JPH0241435U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241435U JPH0241435U JP12056588U JP12056588U JPH0241435U JP H0241435 U JPH0241435 U JP H0241435U JP 12056588 U JP12056588 U JP 12056588U JP 12056588 U JP12056588 U JP 12056588U JP H0241435 U JPH0241435 U JP H0241435U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stage
- prober
- wafer prober
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａは本考案の実施例１を示す断面図、第
１図ｂは同斜視図、第２図ａ，ｂは本考案の実施
例１におけるウエハー搭載状態を示す断面図、第
３図ａ，ｂは本考案の実施例２を示す断面図、第
４図ａは従来例を示す断面図、第４図ｂは同斜視
図である。 １…ステージ本体、２…真空ポンプ、３…吸着
孔、４…弾性体、５…ばね、６…ウエハー、７…
空隙。
１図ｂは同斜視図、第２図ａ，ｂは本考案の実施
例１におけるウエハー搭載状態を示す断面図、第
３図ａ，ｂは本考案の実施例２を示す断面図、第
４図ａは従来例を示す断面図、第４図ｂは同斜視
図である。 １…ステージ本体、２…真空ポンプ、３…吸着
孔、４…弾性体、５…ばね、６…ウエハー、７…
空隙。
Claims (1)
- 集積回路ウエハを搭載するウエハープローバー
用ステージにおいて、ステージ本体の上面に、真
空吸着されるウエハーにより圧下されて圧縮変形
する１ケ又は複数個の滑り止め用弾性体を有する
ことを特徴とするウエハープローバー用ステージ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12056588U JPH0241435U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12056588U JPH0241435U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241435U true JPH0241435U (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=31366789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12056588U Pending JPH0241435U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0241435U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04105290U (ja) * | 1991-02-15 | 1992-09-10 | 大阪瓦斯株式会社 | 管継手 |
| JP2005156317A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Sony Corp | 電子部品測定装置及び電子部品測定方法 |
| JP2017220484A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空吸着装置 |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP12056588U patent/JPH0241435U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04105290U (ja) * | 1991-02-15 | 1992-09-10 | 大阪瓦斯株式会社 | 管継手 |
| JP2005156317A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Sony Corp | 電子部品測定装置及び電子部品測定方法 |
| JP2017220484A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空吸着装置 |