JP6791015B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
このため、回生制御の実行時に、ブレーキ抵抗により加熱対象部を加熱しながら電源回路を保護できる。
この構成によれば、加熱対象部の一例である排気部がブレーキ抵抗により加熱されるため、排気部内における反応生成物の堆積が抑制される。排気部内は、ケーシング内においても特に圧力が高くなりやすい部分であるため、反応生成物が堆積するおそれが高い。そのような部分における反応生成物の堆積物の生成が上記のとおりブレーキ抵抗を用いて抑制されることにより、コストの低減とケーシングの詰まりの抑制とが両立される。
このため、ケーブルの長さを短くできる。
このため、排気部内における反応生成物の堆積の抑制と、シール部材の保護とが両立される。
図1(a)に示される真空ポンプ1は、例えば半導体製造装置の真空チャンバ(ともに図示略)に取り付けられ、真空チャンバ内を真空にする。真空ポンプ1は、ドライポンプやオイルポンプといった種々の型式を採ることができる。本実施形態の真空ポンプ1は、ドライポンプのうちのターボ分子ポンプである。真空ポンプ1は、ポンプ本体10、冷却装置30、および、電源装置40を備える。本実施形態では、ポンプ本体10、冷却装置30、および、電源装置40は、一体型の機器である。冷却装置30は、ポンプ本体10および電源装置40に挟まれている。冷却装置30は、冷却装置30内に設けられた冷却水路によって電源装置40を主に冷却する。電源装置40は、ポンプ本体10に電力を供給する。
電源装置40は、電源回路41、インバータ回路42、切替部43、ダイオード44、DC/DCコンバータ45、制御部46、および、励磁アンプ47を有する。電源装置40は、第1電圧検出部51、第2電圧検出部52、および、電流検出部53をさらに有する。電源装置40には、ブレーキ抵抗60および温度検出部62が電気的に接続されている。
制御部46は、ステップS21における排気部22の温度が目標温度範囲TAを上回るか否かの判定と、ステップS22における排気部22の温度が目標温度範囲TAを下回るか否かの判定とに基づいて、切替部43を制御する。
制御部46は、ステップS31において、電源回路41の出力電圧Vmが所定の電圧以上であるか否かを判定する。なお、所定の電圧は、電源回路41を保護するか否かを判定するための閾値であり、実験等により予め設定されている。
一般に、反応生成物の昇華温度と圧力との関係として、同一温度であれば圧力が高いほど、気体分子が液化または固化しやすい。言い換えれば、同一温度であれば圧力が高いほど、気体分子が真空ポンプ1の内部に堆積しやすい。
(1−1)目標温度範囲TAの上限値は、シール部材120の耐熱温度以下である。このため、排気部22内における反応生成物の堆積を抑制と、シール部材120の保護とを両立できる。
加えて、ポンプ本体10及び電源装置40の各ケーシング20,40Aが互いに組み付けられた後にケーブル61,63によって真空ポンプ1の組立て時にブレーキ抵抗60及び温度検出部62と電源装置40とを電気的に接続できる。したがって、ブレーキ抵抗60及び温度検出部62と電源装置40とを容易に接続できる。
図5および図6を参照して、第2実施形態の真空ポンプ1について説明する。第2実施形態の真空ポンプ1は、第1実施形態の真空ポンプ1に比べ、ポンプヒータ70が追加された点で異なる。以下の説明では、第1実施形態と共通する構成については、第1実施形態と同一の符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。
(2−1)ドラッグポンプ部12における排気部22よりも上流側の部分がポンプヒータ70により加熱されるため、排気部22の次に反応生成物が堆積しやすい部分を常時高温に維持できる。したがって、真空ポンプ1内に反応生成物が堆積することを一層抑制できる。
上記各実施形態に関する説明は、本発明の真空ポンプが取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本発明の真空ポンプは、例えば以下に示される上記各実施形態の変形例、および、相互に矛盾しない少なくとも2つの変形例が組み合せられた形態を取り得る。
・各実施形態において、ブレーキ抵抗60の取り付け箇所(加熱対象部)を排気部22としたが、これに限定されず、ケーシング20、排気管110、ドラッグポンプ部12におけるステータ、ターボポンプ部11における固定翼等であってもよい。
10 ポンプ本体
13 モータ
17 ロータ
20 ケーシング
22 排気部(加熱対象部)
40 電源装置
40A ケーシング
41 電源回路
46 制御部
60 ブレーキ抵抗
61 ケーブル
110 排気管
120 シール部材
Vm 電源回路の出力電圧
Claims (6)
- ロータを収容するケーシング、および、前記ロータを駆動するモータを含むポンプ本体と、
前記モータに電力を供給する電源回路を有し、かつ、前記モータからの回生電力が供給される電源装置と、
前記モータから前記回生電力が供給される回生制御のときには前記回生電力に基づく電流が流れることで発熱し、前記回生電力が供給されず前記電源回路からの電力が供給される定格制御のときには前記電源回路からの電力に基づいて電流が流れることで発熱し、反応生成物の堆積を抑制する必要のある加熱対象部を加熱するブレーキ抵抗と、
前記回生制御および前記定格制御において、前記加熱対象部の温度が反応生成物の堆積が抑制される堆積抑制温度に保たれるように前記ブレーキ抵抗への電流の供給を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記回生制御において、前記電源回路の出力電圧が、前記電源回路が安全に動作できる電圧の上限値未満である所定の電圧となるよう、および、前記加熱対象部の温度が前記堆積抑制温度に保たれるように、前記ブレーキ抵抗への電流の供給を制御する、真空ポンプ。 - 前記制御部は、前記回生制御において、前記電源回路の出力電圧が前記所定の電圧を上回る場合、前記加熱対象部の温度が前記堆積抑制温度に保たれるように前記ブレーキ抵抗に電流を供給する制御よりも優先して前記ブレーキ抵抗に供給する回生電力を低減させる、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記制御部は、前記回生制御において、
前記電源回路の出力電圧が前記所定の電圧以下の場合、かつ、前記加熱対象部の温度が前記堆積抑制温度以下の場合、前記電源回路の出力電圧が前記所定の電圧となるように、前記回生電力を前記ブレーキ抵抗に供給し、
前記電源回路の出力電圧が前記所定の電圧以下の場合、かつ、前記加熱対象部の温度が前記堆積抑制温度を上回る場合、前記ブレーキ抵抗に供給する回生電力を低減させ、前記加熱対象部の温度を前記堆積抑制温度に保たれるように制御する、請求項1または2に記載の真空ポンプ。 - 前記加熱対象部は、前記ケーシングに接続される排気管を接続できるように前記ケーシングに形成された排気部を少なくとも含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記ポンプ本体と前記電源装置が一体化されており、前記ブレーキ抵抗と前記電源回路とを電気的に接続するケーブルが前記電源装置および前記ポンプ本体の各ケーシングの外部または内部で配線されている、請求項4に記載の真空ポンプ。
- 前記制御部は、前記加熱対象部の温度が前記排気部に設けられたシール部材の耐熱温度を超えないように前記ブレーキ抵抗に流れる電流を制御する、請求項4または5に記載の真空ポンプ。
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