JP6803191B2 - 透明導電性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
k:
L:スパッタリング装置における1製膜室あたりに設置されるポンプ1台の排気速度(単位:l/s)
n:1製膜室あたりに設置されるポンプの数(単位:個)
P:1製膜室のプロセス圧力(単位:Pa)
V:1製膜室あたりに供給されるガス総流量(単位:sls)
である。
黒化処理層の上面の直交面に対して5°の角度から測定光を入射させ、その反射光における正反射成分を含む値から反射率を求めた。測定には、日本電色社製、「SD7000」を用いた。
透明基板の表面の裏側(裏面)から垂直に測定光(入射光)を入射させることで、金属細線の無い部分における透明基板および黒化処理層を透過してきた光(透過光)の比率(透過光/入射光)から透過率を求めた。測定には、日本電色社製、「NDH7000」を用いた。
図6に示すように、反射率を縦軸、透過率を横軸とする直交次元プロットにおいて、測定した反射率および透過率から点(P(Xt,Yr))をプロットし、原点Oとの線分OPと横軸(透過率軸)とのなす角∠POXをθとすると、下記の式(2)から求めた。
θ=arctan(Yr/Xt) … 式(2)
透明導電性フィルムのシート抵抗は、抵抗率計(ロレスタGP MCP−T710、三菱アナリテック社製)を用いた。そして、透明導電性フィルムを、85℃/85%RH環境下に500時間放置し、その前後のシート抵抗を比較した。シート抵抗が2倍以上上昇したものは「×」、そうでないものは「○」と評価した。
原子間力顕微鏡(NanoNaviII、SII製)により、シリコン製のカンチレバー(SI−DF40、ばね定数:40〜45N/m、共振周波数:250〜390kHz)を用い、0.5μm角の観察範囲で測定した。
各層の厚み(膜厚)は、透明導電性フィルムの断面を透過型電子顕微鏡(TEM)または走査型電子顕微鏡(SEM)による観察から測定した。
透明基板は、MD(流れ方向)の熱収縮率がほぼ0%、TD(垂直方向)の熱収縮率が0.2%の低熱収縮性ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(幅100cm、長さ10,000m、厚み100μm)を用いた。
ターゲットとして銅を用いた。アルゴンガスをスパッタ装置内に導入しながら、製膜室内圧力0.2Pa、基板温度0℃、およびパワー密度122kW/cm2の条件にて、透明基板の表面に膜厚500nmの銅の薄膜層をスパッタ製膜した。この銅の薄膜層を形成後、エッチング液として酸化鉄水溶液を用い、フォトリソグラフィー法によりパターニングし、幅6μmの金属細線でハニカム(六角形)パターンを作製した。
ターゲットとして炭素を用いた。アルゴンガスをスパッタ装置内に導入しながら、製膜室内圧力0.6Paまたは1.0Pa、基板温度25℃、およびパワー密度4W/cm2の条件にて、金属細線の表面および金属細線同士の間の透明基板の表面に、膜厚20nmの炭素の薄膜層をスパッタ製膜した。なお、黒化処理層の製膜に関する各種条件、および、透明導電性フィルムの評価結果については、表1および図8に記す。
11 黒化処理層
11F 黒化処理層の表面
14 透明基板
14F 透明基板の表面
15 金属細線
15F 金属細線の表面
15T 金属細線の上面
15S 金属細線の側面
16 金属細線層
17 透明導電性酸化物層
18 下地層
Claims (4)
- 透明基板と、
その透明基板の主面の面上側に配置された金属細線の層と、
前記主面から前記金属細線の表面に亘って製膜された黒化処理層と、
を含む透明導電性フィルムの製造方法であって、
前記黒化処理層を、アルゴン、酸素、および水素の中から選ばれる1種類以上のガスを用いた環境で、カーボンをターゲットとしたマグネトロンスパッタリングで製膜する工程を含み、
前記透明基板の表面に対する前記黒化処理層の製膜速度と、前記金属細線の表面に対する前記黒化処理層の製膜速度とが異なり、かつ、
前記金属細線の表面における前記黒化処理層の反射率を縦軸、前記金属細線の無い部分における前記透明基板および前記黒化処理層の透過率を横軸にとった直交2次元プロットにおいて、原点と各プロットを結ぶ線と、前記横軸とのなす角の角度をθとした場合、
θの値が21°以上31°以下である、
透明導電性フィルムの製造方法。 - 前記透明基板の表面における前記黒化処理層の膜厚をd1、前記金属細線の表面における上面の膜厚をd2とした場合、
d1/d2の値が、0.2以下である請求項1に記載の透明導電性フィルムの製造方法。 - 前記金属細線の表面における上面の前記黒化処理層の膜厚は、前記金属細線の表面における側面の前記黒化処理層の膜厚に比べて厚い、請求項1または2に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
- 前記黒化処理層の表面側に、さらに、透明導電性酸化物層が形成されてなる、請求項1〜3のいずれかに記載の透明導電性フィルムの製造方法。
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