JP6809356B2 - Ｘ線画像表示装置、ｘ線画像表示方法及びｘ線画像表示プログラム - Google Patents

Description

本発明は、試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示装置、Ｘ線画像表示方法及びＸ線画像表示プログラムに関するものである。

電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ：Electron Probe Microanalyzer）などのＸ線分析装置では、試料に電子線を照射し、この照射によって試料から発生するＸ線を検出することにより、試料の元素分析を行うことができる。試料表面上の測定領域内で電子線を走査させれば、測定領域内における元素濃度分布を得ることができ、このような分析方法はマッピング分析と呼ばれている（例えば、下記特許文献１及び２参照）。

マッピング分析の一態様として、測定領域内の各画素（各測定位置）における各元素のＸ線強度が求められ、それらの元素ごとのＸ線強度分布が画像（マッピング画像）として表示される場合がある。この場合、Ｘ線強度が複数の段階に分けられ、各段階に適宜な濃淡又は色が割り当てられることにより、モノクロ諧調又は疑似カラーでＸ線強度分布が表示される。

疑似カラーによりマッピング画像を表示させる場合、Ｘ線分析装置を用いた一般的なマッピング分析では、測定の進捗とともに、各画素における元素のＸ線強度が疑似カラーで画像化されて順次表示される。このとき、Ｘ線強度を複数の段階に分けて疑似カラー化する際に用いられる閾値は、例えばＸ線強度の最大値と最小値との間で均等に割り振られるように自動的に計算される。また、各元素についてのマッピング画像は、原子番号順などのデフォルトの規則に従った順序で整列して表示される。

特許第３５０３１２４号公報 特開２０１３−１４８５４３号公報

マッピング画像を疑似カラー化する際の各段階の強度閾値は、各元素のＸ線強度分布が最も分かりやすくなるように調整されることが一般的である。通常、このような閾値を調整する作業は、測定完了後に画像を見ながら行われる。また、同じ元素について多数の測定領域でマッピング分析を行う場合には、同じ元素のマッピング画像を全て同じ強度閾値により疑似カラー化して表示させることが、それらのマッピング画像を比較する上で望ましい。このような場合には、各測定領域の測定が終了するごとに、閾値を設定する操作が行われている。

各元素についてのマッピング画像を表示させる順序についても、相関のある元素同士を並べて表示したいときなどには、元素に応じて任意に並び替えて表示させる場合がある。このような場合にも、測定終了後に、各元素についてのマッピング画像の表示順を都度設定することが一般的である。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、測定ごとに表示条件の設定作業を行う必要がなく、同じ表示条件によるマッピング画像の表示を任意のタイミングで容易に行うことができるＸ線画像表示装置、Ｘ線画像表示方法及びＸ線画像表示プログラムを提供することを目的とする。

（１）本発明に係るＸ線画像表示装置は、試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示装置であって、記憶部と、強度比較処理部と、表示処理部とを備える。前記記憶部は、各元素に対応付けて複数の閾値を予め記憶する。前記強度比較処理部は、前記記憶部に記憶されている前記複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する。前記表示処理部は、前記強度比較処理部による比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる。

このような構成によれば、各元素に対応付けて記憶部に予め記憶されている複数の閾値が、任意のタイミングで元素ごとに読み出され、当該閾値が測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較されることにより、その比較結果に基づく色又は濃淡で元素ごとのＸ線強度分布が表示される。このように、表示条件としての閾値を任意のタイミングで読み出して用いることにより、測定ごとに閾値の設定作業を行う必要がなく、同じ閾値によるＸ線強度分布の表示を任意のタイミングで容易に行うことができる。

（２）前記記憶部には、各元素の表示順が前記複数の閾値に対応付けて記憶されていてもよい。この場合、前記表示処理部は、前記記憶部に記憶されている各元素の表示順に従って、元素ごとのＸ線強度分布を表示させてもよい。

このような構成によれば、各元素に対応付けて、各元素のＸ線強度と比較される閾値だけでなく、各元素の表示順が記憶部に記憶され、その表示順に従って元素ごとのＸ線強度分布が表示される。したがって、測定ごとに表示条件としての表示順の設定作業を行う必要がなく、同じ表示順によるＸ線強度分布の表示を任意のタイミングで容易に行うことができる。

（３）前記記憶部には、複数種類の元素についての前記複数の閾値の組み合わせが複数記憶されていてもよい。この場合、前記強度比較処理部は、前記複数の組み合わせの中から選択された組み合わせにおける前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較してもよい。

このような構成によれば、複数種類の元素についての複数の閾値の組み合わせを記憶部に複数記憶させ、任意に選択した組み合わせにおける複数の閾値を用いて、元素ごとのＸ線強度分布を表示させることができる。すなわち、複数種類の表示パターンの中から任意の表示パターンを選択してＸ線強度分布を表示させることができるため、各元素のＸ線強度分布を最も分析しやすい表示パターンを選択することにより、良好にマッピング分析を行うことができる。

（４）前記Ｘ線画像表示装置は、各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する前記複数の閾値を自動的に算出する閾値算出処理部をさらに備えていてもよい。この場合、前記強度比較処理部は、デフォルト設定が選択された場合に、前記閾値算出処理部により算出された前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較してもよい。

このような構成によれば、自動的に算出される複数の閾値をデフォルト設定として、このデフォルト設定の閾値も用いて元素ごとのＸ線強度分布を表示させることができる。このように、表示パターンとしてデフォルト設定の閾値に基づく表示パターンも選択可能とすることにより、表示パターンの選択の幅が広がるため、さらに良好にマッピング分析を行うことができる。

（５）本発明に係るＸ線画像表示方法は、試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示方法であって、強度比較ステップと、表示ステップとを含む。前記強度比較ステップでは、各元素に対応付けて記憶部に予め記憶されている複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する。前記表示ステップでは、前記強度比較ステップによる比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる。

（６）前記記憶部には、各元素の表示順が前記複数の閾値に対応付けて記憶されていてもよい。この場合、前記表示ステップでは、前記記憶部に記憶されている各元素の表示順に従って、元素ごとのＸ線強度分布を表示させてもよい。

（７）前記記憶部には、複数種類の元素についての前記複数の閾値の組み合わせが複数記憶されていてもよい。この場合、前記強度比較ステップでは、前記複数の組み合わせの中から選択された組み合わせにおける前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較してもよい。

（８）前記Ｘ線画像表示方法は、各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する前記複数の閾値を自動的に算出する閾値算出ステップをさらに含んでいてもよい。この場合、前記複数の組み合わせには、前記閾値算出処理部により算出された前記複数の閾値の組み合わせが含まれていてもよい。

（９）本発明に係るＸ線画像表示プログラムは、試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示プログラムであって、強度比較ステップと、表示ステップとをコンピュータに実行させる。前記強度比較ステップでは、各元素に対応付けて記憶部に予め記憶されている複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する。前記表示ステップでは、前記強度比較ステップによる比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる。

本発明によれば、表示条件としての閾値又は表示順を任意のタイミングで読み出して用いることにより、測定ごとに表示条件の設定作業を行う必要がなく、同じ表示条件によるＸ線強度分布の表示を任意のタイミングで容易に行うことができる。

ＥＰＭＡの構成例を示した概略図である。 本発明の一実施形態に係るＸ線画像表示装置の構成例を示したブロック図である。 設定選択画面の具体例を示した図である。 データ処理部による処理の流れを示したフローチャートである。 Ｘ線強度分布の表示例を示した図であり、図３の設定選択画面においてデフォルト設定が選択された場合を示している。 Ｘ線強度分布の表示例を示した図であり、図３の設定選択画面において組み合わせ名が選択された場合を示している。

１．電子線マイクロアナライザーの構成例
図１は、ＥＰＭＡ１００の構成例を示した概略図である。ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）１００は、ハウジング１内に試料Ｓを設置して電子線を照射することにより、試料Ｓから発生するＸ線を検出して分析を行うための装置である。ＥＰＭＡ１００には、試料ホルダ２、試料ステージ３、電子線照射部４、ＥＤＳ５、ＷＤＳ６、二次電子検出器７などが備えられている。

試料ホルダ２は、試料を保持するための部材であり、試料ステージ３に対して着脱可能である。試料ステージ３は、水平面内において互いに直交する２軸（Ｘ軸及びＹ軸）と、鉛直方向のＺ軸に沿って変位可能である。この試料ステージ３の変位を制御することにより、試料Ｓの表面上における測定領域（電子線が照射される領域）を調整することができる。

電子線照射部４は、電子源４１、コンデンサレンズ４２、絞り４３、走査コイル４４、対物レンズ４５などを備えている。電子源４１から放出される電子線は、コンデンサレンズ４２により集光され、絞り４３により光束が絞られた後、対物レンズ４５により小さいスポット状となって試料Ｓの表面に照射される。試料Ｓの表面に照射される電子線は、走査コイル４４により、測定領域内で水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に走査される。電子線が照射された試料Ｓの表面からは、Ｘ線が発生し、そのＸ線がＥＤＳ５及びＷＤＳ６に入射する。

ＥＤＳ５は、Ｘ線のエネルギースペクトルを求める分光器（エネルギー分散型Ｘ線分光器）であり、図示しない半導体検出器及びマルチチャンネルアナライザを備えている。試料ＳからのＸ線は、半導体検出器に入射して電気信号に変換され、入射するＸ線のエネルギーに比例する高さのパルスがマルチチャンネルアナライザに導かれる。これにより、Ｘ線エネルギーに対応させた各チャンネルにパルス個数を積算し、Ｘ線スペクトルのデータを取得することができる。ＥＤＳ５は、ハウジング１の外側から着脱可能であり、本実施形態のようにＥＰＭＡ１００に追加で装備することができるが、省略することも可能である。

ＷＤＳ６は、Ｘ線の回折現象を利用する分光器（波長分散型Ｘ線分光器）であり、分光結晶６１及びＸ線検出器６２を備えている。試料ＳからのＸ線は、分光素子としての分光結晶６１により分光されてＸ線検出器６２に入射する。このとき、分光結晶６１に対するＸ線の入射角を制御することにより、Ｂｒａｇｇの回折条件を満たす波長のＸ線のみをＸ線検出器６２で検出し、Ｘ線スペクトルのデータを取得することができる。ＷＤＳ６は、ハウジング１内に複数設けられている。これにより、ＷＤＳ６の数と同じ数の元素を同時に分析することができる。

測定領域は、試料Ｓの表面上に設定された矩形の領域であり、Ｘ方向及びＹ方向にマトリックス状に配列された複数の画素（測定位置）からなる。測定領域内の各画素について、選択された元素に対応する波長のＸ線がＷＤＳ６のＸ線検出器６２で検出されることにより当該元素のＸ線強度分布が得られる。なお、Ｘ線強度は、Ｘ線検出器６２により検出されるＸ線の強度に比例する値であり、例えばＸ線検出器６２における一定時間当たりのＸ線のカウント値である。

二次電子検出器７は、試料Ｓの表面から生じる二次電子を検出する。この二次電子検出器７からの検出信号に基づいて、二次電子像を得ることができる。ただし、二次電子検出器７が備えられていない構成であってもよい。

２．Ｘ線画像表示装置の構成例
図２は、本発明の一実施形態に係るＸ線画像表示装置２００の構成例を示したブロック図である。本実施形態に係るＸ線画像表示装置２００は、ＥＰＭＡ１００のＷＤＳ６におけるＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させる。

具体的には、測定領域内の各画素について、選択された元素に対応する波長のＸ線がＷＤＳ６のＸ線検出器６２で検出されることにより得られたＸ線強度分布のデータに基づいて、元素ごとのＸ線強度分布の画像が表示される。なお、以下の実施形態では、ＷＤＳ６で検出されたＸ線強度に基づいてＸ線強度分布の画像（Ｘ線強度マップ）を表示させる場合について説明するが、Ｘ線画像表示装置２００は、ＥＤＳ５で検出されたＸ線強度に基づいてＸ線強度マップを表示させることも可能である。

Ｘ線画像表示装置２００は、データ処理部１０、記憶部２０、表示部３０及び操作部４０などを備えている。データ処理部１０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成である。データ処理部１０は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、Ｘ線強度取得処理部１１、強度比較処理部１２、表示処理部１３及び閾値算出処理部１４などとして機能する。記憶部２０は、例えばＲＡＭ（Random Access Memory）又はハードディスクにより構成される。表示部３０は、例えば液晶表示器により構成される。操作部４０は、例えばキーボード及びマウスにより構成される。

Ｘ線強度取得処理部１１は、ＥＰＭＡ１００のＷＤＳ６で検出されたＸ線強度のデータを取得する処理を行う。このＸ線強度取得処理部１１による処理は、ＥＰＭＡ１００のＷＤＳ６でＸ線強度が検出されたときにリアルタイムで自動的に行われてもよいし、ユーザによる操作部４０の操作に基づいてＥＰＭＡ１００からＸ線強度のデータを取得するような構成であってもよい。

強度比較処理部１２は、Ｘ線強度取得処理部１１により取得されるＸ線強度のデータに基づいて、測定領域内の元素ごとのＸ線強度を閾値と比較する処理を行う。Ｘ線強度の実測値と比較される閾値は、各元素に対応付けて記憶部２０に予め記憶されている。上記閾値は、各元素に対応付けて複数記憶されている。より具体的には、複数種類の元素についての複数の閾値の組み合わせが、記憶部２０に複数記憶されている。これらの閾値と測定領域内の各画素におけるＸ線強度の実測値とを比較することにより、元素ごとに各画素におけるＸ線強度の実測値を複数段階に分類することができる。

記憶部２０に記憶されている複数の閾値は、任意のタイミングで元素ごとに読み出すことができる。ユーザは、操作部４０を操作することにより、記憶部２０に記憶されている閾値の複数の組み合わせの中から任意の組み合わせを選択する。強度比較処理部１２は、選択された組み合わせにおける複数の閾値と測定領域内の画素ごとのＸ線強度とを比較する。

表示処理部１３は、強度比較処理部１２による比較結果に基づいて、測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示部３０に表示させる。すなわち、測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を表示部３０に表示させる際、測定領域内の各画素が、上記閾値と比較されることにより分類されたＸ線強度の実測値に対応した色又は濃淡で表示される。

記憶部２０には、各元素に対応付けて、上記閾値だけでなく表示順も記憶されている。測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を表示部３０に表示させる際には、記憶部２０に記憶されている各元素の表示順に従って表示される。表示処理部１３は、１つ又は複数の表示画面で元素ごとのＸ線強度分布を各元素の表示順に並べて表示させてもよいし、各元素の表示順に従って表示画面を切り替えて表示させてもよい。

元素ごとの閾値及び表示順は、ユーザが操作部４０を操作して予め設定を行うことにより、元素名に対応付けて記憶部２０に記憶させることができる。このような設定は、ユーザが任意のタイミングで行うことにより、記憶部２０に追加して記憶させたり、設定を削除したりすることができる。また、記憶部２０には、ユーザにより追加又は削除される設定とは別に、デフォルト設定が予め記憶されている。デフォルト設定では、例えば表示順が原子番号順などの特定の規則に設定されるとともに、閾値がＸ線強度の最大値と最小値との間でほぼ等間隔に自動で決定されるよう設定される。

閾値算出処理部１４は、各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する複数の閾値を自動的に算出する。デフォルト設定が選択された場合には、閾値算出処理部１４により、Ｘ線強度の最大値と最小値との間でほぼ等間隔に複数の閾値を算出する処理が、各元素について行われる。この場合、強度比較処理部１２は、閾値算出処理部１４により算出された複数の閾値と測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することにより、元素ごとに各画素におけるＸ線強度の実測値を複数段階に分類する。

３．設定選択画面の具体例
記憶部２０に記憶されている閾値及び表示順の設定やデフォルト設定のうち、いずれの設定を選択するかは、表示処理部１３により表示部３０に表示される設定選択画面において決定することができる。

図３は、設定選択画面３００の具体例を示した図である。設定選択画面３００には、例えば設定リスト表示領域３０１、元素順表示領域３０２、閾値表示領域３０３、保存キー３０４、削除キー３０５、ＯＫキー３０６及びキャンセルキー３０７が含まれる。

設定リスト表示領域３０１には、複数の閾値の組み合わせとして予め設定された複数の組み合わせの名称（組み合わせ名３１１）が並べて表示されている。ユーザは、操作部４０を操作して設定リスト表示領域３０１に表示されている任意の組み合わせ名３１１を選択することにより、その組み合わせ名３１１に対応する複数種類の元素についての表示順及び閾値を記憶部２０から読み出し、元素順表示領域３０２及び閾値表示領域３０３にそれぞれ表示させることができる。この図３の例では、「Ｂｒａｓｓ＿Ｐｂ」という組み合わせ名３１１が選択されている。

設定リスト表示領域３０１では、組み合わせ名３１１の他に、デフォルト設定３１２又は現在の設定３１３を選択することができる。ユーザは、組み合わせ名３１１、デフォルト設定３１２又は現在の設定３１３のいずれかを選択した上で、ＯＫキー３０６を選択することにより、その選択された設定でＸ線強度分布を表示部３０に表示させることができる。

元素順表示領域３０２には、上述の通り、選択された組み合わせ名３１１に対応する複数種類の元素についての表示順が表示される。設定選択画面３００には、元素順表示領域３０２に対応付けて順序変更キー３２１が表示されている。ユーザは、元素順表示領域３０２に表示されている元素名のいずれかを選択した上で、順序変更キー３２１を適宜選択することにより、選択した元素の表示順を変更することができる。表示順の変更後、保存キー３０４を選択すれば、変更後の表示順を保存することができる。

閾値表示領域３０３には、元素順表示領域３０２において選択されている元素について設定されている複数の閾値が、パレット画像３３１に対応付けて表示される。パレット画像３３１は、各閾値に対応する色又は濃淡を表す画像であり、Ｘ線強度に応じて閾値により分類された各画素が、パレット画像３３１における当該閾値に対応する色又は濃淡で表示される。パレット画像３３１は、ユーザが操作部４０を操作することにより、複数種類の画像の中から選択できるようになっていてもよい。

ユーザは、操作部４０を操作することにより、設定リスト表示領域３０１に表示されている組み合わせ名３１１のいずれかを選択した上で、削除キー３０５を選択することにより、その選択された設定を記憶部２０から削除することもできる。また、キャンセルキー３０７を選択した場合には、表示部３０に対する設定選択画面３００の表示を終了させることができる。

４．データ処理部による処理の流れ
図４は、データ処理部１０による処理の流れを示したフローチャートである。データ処理部１０は、設定選択画面３００において組み合わせ名３１１が選択された場合と、デフォルト設定３１２が選択された場合とで、それぞれ異なる処理を行う。

設定選択画面３００において組み合わせ名３１１が選択された場合には（ステップＳ１０１でＹｅｓ）、選択された組み合わせ名３１１に対応する各元素の閾値及び表示順が記憶部２０から読み出される（ステップＳ１０２）。そして、Ｘ線強度取得処理部１１により取得した測定領域内の各画素におけるＸ線強度の実測値が、読み出された各元素の閾値と比較されることにより、元素ごとに各画素におけるＸ線強度の実測値が複数段階に分類される（ステップＳ１０３：強度比較ステップ）。

その後、強度比較ステップによる比較結果に基づいて、測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布が、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示部３０に表示される（ステップＳ１０４：表示ステップ）。このとき、読み出された表示順に従って元素ごとのＸ線強度分布が表示され、そのＸ線強度分布の各画素が、分類されたＸ線強度の実測値に対応した色又は濃淡で表示される。

設定選択画面３００においてデフォルト設定３１２が選択された場合には（ステップＳ１０５でＹｅｓ）、デフォルト設定が記憶部２０から読み出される（ステップＳ１０６）。そして、各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する複数の閾値が自動的に算出される（ステップＳ１０７：閾値算出ステップ）。この場合、Ｘ線強度取得処理部１１により取得した測定領域内の各画素におけるＸ線強度の実測値が、算出された各元素の閾値と比較されることにより、元素ごとに各画素におけるＸ線強度の実測値が複数段階に分類される（ステップＳ１０３：強度比較ステップ）。

その後、強度比較ステップによる比較結果に基づいて、測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布が、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示部３０に表示される（ステップＳ１０４：表示ステップ）。このとき、デフォルト設定の表示順（例えば原子番号順）に従って元素ごとのＸ線強度分布が表示され、そのＸ線強度分布の各画素が、分類されたＸ線強度の実測値に対応した色又は濃淡で表示される。

このような表示部３０に対するＸ線強度分布の表示の切替は、測定中を含む任意のタイミングで行うことができる。例えば、デフォルト設定３１２が選択されて測定が行われている最中に、任意の組み合わせ名３１１を選択して、その選択された組み合わせ名３１１に対応する各元素の閾値及び表示順によるＸ線強度分布の表示に切り替えてもよい。反対に、任意の組み合わせ名３１１が選択されて測定が行われている最中に、デフォルト設定３１２を選択することにより、デフォルト設定３１２によるＸ線強度分布の表示に切り替えてもよい。また、新規に分析を開始する際には、デフォルト設定３１２に自動的に戻るような構成であってもよい。

５．Ｘ線強度分布の表示例
図５Ａ及び図５Ｂは、Ｘ線強度分布の表示例を示した図である。図５Ａは、図３の設定選択画面３００においてデフォルト設定３１２が選択された場合を示しており、図５Ｂは、図３の設定選択画面３００において組み合わせ名３１１が選択された場合を示している。図５Ａ及び図５Ｂのように、表示部３０には、測定領域４００とともに複数の閾値が閾値表示領域４０１として表示される。閾値表示領域４０１には、複数の閾値が対応付けて表示されたパレット画像４０２が含まれていてもよい。

図５Ａでは、デフォルト設定３１２が選択されているため、Ｘ線強度の最大値（７０ｃｏｕｔｓ）と最小値（１０ｃｏｕｎｔｓ）との間でほぼ等間隔に複数の閾値が算出されている。その結果、測定領域４００における各画素の色又は濃淡の違いが分かりやすく表示されている。

図５Ｂでは、図５Ａの場合と同じＸ線強度分布が、選択された組み合わせ名３１１に対応する複数の閾値を用いて表示されている。この例では、４１〜１４５ｃｏｕｎｔｓの間で複数の閾値が設定されている。このように、デフォルト設定３１２とは異なる閾値を用いてＸ線強度分布を表示した場合には、デフォルト設定３１２とは異なる色又は濃淡で各画素が表示されることとなる。同じ元素について多数の測定領域でマッピング分析を行う場合には、同じ元素のＸ線強度分布を全て同じ閾値で表示させることが、それらのＸ線強度分布を比較する上で望ましい場合がある。このような場合には、デフォルト設定３１２ではなく、所望の組み合わせ名３１１を選択して、図５Ｂに例示されるようなＸ線強度分布を表示させてもよい。

６．作用効果
（１）本実施形態では、各元素に対応付けて記憶部２０に予め記憶されている複数の閾値が、任意のタイミングで元素ごとに読み出され、当該閾値が測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較されることにより、その比較結果に基づく色又は濃淡で元素ごとのＸ線強度分布が表示される。このように、表示条件としての閾値を任意のタイミングで読み出して用いることにより、測定ごとに閾値の設定作業を行う必要がなく、同じ閾値によるＸ線強度分布の表示を任意のタイミングで容易に行うことができる。

（２）また、本実施形態では、各元素に対応付けて、各元素のＸ線強度と比較される閾値だけでなく、各元素の表示順が記憶部２０に記憶され、その表示順に従って元素ごとのＸ線強度分布が表示される。したがって、測定ごとに表示条件としての表示順の設定作業を行う必要がなく、同じ表示順によるＸ線強度分布の表示を任意のタイミングで容易に行うことができる。

（３）特に、本実施形態では、複数種類の元素についての複数の閾値の組み合わせを記憶部２０に複数記憶させ、任意に選択した組み合わせ（図３の組み合わせ名３１１）における複数の閾値を用いて、元素ごとのＸ線強度分布を表示させることができる。すなわち、複数種類の表示パターンの中から任意の表示パターンを選択してＸ線強度分布を表示させることができるため、各元素のＸ線強度分布を最も分析しやすい表示パターンを選択することにより、良好にマッピング分析を行うことができる。

（４）また、本実施形態では、自動的に算出される複数の閾値をデフォルト設定（図３のデフォルト設定３１２）として、このデフォルト設定の閾値も用いて元素ごとのＸ線強度分布を表示させることができる。このように、表示パターンとしてデフォルト設定の閾値に基づく表示パターンも選択可能とすることにより、表示パターンの選択の幅が広がるため、さらに良好にマッピング分析を行うことができる。

７．変形例
上記実施形態では、Ｘ線画像表示装置２００がＥＰＭＡ１００と分離して構成されている場合について説明した。しかし、このような構成に限らず、ＥＰＭＡ１００などのＸ線分析装置に対して、Ｘ線画像表示装置２００が一体的に構成されていてもよい。

上記実施形態では、データ処理部１０を備えたＸ線画像表示装置２００について説明したが、データ処理部１０としてコンピュータを機能させるためのプログラム（Ｘ線画像表示プログラム）を提供することも可能である。この場合、上記プログラムは、記憶媒体に記憶された状態で提供されるような構成であってもよいし、有線通信又は無線通信を介してプログラム自体が提供されるような構成であってもよい。

１ ハウジング
２ 試料ホルダ
３ 試料ステージ
４ 電子線照射部
５ ＥＤＳ（エネルギー分散型Ｘ線分光器）
６ ＷＤＳ（波長分散型Ｘ線分光器）
７ 二次電子検出器
１０ データ処理部
１１ Ｘ線強度取得処理部
１２ 強度比較処理部
１３ 表示処理部
１４ 閾値算出処理部
２０ 記憶部
３０ 表示部
４０ 操作部
１００ ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）
２００ Ｘ線画像表示装置
３００ 設定選択画面
３０１ 設定リスト表示領域
３０２ 元素順表示領域
３０３ 閾値表示領域

Claims (7)

1. 試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示装置であって、
   各元素に対応付けて複数の閾値を予め記憶する記憶部と、
   前記記憶部に記憶されている前記複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する強度比較処理部と、
   前記強度比較処理部による比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる表示処理部とを備え、
   前記記憶部には、複数種類の元素についての前記複数の閾値の組み合わせが複数記憶され、
   前記表示処理部は、前記複数の閾値の組み合わせとして複数の組み合わせの名称を表示させ、
   前記強度比較処理部は、表示された前記複数の組み合わせの名称の中から任意の組み合わせの名称が選択された場合に、その組み合わせの名称に対応する複数種類の元素についての複数の閾値を前記記憶部から読み出し、前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することを特徴とするＸ線画像表示装置。
2. 前記記憶部には、各元素の表示順が前記複数の閾値に対応付けて記憶されており、
   前記表示処理部は、前記記憶部に記憶されている各元素の表示順に従って、元素ごとのＸ線強度分布を表示させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線画像表示装置。
3. 各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する前記複数の閾値を自動的に算出する閾値算出処理部をさらに備え、
   前記強度比較処理部は、デフォルト設定が選択された場合に、前記閾値算出処理部により算出された前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線画像表示装置。
4. 試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示方法であって、
   各元素に対応付けて記憶部に予め記憶されている複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する強度比較ステップと、
   前記強度比較ステップによる比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる表示ステップとを含み、
   前記記憶部には、複数種類の元素についての前記複数の閾値の組み合わせが複数記憶され、
   前記強度比較ステップでは、前記複数の閾値の組み合わせとして表示された複数の組み合わせの名称の中から任意の組み合わせの名称が選択された場合に、その組み合わせの名称に対応する複数種類の元素についての複数の閾値を前記記憶部から読み出し、前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することを特徴とするＸ線画像表示方法。
5. 前記記憶部には、各元素の表示順が前記複数の閾値に対応付けて記憶されており、
   前記表示ステップでは、前記記憶部に記憶されている各元素の表示順に従って、元素ごとのＸ線強度分布を表示させることを特徴とする請求項４に記載のＸ線画像表示方法。
6. 各元素についてのＸ線強度の最大値及び最小値に基づいて、各元素に対応する前記複数の閾値を自動的に算出する閾値算出ステップをさらに含み、
   前記強度比較ステップでは、デフォルト設定が選択された場合に、前記閾値算出ステップにより算出された前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することを特徴とする請求項４又は５に記載のＸ線画像表示方法。
7. 試料表面上の測定領域内に電子線を照射することにより発生するＸ線の検出信号に基づいて画像を表示させるＸ線画像表示プログラムであって、
   各元素に対応付けて記憶部に予め記憶されている複数の閾値を任意のタイミングで元素ごとに読み出し、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度と比較する強度比較ステップと、
   前記強度比較ステップによる比較結果に基づいて、前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度分布を、Ｘ線強度に応じて異なる色又は濃淡で表示させる表示ステップとをコンピュータに実行させ、
   前記記憶部には、複数種類の元素についての前記複数の閾値の組み合わせが複数記憶され、
   前記強度比較ステップでは、前記複数の閾値の組み合わせとして表示された複数の組み合わせの名称の中から任意の組み合わせの名称が選択された場合に、その組み合わせの名称に対応する複数種類の元素についての複数の閾値を前記記憶部から読み出し、前記複数の閾値と前記測定領域内の元素ごとのＸ線強度を比較することを特徴とするＸ線画像表示プログラム。