JP6820948B2 - はんだ噴流検査装置及びはんだ噴流検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、溶融はんだの噴流状態を検査するためのはんだ噴流検査装置及びはんだ噴流検査方法に関する。

国際公開第２０１３／０３８７２５号（特許文献１）は、溶融はんだの噴流状態を検査するための検査用治具を開示している。特許文献１に開示された検査用治具は、支持フレームと、支持フレームに保持されかつ透光性を有する検査用プレートとを備えている。支持フレームは、支持フレームの表面と裏面とに連通する複数の開口部を有している。複数の開口部に浸入する溶融はんだの高さを検出することによって、溶融はんだの噴流状態が検査される。

国際公開第２０１３／０３８７２５号

しかしながら、特許文献１に記載の検査用治具における複数の開口部は、溶融はんだに面する支持フレームの裏面から支持フレームの表面に向かうにつれて次第に狭くなる形状を有している。このような形状を有する複数の開口部は、複数の開口部に浸入した溶融はんだの液面に形成されるはんだ酸化膜が破れることを妨げる。はんだ酸化膜は、複数の開口部に浸入した溶融はんだの高さが変化することを妨げる。また、はんだ酸化膜が突然破れると、支持フレームと溶融はんだとの接触状態が突然変化する。そのため、特許文献１に記載の検査用治具では、溶融はんだの噴流状態を正確に検査することが困難である。

特許文献１に記載された溶融はんだの噴流状態の検査方法においてフラックスを用いると、溶融はんだの液面にはんだ酸化膜が形成されることが防がれ得る。しかし、特許文献１に記載の検査用治具における複数の開口部の内壁の上にフラックスの残渣が付着する。フラックスの残渣は、支持フレームと溶融はんだとの接触状態を変化させる。そのため、特許文献１に記載された溶融はんだの噴流状態の検査方法においてフラックスを用いても、溶融はんだの噴流状態を正確に検査することは困難である。

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、フラックスを用いることなく、溶融はんだの噴流状態を正確に検査することができるはんだ噴流検査装置及びはんだ噴流検査方法を提供することである。

本発明のはんだ噴流検査装置は、第１の主面と、第１の主面とは反対側の第２の主面と、第１の主面と第２の主面との間を貫通する貫通孔とを有する板部材を備える。板部材は、第２の主面が溶融はんだに面するように配置可能に構成されている。貫通孔は、第２の主面から第１の主面に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔は、第２の主面に対して傾斜する傾斜面を有する。

本発明のはんだ噴流検査方法は、ノズルから噴流する溶融はんだを板部材の貫通孔に浸入させることを備える。板部材は、第１の主面と、第１の主面とは反対側の第２の主面とを有する。第２の主面は、ノズルに面している。貫通孔は、第１の主面と第２の主面との間を貫通している。貫通孔は、第２の主面から第１の主面に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔は、第２の主面に対して傾斜する傾斜面を有する。本発明のはんだ噴流検査方法は、貫通孔への溶融はんだの浸入高さを測定することをさらに備える。

本発明のはんだ噴流検査装置及び本発明のはんだ噴流検査方法では、貫通孔内への溶融はんだの浸入量が増加すると、貫通孔内の溶融はんだの液面は、貫通孔によって規定される形状で拡がる。そのため、フラックスを用いなくても、貫通孔内の溶融はんだの液面に、はんだ酸化膜が形成されることが抑制され得る。また、溶融はんだの噴流状態が正確に検査され得る。

実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の、図１に示される断面線ＩＩ−ＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の概略断面図である。 実施の形態１に係る噴流はんだ付け装置の概略断面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す概略平面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す、図５に示される断面線ＶＩ−ＶＩにおける概略断面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す概略平面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す、図７に示される断面線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す概略平面図である。 実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置の使用状態を示す、図９に示される断面線Ｘ−Ｘにおける概略断面図である。 実施の形態１の変形例に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態１の変形例に係るはんだ噴流検査装置の、図１１に示される断面線ＸＩＩ−ＸＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態２に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態２に係るはんだ噴流検査装置の、図１３に示される断面線ＸＩＶ−ＸＩＶにおける概略断面図である。 実施の形態２の第１変形例に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態２の第１変形例に係るはんだ噴流検査装置の、図１５に示される断面線ＸＶＩ−ＸＶＩにおける概略断面図である。 実施の形態２の第２変形例に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態２の第２変形例に係るはんだ噴流検査装置の、図１７に示される断面線ＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態３に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態３に係るはんだ噴流検査装置の、図１９に示される断面線ＸＸ−ＸＸにおける概略断面図である。 実施の形態４に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態４に係るはんだ噴流検査装置の、図２１に示される断面線ＸＸＩＩ−ＸＸＩＩにおける概略断面図である。 実施の形態５に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態５に係るはんだ噴流検査装置の、図２３に示される断面線ＸＸＩＶ−ＸＸＩＶにおける概略断面図である。 実施の形態６に係るはんだ噴流検査装置の概略平面図である。 実施の形態６に係るはんだ噴流検査装置の、図２５に示される断面線ＸＸＶＩ−ＸＸＶＩにおける概略断面図である。 実施の形態７に係る噴流はんだ付け装置の概略断面図である。 実施の形態７に係るはんだ噴流検査方法のフローチャートを示す図である。

以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。

実施の形態１．
図１から図１２を参照して、実施の形態１に係るはんだ噴流検査装置１を説明する。はんだ噴流検査装置１は、板部材１０を主に備える。はんだ噴流検査装置１は、コンベア２７に保持される被保持部材２０をさらに備えてもよい。

板部材１０は、第１の主面１１と、第１の主面１１とは反対側の第２の主面１２と、第１の主面１１と第２の主面１２との間を貫通する貫通孔１４とを有する。板部材１０は、第１の主面１１と第２の主面１２とを接続する側面１３をさらに有してもよい。図１及び図２に示されるはんだ噴流検査装置１では、板部材１０は１つの貫通孔１４を有しているが、図１１及び図１２に示される本実施の形態の変形例に係るはんだ噴流検査装置１ａのように、板部材１０は複数の貫通孔１４を有してもよい。

貫通孔１４は、第１の主面１１上における第１端部１６と、第２の主面１２上における第２端部１７とを有する。本実施の形態では、第１の主面１１の平面視または第２の主面１２の平面視において、貫通孔１４は、円の形状を有している。貫通孔１４の内壁は、円錐の表面の一部の形状を有している。貫通孔１４は、すり鉢の形状を有してもよい。第１の主面１１の平面視または第２の主面１２の平面視において、貫通孔１４は、例えば、楕円または四角形を含む多角形の形状を有してもよい。

貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて次第に大きくなる直径を有してもよい。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、鋭角である。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、５°以上６０°以下であってもよい。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、１０°以上４５°未満であってもよい。

図４に示されるように、板部材１０は、噴流はんだ付け装置７によって加熱されるとともに、溶融はんだ５０に浸漬される。そのため、板部材１０は、溶融はんだ５０と反応し難く、溶融はんだ５０に濡れ難く、溶融はんだ５０に溶解せず、かつ、耐熱性を有する材料で構成されている。板部材１０は、例えば、ステンレス、チタン、合成樹脂または炭素繊維強化炭素複合材料などで構成されてもよい。

板部材１０は、第２の主面１２が溶融はんだ５０に面するように配置可能に構成されている。被保持部材２０は、板部材１０に取り付けられている。被保持部材２０は、第２の主面１２が溶融はんだ５０に面するように、コンベア２７（図２及び図３を参照）に保持される。板部材１０は、コンベア２７により、搬送方向９に搬送される。被保持部材２０は、板部材１０に対して着脱可能に取り付けられてもよい。特定的には、被保持部材２０は、ねじのような固定部材２５を用いて、板部材１０の第１の主面１１上に着脱可能に取り付けられてもよい。被保持部材２０は、第１の主面１１に沿って延在する第１部分２１と、第１部分２１に交差して延在する第２部分２２と、第２部分２２に交差しかつ板部材１０とは反対側に延在する第３部分２３とを含んでもよい。第１部分２１は、板部材１０の第１の主面１１上に取り付けられてもよい。第２部分２２は、板部材１０の側面１３に接してもよい。第３部分２３は、コンベア２７に保持されてもよい。

図２及び図３を参照して、被保持部材２０は、第２の主面１２をコンベア２７に対して互いに異なる複数の高さに配置し得るように構成されてもよい。一例では、第２部分２２の長さが異なる複数の被保持部材２０のうちのいずれか１つが、板部材１０に取り付けられてもよい。別の例では、第２部分２２は、第２部分２２の長さが変化し得るように構成されてもよい。こうして、溶融はんだ５０に対する板部材１０の位置は調整され得る。

被保持部材２０は、板部材１０と同じ材料で構成されてもよいし、異なる材料で構成されてもよい。被保持部材２０は、例えば、ステンレス、チタン、合成樹脂または炭素繊維強化炭素複合材料などで構成されてもよい。

図４を参照して、本実施の形態の噴流はんだ付け装置７を説明する。噴流はんだ付け装置７は、フラックス塗布部３０と、予熱部３５と、噴流はんだ付け部４０とを主に備える。

フラックス塗布部３０は、プリント基板５１の下面５３にフラックス３２を塗布する。フラックス塗布部３０は、スプレー３１を含んでもよい。プリント基板５１は、上面５２と、下面５３と、上面５２と下面５３とに連通する孔５４とを有する。電子部品５５は、プリント基板５１の上面５２に載置されている。電子部品５５はリード５６を有し、リード５６がプリント基板５１の孔５４に挿入されてもよい。コンベア２７（図２及び図３を参照）を用いてフラックス塗布部３０に搬送されてくるプリント基板５１の下面５３に、スプレー３１を用いてフラックス３２が塗布されてもよい。

予熱部３５は、噴流はんだ付け部４０におけるはんだ付けの前に、フラックス３２が塗布されたプリント基板５１を加熱する。予熱部３５は、プリント基板５１及び電子部品５５の温度をはんだ付けに適した温度にまで上昇させて、はんだ付けの際に電子部品５５に加わる熱衝撃を緩和する。フラックス３２に含まれる溶剤は、予熱部３５によって加えられる熱によって除去されてもよい。予熱部３５は、例えば、シースヒーター、赤外線パネルヒーターまたはホットエアーを吹き出し得るように構成されている送風機であってもよい。

噴流はんだ付け部４０は、溶融はんだ５０をプリント基板５１と電子部品５５のリード５６とに接触させることにより、電子部品５５をプリント基板５１にはんだ付けするために用いられる。噴流はんだ付け部４０は、はんだ槽４１と、一次ノズル４２と、二次ノズル４４と、第１ポンプ４７と、第２ポンプ４８と、ヒータ４９とを主に含む。本実施の形態では、噴流はんだ付け部４０は２つのノズル（一次ノズル４２、二次ノズル４４）を含んでいるが、噴流はんだ付け部４０は１つのノズルを含んでもよい。

はんだ槽４１は、溶融はんだ５０を溜める。はんだ槽４１は、例えば、ＳＵＳ３１６、鋳鉄、チタンまたは窒化処理を施したＳＵＳ３１６などで構成されてもよい。ヒータ４９は、溶融はんだ５０を加熱して、はんだを溶融された状態に維持する。ヒータ４９は、はんだ槽４１の下部に、配置されてもよい。

一次ノズル４２は、第１噴出口４３を有する。第１ポンプ４７は、溶融はんだ５０を一次ノズル４２に圧送して、一次ノズル４２の第１噴出口４３から溶融はんだ５０を噴出させる。第１ポンプ４７は、一次ノズル４２内に配置される第１インペラ４７ａと、第１インペラ４７ａを回転させる第１モータ４７ｂとを含んでもよい。第１モータ４７ｂにより第１インペラ４７ａを回転させることによって、溶融はんだ５０は一次ノズル４２から噴出する。一次ノズル４２の第１噴出口４３からは、乱れた流れを有する溶融はんだ５０が噴出する。乱れた流れを有する溶融はんだ５０がプリント基板５１が接触することにより、溶融はんだ５０がプリント基板５１及び電子部品５５の隅々まで浸入して、電子部品５５はプリント基板５１に確実に接合され得る。

二次ノズル４４は、第２噴出口４５を有する。二次ノズル４４は、第２噴出口４５から延在するガイド部４６をさらに含んでもよい。ガイド部４６は、噴出口から噴出した溶融はんだ５０をプリント基板５１の搬送方向９に沿ってガイドして、溶融はんだ５０が直ちにはんだ槽４１に落下することを防ぎ、溶融はんだ５０の流れを穏やかにする。ガイド部４６は、プリント基板５１が搬送方向９に沿って搬送される間に溶融はんだ５０がプリント基板５１に接触する時間及び面積を増加させることができる。

第２ポンプ４８は、溶融はんだ５０を二次ノズル４４に圧送して、二次ノズル４４の第２噴出口４５から溶融はんだ５０を噴出させる。第２ポンプ４８は、二次ノズル４４内に配置される第２インペラ４８ａと、第２インペラ４８ａを回転させる第２モータ４８ｂとを含んでもよい。第２モータ４８ｂにより第２インペラ４８ａを回転させることによって、溶融はんだ５０は二次ノズル４４から噴出する。二次ノズル４４の第２噴出口４５からは、穏やかな流れを有する溶融はんだ５０が噴出する。一次ノズル４２の第１噴出口４３から噴出する溶融はんだ５０は乱れた流れを有するため、一次ノズル４２の第１噴出口４３から噴出する溶融はんだ５０だけではんだ付けを行うと、はんだブリッジ等のはんだ不良が発生しやすい。二次ノズル４４の第２噴出口４５から噴出する溶融はんだ５０は穏やかな流れを有し、そのため、このはんだ不良を防止することができる。

本実施の形態の噴流はんだ付け装置７を用いたはんだ付け方法を説明する。
電子部品５５が搭載されたプリント基板５１は、コンベア２７（図２及び図３を参照）によってフラックス塗布部３０に搬送される。フラックス塗布部３０に搬送されたプリント基板５１に、フラックス３２が塗布される。それから、フラックス３２が塗布されたプリント基板５１は、予熱部３５に搬送される。予熱部３５は、フラックス３２が塗布されたプリント基板５１を加熱して、プリント基板５１及び電子部品５５の温度をはんだ付けに適した温度にまで上昇させる。それから、プリント基板５１は、噴流はんだ付け部４０に搬送される。噴流はんだ付け部４０では、プリント基板５１は、一次ノズル４２の第１噴出口４３から噴出する、乱れた流れを有する溶融はんだ５０に接触する。それから、プリント基板５１は、二次ノズル４４の第２噴出口４５から噴出する、穏やかな流れを有する溶融はんだ５０に接触する。こうして、電子部品５５はプリント基板５１にはんだ付けされて、プリント基板５１と電子部品５５とを含む電子回路装置５７が製造される。

図４から図１０を参照して、本実施の形態のはんだ噴流検査装置１を用いるはんだ噴流検査方法を説明する。

はんだ噴流検査装置１は、電子部品５５が搭載されたプリント基板５１に先立って、電子部品５５が搭載されたプリント基板５１と同じ搬送経路９ｐに沿って、コンベア２７（図２及び図３を参照）によって搬送される。具体的には、はんだ噴流検査装置１は、最初に、コンベア２７によってフラックス塗布部３０に搬送される。しかし、フラックス塗布部３０はオフ状態にあり、フラックス塗布部３０は、はんだ噴流検査装置１にフラックス３２を塗布しない。それから、はんだ噴流検査装置１は、予熱部３５に搬送される。予熱部３５は、はんだ噴流検査装置１を加熱して、プリント基板５１及び電子部品５５のはんだ付けに適した温度と同様の温度まではんだ噴流検査装置１の温度を上昇させる。それから、はんだ噴流検査装置１は、噴流はんだ付け部４０に搬送される。噴流はんだ付け部４０では、はんだ噴流検査装置１は、まず、一次ノズル４２の第１噴出口４３から噴出する、乱れた流れを有する溶融はんだ５０に接触する。それから、はんだ噴流検査装置１は、二次ノズル４４の第２噴出口４５から噴出する、穏やかな流れを有する溶融はんだ５０に接触する。

はんだ噴流検査装置１が噴流はんだ付け部４０に搬送されると、貫通孔１４の第２端部１７から、貫通孔１４内に、第１噴出口４３または第２噴出口４５から噴出する溶融はんだ５０が浸入する。貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は上昇する。傾斜面１５上における溶融はんだ５０の液面の位置を測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。例えば、傾斜面１５上における溶融はんだ５０の液面の位置を測定することによって、溶融はんだ５０の噴流強さ（溶融はんだ５０の噴流圧力）、溶融はんだ５０の噴流高さまたは溶融はんだ５０に浸漬されるプリント基板５１の高さが検査され得る。

貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。そのため、溶融はんだ５０は、水平方向に拡がりながら、第２端部１７から第１端部１６に向けて、貫通孔１４内に浸入する。図５及び図６は、溶融はんだ５０が第１の噴流高さを有する場合の、はんだ噴流検査装置１の使用状態を示す。図７及び図８は、溶融はんだ５０が第２の噴流高さを有する場合の、はんだ噴流検査装置１の使用状態を示す。第２の噴流高さは、第１の噴流高さよりも高い。図９及び図１０は、溶融はんだ５０が第３の噴流高さを有する場合の、はんだ噴流検査装置１の使用状態を示す。第３の噴流高さは、第２の噴流高さよりも高い。

例えば、溶融はんだ５０の噴流強さ（溶融はんだ５０の噴流圧力）が大きくなると、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量は増加する。貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量が増加すると、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は拡がる。目視またはカメラなどにより、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

特定的には、第１の主面１１の平面視において、第１端部１６及び第２端部１７は、円の形状を有している。貫通孔１４の内壁は、円錐の表面の一部の形状を有している。貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量が増加すると、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の直径が大きくなる。第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の直径を測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。目視またはカメラなどによって、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の直径は測定され得る。

貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。第２端部１７において、傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは鋭角である（第２端部１７は鋭角を有する）ため、溶融はんだ５０が貫通孔１４に浸入する際、溶融はんだ５０の表面上のはんだ酸化膜は、第２端部１７によって破られる。さらに、溶融はんだ５０は、水平方向に拡がりながら、第２端部１７から第１端部１６に向けて、貫通孔１４内に浸入する。溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了するまでは、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は拡がり続ける。仮に、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面にはんだ酸化膜が形成され始めても、はんだ酸化膜は直ちに破壊される。そのため、フラックス３２を用いなくても、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面に、はんだ酸化膜が形成されることが抑制され得る。

第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、６０°以下であってもよい。そのため、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量の変化は、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりの変化によって容易に確認され得る。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、４５°未満であってもよい。貫通孔１４内での溶融はんだ５０の水平方向の拡がりの変化量は、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入高さの変化量よりも大きくなる。そのため、フラックス３２を用いなくても、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面にはんだ酸化膜が形成されることがさらに抑制され得るとともに、溶融はんだ５０の噴流状態が高い精度で検査され得る。

第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、５°以上であってもよい。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、１０°以上であってもよい。そのため、板部材１０の厚さが過度に薄くなることが防止されて、板部材１０が割れることが防止され得る。さらに、５°以上の角度θで傾斜する傾斜面１５は、貫通孔１４内の溶融はんだ５０に、貫通孔１４の中心に向けた力を作用させる。貫通孔１４内に浸入する溶融はんだ５０は、貫通孔１４によって規定される形状で拡がる。第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了すると、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量はもはや増加しない。そのため、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の表面にはんだ酸化膜が形成されることがある。しかし、このはんだ酸化膜は、溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了した後に形成されるため、はんだ噴流検査装置１を用いた溶融はんだ５０の噴流状態の検査の正確性に影響を及ぼさない。

はんだ噴流検査装置１が噴流はんだ付け部４０を通り過ぎると、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は下降する。貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面が下降する際、傾斜面１５上にはんだ酸化膜が残留することがある。傾斜面１５上に残留するはんだ酸化膜は除去される。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置１，１ａの効果を説明する。
本実施の形態のはんだ噴流検査装置１，１ａは、第１の主面１１と、第１の主面１１とは反対側の第２の主面１２と、第１の主面１１と第２の主面１２との間を貫通する貫通孔１４とを有する板部材１０を備える。板部材１０は、第２の主面１２が溶融はんだ５０に面するように配置可能に構成されている。貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、５°以上６０°以下である。

貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは鋭角であるため、溶融はんだ５０が貫通孔１４に浸入する際、溶融はんだ５０の表面上のはんだ酸化膜は、板部材１０（第２端部１７）によって破られる。

さらに、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量が増加すると、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は拡がり続ける。仮に、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面にはんだ酸化膜が形成され始めても、はんだ酸化膜は直ちに破壊される。そのため、少なくとも溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了するまでは、フラックス３２を用いなくても、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面に、はんだ酸化膜が形成されることが抑制され得る。また、傾斜面１５は、貫通孔１４内の溶融はんだ５０に、貫通孔１４の中心に向けた力を作用させる。貫通孔１４内に浸入する溶融はんだ５０は、貫通孔１４によって規定される形状で拡がる。第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。はんだ噴流検査装置１，１ａによれば、フラックス３２を用いることなく、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置１，１ａでは、第２の主面１２に直交する断面における傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度θは、１０°以上４５°未満であってもよい。角度θが１０°以上であるため、板部材１０の厚さが過度に薄くなることが防止されて、板部材１０が割れることが防止され得る。角度θは、４５°未満であるため、貫通孔１４内での溶融はんだ５０の水平方向の拡がりの変化量は、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入高さの変化量よりも大きくなる。そのため、フラックス３２を用いなくても、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面にはんだ酸化膜が形成されることがさらに抑制され得るとともに、溶融はんだ５０の噴流状態がより高い精度で検査され得る。

本実施の形態の変形例のはんだ噴流検査装置１ａでは、板部材１０は、複数の貫通孔１４を有してもよい。第１の主面１１の平面視における複数の貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、より様々な溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。例えば、第１の主面１１の平面視における複数の貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、溶融はんだ５０の液面の傾きといった溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置１，１ａは、コンベア２７に保持される被保持部材２０をさらに備えてもよい。被保持部材２０は板部材１０に取り付けられている。そのため、はんだ噴流検査装置１は、電子部品５５が搭載されたプリント基板５１と同じ搬送経路９ｐに沿って、コンベア２７によって搬送され得る。溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ効率的に検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置１，１ａでは、被保持部材２０は、第２の主面１２をコンベア２７に対して互いに異なる複数の高さに配置し得るように構成されてもよい。複数種類の電子回路装置５７（図４を参照）を生産するために、１つの生産ラインで溶融はんだ５０を複数の異なる噴流状態で噴出させることがある。はんだ噴流検査装置１，１ａによれば、１つのはんだ噴流検査装置１，１ａを用いて溶融はんだ５０の複数の噴流状態が検査され得る。

実施の形態２．
図１３及び図１４を参照して、実施の形態２に係るはんだ噴流検査装置２を説明する。本実施の形態のはんだ噴流検査装置２は、実施の形態１のはんだ噴流検査装置１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。

はんだ噴流検査装置２では、板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に複数の目盛１８を含んでもよい。はんだ噴流検査装置２に含まれる板部材１０は、図１１及び図１２に示される実施の形態１のはんだ噴流検査装置１に含まれる板部材１０のように、複数の貫通孔１４を有してもよい。複数の目盛１８は、複数の貫通孔１４の少なくとも１つの傾斜面１５上に形成されてもよい。

複数の目盛１８は、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。そのため、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さは、複数の目盛１８を利用して容易に確認され得る。複数の目盛１８によって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ容易に検査され得る。溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了した後に、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の表面にはんだ酸化膜が形成されることがある。はんだ噴流検査装置２が噴流はんだ付け部４０（図４を参照）を通り過ぎると、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は下降して、複数の目盛１８上にはんだ酸化膜が残留することがある。複数の目盛１８上に残留するはんだ酸化膜の位置を測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が検査されてもよい。

複数の目盛１８は、第２の主面１２の法線方向（板部材１０の高さ方向）において、一定の間隔で傾斜面１５上に形成されてもよい。第１の主面１１の平面視において、複数の目盛１８は、一定の間隔で傾斜面１５上に形成されてもよい。複数の目盛１８は、特に限定されないが、傾斜面１５上の溝で構成されてもよいし、傾斜面１５上に設けられた耐熱材料で構成されてもよい。

はんだ噴流検査装置２では、第１の主面１１の平面視において、複数の目盛１８は、各々、第２の主面１２上における貫通孔１４の第２端部１７を囲んでもよい。特定的には、複数の目盛１８は、同心円状に形成されてもよい。同心円状に形成された複数の目盛１８の各々の中心は、貫通孔１４の中心軸上に位置してもよい。

図１５及び図１６を参照して、本実施の形態の第１変形例のはんだ噴流検査装置２ａでは、傾斜面１５は、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７から貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６に向かう第１の方向に沿って延在する帯状部分１９を含んでもよい。複数の目盛１８ａは、帯状部分１９にのみ配列されてもよい。複数の目盛１８ａは、各々、第１の方向に直交する第２の方向に延在してもよい。複数の目盛１８ａは、各々、直線状に延在してもよい。

図１７及び図１８を参照して、本実施の形態の第２変形例のはんだ噴流検査装置２ｂでは、第１の主面１１の平面視において、複数の目盛１８ｂは、第２の主面１２上における貫通孔１４の第２端部１７から第１の主面１１上における貫通孔１４の第１端部１６に向けてらせん状に配置されてもよい。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置２，２ａ，２ｂは、実施の形態１のはんだ噴流検査装置１と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置２，２ａ，２ｂでは、板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に複数の目盛１８，１８ａ，１８ｂを含んでもよい。複数の目盛１８，１８ａ，１８ｂは、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。そのため、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さは、複数の目盛１８，１８ａ，１８ｂを利用して容易に確認され得る。はんだ噴流検査装置２，２ａ，２ｂによれば、複数の目盛１８，１８ａ，１８ｂを用いて、溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ容易に検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置２では、第１の主面１１の平面視において、複数の目盛１８は、各々、第２の主面１２上における貫通孔１４の第２端部１７を囲んでもよい。そのため、傾斜面１５のどの部分を測定しても、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さが複数の目盛１８を利用して容易に確認され得る。はんだ噴流検査装置２によれば、複数の目盛１８を用いて、溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ容易に検査され得る。

本実施の形態の第１変形例のはんだ噴流検査装置２ａでは、傾斜面１５は、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７から貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６に向かう第１の方向に沿って延在する帯状部分１９を含んでもよい。複数の目盛１８ａは、帯状部分１９にのみ配列されてもよい。複数の目盛１８ａは、各々、第１の方向に直交する第２の方向に延在してもよい。そのため、傾斜面１５に含まれる帯状部分１９のみを確認するだけで、溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。はんだ噴流検査装置２ａによれば、溶融はんだ５０の噴流状態が容易に検査され得る。

本実施の形態の第２変形例のはんだ噴流検査装置２ｂでは、第１の主面１１の平面視において、複数の目盛１８ｂは、第２の主面１２上における貫通孔１４の第２端部１７から第１の主面１１上における貫通孔１４の第１端部１６に向けてらせん状に配置されてもよい。複数の目盛１８ｂは互いに離れて傾斜面１５上に配置されるため、溶融はんだ５０の噴流状態が複数の目盛１８ｂから容易に読み取られ得る。はんだ噴流検査装置２ｂによれば、溶融はんだ５０の噴流状態が容易に検査され得る。

実施の形態３．
図１９及び図２０を参照して、実施の形態３に係るはんだ噴流検査装置３を説明する。本実施の形態のはんだ噴流検査装置３は、実施の形態２のはんだ噴流検査装置２と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。

はんだ噴流検査装置３では、複数の目盛１８ｃは、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７から貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６に向けて延在している。特定的には、複数の目盛１８ｃは、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７から貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６に向けて放射状に延在してもよい。複数の目盛１８ｃは、各々、第１端部１６に最も近い第３端部１９ｃを有する。第３端部１９ｃは、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。特定的には、第３端部１９ｃは、第１の主面の平面視における貫通孔１４の周方向において、複数の目盛１８ｃの第３端部１９ｃの第２の主面１２からの高さｈが次第に高くなるように、複数の目盛１８ｃの第３端部１９ｃは配置されている。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置３は、実施の形態２のはんだ噴流検査装置２と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置３では、板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に複数の目盛１８ｃを含んでもよい。複数の目盛１８ｃは、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７から貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６に向けて延在している。複数の目盛１８ｃは、各々、第１端部１６に最も近い第３端部１９ｃを有する。第３端部１９ｃは、互いに異なる第２の主面１２からの高さを有する。はんだ噴流検査装置３によれば、複数の目盛１８ｃを用いて、溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ容易に検査され得る。

実施の形態４．
図２１及び図２２を参照して、実施の形態４に係るはんだ噴流検査装置４を説明する。本実施の形態のはんだ噴流検査装置４は、実施の形態２のはんだ噴流検査装置２と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。

はんだ噴流検査装置４では、複数の目盛１８ｄは、貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６から貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７に向けて延在している。特定的には、複数の目盛１８ｄは、貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６から貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７に向けて放射状に延在してもよい。複数の目盛１８ｄは、各々、第２端部１７に最も近い第４端部１９ｄを有する。第４端部１９ｄは、互いに異なる第２の主面１２からの高さを有する。特定的には、第４端部１９ｄは、第１の主面の平面視における貫通孔１４の周方向において、複数の目盛１８ｄの第４端部１９ｄの第２の主面１２からの高さｈが次第に高くなるように、複数の目盛１８ｄの第４端部１９ｄは配置されている。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置４は、実施の形態２のはんだ噴流検査装置２と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置４では、板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に複数の目盛１８ｄを含んでもよい。複数の目盛１８ｄは、貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６から貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７に向けて延在している。複数の目盛１８ｄは、各々、第２端部１７に最も近い第４端部１９ｄを有する。第４端部１９ｄは、互いに異なる第２の主面１２からの高さを有する。はんだ噴流検査装置４によれば、複数の目盛１８ｄを用いて、溶融はんだ５０の噴流状態が正確にかつ容易に検査され得る。

実施の形態５．
図２３及び図２４を参照して、実施の形態５に係るはんだ噴流検査装置５を説明する。本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、実施の形態１のはんだ噴流検査装置１と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。

はんだ噴流検査装置５は、板部材１０に取り付けられる検出素子６０をさらに備えてもよい。板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に設けられた複数の第１の導体６３と、第２の主面１２上に設けられた第２の導体６５とを含んでもよい。

複数の第１の導体６３は、貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６から、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７に向けて延在している。複数の第１の導体６３は、それぞれ、第２端部１７に最も近い第５端部６４を有する。第５端部６４は、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。

図４に示されるノズル（一次ノズル４２、二次ノズル４４）から噴流する溶融はんだ５０は、最初に、第２の主面１２上に設けられた第２の導体６５に接触する。それから、溶融はんだ５０が貫通孔１４内に浸入すると、溶融はんだ５０が第１の導体６３に接触する。溶融はんだ５０の噴流状態が変化して、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さが変化すると、溶融はんだ５０に接触する第１の導体６３の数が変化する。

複数の第１の導体６３は、第１の配線７０によって、検出素子６０に接続されている。第１の配線７０は、板部材１０の第１の主面１１上に設けられてもよい。第１の導体６３及び第１の配線７０は、板部材１０及び被保持部材２０から電気的に絶縁されている。第２の導体６５は、第２の配線（図示せず）によって、検出素子６０に接続されている。第２の配線は、板部材１０の中に設けられてもよい。第２の導体６５及び第２の配線は、板部材１０、被保持部材２０及び第１の配線７０から電気的に絶縁されている。第１の導体６３及び第２の導体６５は、アルミニウム、チタンまたはステンレスのような、溶融はんだ５０に濡れにくい材料で構成されてもよい。第１の導体６３及び第２の導体６５は、それぞれ、例えば、耐熱性を有するセラミック系接着剤を用いて、傾斜面１５及び第２の主面１２上に固定されてもよい。

検出素子６０は、板部材１０の第１の主面１１上に配置されてもよい。検出素子６０は、複数の第１の導体６３と第２の導体６５とに接続されている。検出素子６０は、溶融はんだ５０を介した第１の導体６３と第２の導体６５との間の電気的な導通を検出して、信号を出力する。溶融はんだ５０の噴流状態が変化すると、第２の導体６５は溶融はんだ５０に接触し続けるものの、溶融はんだ５０に接触する第１の導体６３の数が変化する。そのため、検出素子６０は、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数に対応する信号を出力する。溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数を、検出素子６０を用いて検出することにより、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、検出素子６０に接続されるメモリ６７をさらに備えてもよい。特定的には、メモリ６７は、板部材１０の第１の主面１１上に配置されてもよい。メモリ６７には、検出素子６０が出力する信号が記憶される。溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数が変化すると、検出素子６０が出力する信号も変化する。そのため、メモリ６７には、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の噴流状態が格納される。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、検出素子６０に接続される報知部６８をさらに備えてもよい。特定的には、報知部６８は、板部材１０の第１の主面１１上に配置されてもよい。報知部６８は、検出素子６０が出力する信号を受信して、検査者に溶融はんだ５０の噴流状態を知らせる。

報知部６８は、特に限定されないが、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）またはブザーであってもよい。報知部６８は、ＬＥＤが発光することによって、溶融はんだ５０の噴流状態を検査者に知らせてもよい。具体的には、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数に応じて、ＬＥＤの態様（例えば、発光色または点滅の周期等）を変化させてもよい。報知部６８は、ブザーが音を出すことによって、溶融はんだ５０の噴流状態を検査者に知らせてもよい。具体的には、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数に応じて、ブザーの音の態様（例えば、音の大きさ、音のトーン、音のリズム等）を変化させてもよい。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、実施の形態１のはんだ噴流検査装置１と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、板部材１０に取り付けられる検出素子６０をさらに備えてもよい。板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に設けられた複数の第１の導体６３と、第２の主面１２上に設けられた第２の導体６５とを含んでもよい。検出素子６０は、複数の第１の導体６３と第２の導体６５とに接続されている。複数の第１の導体６３は、貫通孔１４の第１の主面１１上における第１端部１６から、貫通孔１４の第２の主面１２上における第２端部１７に向けて延在している。複数の第１の導体６３は、それぞれ、第２端部１７に最も近い第５端部６４を有する。第５端部６４は、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。

検出素子６０は、溶融はんだ５０を介した第１の導体６３と第２の導体６５との間の電気的な導通を検出する。貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さが変化すると、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数が変化する。溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数を、検出素子６０を用いて検出することにより、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。はんだ噴流検査装置５によれば、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、検出素子６０に接続されるメモリ６７をさらに備えてもよい。溶融はんだ５０の噴流状態は、メモリ６７に格納されてもよい。はんだ噴流検査装置５によれば、検査工程の終了後に、検査者は、メモリ６７に格納されている溶融はんだ５０の噴流状態を確認することができる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置５は、検出素子６０に接続される報知部６８をさらに備えてもよい。報知部６８は、溶融はんだ５０の噴流状態を報知する。はんだ噴流検査装置５によれば、検査者は、報知部６８によって溶融はんだ５０の噴流状態を直ちに知ることができる。

実施の形態６．
図２５及び図２６を参照して、実施の形態６に係るはんだ噴流検査装置６を説明する。本実施の形態のはんだ噴流検査装置６は、実施の形態５のはんだ噴流検査装置５と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。

はんだ噴流検査装置６では、傾斜面１５上における複数の第１の導体６３は、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。溶融はんだ５０の噴流状態が変化して、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の高さが変化すると、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数が変化する。

はんだ噴流検査装置６では、第１の主面１１の平面視において、複数の第１の導体６３は、各々、第２の主面１２上における貫通孔１４の第２端部１７を囲んでもよい。特定的には、複数の第１の導体６３は、同心円状に形成されてもよい。同心円状に形成された複数の第１の導体６３の各々の中心は、貫通孔１４の中心軸上に位置してもよい。

板部材１０は多層配線基板であってもよい。複数の第１の導体６３及び第１の配線７０は、板部材１０及び被保持部材２０から電気的に絶縁されている。第２の導体６５は、第２の配線７２及び第３の配線７３によって、検出素子６０に接続されている。第２の配線７２は、板部材１０の中に設けられてもよい。第３の配線７３は、特に限定されないが、導電ワイヤであってもよい。第２の導体６５、第２の配線７２及び第３の配線７３は、板部材１０、被保持部材２０及び第１の配線７０から電気的に絶縁されている。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置６は、実施の形態５のはんだ噴流検査装置５と同様の効果を奏するが、以下の点で主に異なる。

本実施の形態のはんだ噴流検査装置６は、板部材１０に取り付けられる検出素子６０をさらに備えてもよい。板部材１０は、貫通孔１４の傾斜面１５上に設けられた複数の第１の導体６３と、第２の主面１２上に設けられた第２の導体６５とを含んでもよい。検出素子６０は、複数の第１の導体６３と第２の導体６５とに接続されている。傾斜面１５上における複数の第１の導体６３は、互いに異なる第２の主面１２からの高さｈを有する。

検出素子６０は、溶融はんだ５０を介した第１の導体６３と第２の導体６５との間の電気的な導通を検出する。溶融はんだ５０の噴流状態が変化すると、溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数が変化する。溶融はんだ５０を介して第２の導体６５に電気的に導通する第１の導体６３の数を、検出素子６０を用いて検出することにより、貫通孔１４内に浸入した溶融はんだ５０の噴流状態が検査され得る。はんだ噴流検査装置６によれば、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

実施の形態７．
図２７を参照して、実施の形態７に係る噴流はんだ付け装置７ｇを説明する。本実施の形態７に係る噴流はんだ付け装置７ｇは、実施の形態１の噴流はんだ付け装置７と同様の構成を有するが、以下の点で主に異なる。

噴流はんだ付け装置７ｇは、カメラ８０と、制御部８２とをさらに備える。噴流はんだ付け装置７ｇは、入力部８３と、表示部８４とをさらに備えてもよい。

カメラ８０は、ノズル（一次ノズル４２及び二次ノズル４４の少なくとも１つ）に面して、配置されている。カメラ８０は、貫通孔１４内に浸入する溶融はんだ５０の液面の拡がりを撮像し得るように構成されてもよい。カメラ８０は、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さを撮像し得るように構成されてもよい。カメラ８０は、ＣＣＤイメージセンサもしくはＣＭＯＳイメージセンサのような画像センサを含んでもよい。カメラ８０は、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の画像を、制御部８２に出力し得るように構成されてもよい。カメラ８０は、サーモグラフィカメラであってもよい。カメラ８０は、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の温度分布を示す画像を、制御部８２に出力し得るように構成されてもよい。

制御部８２は、第１ポンプ４７と、第２ポンプ４８と、カメラ８０とに接続されている。特定的には、制御部８２は、第１モータ４７ｂと、第２モータ４８ｂと、カメラ８０とに接続されている。作業者は、入力部８３を用いて、溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tを制御部８２に入力する。入力部８３は、特に限定されないが、キーボードであってもよいし、表示部８４に設けられたタッチパネルであってもよい。制御部８２は、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の画像から、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さを測定し得るように構成されている。例えば、制御部８２は、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の画像から、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さを算出し得るように構成されてもよい。

制御部８２は、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さと溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tとを比較し得るように構成されてもよい。制御部８２は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さに基づいて、ノズル（一次ノズル４２及び二次ノズル４４の少なくとも１つ）に溶融はんだ５０を供給するポンプ（第１ポンプ４７及び第２ポンプ４８の少なくとも１つ）を制御し得るように構成されてもよい。具体的には、溶融はんだ５０の浸入高さが溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tに一致していない場合（図２８のＮＧ）に、制御部８２は、ポンプ（第１ポンプ４７、第２ポンプ４８）を制御し得るように構成されてもよい。特定的には、制御部８２は、モータ（第１モータ４７ｂ、第２モータ４８ｂ）を制御することにより、インペラ（第１インペラ４７ａ、第２インペラ４８ａ）の回転数を調整し得るように構成されてもよい。貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さが溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tに一致するまで、制御部８２は、ポンプ（第１ポンプ４７、第２ポンプ４８）を制御し得るように構成されてもよい。

制御部８２は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さを表示部８４に出力し得るように構成されている。表示部８４は、例えば、液晶表示装置（ＬＣＤ）のような表示装置であってもよい。表示部８４は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さを表示してもよい。表示部８４は、溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tをさらに表示してもよい。

図２８を参照して、実施の形態７に係るはんだ噴流検査方法を説明する。
本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tを設定すること（Ｓ１１）を備えてもよい。具体的には、入力部８３を用いて、溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tは制御部８２に入力される。表示部８４は、溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tを表示してもよい。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）から噴流する溶融はんだ５０を板部材１０の貫通孔１４に浸入させること（Ｓ１２）を備える。具体的には、板部材１０の貫通孔１４がノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に面するように、コンベア２７（図２及び図３を参照）により板部材１０を搬送する。板部材１０は、第１の主面１１と、第１の主面１１とは反対側の第２の主面１２とを有する。第２の主面１２は、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に面している。貫通孔１４は、第１の主面１１と第２の主面１２との間を貫通している。貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さを測定すること（Ｓ１３）を備える。特定的には、溶融はんだ５０の浸入高さを測定することは、貫通孔１４へ浸入した溶融はんだ５０を第１の主面１１側から撮像することを含んでもよい。具体的には、カメラ８０を用いて、第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の画像が取得され、制御部８２により、この画像から、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さが算出されてもよい。制御部８２は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さを表示部８４に出力してもよく、表示部８４は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さを表示してもよい。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、溶融はんだ５０の浸入高さと目標噴流高さＨ_tとを比較すること（Ｓ１４）を備えてもよい。具体的には、制御部８２は、溶融はんだ５０の浸入高さと溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tとを比較する。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さに基づいて、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に溶融はんだ５０を供給するポンプ（第１ポンプ４７または第２ポンプ４８）を制御すること（Ｓ１５）を備えてもよい。具体的には、溶融はんだ５０の浸入高さと目標噴流高さＨ_tとを比較した（Ｓ１４）結果、溶融はんだ５０の浸入高さが溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tに一致していない場合（図２８のＮＧ）に、制御部８２は、ポンプ（第１ポンプ４７または第２ポンプ４８）を制御する。特定的には、制御部８２は、モータ（第１モータ４７ｂまたは第２モータ４８ｂ）を制御して、インペラ（第１インペラ４７ａまたは第２インペラ４８ａ）の回転数を調整する。溶融はんだ５０の浸入高さが溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tに一致するまで、制御部８２は、ポンプ（第１ポンプ４７または第２ポンプ４８）を制御する。

溶融はんだ５０の浸入高さと目標噴流高さＨ_tとを比較した（Ｓ１４）結果、溶融はんだ５０の浸入高さが溶融はんだ５０の目標噴流高さＨ_tに一致すると、電子部品５５はプリント基板５１にはんだ付けされる（Ｓ１６）。具体的には、コンベア２７（図２及び図３を参照）により、はんだ噴流検査装置１をノズル（一次ノズル４２及び二次ノズル４４）に対向しない位置まで搬送する。電子部品５５が搭載されたプリント基板５１を、コンベア２７（図２及び図３を参照）により搬送して、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に対向させる。プリント基板５１は、一次ノズル４２の第１噴出口４３から噴出する、乱れた流れを有する溶融はんだ５０に接触する。それから、プリント基板５１は、二次ノズル４４の第２噴出口４５から噴出する、穏やかな流れを有する溶融はんだ５０に接触する。電子部品５５はプリント基板５１にはんだ付けされる。こうして、プリント基板５１と電子部品５５とを含む電子回路装置５７が製造される。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法では、実施の形態１のはんだ噴流検査装置１が用いられているが、はんだ噴流検査装置１ａ，２，２ａ，２ｂ，３，４，５，６が用いられてもよい。板部材１０は、溶融はんだ５０の色とは区別しやすい色（例えば、黒色または緑色）を有してもよい。このような色を有する板部材１０を用いることにより、はんだ噴流を正確かつ再現性高く検査し得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法の効果を説明する。
本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）から噴流する溶融はんだ５０を板部材１０の貫通孔１４に浸入させること（Ｓ１２）を備える。板部材１０は、第１の主面１１と、第１の主面１１とは反対側の第２の主面１２とを有する。第２の主面１２は、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に面している。貫通孔１４は、第１の主面１１と第２の主面１２との間を貫通している。貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、貫通孔１４への溶融はんだ５０の浸入高さを測定すること（Ｓ１３）をさらに備える。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法では、貫通孔１４は、第２の主面１２から第１の主面１１に向かうにつれて連続的に拡大している。貫通孔１４は、第２の主面１２に対して傾斜する傾斜面１５を有する。傾斜面１５と第２の主面１２との間の角度は鋭角であるため、溶融はんだ５０が貫通孔１４に浸入する際、溶融はんだ５０の表面上のはんだ酸化膜は、板部材１０（第２端部１７）によって破られる。

さらに、貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入量が増加すると、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面は拡がる。仮に、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面にはんだ酸化膜が形成され始めても、はんだ酸化膜は直ちに破壊される。そのため、少なくとも溶融はんだ５０の噴流状態に応じた貫通孔１４内への溶融はんだ５０の浸入が完了するまでは、フラックス３２を用いなくても、貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面に、はんだ酸化膜が形成されることが抑制され得る。また、傾斜面１５は、貫通孔１４内の溶融はんだ５０に、貫通孔１４の中心に向けた力を作用させる。貫通孔１４内に浸入する溶融はんだ５０は、貫通孔１４によって規定される形状で拡がる。第１の主面１１の平面視における貫通孔１４内の溶融はんだ５０の液面の拡がりを測定することによって、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。本実施の形態のはんだ噴流検査方法によれば、フラックス３２を用いることなく、溶融はんだ５０の噴流状態が正確に検査され得る。

本実施の形態のはんだ噴流検査方法は、測定された溶融はんだ５０の浸入高さに基づいて、ノズル（一次ノズル４２または二次ノズル４４）に溶融はんだ５０を供給するポンプ（第１ポンプ４７または第２ポンプ４８）を制御すること（Ｓ１５）をさらに備えてもよい。そのため、常に安定した溶融はんだ５０の噴流状態を得ることができる。高い品質を有する電子回路装置５７が安定的に製造され得る。

今回開示された実施の形態１−７及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態１−７及びそれらの変形例の少なくとも２つを組み合わせてもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。

１，１ａ，２，２ａ，２ｂ，３，４，５，６ はんだ噴流検査装置、７，７ｇ 噴流はんだ付け装置、９ 搬送方向、９ｐ 搬送経路、１０ 板部材、１１ 第１の主面、１２ 第２の主面、１３ 側面、１４ 貫通孔、１５ 傾斜面、１６ 第１端部、１７ 第２端部、１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ 目盛、１９ 帯状部分、１９ｃ 第３端部、１９ｄ 第４端部、２０ 被保持部材、２１ 第１部分、２２ 第２部分、２３ 第３部分、２５ 固定部材、２７ コンベア、３０ フラックス塗布部、３１ スプレー、３２ フラックス、３５ 予熱部、４０ 噴流はんだ付け部、４１ はんだ槽、４２ 一次ノズル、４３ 第１噴出口、４４ 二次ノズル、４５ 第２噴出口、４６ ガイド部、４７ 第１ポンプ、４７ａ 第１インペラ、４７ｂ 第１モータ、４８ 第２ポンプ、４８ａ 第２インペラ、４８ｂ 第２モータ、４９ ヒータ、５１ プリント基板、５２ 上面、５３ 下面、５４ 孔、５５ 電子部品、５６ リード、５７ 電子回路装置、６０ 検出素子、６３ 第１の導体、６４ 第５端部、６５ 第２の導体、６７ メモリ、６８ 報知部、７０ 第１の配線、７２ 第２の配線、７３ 第３の配線、８０ カメラ、８２ 制御部、８３ 入力部、８４ 表示部。

Claims (17)

1. 溶融はんだの噴流状態を検査するためのはんだ噴流検査装置であって、
   第１の主面と、前記第１の主面とは反対側の第２の主面と、前記第１の主面と前記第２の主面との間を貫通する貫通孔とを有する板部材を備え、
   前記板部材は、前記第２の主面が前記溶融はんだに面するように配置可能に構成され、
   前記貫通孔は、前記第２の主面から前記第１の主面に向かうにつれて連続的に拡大しており、
   前記貫通孔は、前記第２の主面に対して傾斜する傾斜面を有しており、
   前記第１の主面の平面視における前記傾斜面上の前記溶融はんだの液面の拡がりの変化を測定することによって、前記溶融はんだの前記噴流状態が検査され得る、はんだ噴流検査装置。
2. 前記第２の主面に直交する断面における前記傾斜面と前記第２の主面との間の角度は、１０°以上４５°未満である、請求項１に記載のはんだ噴流検査装置。
3. 前記板部材は、前記貫通孔の前記傾斜面上に複数の目盛を含み、
   前記複数の目盛は、互いに異なる前記第２の主面からの高さを有する、請求項１または請求項２に記載のはんだ噴流検査装置。
4. 前記第１の主面の前記平面視において、前記複数の目盛は、各々、前記第２の主面上における前記貫通孔の第２端部を囲んでいる、請求項３に記載のはんだ噴流検査装置。
5. 前記傾斜面は、前記貫通孔の前記第２の主面上における第２端部から前記貫通孔の前記第１の主面上における第１端部に向かう第１の方向に沿って延在する帯状部分を含み、
   前記複数の目盛は、前記帯状部分にのみ配列されており、
   前記複数の目盛は、各々、前記第１の方向に直交する第２の方向に延在している、請求項３に記載のはんだ噴流検査装置。
6. 前記第１の主面の前記平面視において、前記複数の目盛は、前記第２の主面上における前記貫通孔の第２端部から前記第１の主面上における前記貫通孔の第１端部に向けてらせん状に配置されている、請求項３に記載のはんだ噴流検査装置。
7. 前記板部材は、前記貫通孔の前記傾斜面上に複数の目盛を含み、
   前記複数の目盛は、前記貫通孔の前記第２の主面上における第２端部から前記貫通孔の前記第１の主面上における第１端部に向けて延在しており、
   前記複数の目盛は、各々、前記第１端部に最も近い第３端部を有し、
   前記第３端部は、互いに異なる前記第２の主面からの高さを有する、請求項１または請求項２に記載のはんだ噴流検査装置。
8. 前記板部材は、前記貫通孔の前記傾斜面上に複数の目盛を含み、
   前記複数の目盛は、前記貫通孔の前記第１の主面上における第１端部から前記貫通孔の前記第２の主面上における第２端部に向けて延在しており、
   前記複数の目盛は、各々、前記第２端部に最も近い第４端部を有し、
   前記第４端部は、互いに異なる前記第２の主面からの高さを有する、請求項１または請求項２に記載のはんだ噴流検査装置。
9. 前記板部材に取り付けられる検出素子をさらに備え、
   前記板部材は、前記貫通孔の前記傾斜面上に設けられた複数の第１の導体と、前記第２の主面上に設けられた第２の導体とを含み、
   前記検出素子は、前記複数の第１の導体と前記第２の導体とに接続されており、
   前記複数の第１の導体は、前記貫通孔の前記第１の主面上における第１端部から、前記貫通孔の前記第２の主面上における第２端部に向けて延在しており、
   前記複数の第１の導体は、それぞれ、前記第２端部に最も近い第５端部を有し、
   前記第５端部は、互いに異なる前記第２の主面からの高さを有する、請求項１または請求項２に記載のはんだ噴流検査装置。
10. 前記板部材に取り付けられる検出素子をさらに備え、
    前記板部材は、前記貫通孔の前記傾斜面上に設けられた複数の第１の導体と、前記第２の主面上に設けられた第２の導体とを含み、
    前記検出素子は、前記複数の第１の導体と前記第２の導体とに接続されており、
    前記傾斜面上における前記複数の第１の導体は、互いに異なる前記第２の主面からの高さを有する、請求項１または請求項２に記載のはんだ噴流検査装置。
11. 前記検出素子に接続されるメモリをさらに備え、
    前記溶融はんだの前記噴流状態は、前記メモリに格納される、請求項９または請求項１０に記載のはんだ噴流検査装置。
12. 前記検出素子に接続される報知部をさらに備え、
    前記報知部は、前記溶融はんだの前記噴流状態を報知する、請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載のはんだ噴流検査装置。
13. コンベアに保持される被保持部材をさらに備え、
    前記被保持部材は前記板部材に取り付けられている、請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載のはんだ噴流検査装置。
14. 前記被保持部材は、前記第２の主面を前記コンベアに対して互いに異なる複数の高さに配置し得るように構成されている、請求項１３に記載のはんだ噴流検査装置。
15. ノズルから噴流する溶融はんだを板部材の貫通孔に浸入させることを備え、前記板部材は、第１の主面と、前記第１の主面とは反対側の第２の主面とを有し、前記第２の主面は前記ノズルに面しており、前記貫通孔は、前記第１の主面と前記第２の主面との間を貫通しており、前記貫通孔は、前記第２の主面から前記第１の主面に向かうにつれて連続的に拡大しており、前記貫通孔は、前記第２の主面に対して傾斜する傾斜面を有しており、さらに、
    前記貫通孔への前記溶融はんだの浸入高さを測定することを備える、はんだ噴流検査方法。
16. 測定された前記溶融はんだの前記浸入高さに基づいて、前記ノズルに前記溶融はんだを供給するポンプを制御することをさらに備える、請求項１５に記載のはんだ噴流検査方法。
17. 前記溶融はんだの前記浸入高さを測定することは、前記貫通孔へ浸入した前記溶融はんだを前記第１の主面側から撮像することを含む、請求項１５または請求項１６に記載のはんだ噴流検査方法。

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