JP6826325B2 - 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、タッチパネル用部材及び硬化膜の製造方法 - Google Patents
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Description
アクリルポリマー(A1)としては、例えば脂環式骨格を側鎖に有するアクリルポリマーを用いることができる。脂環式骨格とは、芳香環構造を含まない炭化水素基であり、単環の脂環式骨格又は多環の脂環式骨格を含む。単環の脂環式骨格及び多環の脂環式骨格を両方含んでも構わない。但し、脂環式骨格のみで構成されている必要はなく、その一部に鎖状構造を含んでいてもよい。単環の脂環式骨格の基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式骨格の基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。
カルド系樹脂(A2)としては、下記一般式(1)で表される構造を繰り返し単位として2つ以上有し、重合性基及びアルカリ可溶性基を含有するカルド系樹脂が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(B)を含有する。光重合開始剤(B)は、光(紫外線、電子線を含む)により分解及び/または反応し、ラジカルを発生させるものである。
本発明の感光性樹脂組成物は、多官能アリル化合物(C)を含有してもよい。多官能アリル化合物(C)を含有することで、硬化膜の耐湿熱性を更に向上させることができるほか、よりパターン加工性の良好な硬化膜を得られ、積層加工時の見栄え向上に寄与する。多官能アリル化合物(C)は、イソシアヌレート骨格を有する下記一般式(2)で表される化合物であることが好ましい。
イソシアヌレート骨格を有する一般式(2)で表される多官能アリル化合物(C)として例えば、以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されない。
本発明の感光性樹脂組成物は、多官能エポキシ化合物(D)を含有してもよい。多官能エポキシ化合物(D)を含有することで、硬化膜の耐湿熱性を更に向上させることができるほか、硬化時の膜収縮を抑制することにより、より平滑な硬化膜を得られ、積層加工時の見栄え向上に寄与する。多官能エポキシ化合物(D)は、イソシアヌレート骨格を有する多官能エポキシ化合物(d1)及び/または芳香環を4つ以上有しかつ芳香環との結合が3つ以上ある4級炭素を有する多官能エポキシ化合物(d2)であることが好ましい。
芳香環を4つ以上有しかつ芳香環との結合が3つ以上ある4級炭素を有する多官能エポキシ化合物(d2)としては例えば、下記式(8)〜(12)の化合物が挙げられる。
これらの中でも特に耐湿熱性の向上に効果があるのは式(8)及び(9)の化合物であり、好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、ヒンダードアミン系光安定剤(E)を含有してもよい。ヒンダードアミン系光安定剤(E)を含有することで、硬化膜の着色を低減できるとともに、耐侯性を向上させることができる。
これらの中でも、反応性が高く硬化に作用することから、ヒンダードアミン系光安定剤(E)が不飽和二重結合を有することが好ましい。例えば、不飽和二重結合を有する上記式(13)及び(14)が特に好ましい。
本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤(F)を含有してもよい。シランカップリング剤(F)を含有することで、基板との密着性がより向上する。
樹脂組成物の感度を調整する目的で多官能モノマーを含有してもよい。多官能モノマーとは、分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物をいう。ラジカル重合性のしやすさを考えると、(メタ)アクリロイル基を有する多官能モノマーが好ましい。多官能モノマーの具体例を以下に挙げるが、これに限定されない。
本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂組成物の硬化を促進させる、あるいは硬化を容易ならしめる各種の硬化剤を含有してもよい。硬化剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、具体例としては、窒素含有有機物、シリコーン樹脂硬化剤、各種金属アルコレート、各種金属キレート化合物、イソシアネート化合物及びその重合体、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。なかでも、硬化剤の安定性、得られた塗布膜の加工性等から金属キレート化合物、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体が好ましく用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、得られる硬化膜の耐光性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。紫外線吸収剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、透明性、非着色性の面から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物が好ましく用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を適量含有することで、現像後の解像度が向上する。重合禁止剤としては特に限定はなく公知のものが使用でき、たとえば、ジ−t−ブチルヒドロキシトルエン、ブチルヒドロキシアニソール、ハイドロキノン、4−メトキシフェノール、1,4−ベンゾキノン、t−ブチルカテコールが挙げられる。また、市販の重合禁止剤としては、「IRGANOX1010」、「IRGANOX1035」、「IRGANOX1076」、「IRGANOX1098」、「IRGANOX1135」、「IRGANOX1330」、「IRGANOX1726」、「IRGANOX1425」、「IRGANOX1520」、「IRGANOX245」、「IRGANOX259」、「IRGANOX3114」、「IRGANOX565」、「IRGANOX295」(以上、BASF製)等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有してもよい。本発明の感光性樹脂組成物に含有される溶剤は、好ましくは大気圧下の沸点が110〜250℃であり、更に好ましくは200℃以下である。なお、これらの溶剤を複数種類用いてもよい。沸点が200℃より高いと膜中の残存溶剤量が多くなりキュア時の膜収縮が大きくなり、良好な平坦性が得られなくなる。一方、沸点が110℃より低いと、塗膜時の乾燥が速すぎて膜表面が荒れる等塗膜性が悪くなる。そのため、大気圧下の沸点が200℃以下の溶剤が感光性樹脂組成物中における、溶剤全体の50重量部以上であることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、塗布時のフロー性向上のために、各種のフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の各種界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤の種類に特に制限はなく、例えば、“メガファック(登録商標)”「F142D(商品名)」、「F172(商品名)」、「F173(商品名)」、「F183(商品名)」、「F445(商品名)」、「F470(商品名)」、「F475(商品名)」、「F477(商品名)」(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、「NBX−15(商品名)」、「FTX−218(商品名)」((株)ネオス製)等のフッ素系界面活性剤、「BYK−333(商品名)」、「BYK−301(商品名)」、「BYK−331(商品名)」、「BYK−345(商品名)」、「BYK−307(商品名)」(ビックケミー・ジャパン(株)製)等のシリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオキシド系界面活性剤、ポリ(メタ)アクリレート系界面活性剤等を用いることができる。これらを2種以上用いてもよい。
AIBN:2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
DAA:ジアセトンアルコール
DPM:ジプレピレングリコールモノメチルエーテル。
(a1−1)アクリルポリマー溶液合成例
500mlのフラスコにAIBNを2g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を26.5g、スチレンを21.3g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン−8−イルメタクリレートを37.7g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを14.6g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー溶液(a1−1)を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは13,500であった。
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を23.0g、ベンジルメタクリレートを31.5g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン−8−イルメタクリレートを32.8g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを12.7g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー溶液(a1−2)を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは17,000であった。
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を19.4g、メタクリル酸メチルを12.5g、N−ベンジルマレイミドを32.8g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを14.2g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、アクリルポリマー溶液(a1−3)を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは12,000であった。
下記式(18)を有するアクリルポリマーDPM溶液である(ダイセル化学工業(株)製「“サイクロマー(商標登録)”ACAZ250」(商品名))は固形分濃度55wt%、GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwが22,000の製品である。「サイクロマーACAZ250」を100g計量し、DPMを37.5g添加攪拌した。このようにして固形分濃度が40wt%のアクリルポリマーDPM溶液(a1−4)を得た。
500mlのフラスコにAIBNを1g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を38.6g、メタクリル酸メチルを16.4g、スチレンを16.4g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを28.6g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加えて、アクリルポリマー溶液(a1−5)を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは29,000であった。
デンドリマー型多官能アクリレート(大阪有機化学工業(株)製「SIRIUS−501(商品名)」、以下「SIRIUS−501」)は固形分濃度50wt%、GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwが20,000の製品である。「SIRIUS−501」を100g計量し、PGMEAを25g添加攪拌した。このようにして固形分濃度が40wt%のアクリルポリマー溶液(a1−6)として使用した。
500mlの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを23.8g、フェニルトリメトキシシランを19.8g、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸13.1g、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを43.4g、PGMEAを100g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水27.9gにリン酸0.20gを溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間撹拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間撹拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計60g留出した。得られたポリシロキサンのPGMEA溶液に、ポリシロキサン濃度が40重量%となるようにPGMEAを加えてポリシロキサン溶液(a1’−1)を得た。得られたポリマーの重量平均分子量MwをGPCにより測定したところ、5500(ポリスチレン換算)であった。
(a2−1)カルド系樹脂溶液調整例
エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するカルド系樹脂(A2)PGMEA溶液である新日鐵住金化学(株)製「V−259ME(商品名)」は固形分濃度45.6wt%、GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwが3,500の製品である。「V−259ME」を100g計量し、PGMEAを14.0g添加攪拌した。このようにして固形分濃度が40wt%のカルド系樹脂溶液(a2−1)を得た。
エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を含有するカルド系樹脂(A2)PGMEA溶液である(株)ADEKA社製「WR−301(商品名)」は固形分濃度45wt%、GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwが5,500の製品である。「WR−301」を100g計量し、PGMEAを12.5g添加攪拌した。このようにして固形分濃度が40wt%のカルド系樹脂溶液(a2−2)を得た。
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)(BASF社製「“イルガキュア(登録商標)”OXE02(商品名)」、以下「OXE−02」という)。
トリアリルイソシアヌレート(日本化成(株)製「TAIC(商品名)」、以下「TAIC」という。)
[多官能エポキシ化合物(D)]
1,3,5−トリス(4,5−エポキシペンチル)イソシアヌル酸(日産化学工業(株)製「“TEPIC(商標登録)”−VL(商品名)」、以下「TEPIC−VL」)
9,9−ビス[4−(2−グリシジロキシエトキシ)フェニル]フルオレン(大阪ガスケミカル(株)製「オグソールEG−200(商品名)」、以下「EG−200」という)
9,9−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)フルオレン(大阪ガスケミカル(株)製「オグソールPG−100(商品名)」、以下「PG−100」という)。
2,2,6,6,−テトラメチル−4−ピペリジンメタクリレート((株)ADEKA製「アデカスタブ LA−87(商品名)」、以下「LA−87」という)。
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製「“カヤラッド(登録商標)”DPHA(商品名)」、以下「DPHA」という)。
トリアクリルイソシアヌレート(共栄社(株)製「M−315(商品名)」、以下「M−315」という。)
[シランカップリング剤]
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製「KBM−403(商品名)」、以下「KBM−403」という)。
3−ウレイドプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製「KBM−585(商品名)」、以下「KBM−585」という)。
3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業(株)製「KBE−585(商品名)」、以下「KBE−585」という)。
t−ブチルカテコール(東京化成工業(株)製、以下「TBC」という)。
PGMEA(クラレトレーディング(株)製「PGM−AC(商品名)」)
DAA(三菱化学(株)製「DAA」)。
シリコーン系界面活性剤(ビックケミー・ジャパン(株)製「BYK−333(商品名)」、以下「BYK−333」という)。
下記の感光性銀インク材料を用いて、導電層との積層加工性、及び高温高湿時のマイグレーション性について評価を行った。感光性銀インク材料の製造方法について、下記に示す。
感光性樹脂組成物を、基板上にスピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて任意の回転数でスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。プリベーク膜をパラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA−501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介して露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD−2000(商品名)」)を用いて、0.045wt%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。
銀インク材料(α)を、基板上にスピンコーターを用いて任意の回転数でスピンコートした後、ホットプレートを用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。プリベーク膜をパラレルライトマスクアライナーを用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介して露光した。この後、自動現像装置を用いて、0.045wt%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。
感光性樹脂組成物、及び銀インク材料(α)を用いて、図1及び図2のような積層基板を作製した。基材1は、ソーダガラス基板(NSGソーダガラス;日本板硝子(株)製)もしくは、表面にSiO2をスパッタリングしたガラス基板であり、導電パターン層2及び4は銀インク材料(α)による導電パターン層であり、絶縁層3及び5は感光性樹脂組成物による絶縁層である。導電パターン2及び4はそれぞれ、両末端に抵抗値測定用の端子を有する30μm×長さ4cmの導電パターン5本ずつであり、絶縁層3及び5は導電パターン2及び4の端子部を遮光して露光し形成した硬化膜である。なお、導電パターン層2及び4、絶縁層3及び5の各層はそれぞれオーブンを用いてポストベークを施した。
無アルカリガラス基板(OA−10;日本電気硝子株式会社製)を用い、感光性樹脂組成物のパターン加工性評価を行った。なお、膜厚をプリベーク後2.5μmとし、露光時は感度測定用のグレースケールマスクを用いた。
現像後、30μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量(以下、これを最適露光量という)を感度とし、最適露光量における現像後の最小パターン寸法を解像度とした。
感光性樹脂組成物の硬化膜上に、銀インク材料(α)を用いて体積抵抗率評価用導電パターンを作製した。なお、膜厚はプリベーク後0.6μmとし、長方形の透光パターン(10mm×15mm)を有するフォトマスクを介し露光した。
上記<積層基板の作製>において、表面にSiO2をスパッタリングしたガラス基板上で絶縁層3までを形成した積層基板を用い、積層基板の光透過率及び表面粗さ(Ra)を測定した。
作製した積層基板を用い、マイグレーション性を評価した。測定には絶縁劣化特性評価システム“ETAC SIR13”(楠本化成(株)製)を用いた。導電パターン2及び4の端子部分にそれぞれ電極を取り付け、85℃85%RH条件に設定された高温高湿槽内にサンプルを入れる。槽内環境が安定してから5分間経過後、導電パターン2及び4の電極間に電圧を印加し、絶縁抵抗の経時変化を測定した。なお、導電パターン2を正極、導電パターン4を負極として、10Vの電圧を印加し、500時間の抵抗値を5分間隔で測定した。測定した抵抗値が10の5乗以下に達したとき絶縁不良のため短絡と判断して印圧を停止し、それまでの試験時間を短絡時間とした。マイグレーション性の程度として、短絡時間が100時間以上であることが好ましく、300時間以上であることがより好ましい。
5:剥離面積が0%
4:剥離面積が1〜4%
3:剥離面積が5〜14%
2:剥離面積が15〜34%
1:剥離面積が35%〜64%
0:剥離面積が65%〜100%。
黄色灯下にて、光重合開始剤(B)としてOXE−02:0.25g、ヒンダードアミン系光安定剤(E)としてLA−87:0.50g、重合禁止剤として10wt%PGMEA溶液としたTBC:0.50gを、溶剤としてPGMEA:14.19g、DAA:30.00gに溶解させ、界面活性剤として10wt%PGMEA溶液としたBYK−333:0.30g(濃度300ppmに相当)を加え、撹拌した。そこへ、多官能エポキシ化合物(D)として50wt%PGMEA溶液としたTEPIC−VL:6.49g、20wt%PGMEA溶液としたEG−200:12.49g、多官能モノマーとしてDPHA:6.19g、アクリルポリマー(A1)40wt%溶液(a1−1):9.36g、カルド系樹脂(A2)40wt%溶液(a2−1):18.73g、及びシランカップリング剤(F)としてKBM−403:1.00gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、感光性樹脂組成物を得た。得られた感光性樹脂組成物について、(1)パターン加工性、(2)銀インク材料(α)の積層加工性、(3)硬化膜特性、(4)耐湿熱性を評価した。組成と結果を表1、2に記載した。
実施例1と同様の方法で、表1、2記載の組成の感光性樹脂組成物を得て、それぞれの感光性樹脂組成物について実施例1と同様の評価をした。評価結果を、表4、5に示す。
黄色灯下にて、光重合開始剤(B)としてPBG−305:0.25g、ヒンダードアミン系光安定剤(E)としてLA−87:0.50g、重合禁止剤として10wt%PGMEA溶液としたTBC:0.50gを、溶剤としてPGMEA:2.24g、DAA:30.00gに溶解させ、界面活性剤として10wt%PGMEA溶液としたBYK−333:0.30g(濃度300ppmに相当)を加え、撹拌した。そこへ、多官能アリル化合物(C)としてTAIC:4.25g、多官能エポキシ化合物(D)として10wt%PGMEA溶液としたPG−100:24.50g、多官能モノマーとしてEA−0250P:1.25g、M−315:2.75g、アクリルポリマー(A1)40wt%溶液(a1−5):3.12g、カルド系樹脂(A2)40wt%溶液(a2−1):29.34g、及びシランカップリング剤(F)としてKBM−403:1.00gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、感光性樹脂組成物を得た。得られた感光性樹脂組成物について、(1)パターン加工性、(2)銀インク材料(α)の積層加工性、(3)硬化膜特性、(4)耐湿熱性を評価した。組成と結果を表3、6に記載した。
実施例19と同様の方法で、表3記載の組成の感光性樹脂組成物を得て、それぞれの感光性樹脂組成物について実施例19と同様の評価をした。評価結果を、表6に示す。
2:導電パターン
3:絶縁層
4:導電パターン
5:絶縁層
Claims (22)
- 側鎖に重合性基を有するアクリルポリマー(A1)、重合性基及びアルカリ可溶性基を有するカルド系樹脂(A2)、及び光重合開始剤(B)を含有し、アクリルポリマー(A1)とカルド系樹脂(A2)の含有量が重量比で1:10〜10:1であり、さらに、多官能アリル化合物(C)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 側鎖に重合性基を有するアクリルポリマー(A1)、重合性基及びアルカリ可溶性基を有するカルド系樹脂(A2)、及び光重合開始剤(B)を含有し、アクリルポリマー(A1)とカルド系樹脂(A2)の含有量が重量比で1:10〜10:1であり、さらに、多官能エポキシ化合物(D)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 側鎖に重合性基を有するアクリルポリマー(A1)、重合性基及びアルカリ可溶性基を有するカルド系樹脂(A2)、及び光重合開始剤(B)を含有し、アクリルポリマー(A1)とカルド系樹脂(A2)の含有量が重量比で1:10〜10:1であり、さらに、ヒンダードアミン系光安定剤(E)を含有し、前記ヒンダードアミン系光安定剤(E)が不飽和二重結合を有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 前記アクリルポリマー(A1)が脂環式骨格を側鎖に有する請求項1〜3のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
- 前記脂環式骨格が多環構造を有する請求項4記載の感光性樹脂組成物。
- 前記アクリルポリマー(A1)の重量平均分子量Mw(A1)および前記カルド系樹脂(A2)の重量平均分子量Mw(A2)が、下記式を満たす請求項1〜5のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
0.14≦Mw(A2)/Mw(A1)≦1.00 - 請求項1〜6のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
- 導電層と請求項7記載の硬化膜を有する積層体。
- 複数の導電層間に請求項7記載の硬化膜を有する請求項8記載の積層体。
- 前記導電層の少なくとも1つが銀を含有する請求項8または9記載の積層体。
- 前記導電層に含有される銀の一次粒子径が10〜200nmである請求項10記載の積層体。
- 前記導電層中に、少なくともアルカリ可溶性基を有する有機成分を5〜35重量%含有する請求項8〜11のいずれか一項記載の積層体。
- さらに、多官能アリル化合物(C)を含有する請求項2または3記載の感光性樹脂組成物。
- 前記多官能アリル化合物(C)がイソシアヌレート骨格を有する請求項1または13記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、多官能エポキシ化合物(D)を含有する請求項1または3記載の感光性樹脂組成物。
- 多官能エポキシ化合物(D)がイソシアヌレート骨格を有する多官能エポキシ化合物(d1)及び/または芳香環を4つ以上有しかつ芳香環との結合が3つ以上ある4級炭素を有する多官能エポキシ化合物(d2)である請求項2または15記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、ヒンダードアミン系光安定剤(E)を含有する請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ヒンダードアミン系光安定剤(E)が不飽和二重結合を有する請求項17記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、シランカップリング剤(F)を含有する請求項1〜6または請求項13〜18のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
- 前記シランカップリング剤(F)が窒素を含有する請求項19記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項8〜12のいずれか一項記載の積層体を有するタッチパネル用部材。
- 少なくとも、請求項1〜6または請求項13〜20のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物を塗布する工程と、塗布膜を200〜250℃で加熱する工程を含む硬化膜の製造方法。
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