JP6842158B2 - 昇温ホルダおよびプローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
[プローブ顕微鏡の構成]
はじめに、本実施の形態にかかるプローブ顕微鏡1の構成について、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態にかかるプローブ顕微鏡1の構成を示すブロック図である。
次に、昇温ホルダ11の構成について図2〜図4を用いて説明する。
ここで、プローブ顕微鏡1の動作について、図6を用いて説明する。図6は、本実施の形態にかかるプローブ顕微鏡1を用いた観測方法を示す概略図である。
以下、プローブ顕微鏡1を用いた計測例について、図7を用いて説明する。
以上、本実施の形態にかかる昇温ホルダによると、電極に電流を流すことにより、溶液保持部の穴部に保持されている観測用の溶液を、穴部の底面側から均一に昇温することができる。したがって、溶液に浸漬される、観測対象物である試料を均一に昇温することができる。
以上、本発明にかかる昇温ホルダおよびプローブ顕微鏡について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は実施の形態に限定されるものではない。実施の形態に対して当業者が思いつく変形を施して得られる形態、および、複数の実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。
10 カンチレバー(探針)
10a 探針
10b 梁部
11 昇温ホルダ
12 ホルダ本体部
13 溶液保持部
13a 穴部
14 探針支持部
15 透明部材
15a ガラス基板(透明部材)
15b ITO膜(透明部材)
16a、16b 電極
17a、17b 配線
20 試料
22 試料ステージ(試料ホルダ)
24 スキャナ
30 レーザユニット
31 センサ
33 振幅検出部
34 フィードバック制御部
35 コンピュータ(画像処理部)
36 発振器
37 モニタ(表示部)
38 コントローラ(温度制御部)
40 溶液供給部
41 溶液
50 配線
52 熱電対(温度センサ部)
Claims (7)
- 溶液中で試料を計測するための前記溶液を昇温する昇温ホルダであって、
前記溶液を保持する穴部を有する溶液保持部と、
前記溶液保持部の片面に設けられ、前記穴部の底面を構成する透明部材と、
前記透明部材の前記溶液保持部が配置された側と反対側の面に設けられた電極とを備え、
前記電極に電流を流すことにより前記穴部に保持される前記溶液を昇温し、
前記昇温ホルダは、前記溶液保持部の前記透明部材が配置された側と反対側の面であって前記穴部の外に、前記試料に対して相対的に走査される探針を支持する探針支持部および前記探針を備え、
前記探針の先端は、前記透明部材が配置された側と反対側を向くように前記探針支持部に支持されている
昇温ホルダ。 - 前記透明部材は、ITO(Indium Tin Oxide)膜を有する
請求項1に記載の昇温ホルダ。 - 前記透明部材は、前記ITO膜と前記溶液保持部との間に透明の絶縁体を有する
請求項2に記載の昇温ホルダ。 - 前記昇温ホルダは、前記溶液を供給する溶液供給部を備える
請求項1〜3のいずれか1項に記載の昇温ホルダ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の昇温ホルダと、
前記試料を保持する試料ホルダと、
前記試料ホルダを走査するスキャナと、
前記探針に所定の周波数の電圧を印加する発振器と、
前記所定の周波数に対応する周波数で変化する振幅信号を検出する振幅検出部と、
前記振幅信号に基づいて画像を生成する画像処理部と、
前記画像を表示する表示部とを備える
プローブ顕微鏡。 - 前記昇温ホルダに保持されている前記溶液の温度を検出する温度センサ部と、
前記溶液の温度を所定の温度にするために前記昇温ホルダの温度を制御する温度制御部とを備える
請求項5に記載のプローブ顕微鏡。 - 前記温度制御部は、前記溶液保持部の穴部に保持されている前記溶液の温度変化から前記溶液の蒸発量を計算し、
前記プローブ顕微鏡は、前記計算した蒸発量に基づいて、前記溶液供給部により前記溶液を前記溶液保持部の前記穴部に供給する
請求項4に従属する請求項5に記載のプローブ顕微鏡。
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