JP6755928B2 - 空気中でのx線分析 - Google Patents
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Description
第1のガス圧力環境内に集束電子ビームを生成する電子ビーム組立体と、
第2のガス圧力環境内にサンプルを保持するためのサンプル組立体であって、使用時に、サンプルが、電子ビーム組立体から電子ビームを受入れ、かつ第2のガス圧力環境でのガス圧力は第1のガス圧力環境内のガス圧力より大きいように配置されるサンプル組立体と、
第1のガス圧力環境内に少なくとも1つのX線センサ要素を有するX線検出器であって、少なくとも1つのX線センサ要素が、サンプル組立体の近位にある電子ビーム組立体の一部に取り付けられ、さらに使用時に、電子ビームとサンプルとの間の相互作用により発生するX線を受入れるように配置されるX線検出器と、
を備える。
電子ビーム組立体の第1のガス圧力環境内に集束電子ビームを生成するステップと、
第2のガス圧力環境内にサンプルを準備するステップであって、第2のガス圧力環境のガス圧力が第1のガス圧力環境のガス圧力より大きい、ステップと、
電子ビームをサンプルに入射させて、それによりX線を発生させるステップと、
X線検出器の少なくとも1つのX線センサ要素を用いて発生したX線を受入れるステップであって、少なくとも1つのX線センサ要素は、第1のガス圧力環境内にあってサンプルの近位にある電子ビーム組立体の一部に取り付けられるステップと、
を含む。
4 電子顕微鏡
5 X線センサ
6 シリコンドリフト検出器要素
7 ペルチェ冷却スタック
8 ケーブルルーム
9 開口
10 メンブレン
11 試料
12 集束電子ビーム
Claims (5)
- 2つ以上のセンサ要素を含む電子顕微鏡のX線検出器のためのモジュールであって、
前記センサ要素は、電子ビーム軸の周りに分散されると共に、各センサ要素は、厚さが0.5mm以下のシリコンドリフト検出器であり、
前記モジュールは、前記電子ビームがサンプルに向かって出ていく前記電子顕微鏡のポールピースの内部又は前記ポールピースの端部に取り付けられ、又はポールピースの直下に配置され、
前記センサ要素と試料との間の開口を含む部材により、前記試料が前記センサ要素に衝撃を与えるのを防止するために配置される物理的な障壁が提供され、
集束入射ビーム直下の試料上のスポットから励起されるX線は、各センサ要素に対して明瞭な見通し線を有して、前記試料の表面が前記開口に接近しているときに前記センサ要素がビームスポットにおいて大きな立体角を定め、
前記モジュールは、試料が強い垂直磁場で侵される前記電子顕微鏡のレンズ構成と共に使用されて、後方散乱した電子が電子カラムへ螺旋状に戻る、モジュール。 - 各センサ要素において入射X線を受け入れる2次元表面に対する平面法線は、前記電子ビームの伝搬軸に対して実質的に直交している、請求項1に記載のモジュール。
- 前記試料表面は、前記開口から0.1mm未満だけ離れて配置されている、請求項1又は2に記載のモジュール。
- 集束電子ビームが試料に衝突するポイントで単一の検出器要素によって定められる全立体角が、0.2ステラジアンより大きい、請求項1〜3の何れか1項に記載のモジュール。
- 各センサ要素がシリコンドリフト検出器(SDD)である、請求項1〜4の何れか1項に記載のモジュール。
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