JP6804263B2 - 電子素子モジュールおよび電子素子モジュールの製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、電子素子モジュールおよび電子素子モジュールの製造方法に関する。

太陽電池素子等の電子素子がガラスおよび樹脂等を用いて封止されているモジュール（電子素子モジュールともいう）が知られている。電子素子モジュールは、例えば、複数の太陽電池素子と、太陽電池素子からの電気出力を外部に取り出すための配線と、複数の太陽電池素子の裏面を支持している支持材とを備えている。この支持体の貫通孔を前記配線が通過しており、前記貫通孔に充填材が配置されている構造が提案されている（例えば、下記の特許文献１等を参照）。

特開２０１１−１２４４３５号公報

電子素子モジュールには、長期間の信頼性を高める点で改善の余地がある。

電子素子モジュールおよび電子素子モジュールの製造方法が開示される。

電子素子モジュールの一態様は、第１板部と、第２板部と、電子素子と、配線と、遮水部材と、金属部と、を備えている。前記第２板部は、厚み方向に貫通する貫通孔を有し、前記第１板部と対向するように位置している。前記電子素子は、前記第１板部と前記第２板部との間の間隙領域に位置している。前記配線は、前記電子素子に電気的に接続されており、前記貫通孔を介して、前記間隙領域の内部と前記間隙領域の外部との間における通電を行うためのものである。前記遮水部材は、前記貫通孔の少なくとも一部を塞いでいる。前記金属部は、前記遮水部材と前記第２板部との隙間を塞いでいる。前記第２板部は、前記第１板部と対向するように位置している第１面と、該第１面とは逆の方向を向いている第２面とを有する。前記遮水部材は、前記第２面のうちの前記貫通孔の周りの第１環状領域と対向するように位置している環状部を有する。前記金属部の少なくとも一部が、前記第２面のうちの前記第１環状領域の周りの第２環状領域から前記環状部の外周の側面にかけて位置している。

電子素子モジュールの製造方法の一態様は、積層体を準備することと、遮水部材を配置することと、はんだ部を形成することと、を有している。前記積層体を準備することには、第１板部と、該第１板部の厚さ方向において該第１板部に対向しており且つ貫通孔を有する第２板部と、前記第１板部と前記第２板部との間の間隙領域に位置しており且つ前記貫通孔を介した前記間隙領域の内部と前記間隙領域の外部との間における通電を行うための配線が電気的に接続されている電子素子と、を含む積層体を準備することが含まれる。前記遮水部材を配置することには、前記貫通孔の少なくとも一部を塞ぐように遮水部材を配置することが含まれる。前記はんだ部を形成することには、前記第２板部から前記遮水部材にかけた領域に、超音波はんだ付けを用いてはんだ部を形成することが含まれる。

電子素子モジュールにおける長期間の信頼性を高めることができる。

図１は、第１実施形態に係る電子素子モジュールの一例の構成を示す平面図である。 図２は、図１のII−II線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図３は、図１の電子素子モジュールから端子ボックスを除いた一例の構成を示す平面図である。 図４は、図３のIV−IV線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図５は、図３の部分Ｐ１における構成を示す平面図である。 図６は、図５のVI−VI線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図７は、遮水部材の一例の構成を示す断面図である。 図８は、遮水部材の一例の構成を示す断面図である。 図９は、電子素子モジュールを製造するフローの一例を示す流れ図である。 図１０は、電子素子モジュールの製造途中の状態を例示する断面図である。 図１１は、電子素子モジュールの製造途中の状態を例示する平面図である。 図１２は、電子素子モジュールの製造途中の状態を例示する断面図である。 図１３は、電子素子モジュールの製造途中の状態を例示する断面図である。 図１４は、第２実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図１５は、図１４のXV−XV線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図１６は、第３実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図１７は、図１６のXVII−XVII線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図１８は、第４実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図１９は、図１８のXIX−XIX線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図２０は、第５実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図２１は、図２０のXXI−XXI線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図２２は、第６実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図２３は、図２２のXXIII−XXIII線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図２４は、第７実施形態に係る電子素子モジュールの部分Ｐ１に対応する部分の一例の構成を示す平面図である。 図２５は、図２４のXXV−XXV線に沿った構成の断面を示す断面図である。 図２６は、第８実施形態に係る電子素子モジュールのうちの図６の断面に対応する断面の一例を示す断面図である。

＜１．基礎技術＞
各種電子素子は、例えば、ガラスおよび樹脂等によって封止される場合がある。この場合には、例えば、外部からの水分の浸入による各種電子素子の劣化が抑制される。ここで、各種電子素子には、例えば、太陽電池素子、エレクトロクロミック素子、エレクトロルミネッセンス素子および液晶表示素子等が含まれ得る。

電子素子が封止されているモジュール（電子素子モジュール）には、例えば、複数の太陽電池素子からの電気出力を外部に取り出すための配線が、複数の太陽電池素子の裏面を支持している支持材の貫通孔を通過している太陽電池モジュールがある。そして、例えば、支持材の貫通孔に、水蒸気の透過率が低く且つ電気抵抗が高い充填材を配置することで、外部から太陽電池モジュール内への水分の浸入を抑制することが考えられる。これにより、例えば、太陽電池モジュールの耐湿性が向上し、太陽電池モジュールの性能の劣化の抑制によって、太陽電池モジュールの耐用年数が向上することが予想される。ここで、貫通孔に充填される充填材としては、例えば、ポリイソブチレン系樹脂、ウレタン系イソブチレン樹脂およびシリコーン系イソブチレン樹脂のうちの１種類以上の樹脂を用いたものが採用され得る。

しかしながら、水蒸気の透過率が低い樹脂が充填材として貫通孔に配置されていても、ある程度の水分が外部から貫通孔を介して太陽電池モジュール内に浸入するおそれがある。すなわち、太陽電池モジュールの性能の劣化が生じるおそれがある。したがって、太陽電池モジュール等の電子素子モジュールについては、長期間の信頼性を高める点で改善の余地がある。

そこで、本願発明者らは、電子素子モジュールにおける長期間の信頼性を高めることができる技術を創出した。これについて、以下、各実施形態を図面に基づいて説明する。

図面においては同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものである。図１から図８および図１０から図２６には、右手系のＸＹＺ座標系が付されている。該ＸＹＺ座標系では、太陽電池モジュール１００の長辺に沿った方向が＋Ｘ方向とされ、太陽電池モジュール１００の短辺に沿った方向が＋Ｙ方向とされ、＋Ｘ方向と＋Ｙ方向との両方に直交する方向が＋Ｚ方向とされている。

＜２．第１実施形態＞
＜２−１．電子素子モジュールの構成＞
第１実施形態に係る電子素子モジュールの一例としての太陽電池モジュール１００の構成を、図１から図６に基づいて説明する。図１から図６で示されるように、太陽電池モジュール１００は、第１板部１と、第２板部２と、被保護部３と、配線Ｗ１と、遮水部材４と、金属部５と、端子ボックス６と、ケーブル７と、を備えている。図１から図６の例では、第１板部１の＋Ｚ方向の表面が、主として太陽光等の外光が照射される表面（前面ともいう）１００ｆｓとされている。また、第２板部２の−Ｚ方向の側の表面が、前面１００ｆｓよりも太陽光等の外光が照射されない表面（裏面ともいう）１００ｂｓとされている。

第１板部１は、例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性を有している。このため、例えば、前面１００ｆｓに照射されて第１板部１を透過した光が、被保護部３に入射される。このとき、被保護部３の太陽電池素子３１ｐにおける光電変換に利用され得る。第１板部１は、例えば、第１面１ａおよび該第１面１ａとは逆方向を向いている第２面１ｂを有している。図１から図６の例では、第１面１ａが＋Ｚ方向を向いており、第２面１ｂが−Ｚ方向を向いている。

第１板部１の形状は、例えば、平板状である。具体的には、例えば、第１板部１として、長方形等の矩形状の第１面１ａおよび第２面１ｂを有する平板が採用される。第１板部１は、被保護部３の＋Ｚ方向の側に位置している。これにより、第１板部１は、例えば、被保護部３を保護することができる。

第１板部１として、例えば、厚さが１ｍｍ以上で且つ５ｍｍ以下程度のガラスあるいはアクリルまたはポリカーボネート等の樹脂が採用されれば、遮水性を有する第１板部１が実現される。これにより、太陽電池モジュール１００の外部から被保護部３への水分の浸入が抑制され得る。このとき、例えば、特定範囲の波長の光に対して透光性を有する第１板部１も実現され得る。ここで、「特定範囲の波長の光に対する透光性」とは、特定範囲の波長の光が透過し得る性質を示す。図１から図６の例では、特定範囲の波長は、太陽電池素子３１ｐが光電変換し得る光の波長を含んでいればよい。

第２板部２は、第１板部１と対向するように位置している。第１板部１と第２板部２との間の領域（間隙領域ともいう）Ｇ１には、被保護部３が位置している。このため、第２板部２は、第１板部１とともに被保護部３を保護することができる。第２板部２は、例えば、第１板部１と同様な形状を有している。第２板部２は、第１面２ａおよび該第１面２ａとは逆方向を向いている第２面２ｂを有している。図１から図６の例では、第１面２ａが＋Ｚ方向を向いており、第２面２ｂが−Ｚ方向を向いている。第２板部２の第１面２ａは、第１板部１の第２面１ｂと対向するように位置している。第１板部１と第２板部２とが間隙領域Ｇ１を挟んで離れている距離は、例えば、０．５ｍｍ以上で且つ５ｍｍ以下程度とされている。

第２板部２の形状は、例えば、第１板部１と同様に平板状である。具体的には、例えば、第２板部２として、長方形等の矩形状の第１面２ａおよび第２面２ｂを有する平板が採用される。図１から図６の例では、第１板部１の第１面１ａおよび第２面１ｂが長方形であり、第２板部２の第１面２ａおよび第２面２ｂが長方形である。このとき、太陽電池モジュール１００には、前面１００ｆｓと裏面１００ｂｓとを接続している４つの側面Ｅ１からＥ４が存在している。ここでは、側面Ｅ１は、−Ｘ方向を向いている。側面Ｅ２は、＋Ｙ方向を向いている。側面Ｅ３は、＋Ｘ方向を向いている。側面Ｅ４は、−Ｙ方向を向いている。第２板部２は、例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していてもよいし、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していなくてもよい。

第２板部２として、例えば、厚さが１ｍｍ以上で且つ５ｍｍ以下程度のガラス、または、透光性アルミナもしくは透光性イットリア等の透光性セラミックス、または、アクリルもしくはポリカーボネート等の樹脂が採用されれば、遮水性を有する第２板部２が実現される。これにより、太陽電池モジュール１００の外部から被保護部３への水分の浸入が抑制され得る。このとき、例えば、特定範囲の波長の光に対して透光性を有する第２板部２も実現され得る。これにより、例えば、裏面１００ｂｓに照射されて第２板部２を透過した光が、被保護部３に入射され、被保護部３内の太陽電池素子３１ｐにおける光電変換に利用され得る。その結果、例えば、太陽電池モジュール１００における出力が向上し得る。裏面１００ｂｓに入射される光は、例えば、太陽光の地面等からの反射によって生じ得る。また、第２板部２の素材として、例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していないセラミックス等が採用されてもよい。

第２板部２には、貫通孔Ｈ１が存在している。該貫通孔Ｈ１は、太陽電池素子３１ｐにおいて光電変換によって得られる電荷を太陽電池モジュール１００の外部に出力するためのものである。貫通孔Ｈ１は、例えば、第２板部２を該第２板部２の厚さ方向に貫通している。貫通孔Ｈ１は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１側の第１開口Ｏｐ１と、該第１開口Ｏｐ１とは逆側の第２開口Ｏｐ２と、を有している。図１から図６の例では、貫通孔Ｈ１は、側面Ｅ１から１０ｍｍ以上で且つ４０ｍｍ以下程度離れた位置、すなわち側面Ｅ１から近い位置に存在している。貫通孔Ｈ１は、例えば、穿孔用のドリルまたはジェット水流等によって第２板部２に形成され得る。

図１から図６の例では、第１電極（例えば、正電極）用の貫通孔Ｈ１と第２電極（例えば、負電極）の貫通孔Ｈ１が存在している。そして、貫通孔Ｈ１における第２板部２を貫通している方向（貫通方向ともいう）としての＋Ｚ方向に垂直な断面が略真円である。また、貫通孔Ｈ１の貫通方向に垂直な断面の形状および大きさは、該貫通方向において略一定とされている。貫通孔Ｈ１の径は、例えば、５ｍｍ以上でかつ１５ｍｍ以下程度に設定される。ここで、貫通孔Ｈ１の貫通方向に垂直な断面の形状は、例えば、四角形および六角形等の多角形あるいは楕円形等といった真円以外の形状であってもよい。また、例えば、貫通孔Ｈ１の貫通方向に垂直な断面の形状および大きさのうちの少なくとも一方が、該貫通方向において若干変化していてもよい。

被保護部３は、例えば、封止対象物３１と、第１封止材３２と、第２封止材３３と、を含んでいる。封止対象物３１は、例えば、太陽電池素子３１ｐを含んでいる。具体的には、封止対象物３１は、入射される太陽光を電気に変換することが可能なＮ個（Ｎは１以上の整数）の太陽電池素子３１ｐを有している。このため、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に、太陽電池素子３１ｐが位置している。太陽電池素子３１ｐは、例えば、第２板部２または第１板部１に接するように位置していてもよいし、第１板部１と第２板部２とに挟まれるように位置していてもよい。

太陽電池素子３１ｐとしては、例えば、結晶系の太陽電池素子または薄膜系の太陽電池素子が採用され得る。結晶系の太陽電池素子としては、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコンまたはヘテロ接合型等のシリコン系の太陽電池素子あるいはIII−Ｖ族系等の化合物系の太陽電池素子が採用され得る。また、薄膜系の太陽電池素子として、例えば、シリコン系の太陽電池素子、化合物系の太陽電池素子またはその他のタイプの太陽電池素子が採用され得る。薄膜系におけるシリコン系の太陽電池素子には、例えば、アモルファスシリコンおよび薄膜多結晶シリコンを用いた太陽電池素子が含まれ得る。薄膜系における化合物系の太陽電池素子には、例えば、ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）またはペロブスカイト構造を有する化合物等の化合物半導体が用いられた太陽電池素子が含まれ得る。薄膜系におけるその他のタイプの太陽電池素子には、例えば、有機薄膜または色素増感等のタイプの太陽電池素子が含まれ得る。ここで、例えば、Ｎ個の太陽電池素子が電気的に直列に接続される場合には、Ｎが大きければ大きい程、太陽電池モジュール１００の出力が大きくなり得る。図１および図３の例では、第１板部１上に電気的に直列に接続された６つの薄膜系の太陽電池素子３１ｐが形成されている。

第１封止材３２は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１のうちの少なくとも封止対象物３１を覆う領域に位置している。例えば、第１封止材３２は、第１板部１上に位置している封止対象物３１の第２板部２側（−Ｚ方向の側）の全面を覆うような領域に位置している。第１封止材３２は、封止対象物３１を覆うことで、該封止対象物３１を封止することができる。また、間隙領域Ｇ１の広範囲にわたって、間隙領域Ｇ１に第１封止材３２が充填されることで、封止対象物３１に含まれる太陽電池素子３１ｐに対して外部から水分等が浸入し難くなる。第１封止材３２の素材としては、例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性が優れたエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）あるいはポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂等が採用され得る。第１封止材３２は、例えば、２種類以上の封止材によって構成されていてもよい。また、第１板部１の第２面１ｂ、第２板部２の第１面２ａおよび太陽電池素子３１ｐ等は、それぞれが第１封止材３２により接着されることで、一体化されてもよい。

第２封止材３３は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１のうちの外周部に配されている。このとき、第２封止材３３は、第１封止材３２を囲むような環状の領域に位置している。図１から図６の例では、第２封止材３３は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１のうちの第１封止材３２よりも４つの側面Ｅ１からＥ４に近い領域に充填されている状態にある。第２封止材３３は、例えば、第１封止材３２よりも高い遮水性を有している。第２封止材３３の素材としては、例えば、ブチル系の樹脂またはポリイソプロピレン系の樹脂等が採用され得る。

遮水部材４は、遮水性を有している部材である。該遮水部材４は、第２板部２の貫通孔Ｈ１を塞くように位置している。ここで、遮水性を有している部材とは、単位時間において水分が通り抜ける量がゼロまたは極めて少ない部材である。遮水部材４は、導電性を有していても、絶縁性を有していてもよい。ここで、遮水部材４としては、例えば、金属製の板または箔、ガラス製の板あるいはセラミックス製の板等を採用することができる。金属製の板または箔には、例えば、銅、アルミニウムまたはステンレス鋼等で構成されている、０．１ｍｍ以上で且つ２ｍｍ以下程度の厚さを有するものが含まれ得る。ガラス製の板には、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラスまたは強化ガラス等で構成されている、０．４ｍｍ以上で且つ２ｍｍ以下程度の厚さを有するものが含まれ得る。セラミックス製の板には、アルミナまたはジルコニア等で構成されている、０．３ｍｍ以上で且つ２ｍｍ以下程度の厚さを有するものが含まれ得る。

ところで、例えば、図７で示されるように、遮水部材４が、銅板または銅箔で構成されている遮水部材４Ａであれば、遮水性に優れ且つ加工が容易な銅を用いて遮水部材４Ａを容易に製作することができる。つまり、遮水部材４Ａを容易に取得することができる。また、例えば、図８で示されるように、遮水部材４は、本体部４ｂｄと、該本体部４ｂｄの周囲に被覆された金属層４ｃｔとを有する遮水部材４Ｂとされてもよい。本体部４ｂｄとしては、例えば、金属製の板または箔、ガラス製の板あるいはセラミックス製の板等を採用することができる。金属層４ｃｔの素材としては、例えば、はんだ等の低融点の合金あるいは低融点の単体の金属等といった低融点の金属を採用することができる。ここでは、例えば、遮水部材４Ｂでは、銅板または銅箔の少なくとも一部が低融点の金属で覆われていることで、遮水性と耐候性に優れた銅が低融点の金属によってさらに保護される。これにより、例えば、遮水部材４Ｂの劣化および変質が抑制され得る。ここでは、例えば、厚さが０．１ｍｍ以上で且つ０．５ｍｍ以下程度の銅箔の略全面に、１０μｍ以上で且つ１００μｍ以下程度の厚さではんだが被覆されたものが、遮水部材４Ｂとして採用され得る。また、例えば、導電性を有する遮水部材４Ａ，４Ｂの少なくとも一部を樹脂等の絶縁体で被覆することで、配線Ｗ１と遮水部材４Ａ，４Ｂとの接触箇所を介した漏電の発生が抑制されてもよい。

ここで、はんだは、例えば、日本工業規格（Japan Industrial Standards）のJIS Z 3282：2006で規定される。はんだには、例えば、一般工業用および電気・電子工業用の、鉛を含むはんだ（鉛含有はんだともいう）および鉛を含まないはんだ（鉛フリーはんだともいう）が含まれる。鉛含有はんだは、例えば、固相線温度が４５０℃未満の溶加材で、鉛を含む。鉛フリーはんだは、例えば、固相線温度が４５０℃未満の溶加材で、鉛を含まない。該鉛フリーはんだは、例えば、すず、亜鉛、アンチモン、インジウム、銀、ビスマスおよび銅等のうちの少なくとも１種以上の金属元素を含んでおり、鉛の含有率が０．１０質量％以下である。ここで、はんだ以外の低融点の合金には、例えば、金とスズとの合金等が含まれ得る。低融点の単体の金属には、例えば、鉛および鉛の融点以下の融点をもつカドミウム、スズおよびインジウム等の単体の金属が含まれる。ここで採用されるはんだは、製造の容易さ、製造に要するコストおよび環境への負荷等に応じて適宜選択され得る。ここでは、例えば、金属層４ｃｔがはんだを含むものであれば、金属層４ｃｔを容易に形成することができる。また、例えば、金属層４ｃｔが鉛フリーはんだで構成されていれば、金属層４ｃｔから鉛が溶け出すことによる環境への悪影響の発生が抑制され得る。

遮水部材４は、第３面４ａおよび第４面４ｂを有している。図５および図６の例では、第３面４ａは、＋Ｚ方向を向いている。第４面４ｂは、第３面４ａとは逆方向としての−Ｚ方向を向いている。具体的には、遮水部材４は、長方形等の四角形状の第３面４ａおよび第４面４ｂを有する平板である。第３面４ａは、＋Ｚ方向を向いている。第４面４ｂは、−Ｚ方向を向いている。ここで、遮水部材４の第３面４ａの一辺の長さは、貫通孔Ｈ１の径よりも大きい。遮水部材４の第３面４ａのサイズは、例えば、貫通孔Ｈ１の大きさと、貫通孔Ｈ１を介した被保護部３への水分の浸入を長期間抑制するために後述する金属部５が必要とするサイズとを考慮して、実験的に決定され得る。例えば、貫通孔Ｈ１の径は、例えば、５ｍｍ以上でかつ１５ｍｍ以下程度であれば、遮水部材４の第３面４ａとして、一辺が２０ｍｍ以上で且つ１００ｍｍ以下程度である矩形状のものが採用され得る。そして、遮水部材４の第３面４ａは、第２板部２の第２面２ｂと対向するように位置している。このとき、第２板部２の第２面２ｂと遮水部材４の第３面４ａとの間に、隙間Ｇ２が存在している。該隙間Ｇ２は、例えば、０．１ｍｍ以上で且つ１ｍｍ以下程度であればよい。換言すれば、遮水部材４の第３面４ａは、第２板部２の第２面２ｂのうちの貫通孔Ｈ１の第２開口Ｏｐ２の周りを囲む環状の領域（第１環状領域ともいう）Ａ１と、隙間Ｇ２を挟むように位置している。このとき、遮水部材４は、貫通孔Ｈ１の第２開口Ｏｐ２を−Ｚ方向側から塞ぐような位置に存在している。

金属部５は、遮水部材４と第２板部２との隙間Ｇ２を塞ぐように位置している。該金属部５も遮水部材４と同様に遮水性を有している。このため、例えば、遮水性をそれぞれ有する遮水部材４および金属部５によって貫通孔Ｈ１が塞がれている。その結果、例えば、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介した第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に至る水分の浸入が抑制され得る。これにより、太陽電池モジュール１００における長期間の信頼性が高まり得る。ここでは、金属部５は、例えば、隙間Ｇ２からはみ出している部分を有していてもよい。換言すれば、例えば、金属部５の少なくとも一部が、隙間Ｇ２に位置していれば、第２板部２と遮水部材４との間の狭い隙間Ｇ２が封止されて遮水性を有する状態となる。これにより、例えば、電子素子モジュールとしての太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介して第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１まで水分が浸入する不具合が生じ難くなる。図５および図６の例では、第２板部２の第２面２ｂのうちの第２開口Ｏｐ２の周りを囲む環状の第１環状領域Ａ１と、遮水部材４の第３面４ａとの隙間Ｇ２を埋めるように、金属部５が位置している。

金属部５の素材としては、上記金属層４ｃｔと同様に、例えば、はんだ等の低融点の合金あるいは低融点の単体の金属等といった低融点の金属が採用される。金属部５は、例えば、第２板部２の第２面２ｂおよび遮水部材４の第３面４ａに対して、いわゆる超音波はんだ付け等によって金属が被着されることで形成され得る。超音波はんだ付けは、例えば、温調回路の制御によって昇温される鏝先と、発振回路の出力に応じて超音波を発生させる振動素子とを有する超音波はんだ鏝が用いられることで実現され得る。例えば、まず、第２板部２の第２面２ｂの第１環状領域Ａ１および遮水部材４の第３面４ａのそれぞれに対して超音波はんだ付けによる予備はんだ付けを行う。次に、例えば、予備はんだ付けによって第２板部２の第２面２ｂ上に形成された金属部と遮水部材４の表面上に形成された金属部とが接するように、第２板部２の第２面２ｂ上に遮水部材４を載置する。そして、例えば、超音波はんだ付け、通常の熱ハンダ鏝を用いる方法、フロー方式またはリフロー方式のはんだ付けによって、第２板部２の第２面２ｂの第１環状領域Ａ１上に遮水部材４が接合される。このとき、第２板部２の第２面２ｂと遮水部材４との間に金属部５が形成され得る。ここでは、例えば、金属部５がはんだを含むものであれば、第２板部２と遮水部材４との隙間を容易に塞ぐことができる。また、例えば、金属部５が鉛フリーはんだで構成されていれば、金属部５から鉛が溶け出すことによる環境への悪影響の発生が抑制され得る。

ここで、例えば、図８で示したような、本体部４ｂｄの周囲に低融点の金属層４ｃｔを有する遮水部材４Ｂを用いる場合には、予備はんだ付けを行うことなく、超音波はんだ付けによって、第１環状領域Ａ１に遮水部材４Ｂを直接はんだ付けしてもよい。このとき、金属部５の厚さは、例えば、金属層４ｃｔの厚さと略同一の１０μｍ以上で且つ１００μｍ以下程度となる。また、本体部４ｂｄの周囲に低融点の金属層４ｃｔを有する遮水部材４Ｂを用いる場合でも、予備はんだ付けを行えば、金属部５の厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上で且つ１ｍｍ以下程度となる。

配線Ｗ１は、封止対象物３１に含まれる太陽電池素子３１ｐに電気的に接続されている。該配線Ｗ１は、第２板部２に存在している貫通孔Ｈ１を介して、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１の内部と間隙領域Ｇ１の外部との間における通電を行うことができる。図１および図３には、間隙領域Ｇ１において配線Ｗ１が位置している経路が太い破線で示されている。

図１から図６の例では、太陽電池素子３１ｐの第１電極（正電極）に電気的に接続されている第１電極（正電極）用の配線Ｗ１と、太陽電池素子３１ｐの第２電極（負電極）に電気的に接続されている第２電極（負電極）用の配線Ｗ１と、が存在している。配線Ｗ１としては、例えば、帯状のものが採用され得る。配線Ｗ１の素材としては、例えば、銅またはアルミニウム等の導電性を有する金属等が採用され得る。ここでは、例えば、配線Ｗ１として、０．１ｍｍ以上であり且つ０．５ｍｍ以下程度の厚さと２ｍｍ以上であり且つ５ｍｍ以下程度の幅とを有する帯状のものが採用される。ここで、配線Ｗ１の幅が数ｍｍである場合には、例えば、貫通孔Ｈ１の径が５ｍｍ程度であれば、配線Ｗ１を貫通孔Ｈ１に容易に通すことができる。また、例えば、配線Ｗ１の全面に半田が被覆されていれば、配線Ｗ１を太陽電池素子３１ｐに対して容易に接合することができる。配線Ｗ１は、例えば、はんだ付けによる接合によって、太陽電池素子３１ｐに電気的に接続される。

また、図１から図６の例では、配線Ｗ１は、間隙領域Ｇ１の内部から隙間Ｇ２を通過するように位置している。このとき、配線Ｗ１は、例えば、隙間Ｇ２に位置している金属部５を貫通するように位置している。そして、配線Ｗ１は、遮水部材４を基準として貫通孔Ｈ１とは逆方向に位置している外部領域Ｏｓ１にかけて存在している。このような構成は、例えば、第２板部２の第２面２ｂに遮水部材４がはんだ付け等によって接合される際に、第２板部２の第２面２ｂと遮水部材４の第３面４ａとの間に配線Ｗ１を配しておけば実現され得る。このため、例えば、貫通孔Ｈ１を介した配線Ｗ１の配置が容易に実現することができる。

端子ボックス６は、第２板部２の第２面２ｂ上に位置している。端子ボックス６は、いわゆるジャンクションボックスと称されるものである。端子ボックス６では、例えば、配線Ｗ１が、端子ボックス６の内部の端子部品に接続されている。端子ボックス６は、例えば、シリコンシーラント等の樹脂が用いられて、第２板部２の第２面２ｂに固定されている。図１および図２の例では、遮水部材４を覆うように、端子ボックス６が位置している。ここで、例えば、端子ボックス６が遮水性の高い樹脂の筐体を有し、該筐体と第２板部２の第２面２ｂとの間が樹脂等によって塞がれれば、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１へ向かう水分等の通過が抑制され得る。

ケーブル７は、例えば、太陽電池モジュール１００で得られる電気を外部に出力することができる。ここでは、ケーブル７は、端子ボックス６の内部において配線Ｗ１と電気的に接続されている。そして、ケーブル７は、端子ボックス６の内部から端子ボックス６の外部に延びるように存在している。

以上のように、本実施形態において、金属部５は、通常では貫通孔Ｈ１の外周部の全周に亘り欠損部がない状態で設けられる。これにより、遮水部材４と金属部５とによる貫通孔Ｈ１の封止が実現されて、太陽電池モジュール１００の長期間の信頼性がより高まり得る。ただし、例えば、太陽電池モジュール１００を水上に浮かべて使用するなどの理由で、貫通孔Ｈ１から導出した配線Ｗ１を遮水部材４または金属部５から電気的に絶縁しなければならない場合等には、貫通孔Ｈ１の外周部の一部に金属部５の欠損部を設けて、この金属部５の欠損部から絶縁テープなどで被覆した配線Ｗ１を導出して、欠損部を絶縁性樹脂で封止するようにしてもよい。このような場合でも貫通孔Ｈ１の外周部の全周を絶縁性樹脂で封止した場合に比べ、金属部５が遮水性に優れているため、太陽電池モジュール１００の長期間の信頼性を向上し得る。

＜２−２．太陽電池モジュールの製造方法＞
太陽電池モジュール１００の製造方法の一例を、図９から図１３に基づいて説明する。ここでは、図９で示されるステップＳＴ１からステップＳＴ４の第１工程から第４工程を順に実施することで、太陽電池モジュール１００を製造することができる。ここでは、一例として、図８で示された、本体部４ｂｄの周囲に金属層４ｃｔを有する遮水部材４Ｂが採用され、予備はんだ付けを行う例について説明する。

ステップＳＴ１では、積層体ＬＢ１を準備する。図１０で示されるように、積層体ＬＢ１は、第１板部１と、第２板部２と、電子素子としての太陽電池素子３１ｐ（図４）と、を含んでいる。ここで、第１板部１は、特定範囲の波長の光に対して透光性を有している。第２板部２は、第１板部１の厚さ方向（＋Ｚ方向）において第１板部１に対向しており且つ貫通孔Ｈ１を有している。太陽電池素子３１ｐは、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に位置している。太陽電池素子３１ｐには、貫通孔Ｈ１を介した間隙領域Ｇ１の内部と間隙領域Ｇ１の外部との間における通電を行うための配線Ｗ１が電気的に接続されている。

ここでは、例えば、まず、第１板部１の第２面１ｂ上に、複数の太陽電池素子３１ｐを形成し、該複数の太陽電池素子３１ｐの正電極および負電極にそれぞれ配線Ｗ１をはんだ付けで接合する。このとき、例えば、第１板部１の第２面１ｂの外周に沿った部分に、第２封止材３３となる樹脂（ブチル系の樹脂等）を加熱によって溶融させた状態で被着させる。また、例えば、穿孔用のドリルまたはジェット水流等によって貫通孔Ｈ１が形成された第２板部２を準備する。また、例えば、第１封止材３２となる樹脂（ＥＶＡ等）製のシートを準備する。次に、第１板部１の第２面１ｂ上に、第１封止材３２となる樹脂製のシートと、第２板部２とが積み重ねられる。これにより、積層体ＳＫ１が形成される。このとき、各配線Ｗ１の太陽電池素子３１ｐに接合されていない端部（自由端部ともいう）を、貫通孔Ｈ１を介して第２板部２を基準とした第１板部１とは逆側に位置している空間まで引き出した状態とする。次に、例えば、ラミネート装置（ラミネータ）を用いたラミネート処理によって、積層体ＳＫ１を一体化して、積層体ＬＢ１を形成する。

ステップＳＴ２では、図１１および図１２で示されるように、第２板部２の第２面２ｂのうちの第２開口Ｏｐ２の周りの第１環状領域Ａ１に対して超音波はんだ付けによって予備はんだ付けを行うことで、予備的な金属部（予備金属部ともいう）５ｐｒを形成する。予備金属部５ｐｒは、例えば、はんだ等の低融点の金属で構成される。

ステップＳＴ３では、図１３で示されるように、ステップＳＴ２で形成された予備金属部５ｐｒ上に遮水部材４Ｂを載置する。これにより、貫通孔Ｈ１を塞ぐように、遮水部材４Ｂが配置される。このとき、配線Ｗ１が、予備金属部５ｐｒと遮水部材４Ｂとに挟まれるように配置される。

ステップＳＴ４では、超音波はんだ付けによって、第２板部２に対して遮水部材４Ｂを取り付ける。このとき、第２板部２から遮水部材４Ｂにかけた領域に、超音波はんだ付けを用いて、金属部５が形成される。図１３の例では、遮水部材４Ｂの金属層４ｃｔと、予備金属部５ｐｒとが接合されることで、金属部５が形成される。これにより、例えば、遮水性をそれぞれ有する遮水部材４Ｂおよび金属部５によって貫通孔Ｈ１が塞がれ得る。このため、例えば、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介した第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に至る水分の浸入が抑制され得る。その結果、太陽電池モジュール１００における長期間の信頼性が高まり得る。ここで、例えば、金属層４ｃｔが、はんだで構成された層（はんだ層ともいう）であり、予備金属部５ｐｒが、はんだで構成されている部分（予備はんだ部ともいう）であれば、金属部５は、はんだで構成された部分（はんだ部ともいう）となる。

＜２−３．第１実施形態のまとめ＞
第１実施形態に係る太陽電池モジュール１００では、例えば、遮水性をそれぞれ有する遮水部材４，４Ａ，４Ｂおよび金属部５によって貫通孔Ｈ１が塞がれている。このため、例えば、貫通孔Ｈ１に充填材としての樹脂が配置されている場合と比較して、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介した第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に至る水分の浸入が抑制され得る。その結果、太陽電池モジュール１００における長期間の信頼性が高まり得る。

＜３．他の実施形態＞
本開示は上述の第１実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

＜３−１．第２実施形態＞
上記第１実施形態において、例えば、第２板部２の第２面２ｂと遮水部材４との隙間Ｇ２に存在している金属部５の代わりに、図１４および図１５で示されるように、第２板部２の第２面２ｂから遮水部材４の側面４ｃにかけて金属部５Ａが存在していてもよい。

図１４および図１５の例では、遮水部材４は、第２板部２の第２面２ｂのうちの貫通孔Ｈ１の周りの第１環状領域Ａ１と対向するように位置している環状の部分（環状部ともいう）４Ａｃを有している。図１４には、環状部４Ａｃに砂地のハッチングが付されている。また、図１４および図１５の例では、第２板部２の第２面２ｂのうちの第１環状領域Ａ１の周りの環状の領域（第２環状領域ともいう）Ａ２Ａから、遮水部材４の環状部４Ａｃの外周の側面４ｃにかけて位置している金属部５Ａが存在している。金属部５Ａの素材としては、例えば、金属部５の素材と同様なものが採用される。側面４ｃは、例えば、遮水部材４の第３面４ａと第４面４ｂとを接続する外周面である。また、ここで、例えば、金属部５Ａの一部が、第１環状領域Ａ１上にはみ出していてもよい。換言すれば、例えば、金属部５Ａの少なくとも一部が、第２板部２の第２面２ｂのうちの第２環状領域Ａ２Ａから、遮水部材４の環状部４Ａｃの外周の側面４ｃにかけて位置していてもよい。

このような構成では、例えば、外側に直接露出している、第２環状領域Ａ２Ａおよび側面４ｃに対して、超音波はんだ付け等によって金属部５Ａを形成することができる。このため、例えば、上記第１実施形態のように第２板部２の第２面２ｂ上に載置された遮水部材４，４Ａ，４Ｂの上から超音波はんだ付けを行うことで金属部５を形成する場合と比較して、より短時間で金属部５Ａを形成することができる。これにより、例えば、第２板部２と遮水部材４との隙間Ｇ２を容易に塞ぐことができる。その結果、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介して第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１まで水分が浸入する不具合を容易に生じ難くすることができる。

＜３−２．第３実施形態＞
上記第１実施形態および上記第２実施形態において、例えば、配線Ｗ１が、導電性を有する遮水部材４Ａ，４Ｂを経由して間隙領域Ｇ１の内部と間隙領域Ｇ１の外部との間における通電を行うことができるようにしてもよい。このような構成では、例えば、第２板部２と遮水部材４との隙間Ｇ２に配線Ｗ１を通さなくても、太陽電池モジュール１００の外部と太陽電池モジュール１００の内部との間における導電性を有する遮水部材４を経由した通電が可能となる。これにより、第２板部２と遮水部材４との隙間Ｇ２における遮水性を容易に高めることができる。

図１６および図１７の例では、配線Ｗ１が、遮水部材４Ｂの貫通孔Ｈ１側の部分に接合している第１配線部Ｗ１１と、遮水部材４Ｂの外部領域Ｏｓ１側の部分に接合している第２配線部Ｗ１２とに分かれている。つまり、配線Ｗ１は、第１配線部Ｗ１１と第２配線部Ｗ１２とを含んでいる。

遮水部材４Ｂは、第１表面部ＷＬ１と、第２表面部ＷＬ２と、第３表面部ＷＬ３と、を有している。第１表面部ＷＬ１は、金属部５とともに貫通孔Ｈ１を塞いでいる。第２表面部ＷＬ２は、金属部５が接合されている。第３表面部ＷＬ３は、遮水部材４Ｂの表面のうちの第１表面部ＷＬ１および第２表面部ＷＬ２以外の残余の部分である。図１６および図１７の例では、第１表面部ＷＬ１は、例えば、＋Ｚ方向に平面透視して、遮水部材４Ｂの第３面４ａのうちの貫通孔Ｈ１と重なっている部分を含む。第２表面部ＷＬ２は、例えば、遮水部材４Ｂの第３面４ａのうちの金属部５に接合されている部分を含む。第３表面部ＷＬ３は、遮水部材４Ｂの第４面４ｂと、側面４ｃとを含む。ここで、例えば、上記第２実施形態のように、側面４ｃに金属部５Ａが接合されている場合には、第１表面部ＷＬ１は、例えば、遮水部材４Ｂの第３面４ａの略全体を含む。このとき、例えば、第２表面部ＷＬ２は、側面４ｃを含み、第３表面部ＷＬ３は、第４面４ｂを含む。

第１配線部Ｗ１１は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１内から遮水部材４にかけて位置している。そして、該第１配線部Ｗ１１は、第１表面部ＷＬ１に接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第１表面部ＷＬ１と第１配線部Ｗ１１とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ１が形成されることで、第１表面部ＷＬ１に第１配線部Ｗ１１が接合される。第２配線部Ｗ１２は、第３表面部ＷＬ３に接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第３表面部ＷＬ３と第２配線部Ｗ１２とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ２が形成されることで、第３表面部ＷＬ３に第２配線部Ｗ１２が接合される。ここで、接合部Ｂ１，Ｂ２の素材としては、例えば、上記金属部５の素材と同様なものが採用される。

図１６および図１７の例は、例えば、次の工程Ｐ３１から工程Ｐ３３を順に実行することで製造され得る。

［工程Ｐ３１］遮水部材４Ｂの第１表面部ＷＬ１となる部分に第１配線部Ｗ１１を接合するとともに、遮水部材４Ｂの第３表面部ＷＬ３となる部分に第２配線部Ｗ１２を接合する。

［工程Ｐ３２］貫通孔Ｈ１を塞ぐように第２面２ｂ上に遮水部材４Ｂを配置する。

［工程Ｐ３３］はんだ付けによって、第２板部２の第２面２ｂに遮水部材４Ｂを接合する。このとき、第２面２ｂの第１環状領域Ａ１と遮水部材４Ｂの第２表面部ＷＬ２との間に、金属部５を形成する。

ここで、例えば、遮水部材４Ｂの第１表面部ＷＬ１となる部分に第１配線部Ｗ１１を接合し、遮水部材４Ｂを、貫通孔Ｈ１を塞ぐように第２板部２の第２面２ｂ上に接合した後に、遮水部材４Ｂの第３表面部ＷＬ３となる部分に第２配線部Ｗ１２を接合してもよい。

＜３−３．第４実施形態＞
上記第３実施形態において、例えば、導電性を有する遮水部材４Ａ，４Ｂが、貫通孔Ｈ１内に位置している部分を含み且つ導電性を有する遮水部材４Ｃに変更されてもよい。これにより、例えば、貫通孔Ｈ１内において遮水を行うことができる。このため、遮水部材４Ｃのうちの貫通孔Ｈ１の外側に存在している部分を小さくすることができる。その結果、例えば、太陽電池モジュール１００の厚さの増大が低減され得る。

図１８および図１９の例では、遮水部材４Ｃの全体が、貫通孔Ｈ１内に嵌まり込んでいる。つまり、遮水部材４Ｃの全体が、貫通孔Ｈ１内に位置している。ここで、例えば、遮水部材４Ｃの一部が、貫通孔Ｈ１内から外部領域Ｏｓ１側にはみ出していてもよい。ここでは、遮水部材４Ｃの素材としては、例えば、上記遮水部材４Ａ（または遮水部材４Ｂ）の素材と同様なものが採用される。遮水部材４Ｃは、＋Ｚ方向を向いた第３面４ａＣ、−Ｚ方向を向いた第４面４ｂＣおよび側面４ｃＣを有する。遮水部材４Ｃの形状は、円柱状である。ここで、遮水部材４Ｃは、第１表面部ＷＬ１Ｃと、第２表面部ＷＬ２Ｃと、第３表面部ＷＬ３Ｃと、を有している。第１表面部ＷＬ１Ｃは、金属部５とともに貫通孔Ｈ１を塞いでいる。第２表面部ＷＬ２Ｃは、金属部５が接合されている。第３表面部ＷＬ３Ｃは、遮水部材４Ｃの表面のうちの第１表面部ＷＬ１Ｃおよび第２表面部ＷＬ２Ｃ以外の残余の部分である。第１表面部ＷＬ１Ｃは、例えば、遮水部材４Ｃの第３面４ａＣおよび側面４ｃＣを含む。第２表面部ＷＬ２Ｃは、例えば、遮水部材４Ｃの第４面４ｂＣのうちの金属部５Ｃに接合されている部分を含む。第３表面部ＷＬ３Ｃは、遮水部材４Ｃの第４面４ｂＣのうちの金属部５Ｃが接合されている部分を除く残余の部分を含む。また、遮水部材４Ｃの側面４ｃＣと第２板部２の貫通孔Ｈ１の内壁ＩＷ１との間には、隙間Ｇ３Ｃが存在している。このため、遮水部材４Ｃは、貫通孔Ｈ１の少なくとも一部を塞ぐように位置している。

金属部５Ｃは、第２板部２の第２面２ｂのうちの貫通孔Ｈ１の周りを囲む環状の領域（第３環状領域ともいう）Ａ３Ｃから、遮水部材４Ｃの第４面４ｂのうちの外周部に沿った環状の第２表面部ＷＬ２Ｃにかけて位置している。これにより、金属部５Ｃは、隙間Ｇ３Ｃを塞いでいる。ここでは、金属部５Ｃは、第３環状領域Ａ３Ｃおよび第２表面部ＷＬ２Ｃに接合されている。金属部５Ｃの素材としては、例えば、上記金属部５，５Ａの素材と同様なものが採用される。

また、第１配線部Ｗ１１は、第１表面部ＷＬ１Ｃに接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第１表面部ＷＬ１Ｃと第１配線部Ｗ１１とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ１が形成されることで、第１表面部ＷＬ１に第１配線部Ｗ１１が接合される。第２配線部Ｗ１２は、第３表面部ＷＬ３Ｃに接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第３表面部ＷＬ３Ｃと第２配線部Ｗ１２とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ２が形成されることで、第３表面部ＷＬ３に第２配線部Ｗ１２が接合される。

図１８および図１９の例は、例えば、次の工程Ｐ４１から工程Ｐ４３を順に実施することで製造され得る。

［工程Ｐ４１］遮水部材４Ｃの第１表面部ＷＬ１Ｃとなる部分に第１配線部Ｗ１１を接合し、且つ遮水部材４Ｃの第３表面部ＷＬ３Ｃとなる部分に第２配線部Ｗ１２を接合する。

［工程Ｐ４２］遮水部材４Ｃを貫通孔Ｈ１内に配置する。

［工程Ｐ４３］隙間Ｇ３Ｃを塞ぐように、第２板部２の第２面２ｂの第３環状領域Ａ３Ｃから遮水部材４Ｃの環状の第２表面部ＷＬ２Ｃにかけて金属部５Ｃをはんだ付けで形成する。

ここで、例えば、遮水部材４Ｃの第１表面部ＷＬ１Ｃとなる部分に第１配線部Ｗ１１を接合し、遮水部材４Ｃを貫通孔Ｈ１内に配して、隙間Ｇ３Ｃを塞ぐように金属部５Ｃを形成した後に、遮水部材４Ｃの第３表面部ＷＬ３Ｃとなる部分に第２配線部Ｗ１２を接合してもよい。

＜３−４．第５実施形態＞
上記第３実施形態において、例えば、導電性を有する遮水部材４Ａ，４Ｂが、貫通孔Ｈ１内に突起するように位置している部分を含み且つ導電性を有する遮水部材４Ｄに変更されてもよい。これにより、例えば、貫通孔Ｈ１に対する遮水部材４Ｄの位置決めが容易となる。また、図１８および図１９の例のような遮水部材４Ｃの全てが貫通孔Ｈ１に嵌め込まれる場合と比較して、第２板部２に対する遮水部材４Ｄの接合が容易に可能となる。

図２０および図２１の例では、遮水部材４Ｄの素材としては、上記遮水部材４Ａ（または遮水部材４Ｂ）の素材と同様なものが採用される。遮水部材４Ｄは、第１部分４１Ｄと、該第１部分４１Ｄから貫通孔Ｈ１内に突起するように位置している第２部分４２Ｄと、を有している。

第１部分４１Ｄは、第２板部２を基準として第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１とは逆側に位置している領域Ａｏ１において、第２板部２と対向するように位置している。第１部分４１Ｄは、例えば、貫通孔Ｈ１の径よりも大きな径を有する板状の部分である。第１部分４１Ｄは、＋Ｚ方向を向いた第３面４ａＤ、−Ｚ方向を向いた第４面４ｂＤおよび側面４ｃＤを有する。該第１部分４１Ｄとしては、例えば、円盤状のものが採用される。

第２部分４２Ｄは、例えば、第１部分４１Ｄの＋Ｚ方向の側の部分の略中央から貫通孔Ｈ１内に突起している部分である。該第２部分４２Ｄは、例えば、貫通孔Ｈ１の径よりも小さな径を有する柱状の部分である。このとき、第２部分４２Ｄは、＋Ｚ方向を向いた先端面４ｄＤおよび外周面４ｅＤを有する。外周面４ｅＤは、例えば、貫通孔Ｈ１の内壁ＩＷ１に沿った形状を有する。第２部分４２Ｄとしては、例えば、円柱状のものが採用される。

ここで、遮水部材４Ｄは、第１表面部ＷＬ１Ｄと、第２表面部ＷＬ２Ｄと、第３表面部ＷＬ３Ｄと、を有している。第１表面部ＷＬ１Ｄは、金属部５Ｄとともに貫通孔Ｈ１を塞いでいる。第２表面部ＷＬ２Ｄは、金属部５Ｄが接合されている。第３表面部ＷＬ３Ｄは、遮水部材４Ｄの表面のうちの第１表面部ＷＬ１Ｄおよび第２表面部ＷＬ２Ｄ以外の残余の部分である。第１表面部ＷＬ１Ｄは、例えば、第２部分４２Ｄの先端面４ｄＤおよび外周面４ｅＤと、第１部分４１Ｄの第３面４ａＤのうちの第２表面部ＷＬ２Ｄよりも内側の部分と、を含む。第２表面部ＷＬ２Ｄは、例えば、遮水部材４Ｄの第３面４ａＤのうちの金属部５Ｄに接合されている部分を含む。第３表面部ＷＬ３Ｄは、例えば、遮水部材４Ｄの第４面４ｂＤと、側面４ｃＤと、を含む。ここで、例えば、上記第２実施形態のように、側面４ｃＤに金属部５Ｄが接合されていれば、第１表面部ＷＬ１Ｄは、例えば、遮水部材４Ｄの第３面４ａＤの略全体を含む。このとき、第２表面部ＷＬ２Ｄは、例えば、側面４ｃＤを含み、第３表面部ＷＬ３Ｄは、例えば、第４面４ｂＤを含む。このため、第１部分４１Ｄには、例えば、金属部５Ｄが接合されている第２表面部ＷＬ２Ｄおよび第２配線部Ｗ１２が接合されている第３表面部ＷＬ３Ｄが含まれている。また、第１部分４１Ｄの第３面４ａＤと第２板部２との間には、隙間Ｇ２Ｄが存在し、第２部分４２Ｄの外周面４ｅＤと第２板部２の貫通孔Ｈ１の内壁ＩＷ１との間には、隙間Ｇ３Ｄが存在している。このため、遮水部材４Ｄは、貫通孔Ｈ１の少なくとも一部を塞ぐように位置している。

金属部５Ｄは、第２板部２の第２面２ｂのうちの貫通孔Ｈ１の周りを囲む環状の第１環状領域Ａ１Ｄと、第１部分４１Ｄの第３面４ａの第２表面部ＷＬ２Ｄとの間に位置している。これにより、金属部５Ｄは、隙間Ｇ２Ｄおよび隙間Ｇ３Ｄを塞いでいる。ここでは、金属部５Ｄは、第１環状領域Ａ１Ｄおよび第２表面部ＷＬ２Ｄに接合されている。金属部５Ｄの素材としては、例えば、上記金属部５，５Ａの素材と同様なものが採用される。

また、第１配線部Ｗ１１は、第１表面部ＷＬ１Ｄに接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第１表面部ＷＬ１Ｄと第１配線部Ｗ１１とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ１が形成されることで、第１表面部ＷＬ１Ｄに第１配線部Ｗ１１が接合される。図２１の例では、第２部分４２Ｄの先端面４ｄＤ上に、接合部Ｂ１によって第１配線部Ｗ１１が接合されている。ここで、例えば、第２部分４２Ｄの外周面４ｅＤ上に、接合部Ｂ１によって第１配線部Ｗ１１が接合されていてもよい。第２配線部Ｗ１２は、第３表面部ＷＬ３Ｄに接合されている。例えば、はんだ付け等によって、第３表面部ＷＬ３Ｄと第２配線部Ｗ１２とが近接している部分を包含するように接合部Ｂ２が形成されることで、第３表面部ＷＬ３Ｄに第２配線部Ｗ１２が接合される。

ここで、例えば、貫通孔Ｈ１の内部において、遮水部材４Ｄ（ここでは、第２部分４２Ｄ）と貫通孔Ｈ１の内壁ＩＷ１との間に、封止部材Ｒ１Ｄが存在していてもよい。このとき、例えば、遮水部材４Ｄと第２板部２との隙間Ｇ３Ｄの閉塞が、金属部５Ｄだけでなく、封止部材Ｒ１Ｄによっても行われる。このため、例えば、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介した第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に至る水分の浸入が抑制され得る。封止部材Ｒ１Ｄとしては、例えば、第２部分４２Ｄの外周面４ｅＤと第２板部２の貫通孔Ｈ１の内壁ＩＷ１との隙間Ｇ３Ｄを封止する環状の弾性部材が採用される。該環状の弾性部材としては、例えば、いわゆるＯ（オー）リングと称されるブチルゴム等の樹脂によって構成されているリングが採用される。また、封止部材Ｒ１Ｄは、例えば、隙間Ｇ３Ｄを封止する遮水性を有するグリースまたはシリコンシーラント等で構成されていてもよい。

ところで、図２０および図２１の例において、例えば、封止部材Ｒ１Ｄが存在していない構成が採用されてもよい。この場合には、例えば、第１配線部Ｗ１１は、第２部分４２Ｄの先端面４ｄＤおよび外周面４ｅＤならびに第１部分４１Ｄの第２表面部ＷＬ２Ｄよりも内側の部分のうちの何れに接合されていてもよい。

＜３−５．第６実施形態＞
上記第５実施形態において、例えば、遮水部材４Ｄの第２部分４２Ｄが、第２板部２のうちの貫通孔Ｈ１の−Ｚ方向の側の第２開口Ｏｐ２の内縁部Ｃ１Ｅに接触している、第２部分４２Ｅに変更されてもよい。このとき、第２部分４２Ｄを有する遮水部材４Ｄが、第２部分４２Ｅを有する遮水部材４Ｅに変更されてもよい。この場合には、例えば、遮水部材４Ｅの貫通孔Ｈ１内に突起している第２部分４２Ｅと第２板部２との接触によって、太陽電池モジュール１００の外部から貫通孔Ｈ１を介して第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に至る水分の浸入が低減され得る。

図２２および図２３の例では、第２部分４２Ｅは、＋Ｚ方向に進むにつれて、径が狭くなっているテーパー状の外周面４ｅＥを有している。ここでは、例えば、第１表面部ＷＬ１Ｄは、遮水部材４Ｅの第３面４ａＤの少なくとも一部を含んでいてもよいし、遮水部材４Ｅの第３面４ａＤの少なくとも一部を含んでいなくてもよい。第１環状領域Ａ１Ｄは、例えば、テーパー状の外周面４ｅＥの存在によって、貫通孔Ｈ１の第２開口Ｏｐ２の内縁部Ｃ１Ｅから離れていてもよいし、内縁部Ｃ１Ｅから離れていなくてもよい。

＜３−６．第７実施形態＞
上記第１実施形態および上記第２実施形態において、例えば、遮水部材４が、配線Ｗ１が貫通している間隙部ＳＬ１Ｆを有する遮水部材４Ｆに変更されてもよい。この場合には、例えば、貫通している間隙部ＳＬ１Ｆを容易に形成可能な薄い金属箔等を遮水部材４Ｆとして使用することができる。このため、例えば、太陽電池モジュール１００の厚さの増大が低減され得る。

図２４および図２５の例では、遮水部材４Ｆは、貫通孔Ｈ１を介して第１板部１と対向するように位置している領域（第１領域ともいう）Ａｒ１と、該第１領域Ａｒ１とは逆側の方向に向いている領域（第２領域ともいう）Ａｒ２とを有している。遮水部材４Ｆは、例えば、＋Ｚ方向を向いた第３面４ａＦと、−Ｚ方向を向いた第４面４ｂＦとを有している。第１領域Ａｒ１は、例えば、第３面４ａＦのうちの貫通孔Ｈ１の−Ｚ側に位置している領域である。換言すれば、例えば、遮水部材４Ｆを＋Ｚ方向に平面透視した場合に、第１領域Ａｒ１は、第３面４ａＦのうちの貫通孔Ｈ１と重なる領域である。このとき、第１領域Ａｒ１は、例えば、貫通孔Ｈ１の＋Ｚ方向に垂直な断面に対応する形状を有している。第２領域Ａｒ２は、例えば、第４面４ｂＦのうちの第１領域Ａｒ１の裏側の領域である。

遮水部材４Ｆは、さらに、第１領域Ａｒ１から第２領域Ａｒ２にかけて貫通している間隙部ＳＬ１Ｆを有している。間隙部ＳＬ１Ｆは、例えば、配線Ｗ１が挿通可能な形状を有している。例えば、配線Ｗ１が帯状のものであれば、間隙部ＳＬ１Ｆとして、例えば、＋Ｚ方向に平面視してスリット状の貫通している孔部を有するものが採用される。ここでは、例えば、金属箔または金属製の薄板にカッターナイフ等でスリット状の孔部を形成することで遮水部材４Ｆを製作することができる。金属箔または金属製の薄板は、例えば、銅またはアルミニウム等の遮水性と耐候性に優れた素材によって構成され得る。

配線Ｗ１は、間隙部ＳＬ１Ｆを通過するように存在している。ここでは、配線Ｗ１は、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１の内部から、間隙部ＳＬ１Ｆを通過し、さらに、遮水部材４Ｆを基準として貫通孔Ｈ１とは逆方向に位置している外部領域Ｏｓ１まで位置している。換言すれば、配線Ｗ１は、間隙領域Ｇ１の内部から間隙部ＳＬ１Ｆを通過して外部領域Ｏｓ１にかけて存在している。そして、間隙部ＳＬ１Ｆは、金属で塞がれている。これにより、外部領域Ｏｓ１から間隙部ＳＬ１Ｆを介して貫通孔Ｈ１側に水分が浸入し難くなる。図２４および図２５の例では、遮水部材４Ｆの第４面４ｂ上に間隙部ＳＬ１Ｆを塞ぐように位置している金属製の閉塞部Ｃ１Ｆが存在している。閉塞部Ｃ１Ｆの素材としては、例えば、上記金属部５の素材と同様なものが採用される。該閉塞部Ｃ１Ｆは、例えば、間隙部ＳＬ１Ｆに配線Ｗ１を挿通させた状態で、はんだ付け等によって形成され得る。

図２４および図２５の例は、例えば、次の工程Ｐ７１から工程Ｐ７４を順に実施することで製造され得る。

［工程Ｐ７１］遮水部材４Ｆの間隙部ＳＬ１Ｆに配線Ｗ１を挿通させる。

［工程Ｐ７２］間隙部ＳＬ１Ｆに配線Ｗ１を挿通させた状態で、はんだ付け等によって閉塞部Ｃ１Ｆを形成する。

［工程Ｐ７３］貫通孔Ｈ１を塞ぐように第２板部２の第２面２ｂ上に遮水部材４Ｆを配置する。

［工程Ｐ７４］第２面２ｂに遮水部材４Ｆを超音波はんだ付け等によって接合する。

ここで、例えば、遮水部材４Ｆの間隙部ＳＬ１Ｆに配線Ｗ１を挿通させた状態で、貫通孔Ｈ１を塞ぐように第２板部２の第２面２ｂ上に遮水部材４Ｆを接合した後に、閉塞部Ｃ１Ｆを形成してもよい。

＜３−７．第８実施形態＞
上記各実施形態において、例えば、図２６で示されるように、貫通孔Ｈ１内にガス吸着剤Ａｂ１Ｇが存在していてもよい。このとき、例えば、第２板部２と遮水部材４との隙間Ｇ２を介して水分が浸入したとしても、水分が第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に到達する前に、ガス吸着剤Ａｂ１Ｇによって吸収され得る。また、例えば、間隙領域Ｇ１内で各種ガスが発生したとしても、ガス吸着剤Ａｂ１Ｇによって吸収され得る。その結果、太陽電池モジュール１００における長期間の信頼性が高まり得る。

ガス吸着剤Ａｂ１Ｇとしては、例えば、多孔質の表面を持つ無機物であり、水分あるいは第１封止材３２が発生し得る酢酸を含有するガス（酢酸含有ガスともいう）等を物理吸着させるものを採用することができる。ガス吸着剤Ａｂ１Ｇには、例えば、ゼオライト、シリカゲルおよび活性炭等のうちの一種以上を適用することができる。酢酸含有ガスは、例えば、第１封止材３２の素材がＥＶＡである場合に、ＥＶＡの加水分解によって発生し得る。ゼオライト、シリカゲルおよび活性炭等は、例えば、不織布の袋等に入れられた状態で、貫通孔Ｈ１内に配置することができる。また、例えば、ゼオライト、シリカゲルおよび活性炭等のうちの一種以上を分散させた状態にある、ポリエチレン等の高分子材料またはブチルゴム等の弾性体を、貫通孔Ｈ１内に充填させてもよい。

また、ガス吸着剤Ａｂ１Ｇには、例えば、酸化カルシウム（ＣａＯ）、硫酸銅無水塩（ＣｕＳＯ_４）、硫酸カルシウム（ＣａＳＯ_４）または水酸化マグネシウムＭｇ（ＯＨ）_２等といった水分を化学吸着させる塩等を適用してもよい。この場合には、例えば、水分を化学吸着させる塩等を分散させた状態にある、ブチルゴム等の弾性体を、貫通孔Ｈ１内に充填させることで、ガス吸着剤Ａｂ１Ｇを貫通孔Ｈ１内に配置することができる。

＜３−８．第９実施形態＞
上記各実施形態において、例えば、図２６で示されるように、貫通孔Ｈ１内に絶縁性を有する樹脂（絶縁性樹脂ともいう）ＦＬ１Ｈが充填されるように存在していてもよい。このとき、例えば、第２板部２と遮水部材４との隙間Ｇ２を介して貫通孔Ｈ１まで水分が浸入したとしても、絶縁性樹脂ＦＬ１Ｈの存在によって、水分が第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１まで到達し難くなる。その結果、太陽電池モジュール１００における長期間の信頼性が高まり得る。

絶縁性樹脂ＦＬ１Ｈは、例えば、ブチルゴムまたはエチレンプロピレンゴム等の弾性体であってもよいし、エポキシ樹脂、フェノール樹脂またはシリコンシーラント等のシリコン樹脂等といった樹脂類、発泡体あるいは発泡ゴムであってもよい。絶縁性樹脂ＦＬ１Ｈは、例えば、貫通孔Ｈ１に配線Ｗ１が挿通された状態で、貫通孔Ｈ１内に充填されればよい。ここでは、例えば、貫通孔Ｈ１の第１開口Ｏｐ１から第２開口Ｏｐ２にかけた少なくとも一部の範囲の領域に、絶縁性樹脂ＦＬ１Ｈが充填されていればよい。例えば、貫通孔Ｈ１の第１開口Ｏｐ１から第２開口Ｏｐ２にかけた一部の範囲の領域に絶縁性樹脂ＦＬ１Ｈが充填されている場合には、残余の範囲の領域にガス吸着剤Ａｂ１Ｇが存在していてもよい。

＜４．その他＞
上記各実施形態において、例えば、貫通孔Ｈ１の内周面の形状が、第２開口Ｏｐ２から第１開口Ｏｐ１に向けて径が徐々に小さくなっているテーパー状のものであってもよい。この場合には、例えば、上記第４実施形態では、貫通孔Ｈ１内で遮水部材４Ｃが引っ掛かることで、該遮水部材４Ｃが安定して配置され得る。また、例えば、貫通孔Ｈ１の内周面と遮水部材４Ｃとの接触によって、遮水部材４Ｃによる貫通孔Ｈ１の封止が強固となり得る。テーパー状の内周面を有する貫通孔Ｈ１は、例えば、筒体に入れたセラミックスの粉末を超音波による振動によってガラス板に衝突させることで形成することができる。

上記各実施形態において、例えば、遮水部材４，４Ａから４Ｆが、端子ボックス６の一部を構成するものであってもよい。この場合には、例えば、太陽電池モジュール１００の製造に要する部品点数を削減することができる。これにより、例えば、素材の使用量の削減、太陽電池モジュール１００の小型化および軽量化ならびに太陽電池モジュール１００の製造に要する工程の簡略化等が図られ得る。

上記各実施形態において、例えば、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１のうちの第１封止材３２が位置している部分に対して連通するように貫通孔Ｈ１が位置していてもよい。

上記各実施形態において、例えば、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に、第２封止材３３が設けられずに、第１封止材３２が充填されていてもよい。例えば、第１封止材３２が、第２封止材３３の位置まで充填されていてもよい。

上記各実施形態において、例えば、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１の外周部が、金属箔、金属板および金属部等で封止されてもよい。金属箔および金属板は、例えば、遮水性および耐候性に優れた銅またはアルミニウム等で構成され得る。また、金属部の素材としては、上記金属部５の素材と同様なものが採用される。金属箔および金属板は、例えば、超音波はんだ付け等を用いて、第１板部１の側面から第２板部２の側面にかけて配置され得る。

上記各実施形態において、例えば、太陽電池モジュール１００の４つの側面Ｅ１からＥ４には、アルミニウム等で構成されているフレームが適宜取り付けられてもよい。このとき、例えば、フレームと側面Ｅ１からＥ４との間にブチル系の樹脂等の遮水性に優れた樹脂が充填されれば、太陽電池モジュール１００の４つの側面Ｅ１からＥ４の側から封止対象物３１の側への水分等の浸入が抑制され得る。

上記各実施形態において、例えば、第２板部２の第２面２ｂが、主として太陽光等の外光が照射される前面１００ｆｓＢとされ、第１板部１の第１面１ａが、裏面１００ｂｓＢとされてもよい。このとき、第２板部２が、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していればよい。また、このとき、第１板部１は、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していてもよいし、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していなくてもよい。すなわち、第１板部１および第２板部２のうちの少なくとも一方が、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していればよい。

上記各実施形態において、例えば、封止対象物３１は、太陽電池素子３１ｐ以外の電子素子を含んでいてもよい。つまり、第１板部１と第２板部２との間の間隙領域Ｇ１に、各種の電子素子が位置していてもよい。この場合、各種の電子素子を含む電子素子モジュールにおける長期間の信頼性が高まり得る。各種の電子素子には、太陽電池素子３１ｐ以外に、例えば、液晶素子および有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子等が含まれ得る。すなわち、封止対象物３１には、各種の電子素子が含まれ得る。

別の観点から言えば、上記各実施形態においては、電子素子として、第１板部１および第２板部２等を透過する光の入射を利用することが可能な、太陽電池素子３１ｐが採用されたが、これに限られない。上記各実施形態において、例えば、電子素子として、第１板部１および第２板部２における光の透過および出射等を利用することが可能な、液晶素子および有機ＥＬ素子等が採用されてもよい。そして、例えば、封止対象物３１の構成に応じて、第１板部１および第２板部２のうちの少なくとも一方が、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していればよい。ここで、電子素子モジュールが、例えば、電子素子として液晶素子または有機ＥＬ素子等を用いた表示装置または照明装置である場合には、特定範囲の波長の光は、例えば、人間が認識可能な可視光線の波長の光を含んでいればよい。このため、特定範囲の波長には、例えば、電子素子において利用される光の波長、あるいは電子素子によって電子素子モジュールの外部に出射される光の波長が含まれ得る。

上記各実施形態および各変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。

１ 第１板部
１ａ，２ａ 第１面
１ｂ，２ｂ 第２面
２ 第２板部
４，４Ａから４Ｆ 遮水部材
４Ａｃ 環状部
４ａ，４ａＣ，４ａＤ，４ａＦ 第３面
４ｂ，４ｂＣ，４ｂＤ，４ｂＦ 第４面
４ｂｄ 本体部
４ｃ，４ｃＣ，４ｃＤ 側面
４ｃｔ 金属層
４ｅＤ，４ｅＥ 外周面
５，５Ａ，５Ｃ，５Ｄ 金属部
３１ｐ 太陽電池素子
４１Ｄ 第１部分
４２Ｄ，４２Ｅ 第２部分
１００ 太陽電池モジュール
Ａ１，Ａ１Ｄ 第１環状領域
Ａ２Ａ 第２環状領域
Ａ３Ｃ 第３環状領域
Ａｂ１Ｇ ガス吸着剤
Ａｏ１ 領域
Ａｒ１，Ａｒ２ 第１，２領域
Ｃ１Ｅ 内縁部
ＦＬ１Ｈ 絶縁性樹脂
Ｇ１ 間隙領域
Ｇ２，Ｇ３Ｃ，Ｇ３Ｄ 隙間
Ｈ１ 貫通孔
ＩＷ１ 内壁
Ｏｐ１，Ｏｐ２ 第１，２開口
Ｏｓ１ 外部領域
Ｒ１Ｄ 封止部材
ＳＬ１Ｆ 間隙部
Ｗ１ 配線
Ｗ１１ 第１配線部
Ｗ１２ 第２配線部
ＷＬ１，ＷＬ１Ｃ，ＷＬ１Ｄ 第１表面部
ＷＬ２，ＷＬ２Ｃ，ＷＬ２Ｄ 第２表面部
ＷＬ３，ＷＬ３Ｃ，ＷＬ３Ｄ 第３表面部

Claims (15)

1. 第１板部と、
   該第１板部と対向するように位置し、厚み方向に貫通する貫通孔を有する第２板部と、
   前記第１板部と前記第２板部との間の間隙領域に位置している電子素子と、
   該電子素子に電気的に接続されており、前記貫通孔を介して、前記間隙領域の内部と前記間隙領域の外部との間における通電を行う配線と、
   前記貫通孔の少なくとも一部を塞いでいる遮水部材と、
   該遮水部材と前記第２板部との隙間を塞いでいる金属部と、
   を備え、
   前記第２板部は、前記第１板部と対向するように位置している第１面と、該第１面とは逆の方向を向いている第２面とを有し、
   前記遮水部材は、前記第２面のうちの前記貫通孔の周りの第１環状領域と対向するように位置している環状部を有し、
   前記金属部の少なくとも一部が、前記第２面のうちの前記第１環状領域の周りの第２環状領域から前記環状部の外周の側面にかけて位置している、電子素子モジュール。
2. 請求項１に記載の電子素子モジュールであって、
   前記配線は、前記間隙領域の内部から前記隙間を通過しており且つ前記遮水部材を基準として前記貫通孔とは逆方向に位置している外部領域にかけて存在している、電子素子モジュール。
3. 請求項１に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、前記貫通孔を介して前記第１板部と対向するように位置している第１領域と、前記第１領域とは逆側の方向に向いている第２領域と、前記第１領域から前記第２領域にかけて貫通している間隙部と、を有し、
   前記配線は、前記間隙領域の内部から前記間隙部を通過しており且つ前記遮水部材を基準として前記貫通孔とは逆方向に位置している外部領域にかけて存在しており、
   前記間隙部が金属で塞がれている、電子素子モジュール。
4. 請求項１に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、導電性を有しており、且つ前記金属部とともに前記貫通孔を塞いでいる第１表面部と、前記金属部が接合されている第２表面部と、前記第１表面部および前記第２表面部以外の残余の第３表面部と、を有しており、
   前記第２表面部は、前記側面のうちの前記金属部の少なくとも一部が接合されている部分を含み、
   前記配線は、前記間隙領域内から前記遮水部材にかけて位置しており且つ前記第１表面部に接合されている第１配線部と、前記第３表面部に接合されている第２配線部と、を含んでいる、電子素子モジュール。
5. 請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、銅板または銅箔を含む、電子素子モジュール。
6. 請求項５に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、前記銅板または前記銅箔の少なくとも一部を覆っている低融点の金属を含む、電子素子モジュール。
7. 請求項４に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、前記貫通孔内に位置している部分を含んでいる、電子素子モジュール。
8. 請求項７に記載の電子素子モジュールであって、
   前記遮水部材は、前記第２板部を基準として前記間隙領域とは逆側の領域において前記第２板部と対向するように位置しており且つ前記金属部が接合されている前記第２表面部を含む第１部分と、該第１部分から前記貫通孔内に突起するように位置している第２部分と、を有している、電子素子モジュール。
9. 請求項８に記載の電子素子モジュールであって、
   前記貫通孔は、前記間隙領域側の第１開口と、該第１開口とは逆側の第２開口と、を有し、
   前記第２部分は、前記第２板部のうちの前記第２開口の内縁部に接触している、電子素子モジュール。
10. 請求項７から請求項９の何れか１つの請求項に記載の電子素子モジュールであって、
    前記貫通孔の内部において、前記遮水部材と前記貫通孔の内壁との間に位置している封止部材、を備えている、電子素子モジュール。
11. 請求項１から請求項１０の何れか１つの請求項に記載の電子素子モジュールであって、
    前記貫通孔内に位置しているガス吸着剤、を備えている、電子素子モジュール。
12. 請求項１から請求項１１の何れか１つの請求項に記載の電子素子モジュールであって、
    前記貫通孔内に充填されている絶縁性樹脂、を備えている、電子素子モジュール。
13. 請求項１から請求項１２の何れか１つの請求項に記載の電子素子モジュールであって、
    前記金属部は、はんだを含む、電子素子モジュール。
14. 請求項１３に記載の電子素子モジュールであって、
    前記金属部は、鉛フリーはんだによって構成されている、電子素子モジュール。
15. 第１板部と、該第１板部の厚さ方向において該第１板部に対向しており且つ貫通孔を有する第２板部と、前記第１板部と前記第２板部との間の間隙領域に位置しており且つ前記貫通孔を介した前記間隙領域の内部と前記間隙領域の外部との間における通電を行うための配線が電気的に接続されている電子素子と、を含む積層体を準備する工程と、
    前記貫通孔の少なくとも一部を塞ぐように遮水部材を配置する工程と、
    前記第２板部から前記遮水部材にかけた領域に、超音波はんだ付けを用いてはんだ部を形成する工程と、を有している、電子素子モジュールの製造方法。

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