JP6760975B2 - 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2015年6月19日出願の欧州特許出願第15172894.6号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
パラメータは出力信号(g(F(k)))に依存し、
制御システムはセットポイントジェネレータ及びフィードフォワードを備え、
セットポイントジェネレータはセットポイントシグナル(F(k))をフィードフォワードに提供するように配置され、
フィードフォワードはセットポイントシグナルに基づく出力信号を提供するように配置され、
フィードフォワードはセットポイントシグナル上で非線形動作を実行するように配置され、
非線形動作は出力信号とパラメータとの間の非線形関数関係に基づく。
オブジェクトを位置決めするように構成された位置決めデバイスと、
前述の制御システムと、
を備える、位置決めシステムが提供され、
動的システムは位置決めデバイスを備える。
パターニングデバイス又は基板のパラメータの所望の値を代表するセットポイントシグナルを提供するステップと、
セットポイントシグナル上で非線形動作を実行することによって、出力信号を作成するステップであって、非線形動作は出力信号とパラメータとの間の非線形関数関係に基づく、作成するステップと、
出力信号に基づいてパラメータを制御するステップと、
を含む。
F=ku
として記述可能であり、上式で、Fは力であり、uは入力電流であり、kは定数である。
F=k(u)u=(k0+k1u)u=k0u+k1u2=f(u)
として記述することができ、上式で、Fは力であり、uは入力電流であり、k0は第1の定数であり、k1は第2の定数である。
F=f(u)=f(g(F))
以下のようにabc公式を使用して、解析解が可能である。
Claims (15)
- 動的システムの位置決めデバイスの位置を制御するように構成された制御システムであって、
前記位置決めデバイスの位置は、出力信号に依存し、
前記制御システムは、セットポイントジェネレータ及びフィードフォワードを備え、
前記セットポイントジェネレータは、前記位置決めデバイスの力、加速度、又は加速度の時間導関数を代表するセットポイントシグナルを前記フィードフォワードに提供するように配置され、
前記フィードフォワードは、前記セットポイントシグナルに基づく前記出力信号を提供するように配置され、
前記フィードフォワードは、前記セットポイントシグナル上で非線形動作を実行するように配置され、
前記非線形動作は、前記出力信号と前記位置決めデバイスの位置との間の非線形関数関係に基づく、制御システム。 - 前記動的システムは、モーションシステムを備える、請求項1に記載の制御システム。
- 前記非線形動作は、テイラー級数展開を用いる非線形関数関係の近似に基づく、請求項1に記載の制御システム。
- 前記フィードフォワードは、
上式で、gは前記出力信号であり、Fは前記セットポイントシグナルであり、aiはフィードフォワード係数であり、nは1よりも大きい整数である、請求項1に記載の制御システム。 - 前記フィードフォワード係数は、ガウスニュートン法を用いて最適化される、請求項4に記載の制御システム。
- 前記フィードフォワードは、有限インパルス応答(FIR)フィルタを備える、請求項1又は2に記載の制御システム。
- 前記出力信号は、i)第1の時間サンプルでの前記セットポイントシグナルの値での非線形動作、及び、ii)第2の時間サンプルでの前記セットポイントシグナルの更なる値に基づき、
前記第1の時間サンプル及び前記第2の時間サンプルは、互いに異なる、請求項1から6の何れか一項に記載の制御システム。 - 前記フィードフォワードは、前記非線形動作、及び、組み合わされたフィードフォワードにおける前記有限インパルス応答(FIR)フィルタの時間シフトされた動作を実行す
るように配置される、請求項6に記載の制御システム。 - 前記フィードフォワードは、
上式で、gは前記出力信号であり、Fは前記セットポイントシグナルであり、ai,jはフィードフォワード係数であり、kはサンプル数であり、nは整数であり、mは1よりも大きい整数である、請求項6に記載の制御システム。 - 前記フィードフォワード係数は、ガウスニュートン法を用いて最適化される、請求項9に記載の制御システム。
- オブジェクトを所望の位置に位置決めするように配置された位置決めシステムであって、
前記オブジェクトを位置決めするように構成された位置決めデバイスと、
請求項1から10の何れか一項に記載の制御システムと、を備え、
前記動的システムは、前記位置決めデバイスを備える、位置決めシステム。 - 前記位置決めデバイスは、前記オブジェクトに力を印加するように構成されたアクチュエータを備え、
前記非線形関数関係は、前記アクチュエータを介した電流の結果として生じる前記力の非線形依存性を含む、請求項11に記載の位置決めシステム。 - 前記非線形関数関係は、ローレンツ型アクチュエータにおける無給電リラクタンス力の結果として生じる、請求項12に記載の位置決めシステム。
- 基板上にパターンを投影するように構成された、請求項11から13の何れか一項に記載の前記位置決めシステムを備える、リソグラフィ装置。
- 基板のターゲット部分にパターニングデバイスからパターンを転写することを含む、デバイス製造方法であって、
前記パターニングデバイス又は前記基板を位置決めする位置決めデバイスの力、加速度、又は加速度の時間導関数を代表するセットポイントシグナルをフィードフォワードに提供するステップと、
前記フィードフォワードによって前記セットポイントシグナル上で非線形動作を実行することによって、出力信号を作成するステップであって、前記非線形動作は前記出力信号と前記位置決めデバイスの前記位置との間の非線形関数関係に基づく、作成するステップと、
前記出力信号に基づいて前記位置決めデバイスの前記位置を制御するステップと、
を含む、デバイス製造方法。
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