JP6777659B2 - ピエゾアクチュエータ型バルブ - Google Patents
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- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 46
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 26
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 23
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 11
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/007—Piezo-electric stacks
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/08—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid using a permanent magnet
- F16K31/086—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid using a permanent magnet the magnet being movable and actuating a second magnet connected to the closing element
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- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
本願は、「High Flow Piezo Actuator Type Valve」と題する2015年6月25日付けで出願された米国仮特許出願第62184758号に対する優先権を主張する。この米国仮特許出願の教示全体は、本明細書の一部をなす。
ピエゾ積層体と、
前記ピエゾ積層体を取り囲むピエゾアクチュエータであって、前記ピエゾ積層体の移動量を増幅するストローク増幅器を提供するたわみ要素を備える、ピエゾアクチュエータと、
流入口流路及び流出口流路を有するバルブブロックと、
前記バルブブロックの上に着座するダイヤフラムであって、該ダイヤフラムの外側部分は剛性であり、該ダイヤフラムの内側部分は垂直軸線において可動である、ダイヤフラムと、
双方向フレキシャであって、前記ピエゾアクチュエータの下部分が、該双方向フレキシャを介して前記ダイヤフラムに機械的に取り付けられる、双方向フレキシャと、
を備える、バルブ組立体を含む。
流路を通る流量を検知する流量センサー組立体と、
バルブ組立体であって、
ピエゾ積層体と、
前記ピエゾ積層体を取り囲むピエゾアクチュエータであって、前記ピエゾ積層体の移動量を増幅するストローク増幅器を提供するたわみ要素を備える、ピエゾアクチュエータと、
流入口流路及び流出口流路を有するバルブブロックと、
前記バルブブロックの上に着座するダイヤフラムであって、該ダイヤフラムの外側部分は剛性であり、該ダイヤフラムの内側部分は垂直軸線において可動である、ダイヤフラムと、
双方向フレキシャであって、前記ピエゾアクチュエータの下部分が、該双方向フレキシャを介して前記ダイヤフラムに機械的に取り付けられる、双方向フレキシャと、
を備える、バルブ組立体と、
所望の流量を受け取り、前記流量センサー組立体から流量の表示を受け取り、前記流路を通る実際の流量を求め、前記バルブ組立体を制御して流体流量を調節するようにプログラムされた制御装置と、
を備える、質量流量制御器を含む。
Claims (20)
- ピエゾ積層体と、
前記ピエゾ積層体を取り囲むピエゾアクチュエータであって、前記ピエゾ積層体の移動量を増幅するストローク増幅器を提供するたわみ要素を備える、ピエゾアクチュエータと、
流入口流路及び流出口流路を有するバルブブロックと、
前記バルブブロックの上に着座するダイヤフラムであって、該ダイヤフラムの外側部分は剛性であり、該ダイヤフラムの内側部分は垂直軸線において可動である、ダイヤフラムと、
前記ピエゾアクチュエータと前記ダイヤフラムの内側部分との間の軸方向接続をもたらしながら非軸方向の反りを可能にするように撓む又は曲がることが可能な双方向フレキシャであって、前記ピエゾアクチュエータの下部分が、該双方向フレキシャを介して前記ダイヤフラムに機械的に取り付けられる、双方向フレキシャと、
を備える、バルブ組立体。 - 前記ダイヤフラムの前記外側部分に結合されたアクチュエータフレームを更に備える、請求項1に記載のバルブ組立体。
- 前記アクチュエータフレームは、前記ピエゾアクチュエータの上部分に取り付けられる、請求項2に記載のバルブ組立体。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、剛性クランプを用いて前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項1に記載のバルブ組立体。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、アクチュエータ磁石及び結合磁石を含む磁気結合を用いて前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項1に記載のバルブ組立体。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、接着接続を用いて前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項1に記載のバルブ組立体。
- 前記接着接続が、前記ピエゾアクチュエータのピン形状要素と前記双方向フレキシャのカップ形状要素とによって容易にされる、請求項6に記載のバルブ組立体。
- 前記ダイヤフラム内の前記双方向フレキシャの周りに位置決めされる予圧ばねを更に備える、請求項1に記載のバルブ組立体。
- 流路を通る流量を検知する流量センサー組立体と、
バルブ組立体であって、
ピエゾ積層体と、
前記ピエゾ積層体を取り囲むピエゾアクチュエータであって、前記ピエゾ積層体の移動量を増幅するストローク増幅器を提供するたわみ要素を備える、ピエゾアクチュエータと、
流入口流路及び流出口流路を有するバルブブロックと、
前記バルブブロックの上に着座するダイヤフラムであって、該ダイヤフラムの外側部分は剛性であり、該ダイヤフラムの内側部分は垂直軸線において可動である、ダイヤフラムと、
前記ピエゾアクチュエータと前記ダイヤフラムの内側部分との間の軸方向接続をもたらしながら非軸方向の反りを可能にするように撓む又は曲がることが可能な双方向フレキシャであって、前記ピエゾアクチュエータの下部分が、該双方向フレキシャを介して前記ダイヤフラムに機械的に取り付けられる、双方向フレキシャと、
を備える、バルブ組立体と、
所望の流量を受け取り、前記流量センサー組立体から流量の表示を受け取り、前記流路を通る実際の流量を求め、前記バルブ組立体を制御して流体流量を調節するようにプログラムされた制御装置と、
を備える、質量流量制御器。 - 前記バルブ組立体は、前記ダイヤフラムの前記外側部分に結合されたアクチュエータフレームを更に備える、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記アクチュエータフレームは、前記ピエゾアクチュエータの上部分に取り付けられる、請求項10に記載の質量流量制御器。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、剛性クランプを用いて前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、アクチュエータ磁石及び結合磁石を含む磁気結合を用いて、前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記ピエゾアクチュエータの前記下部分は、接着接続を用いて前記双方向フレキシャに取り付けられる、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記接着接続が、前記ピエゾアクチュエータのピン形状要素と前記双方向フレキシャのカップ形状要素とによって容易にされる、請求項14に記載の質量流量制御器。
- 前記バルブ組立体は、前記ダイヤフラム内の前記双方向フレキシャの周りに位置決めされる予圧ばねを更に備える、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 閉鎖方向に駆動するとき、前記ピエゾ積層体から電荷を排出する回路を更に備える、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記双方向フレキシャは、細いシャフトによってつながっている幅広の基部と上部とを有する、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記双方向フレキシャは、プランジャシートに取り付けられた細長い管状のステムである、請求項9に記載の質量流量制御器。
- 前記制御装置は、負電圧を前記ピエゾ積層体に印加して、ピエゾヒステリシスを打ち消すように構成されている、請求項9に記載の質量流量制御器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562184758P | 2015-06-25 | 2015-06-25 | |
US62/184,758 | 2015-06-25 | ||
PCT/US2016/036128 WO2016209610A1 (en) | 2015-06-25 | 2016-06-07 | Piezo actuator type valve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018526586A JP2018526586A (ja) | 2018-09-13 |
JP6777659B2 true JP6777659B2 (ja) | 2020-10-28 |
Family
ID=56289575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017566765A Active JP6777659B2 (ja) | 2015-06-25 | 2016-06-07 | ピエゾアクチュエータ型バルブ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10400906B2 (ja) |
JP (1) | JP6777659B2 (ja) |
KR (1) | KR102456760B1 (ja) |
CN (1) | CN107771258B (ja) |
DE (1) | DE112016002024B4 (ja) |
GB (1) | GB2553476B (ja) |
WO (1) | WO2016209610A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL2019572A (en) | 2016-10-20 | 2018-04-24 | Asml Netherlands Bv | A pressure control valve, a fluid handling structure for lithographic apparatus and a lithographic apparatus |
CN108267257B (zh) * | 2016-12-30 | 2021-10-22 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 压力传感器 |
JP7427357B2 (ja) * | 2017-06-07 | 2024-02-05 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置、制御プログラム、及び、制御方法 |
JP2020089037A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 株式会社堀場エステック | ピエゾアクチュエータ、流体制御バルブ、及び、流体制御装置 |
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-
2016
- 2016-06-07 CN CN201680036262.0A patent/CN107771258B/zh active Active
- 2016-06-07 DE DE112016002024.4T patent/DE112016002024B4/de active Active
- 2016-06-07 GB GB1719476.2A patent/GB2553476B/en active Active
- 2016-06-07 WO PCT/US2016/036128 patent/WO2016209610A1/en active Application Filing
- 2016-06-07 KR KR1020177036088A patent/KR102456760B1/ko active IP Right Grant
- 2016-06-07 JP JP2017566765A patent/JP6777659B2/ja active Active
- 2016-06-07 US US15/576,567 patent/US10400906B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016209610A1 (en) | 2016-12-29 |
DE112016002024T5 (de) | 2018-01-25 |
CN107771258A (zh) | 2018-03-06 |
GB2553476B (en) | 2021-02-10 |
GB201719476D0 (en) | 2018-01-10 |
JP2018526586A (ja) | 2018-09-13 |
KR102456760B1 (ko) | 2022-10-19 |
US20180163886A1 (en) | 2018-06-14 |
GB2553476A (en) | 2018-03-07 |
KR20180020151A (ko) | 2018-02-27 |
CN107771258B (zh) | 2019-11-12 |
DE112016002024B4 (de) | 2023-11-09 |
US10400906B2 (en) | 2019-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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