JP6812790B2 - Iii族窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Description
1.半導体発光素子
図1は、本実施形態における発光素子100の構造を示す概略構成図である。発光素子100は、III 族窒化物半導体から成る半導体発光素子である。また、発光素子100は、成長基板をレーザーにより除去されている(レーザーリフトオフ法)。そのため、サファイア基板等の成長基板は、発光素子100には残っていない。そして、光取り出し面Z1は、n型半導体層の側にある。
2−1.突出部の構成
突出部190およびn型半導体層180は、光取り出し面Z1を構成する。突出部190は、n型半導体層180の上に設けられている。そして、突出部190は、n型半導体層180の表面181から突出している。突出部190は、壁部191と、平坦部192と、を有する。平坦部192は、n型半導体層180と接触している。壁部191は、n型半導体層180から突出している。壁部191は、n型半導体層180の表面に対して交差する向きに配置されている。
図2は、発光素子100の斜視図である。ただし、図2にはn型半導体層180から突出部190およびn電極N1までを抜き出して描いてある。壁部191は、n型半導体層180の上にハニカム状に配置されている。壁部191は、テーパ状の円筒形状に近い筒形状である。図1および図2に示すように、壁部191における筒形状の内径は、n型半導体層180の表面181から遠ざかるほど小さい。図2に示すように、壁部191のテーパ状の円筒形状の内部では、n型半導体層180の表面181が露出している。壁部191のテーパ状の円筒形状の外部では、平坦部192が、露出している。平坦部192は、複数の壁部191とつながっている。壁部191は、平坦部192により支持されている。
突出部190における最も厚い箇所の膜厚は、0.25nm以上100nm以下である。好ましくは、0.5nm以上60nm以下である。さらに好ましくは、1nm以上30nm以下である。また、平坦部192の膜厚は、壁部191の膜厚よりも厚いとよい。
突出部190の壁部191は、複数の貫通孔193を有している。突出部190の平坦部192は、複数の貫通孔194を有している。壁部191の複数の貫通孔193の密度は、平坦部192の複数の貫通孔194の密度よりも高い。この場合に、後述するように、各半導体層の貫通転位密度は小さい。すなわち、各半導体層の結晶性はよい。
図2および図3に示すように、本実施形態の発光素子100は、複雑な形状の光取り出し面Z1を有する。そのため、発光層170から発せられる光の一部L1は、図3に示すように、n型コンタクト層180から発光素子100の外部に出る。そして、突出部190の壁部191の第1面191aに入る。そして、突出部190の壁部191の第2面191bから再び発光素子100の外部に出る。この過程において、発光層170から発せられる光は、突出部190の第1面191aおよび第2面191bにより複雑に反射される。したがって、この発光素子100の外部量子効率は高い。また、突出部190の円筒形状がエスケープコーンのような役割を担う。そのため、突出部190は、素子外部からの戻り光も効果的に反射する。
3−1.成長基板準備工程
まず、図4に示すように、基板A10を準備する。基板A10は、半導体発光素子の製造方法に用いられる成長基板である。基板A10は凹凸形状部A11を有する。基板A10の凹凸形状部A11は、複数の凸部A11aと底面部A11bとを有する。凸部A11aは円錐形状である。凸部A11aは基板A10の主面にハニカム状に配置されている。凹凸形状部A11を形成するために基板にエッチングを施してもよいし、凹凸形状部A11を形成済みの基板A10を用意してもよい。基板A10の材質は、例えば、サファイアである。または、SiやSiC等その他の材質であってもよい。
次に、図5に示すように、基板A10の上にバッファ層B10を形成する。その際に、例えば、MOCVD法を用いるとよい。バッファ層B10は、基板A10の凹凸に比べて十分に薄い。そのため、バッファ層B10は、基板A10の凹凸に沿って形成される。このようにして、斜面部B10aと底面部B10bとを有するバッファ層B10を形成する。バッファ層B10の材質はAlNである。
そして、図6に示すように、バッファ層B10の底面部B10bと斜面部B10aとの上に分解層E1を形成する。そのために、MOCVD法により分解層E1としてInGaN層を形成する。InGaN層は、比較的低い温度で熱分解する。分解層E1は、一旦は成膜されるが、後述するエッチング工程により除去される半導体層である。つまり、分解層E1は、熱分解による分解とエッチングによる分解との少なくとも一方を受ける。
次に、図7に示すように、分解層E1の上に架橋部C10を形成する。この架橋部C10は、後に突出部190となる箇所である。架橋部C10は、脚部C10aと上面部C10bとを有する。架橋部C10を形成する際にMOCVD法を用いればよい。または、スパッタリング法により架橋部C10を形成してもよい。架橋部C10の材質は、前述したようにAlGaNである。これにより、架橋部C10は、分解層E1を覆うように形成される。また、貫通転位Q1は、架橋部C10の脚部C10aに向かって伸びる。
次に、図8に示すように、分解層E1をエッチングする。そのために、N2 ガスとNH3 ガスとの少なくとも一方と、H2 ガスとの混合ガスを供給する。H2 ガスは、分解層E1をエッチングする。そのため、H2 ガスの分圧が高いことが好ましい。ただし、H2 ガスのみを供給すると、Ga金属がドロップレットとして表出するおそれがある。そのため、H2 ガスに加えてN2 ガスとNH3 ガスとの少なくとも一方を供給することが好ましい。
次に、架橋部C10(突出部190)の上にn型半導体層180を形成する。例えば、n型コンタクト層、n側静電耐圧層、n側超格子層、の順で形成する。n型半導体層180は、架橋部C10の上面部C10bを起点として成長する。架橋部C10の脚部C10aからは半導体層はわずかに成長する。しかし、その成長の度合いは上面部C10bに比べて十分に小さい。貫通転位Q1のほとんどは、架橋部C10の脚部C10aに向かって伸びている。そのため、n型半導体層180の上には、ほとんど貫通転位は伸びない。また、n型半導体層180は、少なくとも初期には横方向成長する。そのため、上面部C10bの貫通孔C11bを好適に埋める。これにより、貫通転位密度が非常に低い半導体層が形成される。
次に、n型半導体層180の上に発光層170を形成する。
次に、発光層170の上にp型半導体層160を形成する。例えば、p側クラッド層、p型コンタクト層、の順で形成する。
次に、p型半導体層160の上に導電性反射膜150を形成する。
次に、図9に示すように、導電性反射膜150の上に第2の導電性金属層140と低融点金属層K1とをこの順序で形成する。一方、支持基板110の上に第1の導電性金属層120と低融点金属層K2とをこの順序で形成する。そして、基板A10側に形成された低融点金属層K1と、支持基板110側に形成された低融点金属層K2と、を対面させる。そして、低融点金属層K1と低融点金属層K2とを接合する。ここで、低融点金属層K1、K2は、例えば半田である。そのため、接合後には、低融点金属層K1、K2は、一体の導電性接合層130となる。
次に、基板A10を分離する。例えば、基板A10の主面にレーザーを照射する。ここで照射するレーザーは、波長が248nmのKrF高出力パルスレーザーである。また、YAGレーザー(355nm、266nm)、XeClレーザー(308nm)、ArFレーザー(155nm)、などのいずれを用いてもよい。365nmよりも波長の短いレーザーであれば、その他のレーザーを用いてもよい。
次に、n型半導体層180および突出部190の表面を洗浄する。具体的には、例えば、HCl水溶液もしくはTMAH水溶液を用いる。
続いて、支持基板110における第1の導電性金属層120の反対側の面にp電極P1を形成する。また、突出部190の上にn電極N1を形成する。
その他に、発光素子100の表面に全体的に保護膜を形成してもよい。
4−1.突出部の材質
本実施形態の突出部190はAlGaN層である。突出部190の熱分解温度は、分解層E1の熱分解温度よりも高い。突出部190はAlGaInN層であってもよい。突出部190は、Alを含有するIII 族窒化物を有するとよい。また、分解層E1の材質との兼ね合いになるが、突出部190の材質は、GaN、InGaNであってもよい。
突出部190の平坦部192におけるn型半導体層180と接触している面の面積は、基板A10の主面の面積の半分より小さいとよい。基板A10から伸びる貫通転位がn型半導体層180に伝播しにくいからである。基板A10の主面とは、基板A10における突出部190が架橋されている側の面である。
平坦部192がほとんど存在しない突出部を形成してもよい。その場合には、壁部191の端部付近から半導体層が成長する。また、この場合には戻り光を反射する効果が高い。
突出部190の平坦部192の膜厚は、突出部190の壁部191の膜厚よりも厚いとよい。この場合には、平坦部192から結晶性のよい半導体層が成長しやすい。
本実施形態では、突出部190は単一のAlGaN層である。突出部190は、複数層を有していてもよい。また、突出部190は、超格子構造であってもよい。ただし、突出部190の全体の膜厚は、厚すぎないことが好ましい。
突出部190の壁部191は、表面にファセット面を有していてもよい。ファセット面として例えば、(10−1X)面や、(11−2X)面が挙げられる。また、突出部190の平坦部192は、表面にファセット面を有していてもよい。ファセット面として例えば、(0001)面が挙げられる。これらの場合には、突出部190の形状が安定する。
突出部190にあえてクラックを生じさせることもできる。このとき突出部190は、少なくとも1箇所以上のクラックを有する。この場合には、光取り出し面Z1は、より複雑な形状を有する。そのため、発光素子の光取り出し効率はより高い。一方、クラックを発生させない場合には、半導体層の結晶性が優れている。
本実施形態の分解層E1はInGaN層である。分解層E1はGaN層であってもよい。また、分解層E1は、SiやMgをドープされていてもよい。特に、Siは、3次元的な成長モードを促進する(アンチサーファクタント効果)。そのため、分解層E1は、Siをドープされているとよい。もちろん、分解層E1の熱分解温度は低いほうが好ましい。そのため、分解層E1は、Inを含有するとよい。なお、Alを含有すると、熱分解温度は上昇する傾向がある。分解層E1としてAlを含有する層を形成する際には、分解層E1のAl組成は、突出部190のAl組成よりも小さいほうが好ましい。また、突出部190の熱分解温度よりも低ければ、TiN、SiNxのようなIII 族窒化物以外の材料を用いてもよい。ただし、分解層E1は、後に形成する半導体層の組成に近いIII 族窒化物半導体が好ましい。後に形成する半導体層への不純物の混入を防止できるからである。そのため、分解層E1はInGaNであるとよい。
本実施形態のバッファ層B10の材質は、AlNである。このAlNは、低温バッファ層と高温バッファ層とを含む。また、バッファ層B10の材質は、AlNの他に、低温GaNバッファ層、BN層、TiN層、SiNx層、またはこれらの混晶であってもよい。
本実施形態の基板A10は、複数の凸部A11aと底面部A11bとを有する。凸部A11aは、円錐形状である。しかし、凸部A11aは、円錐台形状、多角錐形状、多角錐台形状のいずれであってもよい。この場合であっても、基板A10の凹凸形状部は、底面部と底面部から突出する複数の凸部とを有する。また、基板は、凸部A11aの代わりに凹部を有してもよい。
エッチング工程では、H2 ガスとN2 ガスとの混合ガスを供給する。しかし、供給するガスをN2 ガスとしてもよい。この場合には、H2 ガスによる分解層E1のエッチングは生じない。分解層E1の熱分解のみが生じる。この場合であっても、架橋部C10の膜厚が十分に薄ければ、分解層E1を除去することができる。
本実施形態では、基板A10をレーザーリフトオフ法により半導体層から分離する。突出部190と基板A10との間の密着力は低い。そのため、基板A10を半導体層から分離することは容易である。例えば、エッチング、テープリフトオフ、超音波を用いて基板A10を半導体層から分離してもよい。また、その他の方法を用いてもよい。
また、p型半導体層160と導電性反射膜150との間に導電性透明膜を形成してもよい。この導電性透明膜は、例えば、ITO、IZO、ICO、ZnO、TiO2 、NbTiO2 、TaTiO2 である。
本実施形態の発光素子100の製造途中において、第2の空隙X2が形成される。しかし、第2の空隙X2を半導体層で埋めてしまってもよい。その場合には、n型半導体層180が、突出部190の第1面191aが囲む領域を埋める。そのために、上面部C10bの基板A10からの高さを低くするとともに、上面部C10bから横方向に半導体層を成長させて架橋部C10の脚部C10aや基板A10の凸部A11aに半導体層をまわりこませるように成長させればよい。この場合には、脚部C10aの貫通孔C11aおよび上面部C10bの貫通孔C11bは、n型半導体層180に塞がれている。
発光素子100の半導体層の積層構造は、図1に示したものと異なっていても構わない。発光素子の半導体層の積層構造は、その他のどのような構造であってもよい。
本実施形態の発光素子100は、支持基板110を有している。しかし、半導体層を厚く形成等することにより、支持基板110を省略することもできる。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
本実施形態の発光素子100は、複雑な形状の突出部190を有する。そのため、発光層170からの光が突出部190の箇所で好適に散乱する。したがって、光取り出し効率の高い発光素子100が実現されている。また、突出部190がn型半導体層180から突出しているため、半導体層が素子外部に面する面積が比較的大きい。そのため、この発光素子100の放熱性は高い。
第2の実施形態について説明する。第2の実施形態においては、円錐台形状の凸部を有する成長基板を用いる。そのため、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図11は、第2の実施形態の発光素子200の概略構成を示す図である。発光素子200は、p電極P1と、支持基板110と、第1の導電性金属層120と、導電性接合材層130と、第2の導電性金属層140と、導電性反射膜150と、p型半導体層160と、発光層170と、n型半導体層180と、突出部190と、突出部290と、n電極N1とを、有する。
本実施形態の発光素子200は、突出部190と、突出部190より小さい突出部290と、を有する。突出部190は、第1の突出部である。突出部290は、第2の突出部である。突出部290は、n型半導体層180の表面から突出している。突出部290は、壁部291と平坦部292とを有する。壁部291は、第1面291aと第2面291bとを有する。第1面291aは、発光素子200のn型半導体層180に対面する面である。第2面291bは、発光素子200の外部に対面する面である。第2面291bは、第1面291aの反対側の面である。平坦部292でつながっている壁部291同士の間隔は、n型半導体層180の表面181から遠ざかるほど広くなっている。第1面291aは、n型半導体層180の表面181から遠ざかるほど広くなる円筒の外側面である。
第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
第1の実施形態の変形例を自由に組み合わせてもよい。
本実施形態の発光素子200は、複雑な形状の突出部190および突出部290を有する。そのため、発光層170からの光が突出部190および突出部290の箇所で好適に散乱する。したがって、光取り出し効率の高い発光素子200が実現されている。また、突出部190の円筒形状がエスケープコーンのような役割を担う。そのため、突出部190は、素子外部からの戻り光も効果的に反射する。
第3の実施形態について説明する。第3の実施形態においては、基板の主面には凹凸形状が形成されていない平坦な成長基板を用いる。そのため、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図14は、第3の実施形態の発光素子300の概略構成を示す図である。発光素子300は、p電極P1と、支持基板110と、第1の導電性金属層120と、導電性接合材層130と、第2の導電性金属層140と、導電性反射膜150と、p型半導体層160と、発光層170と、n型半導体層380と、突出部390と、n電極N1とを、有する。
突出部390は、n型半導体層380の上に不規則かつ非周期的に配置されている。また、第1の突出部390の壁部391もしくは平坦部392を起点にして第2の突出部390の壁部391が形成されている。つまり、突出部390のうちの1つの壁部391の第1面391aが、突出部390のうちの別の壁部391と接触している。
第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
第1の実施形態の変形例を自由に組み合わせてもよい。
本実施形態の発光素子300は、複雑な形状の突出部390を有する。そのため、発光層170からの光が突出部390の箇所で好適に散乱する。したがって、光取り出し効率の高い発光素子300が実現されている。
第4の実施形態について説明する。第4の実施形態においては、ELO(Epitaxial Lateral Overgrowth)技術を用いる。そのため、第1の実施形態と異なる点について説明する。
図16は、第4の実施形態の発光素子400の概略構成を示す斜視図である。図16に示すように、発光素子400は、n型半導体層180の上に突出部490を有している。突出部490は、壁部491と平坦部とを有する。壁部491は、筒形状である。壁部491における筒形状の内径は、n型半導体層180の表面から遠ざかるほど大きい。
第1の実施形態と異なる点のみ説明する。
分解層を成長させる前に、図17に示すように、基板A40の平坦面A41の一部の上にマスク層M1を形成する。マスク層M1は、周期的かつ規則的であるとよい。マスク層M1の材質は、例えばSiO2 である。半導体の結晶核とならない材質であればその他の材質を用いてもよい。
次に、分解層を形成する。その際に、分解層がマスク層M1の上面の一部を覆うように分解層を成長させる。
分解層の上に架橋部C50を形成する。その際に、架橋部C50は、マスク層M1に接触している。架橋部C50がマスク層M1に接触する箇所は、マスク層M1の平坦面と端面とのどちらかもしくは両方である。この段階で、架橋部C50は、突出部490と同様の形状を有している。なお、架橋部C50とマスク層M1との間の結合は十分に弱い。
ELO技術により、より複雑な形状の突出部を形成することができる。マスク層M1のパターンを適宜選択すれば、非常に多くのバリエーションの突出部を形成することができる。また、マスク層M1とn型半導体層180との間の結合は十分に弱いため、半導体層から基板A40を容易に剥離させることができる。
第1の実施形態の変形例を自由に組み合わせてもよい。
本実施形態の発光素子400は、複雑な形状の突出部490を有する。そのため、発光層170からの光が突出部190の箇所で好適に散乱する。したがって、光取り出し効率の高い発光素子100が実現されている。
第1の実施形態の発光素子100の製造方法によりサンプルを作製した。そのため、成長基板は、円錐形状の凸部がハニカム状に配置された基板である。バッファ層は、低温AlNバッファ層である。突出部(架橋部)として、スパッタリングによりAlNを成膜した。その後、n型半導体層等を成膜した。そして、エッチングにより、n型半導体層から成長基板を剥離した。
図18は、突出部に相当する箇所を示す走査型顕微鏡写真(その1)である。図19は、突出部に相当する箇所を示す走査型顕微鏡写真(その2)である。図18および図19に示すように、突出部は、円筒に近い形状をしている。また、その円筒形状の内径は、n型半導体層の表面から遠ざかるほど小さくなっている。
110…支持基板
120…第1の導電性金属層
130…導電性接合材層
140…第2の導電性金属層
150…導電性反射膜
160…p型半導体層
170…発光層
180…n型半導体層
190、290、390、490…突出部
191、291、391、491…壁部
191a、291a…第1面
191b、291b…第2面
192、292、392…平坦部
N1…n電極
P1…p電極
E1…分解層
Claims (11)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第2半導体層の上に前記第2半導体層の表面から突出する第1の突出部を有し、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層の前記表面に対して交差する向きに配置された壁部を有し、
前記第1の突出部は、
AlX GaY InZ N(X+Y+Z=1,X>0,Y≧0,Z≧0)であり、
前記壁部は、
筒形状であり、
前記壁部における前記筒形状の内径は、
前記第2半導体層の前記表面から遠ざかるほど大きく、
前記壁部は、
前記第2半導体層に対面する第1面を有し、
前記第1面と前記第2半導体層とがなす角の角度が
10°以上85°以下であり、
前記第2半導体層は、前記第1の突出部の前記第1面が囲む領域を埋めていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第2半導体層の上に前記第2半導体層の表面から突出する第1の突出部を有し、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層の前記表面に対して交差する向きに配置された壁部を有し、
前記第1の突出部は、
AlX GaY InZ N(X+Y+Z=1,X>0,Y≧0,Z≧0)であり、
前記壁部は、
筒形状であり、
前記壁部における前記筒形状の内径は、
前記第2半導体層の前記表面から遠ざかるほど小さく、
前記壁部は、
前記第2半導体層に対面する第1面を有し、
前記第1面と前記第2半導体層とがなす角の角度が
10°以上85°以下であり、
前記第2半導体層は、前記第1の突出部の前記第1面が囲む領域を埋めていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部よりも小さい第2の突出部を有し、
前記第2の突出部は、
前記第2半導体層の前記表面から突出しているとともに、
前記第1の突出部における前記筒形状の内側に配置されていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項2または請求項3に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層に接触している平坦部を有し、
前記壁部は、
前記平坦部を介して互いにつながっていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上の発光層と、
前記発光層の上の第2導電型の第2半導体層と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第2半導体層の上に前記第2半導体層の表面から突出する第1の突出部を有し、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層の前記表面に対して交差する向きに配置された壁部を有し、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層に接触している平坦部を有し、
前記第1の突出部は、
AlX GaY InZ N(X+Y+Z=1,X>0,Y≧0,Z≧0)であり、
前記壁部は、
向かい合う2枚の板部材であり、
前記板部材同士の間隔は、
前記第2半導体層の前記表面から遠ざかるほど狭く、
前記壁部は、
前記第2半導体層に対面する第1面を有し、
前記第1面と前記第2半導体層とがなす角の角度が
10°以上85°以下であり、
前記第2半導体層は、前記第1の突出部の前記第1面が囲む領域を埋めていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項4または請求項5に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記壁部は、
第1の貫通孔を有し、
前記平坦部は、
第2の貫通孔を有し、
前記第1の貫通孔の密度は、
前記第2の貫通孔の密度よりも高いこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項6に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の貫通孔の両端は開口しており、
前記第2の貫通孔は前記第2半導体層により塞がれていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項4から請求項7までのいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部の前記平坦部の膜厚は、
前記第1の突出部の前記壁部の膜厚よりも厚いこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部は、
前記第2半導体層の上に非周期的に配置されていること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部は、
その表面にファセット面を有すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。 - 請求項1から請求項10までのいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第1の突出部は、
AlGaNまたはAlNであること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。
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