によって、ブラシ22の先端部が、図示して
ないパッド表面の全面に対し、しゅう動して目詰まりを
解消する。なお往復直進と同時に、ホルダ21に付設され
たノズル23から、砥粒排出用の液体が噴射されて目詰ま
り解消を支援する。
ら説明する。図６は要部であるブラシ部の斜視図であ
る。図６において、細長いブロック状のホルダ21の上下
各面に、プラスチックの毛様部材の束からなるブラシ22
が２列に並設される。また、ブラシ22の各列の外側に、
砥粒排出用の液体を噴射するための互いに連通するノズ
ル23が並設される。図７は従来例の使用時の側面図であ
る。図７において、11,12は上下の各側の定盤で、同軸
で互いに逆方向に回転される。この各定盤11,12 の対向
する表面には、図示してないが、パッドとしての熱硬化
性の発泡ポリウレタンの薄板が貼着されている。この上
下の各パッド間に、平板状ワークとしての磁気ディスク
用基板が挟まれ、その両側の各表面が、砥粒の供給の下
に回転されるパッドによって鏡面仕上げされる。ところ
で、この鏡面仕上げが、ある時間おこなわれると、パッ
ド表面の微小凹部に砥粒が詰まって鏡面仕上げの効力が
低下する。そこで、パッド表面の微小凹部に詰まった砥
粒を除去し、その目詰まりを解消する作業、つまりパッ
ドのドレッシング作業が必要になる。図７で、互いに逆
回転する各定盤11,12 の対向空間に、図６に示したブラ
シ22付きのホルダ21が、往復駆動部29に装着されて挿入
され、各定盤11,12 の共通な半径方向に往復直進する。
この往復直進によって、ブラシ22の先端部が、図示して
ないパッド表面の全面に対し、しゅう動して目詰まりを
解消する。なお往復直進と同時に、ホルダ21に付設され
たノズル23から、砥粒排出用の液体が噴射されて目詰ま
り解消を支援する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例では、ブラシ22
の先端部が往復直進し、パッド表面の全面に対し、しゅ
う動して目詰まりを解消するのであるが、その解消の度
合が不十分である。それは、しゅう動が往復直進だけで
比較的単純な動きのため、どうしても詰まった砥粒の内
で除去されないものが部分的に残るからである。言いか
えれば、目詰まりを十分に解消しようとすると、工数が
多くかかることになる。
の先端部が往復直進し、パッド表面の全面に対し、しゅ
う動して目詰まりを解消するのであるが、その解消の度
合が不十分である。それは、しゅう動が往復直進だけで
比較的単純な動きのため、どうしても詰まった砥粒の内
で除去されないものが部分的に残るからである。言いか
えれば、目詰まりを十分に解消しようとすると、工数が
多くかかることになる。
【０００４】この発明の課題は、従来の技術がもつ以上
の問題点を解消し、平板状ワークたとえば磁気ディスク
用基板の表面を鏡面仕上げするパッドが、砥粒によって
目詰まりしたのを完全、迅速に解消する鏡面仕上げ用パ
ッドのドレッシング装置を提供することにある。
の問題点を解消し、平板状ワークたとえば磁気ディスク
用基板の表面を鏡面仕上げするパッドが、砥粒によって
目詰まりしたのを完全、迅速に解消する鏡面仕上げ用パ
ッドのドレッシング装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る鏡面仕上
げ用パッドのドレッシング装置は、回転定盤に取り付け
られ、平板状ワークの表面を鏡面仕上げするパッドの、
砥粒による目詰まりを解消する装置であって、軸線の回
りに回転され、この軸線と平行な毛様部材の集合体とし
て形成される回転ブラシと；この回転ブラシの１個また
は複数個を、その各軸線が平行になるように並べて軸支
するとともに、この各軸線と直角に往復運動するホルダ
と；を備え、前記パッドの表面に対し、前記回転ブラシ
の各毛様部材の先端部を、前記回転ブラシの回転と前記
ホルダの往復運動とに基づき、しゅう動させる構成であ
る。
げ用パッドのドレッシング装置は、回転定盤に取り付け
られ、平板状ワークの表面を鏡面仕上げするパッドの、
砥粒による目詰まりを解消する装置であって、軸線の回
りに回転され、この軸線と平行な毛様部材の集合体とし
て形成される回転ブラシと；この回転ブラシの１個また
は複数個を、その各軸線が平行になるように並べて軸支
するとともに、この各軸線と直角に往復運動するホルダ
と；を備え、前記パッドの表面に対し、前記回転ブラシ
の各毛様部材の先端部を、前記回転ブラシの回転と前記
ホルダの往復運動とに基づき、しゅう動させる構成であ
る。
【０００６】請求項２に係る鏡面仕上げ用パッドのドレ
ッシング装置は、請求項１に記載の装置において、回転
ブラシの両側の各端面部が、ワークの両面を同時に鏡面
仕上げする対向形パッド用として、ホルダの各側に位置
する。請求項３に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシン
グ装置は、請求項１または２に記載の装置において、回
転ブラシの各毛様部材が、軸線を中心とする円形領域に
分布配置される。
ッシング装置は、請求項１に記載の装置において、回転
ブラシの両側の各端面部が、ワークの両面を同時に鏡面
仕上げする対向形パッド用として、ホルダの各側に位置
する。請求項３に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシン
グ装置は、請求項１または２に記載の装置において、回
転ブラシの各毛様部材が、軸線を中心とする円形領域に
分布配置される。
【０００７】請求項４に係る鏡面仕上げ用パッドのドレ
ッシング装置は、請求項３に記載の装置において、ホル
ダが、回転ブラシの各毛様部材が遠心力によって外方に
広がろうとするのを阻止する障壁を備える。請求項５に
係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置は、請求項
１ないし４のいずれかの項に記載の装置において、回転
ブラシは、正転するものと、逆転するものとが混在す
る。
ッシング装置は、請求項３に記載の装置において、ホル
ダが、回転ブラシの各毛様部材が遠心力によって外方に
広がろうとするのを阻止する障壁を備える。請求項５に
係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置は、請求項
１ないし４のいずれかの項に記載の装置において、回転
ブラシは、正転するものと、逆転するものとが混在す
る。
【０００８】請求項６に係る鏡面仕上げ用パッドのドレ
ッシング装置は、請求項１ないし５のいずれかの項に記
載の装置において、回転ブラシが、同一平面内に位置す
るように並設され、かつその並設の方向に往復運動す
る。請求項７に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング
装置は、請求項１ないし６のいずれかの項に記載の装置
において、ホルダが、砥粒排出用の液噴射ノズルを備え
る。
ッシング装置は、請求項１ないし５のいずれかの項に記
載の装置において、回転ブラシが、同一平面内に位置す
るように並設され、かつその並設の方向に往復運動す
る。請求項７に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング
装置は、請求項１ないし６のいずれかの項に記載の装置
において、ホルダが、砥粒排出用の液噴射ノズルを備え
る。
【０００９】請求項８に係る鏡面仕上げ用パッドのドレ
ッシング装置は、請求項１ないし７のいずれかの項に記
載の装置において、ワークが、磁気ディスク用基板であ
る。
ッシング装置は、請求項１ないし７のいずれかの項に記
載の装置において、ワークが、磁気ディスク用基板であ
る。
【００１０】
【作用】請求項１ないし８のいずれかの項に係る鏡面仕
上げ用パッドのドレッシング装置では、回転ブラシの各
毛様部材の先端部が、回転ブラシの回転とホルダの往復
運動とに基づいてパッドの表面に対し、しゅう動する。
上げ用パッドのドレッシング装置では、回転ブラシの各
毛様部材の先端部が、回転ブラシの回転とホルダの往復
運動とに基づいてパッドの表面に対し、しゅう動する。
【００１１】
【実施例】この発明に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッ
シング装置の実施例について、以下に図を参照しながら
説明する。図１は実施例のブラシ部の斜視図、図２はブ
ラシ部の平面図、図３はブラシ部の側面図である。これ
らの図において、１はブロック状のホルダ、２はプラス
チックの毛様部材が円柱状に束ねられ形成された回転ブ
ラシで、両側の各端面部がホルダ１の上下の各表面から
突出する形でその内部に収められ、その３個がホルダ１
の長手方向に並設されるとともに、それぞれが後述する
歯車伝動機構を介して軸線の回りに回転される。３はノ
ズルで、ホルダ１の両側の各縁部に並設され、それぞれ
が内部で連通し、後述するドレッシング作業時に砥粒排
出用の液体を噴射する。
シング装置の実施例について、以下に図を参照しながら
説明する。図１は実施例のブラシ部の斜視図、図２はブ
ラシ部の平面図、図３はブラシ部の側面図である。これ
らの図において、１はブロック状のホルダ、２はプラス
チックの毛様部材が円柱状に束ねられ形成された回転ブ
ラシで、両側の各端面部がホルダ１の上下の各表面から
突出する形でその内部に収められ、その３個がホルダ１
の長手方向に並設されるとともに、それぞれが後述する
歯車伝動機構を介して軸線の回りに回転される。３はノ
ズルで、ホルダ１の両側の各縁部に並設され、それぞれ
が内部で連通し、後述するドレッシング作業時に砥粒排
出用の液体を噴射する。
【００１２】図４はブラシ部の内部構造を示す破断図で
ある。図４において、各回転ブラシ２には、その中間部
で同軸に歯車６，７，８が固着され、隣合うもの同士が
噛み合わされる。図示してないモータによって、これに
固着される歯車４と、中間の歯車５とを介して、矢印の
ように各歯車６，８が時計方向に、歯車７が反時計方向
にそれぞれ回転される。
ある。図４において、各回転ブラシ２には、その中間部
で同軸に歯車６，７，８が固着され、隣合うもの同士が
噛み合わされる。図示してないモータによって、これに
固着される歯車４と、中間の歯車５とを介して、矢印の
ように各歯車６，８が時計方向に、歯車７が反時計方向
にそれぞれ回転される。
【００１３】図５は実施例の使用時における側面図であ
る。従来例で既に述べたと同様な上下の各定盤11,12
が、同軸で互いに逆方向に回転される。この各定盤11,1
2 の対向空間に、図１に示した回転ブラシ２を具備する
ホルダ１が、往復駆動部９に装着されて挿入され、各定
盤11,12 の共通な半径方向に往復直進する。この往復直
進によって、回転ブラシ２の先端部が、図示してないパ
ッド表面の全面に対し、直進と正逆各回転との合成運動
に基づいて複雑にしゅう動し、目詰まりを完全，迅速に
解消する。なお、ドレッシング作業時に、ホルダ２に付
設されたノズル３から、砥粒排出用の液体が噴射されて
目詰まり解消を支援する。
る。従来例で既に述べたと同様な上下の各定盤11,12
が、同軸で互いに逆方向に回転される。この各定盤11,1
2 の対向空間に、図１に示した回転ブラシ２を具備する
ホルダ１が、往復駆動部９に装着されて挿入され、各定
盤11,12 の共通な半径方向に往復直進する。この往復直
進によって、回転ブラシ２の先端部が、図示してないパ
ッド表面の全面に対し、直進と正逆各回転との合成運動
に基づいて複雑にしゅう動し、目詰まりを完全，迅速に
解消する。なお、ドレッシング作業時に、ホルダ２に付
設されたノズル３から、砥粒排出用の液体が噴射されて
目詰まり解消を支援する。
【００１４】
【発明の効果】請求項１ないし８のいずれかの項に係る
鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、回転ブラ
シの各毛様部材の先端部が、回転ブラシの回転とホルダ
の往復運動とに基づいてパッドの表面に対し、しゅう動
する。したがって、各毛様部材の先端部のパッド表面に
対するしゅう動軌跡が複雑になって未ドレッシング部分
がなくなり、それだけドレッシングが完全、かつ迅速に
おこなわれてドレッシング作業の効率化が図れる。ま
た、砥粒による目詰まり発生の頻度、ひいてはドレッシ
ング回数が減少するから、鏡面仕上げ作業の効率向上が
図れ、しかも鏡面仕上げワークの品質向上が図れる。
鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、回転ブラ
シの各毛様部材の先端部が、回転ブラシの回転とホルダ
の往復運動とに基づいてパッドの表面に対し、しゅう動
する。したがって、各毛様部材の先端部のパッド表面に
対するしゅう動軌跡が複雑になって未ドレッシング部分
がなくなり、それだけドレッシングが完全、かつ迅速に
おこなわれてドレッシング作業の効率化が図れる。ま
た、砥粒による目詰まり発生の頻度、ひいてはドレッシ
ング回数が減少するから、鏡面仕上げ作業の効率向上が
図れ、しかも鏡面仕上げワークの品質向上が図れる。
【００１５】とくに請求項２に係る鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置では、各端面部がホルダの両側に配
設される回転ブラシが、対向形パッドのそれぞれを同時
にドレッシングするから、ドレッシング作業の効率化が
支援される。とくに請求項３に係る鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置では、回転ブラシが円柱状に形成さ
れるから、回転による遠心力によって回転軸線に関して
対称的に広がろうとし、偏りのないドレッシング作業が
おこなわれる。
のドレッシング装置では、各端面部がホルダの両側に配
設される回転ブラシが、対向形パッドのそれぞれを同時
にドレッシングするから、ドレッシング作業の効率化が
支援される。とくに請求項３に係る鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置では、回転ブラシが円柱状に形成さ
れるから、回転による遠心力によって回転軸線に関して
対称的に広がろうとし、偏りのないドレッシング作業が
おこなわれる。
【００１６】とくに請求項４に係る鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置では、回転ブラシが遠心力で外方に
広がろうとするのが、障壁によって阻止されるから、回
転ブラシの先端部がパッド表面に強く押圧されてドレッ
シング作業の効率化が支援される。とくに請求項５に係
る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、パッド
表面が、正転する回転ブラシと、逆転する回転ブラシと
による両方向のしゅう動を受けるから、より複雑な軌跡
のしゅう動によってドレッシング作業の効率化が支援さ
れる。
のドレッシング装置では、回転ブラシが遠心力で外方に
広がろうとするのが、障壁によって阻止されるから、回
転ブラシの先端部がパッド表面に強く押圧されてドレッ
シング作業の効率化が支援される。とくに請求項５に係
る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、パッド
表面が、正転する回転ブラシと、逆転する回転ブラシと
による両方向のしゅう動を受けるから、より複雑な軌跡
のしゅう動によってドレッシング作業の効率化が支援さ
れる。
【００１７】とくに請求項６に係る鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置では、回転ブラシが一列に並設さ
れ、しかもその並設方向に往復運動するから、小形化、
構成の簡素化、運動の円滑化が図れる。とくに請求項７
に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、ホ
ルダが砥粒排出用の液噴射ノズルを備えるから、装置全
体の小形化、および構成の簡素化が図れる。
のドレッシング装置では、回転ブラシが一列に並設さ
れ、しかもその並設方向に往復運動するから、小形化、
構成の簡素化、運動の円滑化が図れる。とくに請求項７
に係る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置では、ホ
ルダが砥粒排出用の液噴射ノズルを備えるから、装置全
体の小形化、および構成の簡素化が図れる。
【図１】本発明に係る実施例のブラシ部の斜視図
【図２】ブラシ部の平面図
【図３】ブラシ部の側面図
【図４】ブラシ部の内部構造を示す破断図
【図５】実施例の使用時における側面図
【図６】従来例のブラシ部の斜視図
【図７】従来例の使用時における側面図
１ ホルダ ２ 回転ブラシ ３ ノズル ４〜８ 歯車 ９ 往復駆動部 １１，１２ 定盤
Claims (8)
- 【請求項１】回転定盤に取り付けられ、平板状ワークの
表面を鏡面仕上げするパッドの、砥粒による目詰まりを
解消する装置であって、軸線の回りに回転され、この軸
線と平行な毛様部材の集合体として形成される回転ブラ
シと；この回転ブラシの１個または複数個を、その各軸
線が平行になるように並べて軸支するとともに、この各
軸線と直角に往復運動するホルダと；を備え、前記パッ
ドの表面に対し、前記回転ブラシの各毛様部材の先端部
を、前記回転ブラシの回転と前記ホルダの往復運動とに
基づき、しゅう動させる構成にしたことを特徴とする鏡
面仕上げ用パッドのドレッシング装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、回転ブラ
シは、その両側の各端面部が、ワークの両面を同時に鏡
面仕上げする対向形パッド用として、ホルダの各側に位
置することを特徴とする鏡面仕上げ用パッドのドレッシ
ング装置。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の装置において、
回転ブラシは、その各毛様部材が、軸線を中心とする円
形領域に分布配置されることを特徴とする鏡面仕上げ用
パッドのドレッシング装置。 - 【請求項４】請求項３に記載の装置において、ホルダ
は、回転ブラシの各毛様部材が遠心力によって外方に広
がろうとするのを阻止する障壁を備えることを特徴とす
る鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置。 - 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかの項に記載の
装置において、回転ブラシは、正転するものと、逆転す
るものとが混在することを特徴とする鏡面仕上げ用パッ
ドのドレッシング装置。 - 【請求項６】請求項１ないし５のいずれかの項に記載の
装置において、回転ブラシは、その軸線が同一平面内に
位置するように並設され、かつその並設の方向に往復運
動する構成にしたことを特徴とする鏡面仕上げ用パッド
のドレッシング装置。 - 【請求項７】請求項１ないし６のいずれかの項に記載の
装置において、ホルダは、砥粒排出用の液噴射ノズルを
備えることを特徴とする鏡面仕上げ用パッドのドレッシ
ング装置。 - 【請求項８】請求項１ないし７のいずれかの項に記載の
装置において、ワークは、磁気ディスク用基板であるこ
とを特徴とする鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4015613A JPH05208361A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4015613A JPH05208361A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05208361A true JPH05208361A (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=11893558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4015613A Pending JPH05208361A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05208361A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0750968A1 (en) * | 1995-06-26 | 1997-01-02 | Texas Instruments Incorporated | Improvements in or relating to the processing of semiconductor devices |
| EP0754525A1 (en) * | 1995-07-18 | 1997-01-22 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for dressing polishing cloth |
| US5961377A (en) * | 1997-01-17 | 1999-10-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical mechanical polishing systems including brushes and related methods |
| JP2016055398A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社荏原製作所 | バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、バフパッド洗浄方法 |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP4015613A patent/JPH05208361A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0750968A1 (en) * | 1995-06-26 | 1997-01-02 | Texas Instruments Incorporated | Improvements in or relating to the processing of semiconductor devices |
| EP0754525A1 (en) * | 1995-07-18 | 1997-01-22 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for dressing polishing cloth |
| US5857898A (en) * | 1995-07-18 | 1999-01-12 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for dressing polishing cloth |
| US5961377A (en) * | 1997-01-17 | 1999-10-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical mechanical polishing systems including brushes and related methods |
| JP2016055398A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社荏原製作所 | バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、バフパッド洗浄方法 |
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