JP6833897B2 - 液体収納容器 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。
これらの各種ポリエチレンに代表されるポリオレフィンには、製造工程に由来する低分子量成分が含まれることがある。そのため、低分子量成分である炭素数10から28(C10〜C28)の低分子量アルカンの溶出を防ぐためには、ポリオレフィン材料を適切に選択することが重要である。
内容液がレジストである場合、レジスト中に金属イオン、特にアルカリ金属イオンが存在する場合、基材上に形成される層(トランジスタ素子など)内に固定正電荷として残存してしまい、トランジスタ素子の電荷特性を変化させてしまう、といった不具合が生じる場合がある。金属イオン存在量を0.02ppb未満である場合には、トランジスタ素子の電荷特性等の性能の低下を抑制することが可能となる。
内容液を基材に塗工して薄膜を形成する際、内容液中に有機物低分子量成分が多い場合には、基材表面に低分子量成分が吸着してしまい、薄膜の形成を阻害する不具合が生じる場合がある。内容液中に溶出したC10〜C28のアルカンの量がトルエン換算で200ppm以下である場合には、これらの不具合が生じることなく、薄膜が形成できる。
なお、これら一連の工程は、全てクリーンルームの中で行われる。
このことにより、上記のような特性をもった液体収納容器1を得ることができる。
なお、Tダイ法など、内袋21をフィルム状に得る成膜方法によって液体収納容器1を得る場合、内袋21の内面がガイドロール等の金属と接触することを避けられず、成膜工程内での内袋21内面の金属汚染が大きくなってしまい、金属イオン溶出量が増加してしまう。
この場合、袋本体3の各じゃ腹部12は略同一の幅Wを有している。そして袋本体3に取付けられた注出口40は5つのじゃ腹部12のうち中央のじゃ腹部12に対応して配置されている。
なお、複数のじゃ腹部12と、折畳み部16とは、いずれを先に形成しても良い。
次に図16により本発明の変形例について説明する。
クリーンフィルタ81としてULPAフィルタ(JIS Z 8122により規定)を用いて、インフレーション成形機(WINDMOELLER&HOELSCHER CORPORATION製)により、低密度ポリエチレン樹脂、具体的には宇部丸善ポリエチレン株式会社のUBEポリエチレンB128を用いて、袋本体3を厚さ70μmにて作製した(図14(a)参照)。しかる後に、変形例の態様にて、図17の如く袋本体3の内容積が3Lとなる様に液体収納容器1を作製した。
クリーンフィルタ81としてHEPAフィルタ(JIS Z 8122により規定)を用いる以外は実施例1と同様にして、袋本体3をもつ液体収納容器1を作製した(図14、図17参照)。
クリーンフィルタ81を用いないこと以外は実施例1と同様にして、液体収納容器1を作製した(図14、図17参照)。
実施例1と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で袋本体3を成形した。
その後、フィルムからジメチルカーボネートにC10〜C28のアルカンが溶出したかどうかをガスクロマトグラフ質量分析計(株式会社島津製作所製、製品名:GCMS−QP2010)を用いて確認してトルエン換算にて算出した。
結果、溶出したC10〜C28のアルカンの量はトルエン換算にて131.7ppmで、適格であった(図20参照)。
実施例1の袋本体3の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には株式会社プライムポリマーのウルトゼックス3500ZAを用いた。
実施例1の袋本体3の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には日本ポリエチレン株式会社のカーネルKF273を用いた。
実施例1の袋本体3の材料として、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、具体的には宇部丸善ポリエチレン株式会社のユメリット165HKを用いた。
実施例1と同様にして、袋本体3の材料として、低密度ポリエチレン樹脂、具体的には日本ポリエチレン株式会社のノバテックLD LF547Cを用いた。
実施例1と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で成形した袋本体3を図17の如く変形例の態様にて、袋本体3の内容積が3Lとなる様に液体収納容器1を作製した。
結果、溶出した金属イオンの量は、いずれも0.02ppb未満であり、適格であった。(図18参照)
比較例1と同様の材料を用いて、かつ同様の方法で成形した袋本体3を、実施例6と同様の態様にて液体収納容器1を作製した。
結果、溶出した金属イオンの量は、金属種によっては0.02ppbを超えており、不適格であった。(図18参照)
3 袋本体
3a 上縁
3b 底縁
3c 側縁
5 外装容器
5a 開口部
10 ヒートシール部
20 外袋
21 内袋
40 注出口
41 注出口本体
42 注出口フランジ
50 注出口取付部
51 中央部
52 薄肉部
60 液体分配ノズル
61 ドーム形状部
62 開孔
70 注出口上部部材
80 インフレーション成形機
81 クリーンフィルタ
Claims (2)
- 内容物が収納される収納容器において、
袋本体と、袋本体の縁部に設けられた注出口と、を有し、
前記袋本体は、対向するフィルムを含む内袋と対向するフィルムを含む外袋と、を有し、
前記内袋の対向したフィルムの間に前記注出口の一部が配置され、前記内袋の対向したフィルムは前記注出口に溶着し、
前記内袋の対向したフィルム及び前記外袋の対向したフィルムは、前記注出口に隣接する領域で互いに溶着し、
前記収納容器の内部を3Lの純水で満たした場合に、内部の表面積192400mm 2 あたりにおける0.1μm径のパーティクル数が15個/mL以下である、収納容器。 - 前記収納容器の内部を3Lの純水で満たした場合に、内部の表面積192400mm 2 あたりにおける0.2μm径のパーティクル数が5個/mL以下である、請求項1に記載の収納容器。
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