JP6808968B2 - 圧電素子、圧電アクチュエータ及び圧電素子の製造方法 - Google Patents
圧電素子、圧電アクチュエータ及び圧電素子の製造方法 Download PDFInfo
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圧電セラミック粉のペーストから作成したグリーンシートを重ね合わせ、圧電体グリーンとした後、焼成した。これにより、30mm×30mm、厚さ50μmのPZT焼成基板を作成した。作成したPZT焼成基板の両面にスパッタリング法で下地層としてNiCrを形成した後、Auを形成し、電極膜とした。樹脂層として、スクリーン印刷で紫外線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂とを含む絶縁性接着樹脂により、L/S(ライン幅/スペース幅)が1mm/2mmのパターンを形成した。表面をフッ素コーティングした0.7mmのホウケイ酸ガラスを樹脂層上に載せた。このとき、樹脂層の厚さが100μmとなるようにスペーサを用いた。続いて、波長365nmの紫外線を照射し、樹脂層の紫外線硬化性樹脂成分を硬化させた。ホウケイ酸ガラスを取り除き、樹脂層が印刷された面をダイシングテープに貼り付けた後、ダイシングにより個片化した。
樹脂層が印刷された面の反対側の面をダイシングテープに貼り付けた以外は、実施例1と同様にして、圧電素子を形成した。
ホウケイ酸ガラスを載せずに、樹脂層の紫外線硬化性樹脂成分を硬化させた以外は実施例1と同様にして圧電素子を形成した。
Claims (11)
- 圧電体と、前記圧電体に設けられた複数の電極と、を有する本体部と、
均一の厚さで前記本体部に接着している半硬化状態の第一及び第二スペーサと、を備え、
前記本体部は、矩形状を呈する面を有しており、
前記面は、互いに対向する第一及び第二辺を含んでおり、
前記第一スペーサは、前記第一辺に沿って前記面に接着しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺に沿って前記面に接着しており、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、前記本体部の端面に配置されておらず、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、フィラーを含んでいる、圧電素子。 - 圧電体と、前記圧電体に設けられた複数の電極と、を有する本体部と、
均一の厚さで前記本体部に接着している半硬化状態の第一及び第二スペーサと、を備え、
前記本体部は、矩形状を呈する面を有しており、
前記面は、互いに対向する第一及び第二辺を含んでおり、
前記第一スペーサは、前記第一辺に沿って前記面に接着しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺に沿って前記面に接着しており、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、前記本体部の端面に配置されておらず、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、硬化状態の第一樹脂と、未硬化状態の第二樹脂と、を含んでいる、圧電素子。 - 前記第一樹脂は、紫外線硬化性樹脂であり、
前記第二樹脂は、熱硬化性樹脂である、請求項2に記載の圧電素子。 - 前記第一樹脂及び前記第二樹脂は、互いに硬化温度が異なる熱硬化性樹脂である、請求項2に記載の圧電素子。
- 前記第一樹脂及び前記第二樹脂は、互いに吸収波長が異なる紫外線硬化性樹脂である、請求項2に記載の圧電素子。
- 前記面は、互いに対向する第三及び第四辺を更に含み、
前記第一スペーサは、前記第一辺、前記第三辺、及び前記第四辺のそれぞれと一致する端面を有しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺、前記第三辺、及び前記第四辺のそれぞれと一致する端面を有している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電素子。 - 圧電体と、前記圧電体に設けられた複数の電極と、を有する本体部と、
均一の厚さで前記本体部に接着している半硬化状態の第一及び第二スペーサと、を備え、
前記本体部は、矩形状を呈する面を有しており、
前記面は、互いに対向する第一及び第二辺を含んでおり、
前記第一スペーサは、前記第一辺に沿って前記面に接着しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺に沿って前記面に接着しており、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、前記本体部の端面に配置されておらず、
前記第一及び第二スペーサは、前記面に垂直な方向から見て、矩形状を呈している、圧電素子。 - 圧電体と、前記圧電体に設けられた複数の電極と、を有する本体部と、
均一の厚さで前記本体部に接着している半硬化状態の第一及び第二スペーサと、を備え、
前記本体部は、矩形状を呈する面を有しており、
前記面は、互いに対向する第一及び第二辺を含んでおり、
前記第一スペーサは、前記第一辺に沿って前記面に接着しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺に沿って前記面に接着しており、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、前記本体部の端面に配置されておらず、
前記第一及び第二スペーサの厚さのそれぞれは、20μm以上30μm以下である、圧電素子。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の圧電素子と、
前記第一及び第二スペーサを介して前記本体部を支持する支持部材と、を備える、圧電アクチュエータ。 - 圧電素子と、支持部材と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電体と、前記圧電体に設けられた複数の電極と、を有する本体部と、
均一の厚さで前記本体部に接着している半硬化状態の第一及び第二スペーサと、を備え、
前記本体部は、矩形状を呈する面を有しており、
前記面は、互いに対向する第一及び第二辺を含んでおり、
前記第一スペーサは、前記第一辺に沿って前記面に接着しており、
前記第二スペーサは、前記第二辺に沿って前記面に接着しており、
前記第一及び第二スペーサのそれぞれは、前記本体部の端面に配置されておらず、
前記支持部材は、前記第一及び第二スペーサを介して前記本体部を支持しており、
前記第一及び第二スペーサの端面のそれぞれは、湾曲面である、圧電アクチュエータ。 - 圧電体基板と、前記圧電体基板に設けられた複数の電極膜と、を有する本体基板を準備する工程と、
前記本体基板において、所定方向に沿う切断予定ライン上に硬化条件が互いに異なる第一及び第二樹脂を含む樹脂層を設ける工程と、
前記本体基板と、前記本体基板と対向する平面とにより前記樹脂層を挟持した状態で、前記第二樹脂が硬化しない条件で、前記第一樹脂を硬化させる工程と、
前記第二樹脂が未硬化の状態である前記樹脂層ごと、前記本体基板を前記切断予定ラインに沿って切断する工程と、を含む、圧電素子の製造方法。
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JP2016090943A JP6808968B2 (ja) | 2016-04-28 | 2016-04-28 | 圧電素子、圧電アクチュエータ及び圧電素子の製造方法 |
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JP2016090943A JP6808968B2 (ja) | 2016-04-28 | 2016-04-28 | 圧電素子、圧電アクチュエータ及び圧電素子の製造方法 |
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JP2017199858A JP2017199858A (ja) | 2017-11-02 |
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