JP6850786B2 - 高純度錫の真空梱包方法および真空梱包された高純度錫 - Google Patents
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Description
(1)
高純度金属が真空梱包されてなる、高純度金属真空梱包品であって、
高純度金属の表面の少なくとも一部がフッ化炭素樹脂シートで覆われており、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度金属が、真空梱包用フィルムによって真空梱包されてなる、高純度金属真空梱包品。
(2)
フッ化炭素樹脂シートが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートである、(1)に記載の高純度金属真空梱包品。
(3)
フッ化炭素樹脂シートが、0.05〜5.0mmの厚みを有する、(1)又は(2)に記載の高純度金属真空梱包品。
(4)
真空梱包用フィルムとして、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層を有する積層フィルムが用いられ、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層が、高純度金属に接触することなく真空梱包された、(1)〜(3)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
(5)
真空梱包用フィルムとして、Al蒸着ポリエチレンフィルムが用いられ、
Al蒸着層が、高純度金属に接触することなく真空梱包された、(1)〜(4)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
(6)
高純度金属が、略円柱の形状である、(1)〜(5)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
(7)
高純度金属の表面粗さRaが、0.3〜5.0μmの範囲にある、(1)〜(6)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
(8)
高純度金属が、高純度錫である、(1)〜(7)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
(9)
高純度金属が、略円柱の形状であり、
略円柱の形状の高純度金属の側部曲面の表面が、フッ化炭素樹脂シートで覆われており、
側部曲面の表面がフッ化炭素樹脂シートで覆われた、略円柱の形状の高純度金属が、真空梱包用フィルムによって真空梱包されてなる、(1)〜(8)のいずれかに記載の高純度金属真空梱包品。
高純度金属の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度金属を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程、
を含む、高純度金属を真空梱包する方法。
(12)
高純度金属の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度金属を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程、
を含む、高純度金属が真空梱包されてなる、高純度金属真空梱包品の製造方法。
(13)
フッ化炭素樹脂シートが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートである、(11)又は(12)に記載の方法。
(14)
フッ化炭素樹脂シートが、0.05〜5.0mmの厚みを有する、(11)〜(13)のいずれかに記載の方法。
(15)
真空梱包用フィルムとして、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層を有する積層フィルムが使用され、
金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層が、高純度金属に接触することなく真空梱包される、(11)〜(14)のいずれかに記載の方法。
(16)
真空梱包用フィルムとして、Al蒸着ポリエチレンフィルムが使用され、
Al蒸着層が、高純度金属に接触することなく真空梱包される、(11)〜(15)のいずれかに記載の方法。
(17)
高純度金属が、略円柱の形状である、(11)〜(16)のいずれかに記載の方法。
(18)
高純度金属の表面粗さRaが、0.3〜5.0μmの範囲にある、(11)〜(17)のいずれかに記載の方法。
(19)
高純度金属が、高純度錫である、(11)〜(18)のいずれかに記載の方法。
(20)
高純度金属の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程が、
略円柱の形状の高純度金属の側部曲面の表面を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程であり、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度金属を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程が、
側部曲面の表面がフッ化炭素樹脂シートで覆われた、略円柱の形状の高純度金属を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程である、(11)〜(19)のいずれかに記載の方法。
本発明の高純度金属真空梱包品は、高純度金属の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程、フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度金属を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程、を含む方法によって、高純度金属を真空梱包して製造することができる。
本発明による真空梱包は、酸化しやすい高純度金属に好適に使用できる。このような高純度金属としては、例えば高純度の錫(Sn)、ビスマス(Bi)、銅(Cu)をあげることができる。好適には高純度のSnが使用される。このような高純度金属は、エッチング等の洗浄操作をさらに行うことなく、真空梱包を開いてそのまますぐに、例えば、すぐに溶融させて、LSI等の超微細加工装置に、本発明による高純度金属真空梱包品を溶湯として使用されるために、炭素不純物の低減が特に重要である。高純度金属の純度は、真空梱包が使用される程度の純度であれば、特に制限なく本発明の優位性を享受でき、例えば2N(99%)、3N(99.9%)、4N(99.99%)、5N(99.999%)、6N(99.9999%)といった純度の金属を使用できる。
高純度金属の形状は、本発明による真空梱包の操作が実施できる形状であれば、特に制限はない。好適な形状として、例えば、略円柱、円柱、直方体、立方体などの形状をあげることができる。好適には略円柱とすることができる。それぞれの形状に沿って、フッ化炭素樹脂シートを配置して少なくとも一部を覆い、真空梱包用フィルムによって真空梱包を行うことは、当業者がその形状に応じて、適宜実施することができる。
好適な実施の態様において、高純度金属の表面粗さRaは、例えば0.3〜5.0μmの範囲、0.3〜3.3μmの範囲、好ましくは0.5〜3.0μmの範囲とすることができる。本発明において表面粗さRaは、算術平均粗さとして求めることができる。表面粗さRaは、炭素付着量の低減の観点からは小さいほうが好ましいが、小さすぎるとその後の作業時にこすり傷がつきやすくなって外観を損ねる。
フッ化炭素樹脂シートで覆う工程では、高純度金属の表面の少なくとも一部を覆う。高純度金属の表面の全部を覆ってもよい。作業性を維持しながら効果的に覆うためには、高純度金属の形状に応じて、真空梱包用フィルムが真空梱包時に強く圧着される表面部分を、覆うべき少なくとも一部として、選択する。例えば、高純度金属が略円柱状である場合には、略円柱の形状の高純度金属の側部曲面の表面を、フッ化炭素樹脂シートで覆う。この場合に、所望により、略円柱の形状の高純度金属の上面部及び/又は底面部をさらに覆ってもよく、結果として略円柱の形状の高純度金属の表面の全部を覆ってもよい。
好適な実施の態様において、フッ化炭素樹脂シートとして、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シート、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(4.6フッ化)、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド(2フッ化)、ポリクロロトリフルオロエチレン(3フッ化)、クロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体シートなどを使用することできる。好適にはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートとして、デュポン社製テフロン(登録商標)シートやニチアス社製ナフロンシート)が使用される。好適な実施の態様において、フッ化炭素樹脂シートの厚みは、例えば0.01〜6.0mmの範囲、0.05〜5.0mmの範囲、好ましくは0.02〜4.0mmの範囲、0.05〜3.0mmの範囲とすることができる。このような範囲とすることによって、炭素付着物を低減するための剛直さと、真空梱包時に真空梱包用フィルムを破断させないための柔軟さを両立することができる。
真空梱包用フィルムとしては、高純度金属の真空梱包のために従来から使用されている真空梱包用フィルムを、特に制限無く使用することができる。このように使用される真空梱包用フィルムとしては、酸素の透過性を低減したフィルム(酸素バリア性のフィルム)及び水蒸気の透過性を低減したフィルム(水蒸気バリア性のフィルム)をあげることができる。このような真空梱包用フィルムとして、例えば可撓性の大きな樹脂フィルム、金属層及び/又は金属酸化物層を蒸着等して設けた積層フィルムをあげることができる。このような積層フィルムに使用される樹脂フィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ナイロンフィルム、PETフィルムをあげることができる。蒸着等して設けられる金属層の金属としては、例えばAl(アルミニウム)、Snをあげることができ、金属酸化物層の金属酸化物としては、例えばAl2O3(酸化アルミニウム)、SiO2(酸化ケイ素)をあげることができる。好適にはAl蒸着ポリエチレンフィルム、Sn蒸着ポリエチレンフィルムを使用することができる。真空梱包用フィルムとしては、このようなフィルムに対してさらに積層された積層フィルムを使用することができ、例えば金属層及び金属酸化物層の表面にさらにポリエチレンフィルム、ナイロンフィルム、PETフィルムを積層した積層フィルムとすることができる。あるいは、輸送時の保護の確実や、さらに水蒸気バリア性を高める等の所望に応じて、複数枚のフィルム(積層フィルム)を適宜重ねて、真空梱包を行うことができる。
真空梱包用フィルムを使用した真空梱包は、公知の手段及び条件下によって行うことができる。使用可能な真空梱包装置としては、例えば柏木式真空包装機(NPC社製)、GDP−400(タムラシール社製)をあげることができる。好適な実施の態様において、真空梱包は、パーティクルの少ない条件下で行うことができる。
本発明の高純度金属真空梱包品(高純度錫真空梱包品)は、真空梱包を開封した後に洗浄等することなくすぐに使用することができる。例えば、LSI等の超微細加工装置に、本発明による高純度金属真空梱包品を溶湯として使用することができる。この溶湯は、炭素不純物が極めて低減されており、望まれないパーティクルの形成を抑制でき、微細な流路に目詰まりを起こすことがない。
純度4N(99.99質量%、炭素、窒素、酸素、水素を除く。)の市販の塊状錫を用意した。
旋盤で50φ、長さ50mm、表面粗さRa3.0μmの円柱状に切削加工した。
この錫の円柱を厚さ0.3mmのナフロンシート(ニチアス株式会社製)で包み、さらに2枚のAl蒸着ポリエチレンフィルム(大日本印刷株式会社製、商品名DNPテクノパック)(Al蒸着厚12μm、ポリエチレン厚80μm)によって上下方向から、ポリエチレン面を内側に向けて挟んだ後に、シーラーで端部を加熱封止して袋を形成して包んだ後に、約−64kPaで真空吸引下で袋の開口部を加熱封止して、真空梱包をした。真空梱包装置として柏木式真空包装機を使用した。
真空梱包品を3時間放置した後に開封して、円柱形状物の側面の曲面表面をSEM/EDX観察を行った。結果を図1に示す。
実施例1におけるナフロンシートの厚さを変更した以外については、実施例1と同様に行った実験の結果を、実施例2(ナフロンシート厚さ0.05mm)及び実施例3(ナフロンシート厚さ3mm)として、表1にまとめて示す。
比較例1では、実施例1において、ナフロンシートを介することなく、すなわち直接にAl蒸着ポリエチレンフィルムによって、実施例1と同様に真空梱包した後に、真空梱包品を3時間放置した後に開封して、円柱形状物の側面の曲面表面をSEM/EDX観察を行った。この結果を図2、図3−1及び3−2に示す。また、これらを表1にまとめて示す。
Claims (13)
- 高純度錫が真空梱包されてなる、高純度錫真空梱包品であって、
高純度錫の表面の少なくとも一部がフッ化炭素樹脂シートで覆われており、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度錫が、真空梱包用フィルムによって真空梱包されてなる、高純度錫真空梱包品。 - フッ化炭素樹脂シートが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートである、請求項1に記載の高純度錫真空梱包品。
- フッ化炭素樹脂シートが、0.05〜5.0mmの厚みを有する、請求項1又は2に記載の高純度錫真空梱包品。
- 真空梱包用フィルムとして、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層を有する積層フィルムが用いられ、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層が、高純度錫に接触することなく真空梱包された、請求項1〜3のいずれかに記載の高純度錫真空梱包品。
- 真空梱包用フィルムとして、Al蒸着ポリエチレンフィルムが用いられ、
Al蒸着層が、高純度錫に接触することなく真空梱包された、請求項1〜4のいずれかに記載の高純度錫真空梱包品。 - 高純度錫が、略円柱の形状である、請求項1〜5のいずれかに記載の高純度錫真空梱包品。
- 高純度錫の表面粗さRaが、0.3〜5.0μmの範囲にある、請求項1〜6のいずれかに記載の高純度錫真空梱包品。
- 高純度錫が、略円柱の形状であり、
略円柱の形状の高純度錫の側部曲面の表面が、フッ化炭素樹脂シートで覆われており、
側部曲面の表面がフッ化炭素樹脂シートで覆われた、略円柱の形状の高純度錫が、真空梱包用フィルムによって真空梱包されてなる、請求項1〜7のいずれかに記載の高純度錫真空梱包品。 - 高純度錫の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度錫を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程、
を含む、高純度錫を真空梱包する方法。 - 高純度錫の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度錫を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程、
を含む、高純度錫が真空梱包されてなる、高純度錫真空梱包品の製造方法。 - 真空梱包用フィルムとして、金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層を有する積層フィルムが使用され、
金属蒸着層又は金属酸化物蒸着層が、高純度錫に接触することなく真空梱包される、請求項9〜10のいずれかに記載の方法。 - 真空梱包用フィルムとして、Al蒸着ポリエチレンフィルムが使用され、
Al蒸着層が、高純度錫に接触することなく真空梱包される、請求項9〜11のいずれかに記載の方法。 - 高純度錫の表面の少なくとも一部を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程が、
略円柱の形状の高純度錫の側部曲面の表面を、フッ化炭素樹脂シートで覆う工程であり、
フッ化炭素樹脂シートで少なくとも一部の表面が覆われた高純度錫を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程が、
側部曲面の表面がフッ化炭素樹脂シートで覆われた、略円柱の形状の高純度錫を、真空梱包用フィルムによって真空梱包する工程である、請求項9〜12のいずれかに記載の方法。
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