JP6789006B2 - 真空吸着装置 - Google Patents
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表面に開口する開口部を有する吸引経路が設けられた吸着台を備える真空吸着装置であって、
前記真空吸着装置は、前記吸引経路からの吸引によって、前記吸着台の表面と該表面に載置される基板との間の空間を負圧として負圧領域を形成することにより、前記吸着台の表面に前記基板を吸着保持するように構成されているものであり、
前記吸着台の表面には、弾性を備えるリフト部と、前記リフト部の下部を受け入れる受入凹部と、が設けられ、
前記リフト部は、前記吸着台の表面と前記基板との間に前記基板を搬送する搬送支持部を挿入できるように、前記吸着台の表面から所定高さまで上方へ前記受入凹部から突出するように構成されており、
前記リフト部は、前記基板が前記吸着台に吸着されるときに吸引に伴って下降する前記基板によって押し縮められ、前記リフト部の上端が前記吸着台の表面と面一になることを特徴とする。
図1から図3を参照して、本発明の真空吸着装置の第1実施形態を説明する。図1を参照して、第1実施形態の真空吸着装置1は、略円板状のセラミックスからなる吸着台2を備えている。吸着台2は、炭化珪素、窒化アルミニウム、アルミナまたは窒化ケイ素などを主原料とする無機質固体粉末を焼成することにより作製される。
図4を参照して、本発明の真空吸着装置の第2実施形態について説明する。なお、第2実施形態において第1実施形態と同一のものは同一の符号を付して説明を省略する。
図5を参照して、本発明の第3実施形態の真空吸着装置を説明する。第3実施形態の真空吸着装置1は、リフト部4が、図5に示すように、ウレタンやフッ素ゴムなどで成形された無端でトーラス形状のチューブで構成されている点、及び吸引経路3とは別の吸引経路を受入凹部5と環状凹部6との間に設けている点、を除いて第1実施形態のものと同一に構成されている。
上述した実施形態以外にも、シール部材7および環状凹部6のそれぞれの形状がさまざまに変更されてもよい。たとえば、シール部材7が略円形状の断面を有し、その上端部が吸着台2の表面2a(吸着平面)よりも上方に突出しているトーラス形状に形成されていてもよい。同じく、環状凹部6が下底よりも短い上底が上側にある略台形状の断面を有するように形成されていてもよい。環状凹部6の底面よりも上側の開口部の幅が小さいため、環状凹部6がシール部材7をしっかりと保持することができ、シール部材7の環状凹部6からの脱落を防止することができる。
Claims (5)
- 表面に開口する開口部を有する吸引経路が設けられた吸着台を備える真空吸着装置であって、
前記真空吸着装置は、前記吸引経路からの吸引によって、前記吸着台の表面と該表面に載置される基板との間の空間を負圧として負圧領域を形成することにより、前記吸着台の表面に前記基板を吸着保持するように構成されているものであり、
前記吸着台の表面には、弾性を備えるリフト部と、前記リフト部の下部を受け入れる受入凹部と、が設けられ、
前記リフト部は、前記吸着台の表面と前記基板との間に前記基板を搬送する搬送支持部を挿入できるように前記吸着台の表面から所定高さまで上方へ前記受入凹部から突出するように構成されており、
前記リフト部は、前記基板が前記吸着台に吸着されるときに吸引に伴って下降する前記基板によって前記受入凹部へ押し縮められ、前記リフト部の上端が前記吸着台の表面と面一になることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1記載の真空吸着装置であって、
前記開口部を囲うように環状に形成され且つ前記表面に設けられた弾性素材からなるシール部材を備え、
前記リフト部の上端は、前記基板による前記リフト部の押し縮めから解放された自然状態では前記シール部材の上端よりも上方に位置していることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の真空吸着装置であって、
前記リフト部は少なくとも一方の端部が開口したチューブ部材で形成されたものであることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の真空吸着装置であって、
前記リフト部は中空のトーラス形状であり、前記リフト部の中の空気が前記リフト部の外に漏れないように気密性を備える材料で前記リフト部が製造されていることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の真空吸着装置であって、
前記リフト部は多孔質部材で形成されたものであることを特徴とする真空吸着装置。
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