JP6770648B2 - 下にあるインターポーザを通じて拡張するヒートスプレッダを有する半導体ダイアセンブリ及び関連技術 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 231
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 16
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 16
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 7
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005055 memory storage Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3677—Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/13—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3672—Foil-like cooling fins or heat sinks
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4871—Bases, plates or heatsinks
- H01L21/4882—Assembly of heatsink parts
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/482—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of lead-in layers inseparably applied to the semiconductor body
- H01L23/485—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of lead-in layers inseparably applied to the semiconductor body consisting of layered constructions comprising conductive layers and insulating layers, e.g. planar contacts
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0652—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
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- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/074—Stacked arrangements of non-apertured devices
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- H01L23/4006—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
- H01L2023/4037—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink
- H01L2023/4068—Heatconductors between device and heatsink, e.g. compliant heat-spreaders, heat-conducting bands
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/0652—Bump or bump-like direct electrical connections from substrate to substrate
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06548—Conductive via connections through the substrate, container, or encapsulation
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
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- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
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Description
及び複数の第2のデカップリングコンデンサ113に動作可能に接続する内部回路(図示せず)を夫々含み得る。
ターポーザ104内の開口部を通じて拡張し得る)。説明する実施形態では、ピラー126及びキャップ128はヒートスプレッダ106の不可欠なコンポーネントである。他の実施形態では、同等のヒートスプレッダ106は、相互に結合された別個のコンポーネントであるか、又は不連続である(例えば、相互に離隔されている)ピラー及びキャップを含み得る。例えば、同等のヒートスプレッダ106は、ピラーの外周の少なくとも75%の周囲にキャップが拡張するように、対応するキャップによって少なくとも部分的に画定される開口部を通じて拡張するピラーを含み得る。その他の不連続な構成も可能である。
方向にピラー126から水平方向に離隔されつつ、第1の半導体ダイ122a、122cは、ある方向にピラー126から水平方向に離隔される。説明される実施形態では、インターポーザ104は、長方形の環として成形され、それ故、ピラー126の全外周の周囲に拡張する。他の実施形態では、インターポーザ104の同等物は、ピラー126の外周の全てよりも少ない(例えば、100%よりも少ないが、75%よりも大きい)周囲に拡張し得る。一例として、インターポーザ104の同等物は、U字型であり得る。
であってもよい。
能等の多種多様な機能の内の何れかを実施し得る。したがって、代表的なシステム600は、携帯型デバイス(例えば、携帯電話、タブレット、デジタルリーダ、及びデジタルオーディオプレーヤ)、コンピュータ、並びに電化製品を非制限的に含み得る。システム600のコンポーネントは、単一のユニット内に収容されてもよく、又は(例えば、通信ネットワークを通じて)相互接続される複数のユニットに渡って分散されてもよい。システム600のコンポーネントは、遠隔デバイスと、多種多様なコンピュータ可読媒体の内の何れかとをも含み得る。
Claims (33)
- 第1の半導体ダイと、
半導体ダイアセンブリが所定の方位にある場合に前記第1の半導体ダイの下にあるパッケージ基板と、
前記パッケージ基板と前記第1の半導体ダイとの間のインターポーザと、
前記パッケージ基板と前記インターポーザとの間の第2の半導体ダイと、
前記第1及び前記第2の半導体ダイから離れて熱を伝達するように構成されるヒートスプレッダであって、ここで、前記ヒートスプレッダは、
前記半導体ダイアセンブリが前記所定の方位にある場合に前記第1の半導体ダイに第1の高さで熱的に結合されるキャップと、
前記半導体ダイアセンブリが前記所定の方位にある場合に前記第2の半導体ダイに前記第1の高さとは異なる第2の高さで熱的に結合されるピラーであって、ここで、前記インターポーザは、前記第1の高さと前記第2の高さの間の平面内に前記ピラーの外周の少なくとも75%の周囲に拡張する、前記ピラーと
を含む、前記ヒートスプレッダと
を含む、半導体ダイアセンブリ。 - 前記インターポーザは開口部を画定し、
前記ピラーは前記開口部を通じて拡張する、
請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記インターポーザは、前記第1の高さと前記第2の高さとの間の前記平面内に長方形の環として成形される、請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記第1の半導体ダイはメモリダイであり、
前記第2の半導体ダイはロジックダイである、
請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記ヒートスプレッダは、対流により熱を伝達するように構成されるフィンを含み、
前記フィンは、前記半導体ダイアセンブリが前記所定の方位にある場合に前記ピラーの上方にある、
請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記キャップ及び前記ピラーは前記ヒートスプレッダの連続的なコンポーネントである、請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記第1の半導体ダイは、前記インターポーザに電気的に結合される、複数の第1の半導体ダイの内の第1の1つであり、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つは、前記ピラーから第1の方向に水平方向に離隔し、
前記半導体ダイアセンブリは、前記複数の第1の半導体ダイの内の第2の1つを更に含み、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つは、前記ピラーから前記第1の方向とは反対の第2の方向に水平方向に離隔する、
請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記キャップ及び前記ピラーは前記ヒートスプレッダの不連続なコンポーネントである、請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記キャップは、前記ピラーの外周の少なくとも75%の周囲に前記第1の高さで拡張する、請求項8に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記キャップが前記第1の半導体ダイに前記第1の高さでそれを通じて熱的に結合される第1のサーマルインタフェース機構と、
前記ピラーが前記第2の半導体ダイに前記第2の高さでそれを通じて熱的に結合される第2のサーマルインタフェース機構と
を更に含む、請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記第1及び前記第2のサーマルインタフェース機構は夫々、サーマルインタフェーステープの第1及び第2の断片である、請求項10に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記第1及び前記第2のサーマルインタフェース機構は夫々、サーマルインタフェースペーストの第1及び第2の塊である、請求項10に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記第1の半導体ダイは、前記インターポーザに電気的に結合される、複数の第1の半導体ダイの内の第1の1つであり、
前記インターポーザは、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記第2の半導体ダイは、前記インターポーザの前記第1の主要面よりも前記インターポーザの前記第2の主要面により近接し、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つは、前記インターポーザの前記第1の主要面を介して前記インターポーザに電気的に結合され、
前記半導体ダイアセンブリは、前記複数の第1の半導体ダイの内の第2の1つを更に含み、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つは、前記インターポーザの前記第2の主要面を介して前記インターポーザに電気的に結合される、
請求項1に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記パッケージ基板は、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記第1の半導体ダイは、前記パッケージ基板の前記第2の主要面よりも前記パッケージ基板の前記第1の主要面により近接し、
前記半導体ダイアセンブリは、前記パッケージ基板の前記第1の主要面に熱伝達材料を更に含み、
前記熱伝達材料は、前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つに熱的に結合される、
請求項13に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記熱伝達材料は、前記半導体ダイアセンブリが前記所定の方位にある場合に前記パッケージ基板の上にある金属フィルムである、請求項14に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記熱伝達材料は、前記半導体ダイアセンブリが前記所定の方位にある場合に前記インターポーザの端部を越えて水平方向に拡張する周辺部分を含み、
前記半導体ダイアセンブリは、前記熱伝達材料の前記周辺部分において前記熱伝達材料に熱的に結合されるフィンを更に含み、
前記フィンは対流により熱を伝達するように構成される、
請求項14に記載の半導体ダイアセンブリ。 - 前記熱伝達材料が前記第1の半導体ダイにそれを通じて熱的に結合されるサーマルインタフェース機構を更に含む、請求項14に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記サーマルインタフェース機構はサーマルインタフェーステープの断片である、請求項17に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 前記サーマルインタフェース機構はサーマルインタフェースペーストの塊である、請求項17に記載の半導体ダイアセンブリ。
- 第1の半導体ダイをインターポーザに電気的に結合することと、
第2の半導体ダイをパッケージ基板に電気的に結合することと、
前記インターポーザを前記パッケージ基板に電気的に結合することと、
前記第1の半導体ダイにヒートスプレッダのキャップを熱的に結合することであって、ここで、前記ヒートスプレッダは、前記キャップを介して前記第1の半導体ダイから離れて熱を伝達するように構成されることと、
前記インターポーザがピラーの外周の少なくとも75%の周囲に拡張するように前記インターポーザに関連して前記ヒートスプレッダの前記ピラーを設置することであって、ここで、前記ヒートスプレッダは、前記ピラーを介して前記第2の半導体ダイから離れて熱を伝達するように構成されることと、
前記ピラーを前記第2の半導体ダイに熱的に結合することと
を含む、半導体ダイアセンブリを製造するための方法。 - 前記インターポーザは開口部を画定し、
前記インターポーザに関連して前記ピラーを設置することは、前記ピラーを前記開口部を通じて拡張することを含む、
請求項20に記載の方法。 - 前記第1の半導体ダイは、前記インターポーザに電気的に結合される、複数の第1の半導体ダイの内の第1の1つであり、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つを前記インターポーザに電気的に結合することは、前記ピラーから第1の方向に水平方向に離隔される前記インターポーザの部分において、前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つを前記インターポーザに電気的に結合することを含み、
前記方法は、前記第1の方向とは反対の第2の方向に水平方向に前記ピラーから離隔される前記インターポーザの部分において、前記複数の第1の半導体ダイの内の第2の1つを前記インターポーザに電気的に結合することを更に含む、
請求項20に記載の方法。 - 前記第1の半導体ダイと直接接触する第1のサーマルインタフェース機構を配備することと、
前記第2の半導体ダイと直接接触する第2のサーマルインタフェース機構を配備することとを更に含み、ここで、
前記第1の半導体ダイに前記キャップを熱的に結合することは、前記第1のサーマルインタフェース機構を介して前記第1の半導体ダイに前記キャップを熱的に結合することを含み、
前記ピラーを前記第2の半導体ダイに熱的に結合することは、前記第2のサーマルインタフェース機構を介して前記ピラーを前記第2の半導体ダイに熱的に結合することを含む
、
請求項20に記載の方法。 - 前記第1及び前記第2のサーマルインタフェース機構を配備することは、サーマルインタフェーステープの第1及び第2の断片を夫々付着することを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記第1及び前記第2のサーマルインタフェース機構を配備することは、サーマルインタフェースペーストの第1及び第2の塊を夫々沈着することを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記インターポーザは、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記第2の半導体ダイは、前記インターポーザの前記第1の主要面よりも前記インターポーザの前記第2の主要面により近接し、
前記第1の半導体ダイは、前記インターポーザに電気的に結合される、複数の第1の半導体ダイの内の第1の1つであり、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つを前記インターポーザに電気的に結合することは、前記インターポーザの前記第1の主要面を介して前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つを前記インターポーザに電気的に結合することを含み、
前記方法は、前記インターポーザの前記第2の主要面を介して前記複数の第1の半導体ダイの内の第2の1つを前記インターポーザに電気的に結合することを更に含む、
請求項20に記載の方法。 - 前記パッケージ基板は、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記第1の半導体ダイは、前記パッケージ基板の前記第2の主要面よりも前記パッケージ基板の前記第1の主要面により近接し、
前記方法は、前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つに熱伝達材料を熱的に結合することを更に含み、
前記熱伝達材料は、前記パッケージ基板の前記第1の主要面にある、
請求項26に記載の方法。 - 前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つと直接接触するサーマルインタフェース機構を配備することを更に含み、ここで、前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つに前記熱伝達材料を熱的に結合することは、前記サーマルインタフェース機構を介して前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つに前記熱伝達材料を熱的に結合することを含む、請求項27に記載の方法。
- 前記サーマルインタフェース機構を配備することは、サーマルインタフェーステープの断片を付着することを含む、請求項28に記載の方法。
- 前記サーマルインタフェース機構を配備することは、サーマルインタフェースペーストの塊を沈着することを含む、請求項28に記載の方法。
- 半導体ダイアセンブリを動作するための方法であって、
インターポーザに電気的に結合される第1の半導体ダイを動作することと、
パッケージ基板に電気的に結合される第2の半導体ダイを動作することと、
前記第1の半導体ダイに熱的に結合されるヒートスプレッダのキャップを介して、前記第1の半導体ダイを動作することにより生成される総熱量の内の少なくとも50%を前記第1の半導体ダイから離れて伝達することと、
前記第2の半導体ダイに熱的に結合される前記ヒートスプレッダのピラーを介して、及び前記インターポーザにより画定される開口部を介して、前記第2の半導体ダイを動作することにより生成される総熱量の内の少なくとも50%を前記第2の半導体ダイから離れて伝達することであって、ここで、前記ピラーは前記開口部を通じて拡張することと
を含む、方法。 - 前記第1の半導体ダイを動作することにより生成される前記総熱量は、前記第2の半導体ダイを動作することにより生成される前記総熱量の最大25%である、請求項31に記載の方法。
- 前記第1の半導体ダイは、前記インターポーザに電気的に結合される、複数の第1の半導体ダイの内の第1の1つであり、
前記インターポーザは、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記第2の半導体ダイは、前記インターポーザの前記第1の主要面よりも前記インターポーザの前記第2の主要面により近接し、
前記パッケージ基板は、
第1の主要面と、
その第1の主要面とは反対の第2の主要面と
を有し、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つは、前記パッケージ基板の前記第2の主要面よりも前記パッケージ基板の前記第1の主要面により近接し、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第1の1つは、前記インターポーザの前記第1の主要面を介して前記インターポーザに電気的に結合され、
前記方法は、
前記インターポーザの前記第2の主要面を介して前記インターポーザに電気的に結合される、前記複数の第1の半導体ダイの内の第2の1つを動作することと、
前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つに熱的に結合される熱伝達材料を介して、前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つを動作することにより生成される総熱量の内の少なくとも50%を前記複数の第1の半導体ダイの内の前記第2の1つから離れて伝達することと
を更に含み、
前記熱伝達材料は、前記パッケージ基板の前記第1の主要面にある、
請求項31に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/386,343 US10062634B2 (en) | 2016-12-21 | 2016-12-21 | Semiconductor die assembly having heat spreader that extends through underlying interposer and related technology |
US15/386,343 | 2016-12-21 | ||
PCT/US2017/062621 WO2018118315A1 (en) | 2016-12-21 | 2017-11-20 | Semiconductor die assembly having heat spreader that extends through underlying interposer and related technology |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020513694A JP2020513694A (ja) | 2020-05-14 |
JP6770648B2 true JP6770648B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=62556984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019531054A Active JP6770648B2 (ja) | 2016-12-21 | 2017-11-20 | 下にあるインターポーザを通じて拡張するヒートスプレッダを有する半導体ダイアセンブリ及び関連技術 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US10062634B2 (ja) |
EP (1) | EP3559987A4 (ja) |
JP (1) | JP6770648B2 (ja) |
KR (1) | KR102342690B1 (ja) |
CN (1) | CN109983572B (ja) |
TW (1) | TWI683404B (ja) |
WO (1) | WO2018118315A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10062634B2 (en) * | 2016-12-21 | 2018-08-28 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor die assembly having heat spreader that extends through underlying interposer and related technology |
KR102451167B1 (ko) | 2018-01-23 | 2022-10-06 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
KR20200083697A (ko) | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 삼성전자주식회사 | 접착 필름, 이를 이용한 반도체 장치, 및 이를 포함하는 반도체 패키지 |
US11552019B2 (en) * | 2019-03-12 | 2023-01-10 | Intel Corporation | Substrate patch reconstitution options |
US11372043B2 (en) * | 2019-08-21 | 2022-06-28 | Micron Technology, Inc. | Heat spreaders for use in semiconductor device testing, such as burn-in testing |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2293487B (en) * | 1994-09-21 | 1998-08-12 | Hewlett Packard Co | Method and apparatus for attaching a heat sink and a fan to an intergrated circuit package |
JP3196762B2 (ja) * | 1999-04-20 | 2001-08-06 | 日本電気株式会社 | 半導体チップ冷却構造 |
JP2000349178A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
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TWI239603B (en) * | 2003-09-12 | 2005-09-11 | Advanced Semiconductor Eng | Cavity down type semiconductor package |
TWI256707B (en) * | 2004-10-21 | 2006-06-11 | Advanced Semiconductor Eng | Cavity-down multiple chip package |
JP4986435B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2012-07-25 | 株式会社ソニー・コンピュータエンタテインメント | 半導体装置、半導体装置の作成方法 |
KR100700936B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2007-03-28 | 삼성전자주식회사 | 냉각 장치 및 이를 갖는 메모리 모듈 |
JP5211457B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2013-06-12 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4870584B2 (ja) * | 2007-01-19 | 2012-02-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
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JP6260806B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2018-01-17 | インテル・コーポレーション | 両面ダイパッケージ |
KR102245770B1 (ko) | 2013-10-29 | 2021-04-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 장치 |
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US9287248B2 (en) * | 2013-12-12 | 2016-03-15 | Intel Corporation | Embedded memory and power management subpackage |
KR20150085384A (ko) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
US9269700B2 (en) * | 2014-03-31 | 2016-02-23 | Micron Technology, Inc. | Stacked semiconductor die assemblies with improved thermal performance and associated systems and methods |
US10062634B2 (en) | 2016-12-21 | 2018-08-28 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor die assembly having heat spreader that extends through underlying interposer and related technology |
-
2016
- 2016-12-21 US US15/386,343 patent/US10062634B2/en active Active
-
2017
- 2017-11-20 JP JP2019531054A patent/JP6770648B2/ja active Active
- 2017-11-20 WO PCT/US2017/062621 patent/WO2018118315A1/en unknown
- 2017-11-20 KR KR1020197019913A patent/KR102342690B1/ko active IP Right Grant
- 2017-11-20 EP EP17884980.8A patent/EP3559987A4/en active Pending
- 2017-11-20 CN CN201780072758.8A patent/CN109983572B/zh active Active
- 2017-12-11 TW TW106143341A patent/TWI683404B/zh active
-
2018
- 2018-08-21 US US16/106,241 patent/US10418303B2/en active Active
-
2019
- 2019-08-01 US US16/529,497 patent/US10971422B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3559987A4 (en) | 2020-05-20 |
US20200013694A1 (en) | 2020-01-09 |
US10062634B2 (en) | 2018-08-28 |
WO2018118315A1 (en) | 2018-06-28 |
CN109983572B (zh) | 2020-10-16 |
KR102342690B1 (ko) | 2021-12-24 |
US20180174943A1 (en) | 2018-06-21 |
TW201842637A (zh) | 2018-12-01 |
JP2020513694A (ja) | 2020-05-14 |
US10418303B2 (en) | 2019-09-17 |
KR20190085176A (ko) | 2019-07-17 |
US10971422B2 (en) | 2021-04-06 |
EP3559987A1 (en) | 2019-10-30 |
CN109983572A (zh) | 2019-07-05 |
TWI683404B (zh) | 2020-01-21 |
US20180374774A1 (en) | 2018-12-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190610 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200804 |
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