JP6813429B2 - 基板処理装置および基板処理装置のメンテナンス方法 - Google Patents
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Description
5 処理液供給部
9 基板
11 チャンバ
31 基板保持部
60 排液部
61 共通排液管
63 洗浄液供給部
64 検出部
71 制御部
641 発光部
642 受光部
S11〜S13,S141,S151〜S158,S161 ステップ
Claims (10)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、
処理液を吐出する処理液供給部と、
前記処理液供給部からの処理液を前記チャンバの外部へと排出する排液部と、
前記排液部に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記排液部のメンテナンスの必要性の程度を示すメンテナンス必要度を前記排液部から取得する検出部と、
前記検出部により取得された前記メンテナンス必要度が第1閾値以上かつ第2閾値未満である場合、前記洗浄液供給部から前記排液部に前記洗浄液を供給させて前記排液部の洗浄を行い、前記検出部により取得された前記メンテナンス必要度が前記第2閾値以上である場合、警告信号を発する制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記制御部が前記処理液供給部に対する吐出開始指令を発令したことをトリガーとして、前記検出部による前記メンテナンス必要度の取得が行われることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記検出部からの出力が前記第1閾値以上かつ前記第2閾値未満である場合、前記吐出開始指令が前記処理液供給部へと伝達され、前記処理液供給部から前記基板に処理液が供給されて前記基板の処理が行われた後、前記洗浄液供給部から前記排液部に前記洗浄液が供給されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記洗浄液供給部から前記排液部に前記洗浄液が供給された後、前記検出部による前記メンテナンス必要度の再取得が行われ、
前記検出部により再取得された前記メンテナンス必要度が前記第1閾値以上かつ前記第2閾値未満である場合、前記制御部による制御により、前記洗浄液供給部から前記排液部に前記洗浄液が供給され、
前記検出部により再取得された前記メンテナンス必要度が前記第2閾値以上である場合、前記制御部により警告信号が発せられることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記検出部が、
前記排液部の透明または半透明の排液管に向けて光を出射する発光部と、
前記排液管を透過した前記発光部からの光を受ける受光部と、
を備え、
前記処理液供給部から吐出される処理液が有色であり、
前記第1閾値が、前記処理液による前記排液管の内面の着色により低下した光量に対応し、
前記第2閾値が、前記処理液が前記排液管内に溜まっていることにより低下した光量に対応することを特徴とする基板処理装置。 - チャンバと、前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、処理液を吐出する処理液供給部と、前記処理液供給部からの処理液を前記チャンバの外部へと排出する排液部と、を備え、前記基板を処理する基板処理装置のメンテナンス方法であって、
a)前記排液部のメンテナンスの必要性の程度を示すメンテナンス必要度を前記排液部から取得する工程と、
b)前記a)工程にて取得された前記メンテナンス必要度が第1閾値以上かつ第2閾値未満である場合、前記排液部に洗浄液を供給して前記排液部の洗浄を行い、前記a)工程にて取得された前記メンテナンス必要度が前記第2閾値以上である場合、警告信号を発する工程と、
を備えることを特徴とするメンテナンス方法。 - 請求項6に記載のメンテナンス方法であって、
前記処理液供給部に対する吐出開始指令の発令をトリガーとして、前記a)工程が行われることを特徴とするメンテナンス方法。 - 請求項7に記載のメンテナンス方法であって、
前記b)工程において、前記メンテナンス必要度が前記第1閾値以上かつ前記第2閾値未満である場合、前記吐出開始指令が前記処理液供給部へと伝達され、前記処理液供給部から前記基板に処理液が供給されて前記基板の処理が行われた後、前記排液部に前記洗浄液が供給されることを特徴とするメンテナンス方法。 - 請求項6ないし8のいずれか1つに記載のメンテナンス方法であって、
c)前記b)工程において前記排液部に前記洗浄液が供給された場合、前記b)工程よりも後に、前記メンテナンス必要度の再取得を行う工程と、
d)前記c)工程にて再取得された前記メンテナンス必要度が前記第1閾値以上かつ前記第2閾値未満である場合、前記排液部に前記洗浄液を供給し、前記c)工程にて再取得された前記メンテナンス必要度が前記第2閾値以上である場合、警告信号を発する工程と、
をさらに備えることを特徴とするメンテナンス方法。 - 請求項6ないし9のいずれか1つに記載のメンテナンス方法であって、
前記a)工程において、前記メンテナンス必要度が、前記排液部の透明または半透明の排液管を透過した光の光量に基づいて取得され、
前記処理液供給部から吐出される処理液が有色であり、
前記第1閾値が、前記処理液による前記排液管の内面の着色により低下した光量に対応し、
前記第2閾値が、前記処理液が前記排液管内に溜まっていることにより低下した光量に対応することを特徴とするメンテナンス方法。
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