JP6824304B2 - 粒子状物質の測定を行うための分析装置 - Google Patents
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- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 title claims description 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 238000003921 particle size analysis Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
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- G01N15/0625—Optical scan of the deposits
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N2015/1493—Particle size
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4704—Angular selective
- G01N2021/4711—Multiangle measurement
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Description
異なる波長を持つ3本の発射光線を送出するための3つの光源と、
前記3本の発射光線を共通の光路に統合するための装置と、
粒子状物質を含有させたガスを内部に導入可能であり、該内部で発射光が測定対象ガスに当たって粒子状物質の表面で散乱される測定体積であって、散乱角を定義する基点となる中心点が該内部に定められており、前方散乱方向の光軸が散乱角の0度を規定する測定体積と、
非散乱光を捕らえる、0度の位置にある吸光装置と、
できるだけ0度に近い角度(寸法に応じた最小の可能な角度であり、典型的には6度)で吸光装置に隣接して配置された、前方向の散乱光を捕らえる第1の検出器、
7度と40度の間の第2の散乱角内に配置された第2の検出器、
41度と70度の間の第3の散乱角内に配置された第3の検出器、
71度と115度の間の第4の散乱角内に配置された第4の検出器、
116度と145度の間の第5の散乱角内に配置された第5の検出器、及び、
146度と180度の間の第6の散乱角内に配置された第6の検出器であって、各々の角度内で散乱光を捕らえる、一群の検出器と、
散乱光が各検出器により波長選択的に捕らえられるように各光源を制御する制御及び評価ユニットと、
検出された散乱光の強度を記憶するための記憶装置と
を備え、前記制御及び評価ユニットが、前記散乱光の強度から粒子状物質の粒径分布(PSD)及び粒子状物質の質量分級(PM)を測定できるように構成されている。
例えば燃焼過程などで生じる、より小さい粒子の検出可能性をより高めるために、3つの異なる波長(例えば、紫外領域、可視領域及び近赤外領域の波長)が用いられている。
直線偏光された光を用いることにより、測定された散乱光の強度からの粒径分布の計算をより良く行うことができる。
既知の粒径分布を持つ基準粒子を用いて検出器信号の絶対的な校正を行うことができる。
多数の検出器を前方向、横方向及び後ろ方向に用いることにより、散乱信号パターンをより良く捕らえることができるため、燃焼過程で生じる、より小さい粒子を捕らえることができる。
第1の散乱角が0度と6度の間にあり、
第2の散乱角が23度と33度の間、特に約28度にあり、
第3の散乱角が56度と66度の間、特に約61度にあり、
第4の散乱角が91度と101度の間、特に約96度にあり、
第5の散乱角が125度と135度の間、特に約128度にあり、
第6の散乱角が145度と165度の間、特に約155度にある
という場合に最善の結果が得られることが分かった。
第2の検出器42が7度と40度の間の第2の散乱角α2、好ましくは23度と33度の間で、特に約28度に配置されている。
第3の検出器44が41度と70度の間の第3の散乱角α3、好ましくは56度と66度の間で、特に約61度に配置されている。
第4の検出器46が71度と115度の間の第4の散乱角α4、好ましくは91度と101度の間で、特に約96度に配置されている。
第5の検出器48が116度と145度の間の第5の散乱角α5、好ましくは125度と135度の間で、特に約128度に配置されている。
第6の検出器50が146度と180度の間の第6の散乱角α6、好ましくは145度と165度の間で、特に約155度に配置されている。
Claims (13)
- 異なる波長を持つ3本の発射光線(S1、S2、S3)を送出するための3つの光源(L1、L2、L3)と、
前記3本の発射光線(S1、S2、S3)を共通の光路(24)に統合するための装置(22)と、
粒子状物質を含有させたガスを内部に導入可能であり、該内部で発射光(S1、S2、S3)が測定対象ガスに当たって粒子状物質の表面で散乱される測定体積であって、散乱角(α)を定義する基点となる中心点(29)が該内部に定められており、前方散乱方向の光軸が散乱角の0度を規定する測定体積(25)と、
非散乱光を捕らえる、0度の位置にある吸光装置と、
吸光装置(30)に隣接して配置された、前方向の散乱光を捕らえる第1の検出器(40)、
7度と40度の間の第2の散乱角内に配置された第2の検出器(42)、
41度と70度の間の第3の散乱角内に配置された第3の検出器(44)、
71度と115度の間の第4の散乱角内に配置された第4の検出器(46)、
116度と145度の間の第5の散乱角内に配置された第5の検出器(48)、及び、
146度と180度の間の第6の散乱角内に配置された第6の検出器(50)であって、各々の角度内で散乱光を捕らえる、一群の検出器と、
散乱光が各検出器(40、42、44、46、48、50)により波長選択的に捕らえられるように各光源(L1、L2、L3)を制御する制御及び評価ユニット(60)と、
検出された散乱光の強度を記憶するための記憶装置(60)と
を備え、前記制御及び評価ユニット(60)が、前記散乱光の強度から粒子状物質の粒径分布及び粒子状物質の質量分級を測定できるように構成されている
ことを特徴とする、粒子状物質の測定を行うための光学的な分析装置(10)。 - 第1の検出器(40)が捕らえる前方向の散乱光の散乱角である第1の散乱角が0度と6度の間にあり、
第2の散乱角が23度と33度の間にあり、
第3の散乱角が56度と66度の間にあり、
第4の散乱角が91度と101度の間にあり、
第5の散乱角が125度と135度の間にあり、
第6の散乱角が145度と165度の間にある
ことを特徴とする請求項1に記載の分析装置。 - 第7の検出器が166度と180度の間の第7の散乱角に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の分析装置。
- 第1の検出器(40)が捕らえる前方向の散乱光の散乱角である第1の散乱角が0度と6度の間にあり、
第2の散乱角が28度にあり、
第3の散乱角が61度にあり、
第4の散乱角が96度にあり、
第5の散乱角が128度にあり、
第6の散乱角が155度にある
ことを特徴とする請求項1に記載の分析装置。 - 第7の検出器が166度と180度の間の第7の散乱角に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の分析装置。
- 第7の検出器が170度の第7の散乱角に配置されていることを特徴とする請求項1、2又は4に記載の分析装置。
- 前記発射光が直線偏光されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の分析装置。
- 前記第1の検出器がCMOSラインセンサとして構成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の分析装置。
- 各検出器に受光光学系が割り当てられ、該受光光学系が±1度の散乱角の許容範囲からの散乱光を捕らえて該検出器へと集光することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の分析装置。
- 光線を統合するための前記装置が固定式の鏡で実現されていること、又は、該装置が揺動自在の放物面鏡を備えており、該鏡その揺動の角度位置に応じて前記3つの光源のうち任意の1つの発射光を同一の光路上に導くことができることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の分析装置。
- 前記光源の波長が紫外領域、可視領域及び近赤外領域にあることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の分析装置。
- 前記発射光線が広がりを持ち、前記測定体積の領域内で4mmの直径を有していることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の分析装置。
- 増幅された検出器信号は既知のサイズ分布と既知の光学特性を持つ試験粒子を用いて物理的な単位に校正されることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18154509.6 | 2018-01-31 | ||
EP18154509.6A EP3521810B1 (de) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | Analysegerät zur bestimmung von feinstaub |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019148585A JP2019148585A (ja) | 2019-09-05 |
JP6824304B2 true JP6824304B2 (ja) | 2021-02-03 |
Family
ID=61132215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019010216A Active JP6824304B2 (ja) | 2018-01-31 | 2019-01-24 | 粒子状物質の測定を行うための分析装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10585029B2 (ja) |
EP (1) | EP3521810B1 (ja) |
JP (1) | JP6824304B2 (ja) |
KR (1) | KR102155809B1 (ja) |
CN (1) | CN110095477B (ja) |
ES (1) | ES2778148T3 (ja) |
PL (1) | PL3521810T3 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN103983544B (zh) * | 2014-05-28 | 2015-12-30 | 南京大学 | 多通道气溶胶散射吸收测量仪 |
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KR101857950B1 (ko) * | 2016-06-21 | 2018-05-16 | 한국표준과학연구원 | 고정확 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치 |
-
2018
- 2018-01-31 EP EP18154509.6A patent/EP3521810B1/de active Active
- 2018-01-31 ES ES18154509T patent/ES2778148T3/es active Active
- 2018-01-31 PL PL18154509T patent/PL3521810T3/pl unknown
- 2018-12-20 US US16/227,692 patent/US10585029B2/en active Active
- 2018-12-28 CN CN201811628168.1A patent/CN110095477B/zh active Active
-
2019
- 2019-01-10 KR KR1020190003306A patent/KR102155809B1/ko active IP Right Grant
- 2019-01-24 JP JP2019010216A patent/JP6824304B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL3521810T3 (pl) | 2020-05-18 |
CN110095477B (zh) | 2021-09-21 |
US10585029B2 (en) | 2020-03-10 |
CN110095477A (zh) | 2019-08-06 |
KR102155809B1 (ko) | 2020-09-14 |
ES2778148T3 (es) | 2020-08-07 |
EP3521810B1 (de) | 2019-11-27 |
EP3521810A1 (de) | 2019-08-07 |
KR20190093121A (ko) | 2019-08-08 |
US20190234862A1 (en) | 2019-08-01 |
JP2019148585A (ja) | 2019-09-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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