CN111451926A

CN111451926A - 研磨装置

Info

Publication number: CN111451926A
Application number: CN202010054484.3A
Authority: CN
Inventors: 中囿大辅; 高桥直树; 今西秀聪
Original assignee: Honda Motor Co Ltd
Current assignee: Honda Motor Co Ltd
Priority date: 2019-01-21
Filing date: 2020-01-17
Publication date: 2020-07-28
Anticipated expiration: 2040-01-17
Also published as: US20200230777A1; JP2020116653A; CN111451926B; JP6852099B2

Abstract

本发明涉及一种研磨装置。研磨装置(10)具有形状追随部(90a～90h)，该形状追随部(90a～90h)与工件(22)相向而将研磨体夹持于其间，并且具有可发生位移的轴部(92)。至少相邻的两根轴部(92)彼此经由连杆部件(142a～142d)而连结。例如，在经由连杆部件(142a)连结的形状追随部(90a、90b)的各轴部(92)中，当一根轴部(92)从工件受到反作用力而后退时，另一根轴部(92)前进。根据本发明，即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

Description

研磨装置

技术领域

本发明涉及一种研磨装置，其通过研磨体来研磨被研磨物。

背景技术

研磨被研磨物的研磨体如日本发明专利公开公报特开2004-009189号所例示的那样，通常构成为形成为圆板形状的旋转体。但是，在该情况下，虽然能够研磨平坦面，但难以对存在起伏的凹凸面进行均一地研磨。

因此，可以想到在研磨体上设置弹性体(缓冲件：cushion)，例如海绵(sponge)。在该情况下，当研磨被研磨物的凸部时，弹性体被压溃，另一方面，当研磨凹部时被压溃的弹性体将会恢复到原来的形状。这是因为，由于通过弹性体而使研磨体表现出形状追随性，因此可以认为能够比较容易地研磨凹凸面。

发明内容

实际上，弹性体的形状追随性并不那么好。因此，例如在想要研磨形成为凸部和凹部交替相连的复杂的形状的被研磨区域的、所述凸部的情况下，有可能弹性体不能被充分地压溃。当发生这种情况时，对凸部的研磨量变得比设计值多。

为了避免这种情况，在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，大多由作业人员通过手工作业进行研磨。但是，在该情况下，研磨烦杂并且对作业人员造成负担。

本发明的主要目的在于提供一种研磨装置，该研磨装置即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

根据本发明的一技术方案，提供一种研磨装置，该研磨装置通过可伸缩的研磨体来研磨被研磨物，所述研磨装置具有多个形状追随部、支承体和连杆部，其中，

所述形状追随部与所述被研磨物相向而将所述研磨体夹于其间，并且具有能够发生位移的轴部；

所述支承体支承所述形状追随部；

所述连杆部连结所述轴部彼此；

所述连杆部包括至少连结相邻的两根所述轴部彼此的连杆部件，

在经由所述连杆部件连结的所述两根轴部中的一根从所述被研磨物受到反作用力(reaction)而后退时，另一根前进。

在本发明中，在研磨体与被研磨物滑动接触(进行研磨)时，构成隔着该研磨体而与被研磨物相向的形状追随部的轴部发生位移。即，当轴部从被研磨物受到反作用力时，其向远离该被研磨物的方向后退。在此，相邻的轴部彼此经由连杆部件连结。因此，与后退的轴部相邻的轴部向接近被研磨物的方向前进。相邻的轴部如上述那样发生位移的结果为，避免了研磨体从轴部受到过度的推压。因此，研磨体能够与被研磨物的形状对应而变形。

即，根据本发明，由于能够使形状追随部的轴部追随被研磨物的形状来发生位移，因此研磨体与被研磨物的形状对应而变形。

因此，研磨体一边对被研磨区域施加适当且大致均等的表面压力，一边与该被研磨区域滑动接触。据此，能够实施自动且良好的研磨。

上述目的、特征和优点通过参照附图所说明的以下实施方式的说明能够容易地理解。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的研磨装置的概略整体侧视图。

图2是构成所述研磨装置的研磨机构的概略侧视图。

图3是所述研磨机构的概略主视图。

图4是所述研磨机构的概略俯视图。

图5是形状追随机构的概略正面局部剖视图。

图6是从环形带侧进行观察的研磨机构的视图。

图7是摘取多个形状追随部的概略主视图。

图8表示研磨机构在被研磨物、即工件上的移动轨迹的概略说明图。

图9是表示在被研磨区域上存在凸部时的连杆部所包含的各连杆部件的姿势和轴部的位移状况的一例的概略俯视图。

具体实施方式

下面，列举优选的实施方式，并参照附图来对本发明所涉及的研磨装置详细地进行说明。

图1为本实施方式所涉及的研磨装置10的概略整体侧视图。该研磨装置10具有多关节机器人12、研磨机构16和控制部20，其中，研磨机构16被设置于构成该多关节机器人12的顶端臂14；控制部20控制多关节机器人12和研磨机构16。此外，图1中的附图标记22表示被研磨物、即工件。作为工件22的具体例，可以列举汽车车身。

多关节机器人12具有可旋转的台座24和多个动作轴26。因此，多关节机器人12能够使研磨机构16移动到工件22的规定部位，或者使研磨机构16沿着工件22的被研磨区域发生位移。

如图2和图3所示，研磨机构16经由连结板30而连结于顶端臂14。比该连结板30宽度窄且面积小的齿轮保持板32接近连结板30。在该齿轮保持板32上设有齿轮组(GearTrain)。具体而言，齿轮组具有驱动齿轮38、第一从动齿轮40和第二从动齿轮42，其中，驱动齿轮38被设置于偏心旋转用马达34(偏心旋转机构)的偏心用驱动轴36；第一从动齿轮40啮合于该驱动齿轮38；第二从动齿轮42啮合于该第一从动齿轮40。在第二从动齿轮42上设有偏心用从动轴44。

偏心用驱动轴36和偏心用从动轴44穿过分别形成于齿轮保持板32和连结板30的轴贯插孔(未图示)。在偏心用驱动轴36和偏心用从动轴44的、从连结板30突出且朝向研磨机构16侧的顶端，经由偏心接头46而分别连结有第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50。如上述那样而构成使研磨机构16偏心旋转的偏心旋转机构52。此外，在轴贯插孔与偏心用驱动轴36之间或者在轴贯插孔与偏心用从动轴44之间插入有未图示的轴承。

第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50连结于构成研磨机构16的支承体60。具体而言，如图2～图4所示，支承体60是由马达保持壁部62、第一侧壁部64、第二侧壁部66和机构保持壁部68组合而构成的，其中，马达保持壁部62的高度最大；第一侧壁部64支承马达保持壁部62的背面，并且具有随着远离马达保持壁部62而向下方倾斜的部位；第二侧壁部66的高度为马达保持壁部62的大致一半；机构保持壁部68被架设于第一侧壁部64和第二侧壁部66。在其中的马达保持壁部62的上方连结有第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50。在该情况下，第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50沿着马达保持壁部62的长度方向配设。

如此，多关节机器人12的顶端臂14经由连结板30和偏心旋转机构52来保持构成研磨机构16的支承体60。此外，由上述可知，第一侧壁部64和第二侧壁部66的一端连结于马达保持壁部62，另一端连结有机构保持壁部68。通过介装有第一侧壁部64和第二侧壁部66，机构保持壁部68以规定间隔远离马达保持壁部62。

如图2所示，在马达保持壁部62上设置有环绕转动用马达72(驱动力施加机构)。该环绕转动用马达72对构成研磨机构16的环形带70(研磨体)施加使该环形带70环绕转动的驱动力。环绕转动用马达72被安装于马达保持壁部62的与第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50不干涉的位置。在环绕转动用马达72的环绕转动用驱动轴74的外部嵌有长形的圆柱形状的驱动带轮76。环形带70在该驱动带轮76上经过。

在支承体60上设置有未图示的三个轴承部。如图4所示，被设置在长形的圆柱形状的从动带轮78上的支承轴80以可旋转的方式被轴支承于该轴承部。环形带70从动带轮78的各侧周壁上经过。通过驱动带轮76和三个从动带轮78，环形带70以在俯视观察时呈矩形状的方式被架设。

环形带70由内周带82和外周带84的层积体构成。内周带82由耐磨损性优异的材料构成，外周带84由研磨功能优异的材料构成。通过使内周带82被驱动带轮76和从动带轮78带动，外周带84和内周带82一体地环绕转动。外周带84与工件22的被研磨区域滑动接触。

外侧张紧器(Tensioner)86(张力施加机构)与外周带84滑动接触。通过将外周带84朝向内周带82侧进行推压，外侧张紧器86对环形带70施加张力。推压力越大，环形带70越张紧。其结果，施加给环形带70的张力变大。反之，在推压力小时，施加给环形带70的张力变小。

在机构保持壁部68上支承有多个形状追随机构90，该多个形状追随机构90从内周带82侧推压环形带70。接着，对该形状追随机构90进行说明。

图5为沿着长度方向表示一个形状追随机构90的概略正面局部剖视图。形状追随机构90具有轴部92和摆动(摇动)部94。

轴部92由气动马达(air motor)的壳体(caging)构成。轴部92以可发生位移的方式被保持于机构保持壁部68(参照图4)，从而，形状追随机构90被支承于机构保持壁部68。

在轴部92的远离环形带70的一侧的一端设置有接头部96，该接头部96连接有未图示的空气供给管；另一方面，旋转轴100从接近环形带70的一侧的一端露出。在轴部92上，于旋转轴100的附近形成有空气排出孔102。伴随着压缩空气经由空气供给管和接头部96被供给到轴部92的内部，旋转轴100旋转。被供给到轴部92的压缩空气经由空气排出孔102被排出到大气中。

旋转轴100上套有连结轴104，并且该连结轴104上保持有连结板106。具体而言，在连结板106上形成有插入孔108，并且该插入孔108中插入有接头(joint)110。在接头110上形成有螺纹孔，被设置于连结轴104的一端的螺纹部与该螺纹孔旋合。此外，在接头110的从插入孔108露出的部位旋合有第一螺母112、第二螺母114。通过该旋合，防止接头110从插入孔108脱落。

具有台阶部的阶梯保持件120被安装于连结板106。在该阶梯保持件120的顶端形成有螺纹孔，在该螺纹孔旋合有球窝接头(ball joint)122的螺纹状轴部124。另外，在球窝接头122的相对于球部126突出的两个卡合轴部128上旋合并安装有可分割的摆动罩130。摆动罩130构成为近似于球截形(spherical segment)的形状。

连结轴104、连结板106、阶梯保持件120、球窝接头122和摆动罩130随着旋转轴100的旋转而一体旋转。与此相对，轴部92不旋转。

图6是从环形带70侧观察研磨机构的视图。如该图6所示，多个摆动部94被配设为由多个沿环形带70的环绕转动方向排列而成的行和多个沿宽度方向排列而成的列形成。并且，任意列或行的摆动部94(和轴部92)位于相邻的列或行的摆动部94(和轴部92)之间。因此，摆动部94(和轴部92)整体呈交错点阵状。此外，为了容易地理解摆动部94的交错点阵配置，在图6中，仅在最外侧的一行示出连杆机构140。

在此，在图7中示出选取的任意行所包含的多个(图示的例子中为八个)形状追随机构90。下面，为了容易区分各个形状追随机构90，将附图标记设为90a～90h。

由图7可知，八个形状追随机构90a～90h经由连杆机构140而连结。更详细地说，连杆机构140包括第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d(连杆部件)，该第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d(连杆部件)将相邻的形状追随机构90a、90b彼此、形状追随机构90c、90d彼此、形状追随机构90e、90f彼此、形状追随机构90g、90h彼此分别连结。第一小连杆部件142a经由第一倾摆轴144连结于形状追随机构90a、90b的各轴部92。

同样，第二小连杆部件142b经由第一倾摆轴144连结于形状追随机构90c、90d的各轴部92，第三小连杆部件142c经由第一倾摆轴144连结于形状追随机构90e、90f的各轴部92。并且，第四小连杆部件142d经由第一倾摆轴144连结于形状追随机构90g、90h的各轴部92。

在第一小连杆部件142a和第二小连杆部件142b的外侧配设有第一中连杆部件146a(另外的连杆部件)。第一小连杆部件142a和第二小连杆部件142b的长度方向中间部与第一中连杆部件146a的各端部经由第二倾摆轴148连结。第一小连杆部件142a和第二小连杆部件142b能够以第二倾摆轴148为支点分别倾摆。

被配设于第三小连杆部件142c和第四小连杆部件142d的外侧的第二中连杆部件146b(另外的连杆部件)也同样，其各端部经由第二倾摆轴148而与第三小连杆部件142c和第四小连杆部件142d的长度方向中间部连结。因此，第三小连杆部件142c、第四小连杆部件142d能够以第二倾摆轴148为支点分别倾摆。

并且，在第一中连杆部件146a和第二中连杆部件146b的外侧配设有大连杆部件150(另外的连杆部件)。第一中连杆部件146a和第二中连杆部件146b的长度方向中间部与大连杆部件150的各端部经由第三倾摆轴152连结。即，第一中连杆部件146a和第二中连杆部件146b能够以第三倾摆轴152为支点分别倾摆。

在第一倾摆轴144、第二倾摆轴148和第三倾摆轴152上分别设置有未图示的电磁铁。当在控制部20的控制作用下，对电磁铁通电时，第一倾摆轴144、第二倾摆轴148或第三倾摆轴152受到电磁力的约束。即，各倾摆轴144、148、152被强制性地停止旋转。其结果，第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d、第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150被强制性地停止倾摆。如此，电磁铁是约束第一倾摆轴144、第二倾摆轴148或第三倾摆轴152的锁定机构。

与此相反，当停止向电磁铁通电时，第一倾摆轴144、第二倾摆轴148或第三倾摆轴152从电磁力的约束中解放而能够旋转。因此，第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d、第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150变为可倾摆状态。

虽然省略了图示，但在一行内包括八个以上的形状追随机构90时，在剩余的形状追随机构90中也设置有与上述相同的连杆机构140。另外，在其他行中也同样。此外，在任意一个形状追随机构90和与其相邻的列所包含的形状追随机构90之间未设置有连杆机构140。

在上面的结构中，控制部20控制偏心旋转用马达34、环绕转动用马达72、外侧张紧器86、上述电磁铁、对气动马达进行压缩空气的供排的空气供给机构(未图示)。

本实施方式所涉及的研磨装置10基本上如上述那样构成，接着，以与研磨装置10的控制方法(动作)的关系对其作用效果进行说明。

为使环形带70在抵接于工件22的研磨开始点的状态下沿着被研磨区域移动，预先对多关节机器人12进行如下示教，即，使各轴以规定角度旋转或转动。另外，控制部20根据工件22的形状从多个形状追随机构90中选定应由空气供给机构供给压缩空气的形状追随机构90，并确定其供给时机。

例如，当对图8所示的工件22实施研磨时，研磨机构16按照工件22的A部160→B部162→C部164→D部166的顺序发生位移。即，A部160为研磨开始点，D部166为研磨结束点。例如，在A部160中的最下行的一行、在B部162和C部164中的最下行及其上一行这两行、在D部166中的最下行、其上一行及其上两行这三行从被研磨区域偏离，在这种情况下，从研磨开始点到研磨结束点，最下行的一行不与被研磨区域重叠。在这样的情况下，也可以为对于形成最下行的形状追随机构90，不向其轴部92供给压缩空气。

当开始研磨时，控制部20首先控制外侧张紧器86。具体而言，使外侧张紧器86以接近环形带70的方式发生位移，来推压该环形带70。通过该推压，环形带70张紧而使张力变大。另外，控制部20从空气供给机构供给压缩空气。压缩空气经由所述空气供给管和接头部96而被导入到轴部92(壳体)内。其结果，构成气动马达的旋转轴100旋转，并且，连结轴104、连结板106、阶梯保持件120、球窝接头122和摆动罩130一体地旋转。

在多关节机器人12的各动作轴26适宜地动作，使环形带70抵接于A部160之后，控制部20驱动偏心旋转用马达34和环绕转动用马达72。伴随着偏心旋转用马达34的偏心用驱动轴36旋转，驱动齿轮38旋转，并且与该驱动齿轮38啮合的第一从动齿轮40(参照图2和图3)和与该第一从动齿轮40啮合的第二从动齿轮42旋转。偏心用从动轴44也随之旋转。

如上所述，偏心用驱动轴36、偏心用从动轴44经由偏心接头46而分别连结有与第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50。因此，第一偏心用旋转轴48、第二偏心用旋转轴50以如下轨迹移动，该轨迹为描绘以偏心用驱动轴36、偏心用从动轴44的各旋转中心为中心的圆的轨迹。其结果，在支承体60上连结有第一偏心用旋转轴48和第二偏心用旋转轴50的研磨机构16进行偏心旋转。

另外，当驱动环绕转动用马达72时，环绕转动用驱动轴74和驱动带轮76(参照图4)旋转。因此，被驱动带轮76牵引的环形带70开始环绕转动。环形带70的环绕转动由三个从动带轮78辅助。即，在该情况下，环形带70一边被外侧张紧器86施加张力，并且被形状追随机构90(摆动罩130)从内周带82侧推压，一边通过驱动带轮76和三个从动带轮78环绕转动。

通过上面的研磨机构16的偏心旋转和环形带70的环绕转动，开始对A部160的研磨。即，通过使环形带70与A部160滑动接触，由此来研磨A部160。由于旋转的摆动罩130抵接于环形带70，因此，环形带70从形状追随机构90受到推压而被推压于A部160。而且，环形带70一边与支承体60一起偏心旋转，一边以充分的表面压力在A部160上滑动接触。摆动罩130的旋转与环形带70的环绕转动和偏心旋转相结合，从而良好地研磨A部160。

而且，多个形状追随机构90呈交错点阵状配置。在该情况下，与将多个形状追随机构90配置在同一轴线上的情况相比，形状追随机构90紧密地接近。因此，能够均匀地研磨A部160(被研磨区域)。如此，呈交错点阵状配置的形状追随机构90相互补充研磨所涉及的范围。

在该状态下，控制部20使多关节机器人12的各动作轴26动作，以使研磨机构16经过B部162和C部164移动到D部166。此外，在研磨机构16正在移动期间，不向位于被研磨区域外的形状追随机构90的轴部92供给压缩空气。

但是，如图9所示，假设工件22上存在凸部170a、170b和相对于该凸部170a、170b相对地凹陷的凹部172。在该情况下，位于凸部170a、170b上的形状追随机构90b、90c、90e、90f、90g通过受到来自凸部170a、170b的反作用力，从而向远离凸部170a、170b的方向发生位移。

此时，第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d以第一倾摆轴144为支点倾摆，并且根据凸部170a、170b的隆起程度，第二中连杆部件146b以第二倾摆轴148为支点倾摆。并且，大连杆部件150以第三倾摆轴152为支点倾摆。伴随该倾摆，与凹部172相向的形状追随机构90a、90d、90h向接近凹部172的方向发生位移。

而且，构成形状追随机构90a～90h的摆动罩130对应于被研磨区域的形状、凸部170a、170b的倾斜角度而摆动。根据上述理由，不管工件22的形状和凸部170a、170b的倾斜角度如何，均能够保持构成形状追随机构90a～90h的摆动罩130对环形带70的抵接。因此，不会阻碍环形带70的变形。因此，不管被研磨区域的形状如何，都能够良好地研磨该被研磨区域。

如此，在本实施方式中，在从研磨开始点(A部160)到研磨结束点(D部166)的范围内，与工件22的形状对应，构成连杆机构140的第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d、第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150适宜地倾摆。伴随着该倾摆，构成形状追随机构90的轴部92向接近工件22的方向或者远离工件22的方向发生位移。据此，环形带70追随工件22的形状而变化。因此，能够良好地继续研磨机构16对工件22的研磨。此外，即使在被研磨区域内存在不需要研磨部位时，也可以不对形状追随机构90中的与不需要研磨部位相向的形状追随机构90供给压缩空气。

例如，当凸部170a、170b和凹部172存在于长距离范围内时，也可以将轴部92定位固定。在该情况下，控制部20对被设置于各第一倾摆轴144、第二倾摆轴148和第三倾摆轴152的电磁铁进行通电。如上所述，通过伴随着该通电而产生的电磁力的约束，阻碍第一倾摆轴144、第二倾摆轴148和第三倾摆轴152的进一步的旋转，进而阻碍第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d、第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150的进一步的倾摆。因此，轴部92成为被定位固定的锁定状态。换言之，轴部92的位置是固定的。因此，由于保持摆动罩130抵接于环形带70的状态，而能够良好地研磨工件22。

为了解除锁定状态，只要停止向电磁铁通电即可。据此，电磁力消失，各第一倾摆轴144、第二倾摆轴148和第三倾摆轴152被从电磁力的约束解放而能够旋转。其结果，第一小连杆部件142a～第四小连杆部件142d、第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150能够倾摆。

不需要特别对第一倾摆轴144、第二倾摆轴148和第三倾摆轴152全部同时进行使用电磁铁的锁定。即，仅对被设置于需要锁定的倾摆轴的电磁铁进行通电，并使该电磁铁动作即可。

在图9中，夸张地示出了凸部170a、170b和凹部172，但实际的凸部170a、170b的隆起程度最大为几十μm，凹部172的深度也为同等程度。

当研磨机构16到达D部166时，多关节机器人12的各动作轴26的旋转或转动停止，并且，该研磨机构16的移动结束。此时，控制部20使偏心旋转用马达34和环绕转动用马达72这二者停止，据此使研磨机构16的偏心旋转和环形带70的环绕转动停止。

如上所述，根据本实施方式，由研磨装置10自动地进行研磨。因此，减轻了作业人员的负担。

而且，由于环形带70如上述那样环绕转动，因此外周带84的不特定部位与被研磨区域滑动接触。换言之，避免了仅外周带84的特定部位参与研磨的情况。因此，外周带84不容易磨损。因此，即使反复进行上述研磨，也能够长时间地使用同一个外周带84。此外，当伴随着长时间的反复研磨，外周带84发生磨损而使研磨精度下降时，将外周带84更换为新品即可。

本发明并不特别限定于上述实施方式，在未脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种变更。

例如，也可以代替环形带70，而张设片状体来作为研磨体。

并且，除了不使偏心旋转用马达34动作(换言之，不使研磨机构16偏心旋转)之外，也可以与上述同样地进行研磨。即使在这种情况下，也能够进行充分的研磨。由此可知，以偏心旋转用马达34为主的偏心旋转机构并非必需的。

另外，也可以设置省略了第一中连杆部件146a、第二中连杆部件146b和大连杆部件150中的任意一个的连杆机构。当存在多个大连杆部件150时，还可以设置将这些大连杆部件150彼此连结的另外的连杆部件。

Claims

1.一种研磨装置(10)，其通过可伸缩的研磨体(70)来对被研磨物(22)进行研磨，所述研磨装置(10)的特征在于，

具有多个形状追随部(90)、支承体(60)和连杆部(140)，其中，

所述形状追随部(90)与所述被研磨物相向而将所述研磨体夹于其间，并且具有能够发生位移的轴部(92)；

所述支承体(60)支承所述形状追随部；

所述连杆部(140)连结所述轴部彼此，

所述连杆部包括连杆部件(142a～142d)，该连杆部件(142a～142d)至少连结相邻的两根所述轴部彼此，

在经由所述连杆部件连结的所述两根轴部中的一根从所述被研磨物受到反作用力而后退时，另一根前进。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述连杆部还包括将所述连杆部件彼此连结的另外的连杆部件(146a、146b)。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述连杆部设置有将所述轴部定位固定的锁定机构。

4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述形状追随部的面向所述研磨体的顶端设置有可摆动的摆动部(94)。

5.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述形状追随部的面向所述研磨体的顶端能够旋转。

6.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

多个所述形状追随部呈交错点阵状配设。

7.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有使所述支承体偏心旋转的偏心旋转部(52)。

8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有保持所述支承体的机器人(12)。

9.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨体为能够进行环绕转动的环形带，并且所述研磨装置具有对所述环形带施加环绕转动的驱动力的驱动力施加机构(72)。