JP6801684B2 - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 48
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 7
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/02—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]
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- G—PHYSICS
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/84—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
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- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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Description
図1に示すように、本実施形態の振動型ジャイロスコープ1は、MEMSにより構成された共振子2を備えている。共振子2は、駆動信号の入力端子Drive In,同出力端子Drive Out,センス軸信号の出力端子Sense Outを備えている。出力端子Drive Outには、インピーダンス変換アンプ;TIA(Trans Impedance Amplifier)3が接続されており、共振子2内部の静電容量変化がTIA3により電圧値に変換される。変換された電圧値は、駆動側のA/Dコンバータ;ADC_D4によりデジタルデータに変換され、ハイパスフィルタHPF5及びゲイン調整器;AGC回路6に入力される。
以下、第1実施形態と同一部分には同一符号を付して説明を省略し、異なる部分について説明する。図10に示すように、第2実施形態のジャイロスコープ31は、Dly回路19と乗算器20との間に、Dly回路32を挿入した構成である。このDly回路32で付与される遅延時間は、I,Q信号がPI回路15に入力され、位相信号S2が乗算器20に入力されるまでのパスにおける信号伝搬遅延時間に等しく設定される。
図11に示す第3実施形態のジャイロスコープ41には、PIC回路24とS/H回路25との間に移動平均回路;mean回路42が挿入されている。また、S/H回路25とEPROM26との間には、第3のマルチプレクサ43が挿入されており、マルチプレクサ43の他方の入力端子には、PIC回路24の出力データがそのまま入力されている。Control回路44は、マルチプレクサ43の切替も制御する。
図13に示す第4実施形態のジャイロスコープ51は、LPF21とマルチプレクサ23との間に、可変ゲインアンプ52が挿入されている。Control回路53は、可変ゲインアンプ52のゲインを制御する。低ノイズ化のためにLPF21のカットオフ周波数を低下させると、位相補正ループのバンド幅が低下して収束に長い時間がかかるという問題が生じる。
以上のように第4実施形態によれば、ジャイロスコープ51の最終出荷試験に要する時間を削減して、低コスト化を図ることができる。
図15に示す第5実施形態のジャイロスコープ61は、HPF5とDly回路14との間に、高域振幅変動抑制回路に相当するAuto Gain回路62を備えている。第1実施形態で説明したように、AGC回路6は、ドライブ軸信号の振幅を一定に維持する機能を持つが、高い周波数の変動成分を平滑化することはできない。
図18に示す第6実施形態のジャイロスコープ71は、温度センサ72,A/DコンバータADC_T73及び温度補償制御部に相当するTMP_Control回路74を備えている。温度センサ72は、ジャイロスコープ71と同じASICの内部に配置したり、外部に配置しても良い。MEMS構造体とアナログ回路の位相特性が温度依存性を持つことから、ドライブ軸とセンス軸との位相差には温度依存性がある。
図19に示す第7実施形態のジャイロスコープ81は、PI回路15と乗算器20との間に例えばコンパレータで構成されるSlicer回路82を備えている。PI回路15より出力されるデータはサイン波となるが、ここに含まれる振幅ノイズが乗算器20の出力信号S3におけるノイズの発生要因となる。そこで、Slicer回路82によりサイン波を二値レベル「1,0」をとる矩形波に変換することで、振幅ノイズを軽減する。矩形波にしてもドライブ軸信号の周波数情報は失われないため、位相補正精度を劣化させることはない。また、この構成により、乗算器20の回路規模を縮小できるので、より高精度で低コストな位相補正を実現できる。
図20に示す第8実施形態のジャイロスコープ91は、2つの入力端子がマルチプレクサ27の各入力端子に接続される自己診断回路92を備えている。各実施形態の構成は、製品出荷時において、ジャイロスコープを静止させた環境で位相制御を実施することを想定している。しかし、MEMS構造体や回路の経年劣化や、使用環境における損傷等により、ジャイロスコープの状態が出荷時の状態と変化する可能性がある。
すなわち、第8実施形態によれば、PIC回路24より出力される制御信号の経年変化に基づいて、ジャイロスコープ91の異常を検出できる。
非特許文献[1]によれば、センス軸の出力には、直交誤差の他に、In-phase noise;同相誤差も発生する。これは、静電型MEMSが有するギャップ形状のミスマッチにより、ドライブ軸の駆動力がセンス軸側に漏れることが原因であり、角速度信号と同位相となる誤差である。同相誤差が無視できない強度を持つ場合、実施形態のジャイロスコープは誤った位相補正を行ってしまう。
図28に示す第10実施形態のジャイロスコープ111は、共振子2に替わる共振子112を備えている。この共振子112は、センス軸側に入力端子Sense Inを有しており、センス軸の変位を止めるようにフィードバック制御する、フォース・リバランス・ループ(Force Rebalance Loop)・アーキテクチャを採用したものである。これに対応して、ジャイロスコープ111では、LPF22より出力される角速度信号Rateを、DAC113を介して入力端子Sense Inに入力する。
図29に示す第11実施形態のジャイロスコープ121は、共振子2に替わる共振子122を備えている。この共振子122は、入力端子Quad Errorを含む直交誤差補正ループ(Quadrature Error Compensation Loop)を有している。直交誤差補正ループは、直交誤差を最小化するためのループである。これに対応して、ジャイロスコープ121では、PI回路15とは別にもう1つのPI回路123を備える。このPI回路123に対しては、入力端子に与えるI信号とQ信号とを逆にする。乗算器124により、信号S1とPI回路123の出力信号とを乗算し、その乗算結果をLPF125,PIC126及びDAC113を介して入力端子Quad Errorに入力する。
図30に示す第12実施形態のジャイロスコープ131は、Hilbert変換回路13に替えて、PLL回路132を90°移相器として用いている。これに伴い、TIA3は、CA133に置き換え、ADC_D4を削除している。この構成では、PLL回路132のバンド幅を狭くすることで、バンドパスフィルタ;BPFとして用いることができる。これにより、ドライブ軸に含まれるノイズを低減する効果が得られるので、位相補償精度を高めることができる。
図31に示す第13実施形態のジャイロスコープ141は、第6,第12実施形態の組合わせであり、第6実施形態の温度センサ72に替えて、第12実施形態のPLL回路132を温度センサとして使用する。PLL回路132は、位相比較器;PD134,ループフィルタLF135及びVCO136で構成されている。そして、VCO136の制御電圧を、信号VtuneとしてADC_T73に入力する。制御電圧Vtuneは、共振子2の共振周波数を電圧に変換した値と見なすことができ、前記共振周波数は温度依存性を有しているので、これを温度センサとして用いることができる。
周波数の具体数値は、個別の設計に応じて適宜変更すれば良い。
各実施形態を、適宜組み合わせて実施しても良い。
メモリはEPROM26に限ることなく、フラッシュROMやEEPROM,SRAM等でも良い。
第4実施形態において、HBW,LBWモードにおける各ゲインの値も、要旨を逸脱しない範囲で適宜設定すれば良い。
Claims (16)
- MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)により構成され、駆動信号入力端子,駆動信号出力端子,及び外部より加えられた角速度に応じたセンス信号を駆動信号により変調された状態で出力するセンス信号出力端子を備える共振子(2,112,122)と、
前記駆動信号出力端子から前記駆動信号入力端子に至る経路に配置され、起動した際に前記駆動信号の振幅を参照電圧値相当に安定化させると共に、振幅変動が安定したと判定するとロック信号を出力するロック状態判定部(6)と、
前記駆動信号出力端子より出力される駆動信号を90°移相した直交信号を生成する移相器(13,132)と、
前記駆動信号の同相信号と前記直交信号と制御信号とが入力され、前記同相信号と前記直交信号とに基づいて、前記制御信号に応じた位相を有する位相信号を出力する位相補償器(15)と、
前記変調されたセンス信号と、位相補償器より出力される位相信号とを乗算する乗算器(20)と、
この乗算器の乗算結果をフィルタリングする制御用ローパスフィルタ(21)と、
比例積分演算を行うPI制御器(24)と、
前記制御用ローパスフィルタの出力信号と、ゼロレベル信号とを切り替えて、前記PI制御器に入力するための第1マルチプレクサ(23)と、
前記PI制御器より出力される制御信号を記憶するためのメモリ(26)と、
前記PI制御器より出力される制御信号と、前記メモリに記憶された制御信号との何れか一方を、前記位相補償器に入力するための第2マルチプレクサ(27)と、
前記第1マルチプレクサを制御して、初期状態において前記PI制御器に前記ゼロレベル信号を入力し、
前記ロック状態判定部が前記ロック信号を出力すると、前記PI制御器に前記制御用ローパスフィルタの出力信号を入力して位相制御を開始し、
前記出力信号がゼロレベル近傍で安定したと判断すると前記位相制御を終了し、その時点に前記PI制御器より出力されている制御信号を、前記メモリに書き込んで記憶させる制御部(27,44,53)とを備える振動型ジャイロスコープ。 - 前記移相器は、Hilbert変換回路(13)である請求項1記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記位相補償器の出力信号を二値レベルに変換するスライサ(82)を備える請求項2記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記移相器は、PLL回路(132)である請求項1記載の振動型ジャイロスコープ。
- 補正モードにおいて、前記PLL回路を構成するローパスフィルタの出力信号に基づいて、前記メモリに制御信号を記憶させて位相補正テーブルを作成し、
通常モードにおいて、前記位相補正テーブルより制御信号データを読み出すことにより温度補償処理を行う温度補償制御部(73)とを備える請求項4記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記乗算器の乗算結果をフィルタリングし、カットオフ周波数が前記制御用ローパスフィルタよりも高く設定される出力用ローパスフィルタ(22)を備える請求項1から5の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記センス信号出力端子から前記乗算器に至るまでの信号経路中に、前記位相補償器から前記乗算器に至るまでの信号経路で発生する遅延時間を付与する遅延回路(32)を備える請求項1から6の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記PI制御器より出力される制御信号について移動平均を演算する移動平均回路(42)と、
この移動平均回路の出力信号と、前記制御信号との何れか一方を選択して出力する第3マルチプレクサ(43)とを備え、
前記制御部(44)は前記第3マルチプレクサを制御し、前記位相制御の実行中は前記制御信号を選択させ、前記位相制御が終了すると前記移動平均回路の出力信号を選択させる請求項1から7の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記制御用ローパスフィルタと前記第1マルチプレクサとの間に、ゲインが変更可能である増幅器(52)を備え、
前記制御部(53)は、前記位相制御を開始してから一定時間が経過するまでは前記ゲインを高く設定しておき、前記一定時間が経過すると前記ゲインを低下させる請求項1から8の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記駆動信号出力端子から前記移相器までの信号経路に高域振幅変動抑制回路(62)を備え、
前記高域振幅変動抑制回路は、前記駆動信号振幅のピークトゥピーク値を検出するピーク値検出回路(63)と、
このピーク値検出回路の出力信号について移動平均を演算する移動平均回路(64)と、
この移動平均回路の出力信号の逆数を演算する逆数回路(65)と、
この逆数回路の出力信号と、前記駆動信号とを乗算する乗算器(66)とを備える請求項1から9の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記共振子の温度を検出する温度センサ(72)と、
補正モードにおいて、前記温度に基づいて前記メモリに制御信号を記憶させて位相補正テーブルを作成し、
通常モードにおいて、前記温度に基づいて前記位相補正テーブルより制御信号データを読み出すことにより温度補償処理を行う温度補償制御部(73)とを備える請求項1から10の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記PI制御器より出力される制御信号と、前記メモリに書き込まれている制御信号とを比較して、異常判定を行う判定部(92)を備える請求項1から11の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記制御用ローパスフィルタの出力信号に、前記共振子より出力されるセンス信号に含まれている同相誤差成分をキャンセルするためのオフセットを付与するオフセット回路(102)を備える請求項1から12の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記共振子の共振周波数よりも低い周波数のテスト信号で、前記共振子を駆動するテスト駆動回路(105)と、
前記センス信号を、前記テスト信号の周期で一定時間に亘り積算する積算器(106)と、
この積算器による積算結果について、前記共振周波数と前記テスト信号の周波数との差によるゲインの違いに応じた補正を行うゲイン補正部(107)とを備え、
前記ゲイン補正部による補正結果を、前記オフセットとする請求項13記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記共振子(112)がセンス信号入力端子を備え、前記センス信号の変動を抑制するためのフィードバックループアーキテクチャを採用している際に、
前記乗算器の出力信号をフィルタリングした信号を、前記センス信号入力端子に入力するフィードバック用ローパスフィルタ(22)を備える請求項1から14の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 前記共振子(122)が直交誤差信号入力端子を備え、直交誤差を補償するためのフィードバックループアーキテクチャを採用している際に、
前記位相補償器を第1位相補償器とすると、各入力端子に入力される同相信号と逆相信号との関係が、前記第1位相補償器とは逆になる第2位相補償器(123)と
この第2位相補償器の出力信号と、前記センス信号とを乗算する乗算器(124)と、
この乗算器の出力信号をフィルタリングするフィードバック用ローパスフィルタ(125)と、
このフィードバック用ローパスフィルタの出力信号に対し比例積分演算を行い、制御結果を前記直交誤差信号入力端子に入力するPI制御器(126)とを備える請求項1から14の何れか一項に記載の振動型ジャイロスコープ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018064591A JP6801684B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | 振動型ジャイロスコープ |
PCT/JP2019/003655 WO2019187624A1 (ja) | 2018-03-29 | 2019-02-01 | 振動型ジャイロスコープ |
US17/018,209 US11181373B2 (en) | 2018-03-29 | 2020-09-11 | Vibration type gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018064591A JP6801684B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | 振動型ジャイロスコープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019174352A JP2019174352A (ja) | 2019-10-10 |
JP6801684B2 true JP6801684B2 (ja) | 2020-12-16 |
Family
ID=68061302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018064591A Active JP6801684B2 (ja) | 2018-03-29 | 2018-03-29 | 振動型ジャイロスコープ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11181373B2 (ja) |
JP (1) | JP6801684B2 (ja) |
WO (1) | WO2019187624A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3108897B1 (fr) * | 2020-04-03 | 2022-04-08 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de commande d’un capteur |
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CN113587954B (zh) * | 2021-08-06 | 2023-05-23 | 大连海事大学 | 一种全角半球谐振陀螺阻尼不均匀的补偿控制方法及系统 |
CN115452002B (zh) * | 2022-09-02 | 2024-08-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 速率型振动陀螺标度因数补偿方法、系统、终端及介质 |
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---|---|---|---|---|
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-
2018
- 2018-03-29 JP JP2018064591A patent/JP6801684B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-01 WO PCT/JP2019/003655 patent/WO2019187624A1/ja active Application Filing
-
2020
- 2020-09-11 US US17/018,209 patent/US11181373B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11181373B2 (en) | 2021-11-23 |
US20200408526A1 (en) | 2020-12-31 |
WO2019187624A1 (ja) | 2019-10-03 |
JP2019174352A (ja) | 2019-10-10 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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