JP6738049B2 - シリコン含有平坦化性パターン反転用被覆剤 - Google Patents
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Description
リソグラフィー技術の進展に伴い微細パターン化が進み、KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーが用いられ、更に電子線やEUV(極端紫外線)を用いた露光技術が検討されている。
この反転パターンが形成されたシリコン系膜をエッチングマスクとして、その下層や基板のエッチングを行うと反転パターンが転写され、基板上にパターンが形成される。
また、ハイドロゲンシロキサンを用いた材料を利用する発明がある(特許文献2参照)。
第2観点として、上記全Si原子に対するシラノール基の割合が5乃至40モル%である変性ポリシロキサンを含む第1観点に記載の組成物、
第3観点として、上記全Si原子に対するシラノール基の割合が10乃至25モル%である変性ポリシロキサンを含む第1観点に記載の組成物、
第4観点として、上記ポリシロキサンが有するシラノール基がアルコールとの反応により、シラノール基の割合が所望の割合となるように調整されている変性ポリシロキサンを含
む第1観点乃至第3観点のいずれか1つに記載の組成物、
第5観点として、上記アルコールが、1価アルコールである第4観点に記載の組成物、
第6観点として、上記アルコールが、4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、又は2−プロパノールである第4観点に記載の組成物、
第7観点として、ポリシロキサンとアルコール及び酸との脱水反応物からなる変性ポリシロキサンを含む第1観点乃至第6観点のいずれか1つに記載の組成物、
第8観点として、上記変性ポリシロキサンは、加水分解性シランの加水分解縮合物からなるポリシロキサンをアルコール及び酸と反応させ、脱水により生じた水を反応系外に除去することにより、製造されてなる、第7観点に記載の組成物の製造方法、
第9観点として、酸が、4乃至5の酸解離定数を有する酸である第7観点に記載の組成物、
第10観点として、酸が、4乃至5の酸解離定数を有する酸である第8観点に記載の組成物の製造方法、
第11観点として、酸が、70乃至160℃の沸点を有する酸である第7観点に記載の組成物、
第12観点として、酸が、70乃至160℃の沸点を有する酸である第8観点に記載の組成物の製造方法、
第13観点として、ポリシロキサンが式(1):
第14観点として、前記式(1):
第15観点として、ポリシロキサンが、式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)の加水分解縮合物、又は式(1)(式中、aが0である。)で表される加水分解性シラン(i)と式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)との共加水分解縮合物である第13観点に記載の組成物、
第16観点として、ポリシロキサンが、式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)の加水分解縮合物、又は式(1)(式中、aが0である。)で表される加水分解性シラン(i)と式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解
性シラン(ii)との共加水分解縮合物である第14観点に記載の組成物の製造方法、
第17観点として、ポリシロキサンは、加水分解性シラン(i):加水分解性シラン(ii)がモル比として0:100乃至50:50の割合を有する第15観点に記載の組成物、
第18観点として、ポリシロキサンは、加水分解性シラン(i):加水分解性シラン(ii)がモル比として0:100乃至50:50の割合を有する第16観点に記載の組成物の製造方法、
第19観点として、レジストパターン上に被覆するための第1観点乃至第7観点、第9観点、第11観点、第13観点、第15観点、第17観点又は第19観点のうちのいずれか1つに記載の組成物、
第20観点として、レジストパターン上に被覆するための第8観点、第10観点、第12観点、第14観点、第16観点又は第18観点のうちのいずれか1つに記載の組成物の製造方法、
第21観点として、ラインアンドスペースのレジストパターン上に被覆するための第1観点乃至第7観点、第9観点、第11観点、第13観点、第15観点、第17観点又は第19観点のうちのいずれか1つに記載の組成物、
第22観点として、ラインアンドスペースのレジストパターン上に被覆するための第1観点乃至第8観点、第10観点、第12観点、第14観点、第16観点、第18観点又は第20観点のうちのいずれか1つに記載の組成物の製造方法、
第23観点として、レジストパターンが、ナノインプリントで形成されたパターンである第1観点乃至第7観点、第9観点、第11観点、第13観点、第15観点、第17観点、第19観点又は第21観点のうちのいずれか1つに記載の組成物、
第24観点として、レジストパターンが、ナノインプリントで形成されたパターンである第8観点、第10観点、第12観点、第14観点、第16観点、第18観点、第20観点又は第22観点のうちのいずれか1つに記載の組成物の製造方法、
第25観点として、基板上にレジスト膜を形成する工程(1)、レジスト膜を露光し続いて現像し、レジストパターンを形成する工程(2)、現像中又は現像後のレジストパターン上に第1観点乃至第7観点のいずれか1つに記載の組成物を塗布する工程(3)、レジストパターンをエッチングにより除去してパターンを反転させる工程(4)を含む半導体装置の製造方法、
第26観点として、工程(1)の前に、基板上にレジスト下層膜を形成する工程(1−1)を含む第25観点に記載の製造方法、
第27観点として、工程(3)の後に上記組成物の硬化物からなる塗膜の表面をエッチバックしてレジストパターンの表面を露出する工程(3−1)を含む第25観点又は第26観点に記載の製造方法である。
すなわち、いわゆるパターン反転法において、半導体基板上にレジストパターンを形成しそのレジストパターンを本発明の組成物からなるシリコン系塗布液で被覆するとき、レジストパターン間に該シリコン系塗布液が十分に充填され、その後それを焼成し、塗膜を形成すると、十分平坦な被覆面が得られる。このため、レジストパターンの表面を露出するまでエッチバックした時に、レジストパターンのライン部上部と該シリコン系塗布液が埋め込まれたスペース部が十分水平になり、パターンを反転した後も一定の水平な反転パターンが得られ、後に行われる下層のエッチングで、均一な下層の加工ができ、良好なパターンの反転が得られる。
また、本発明は段差基板の平坦化用組成物として利用可能である。
該組成物は溶媒に上記加水分解性シラン、その加水分解物、又はその加水分解縮合物(ポリシロキサン)が溶解しているものであり、固形分は0.5乃至20.0質量%、又は1.0乃至10.0質量%である。固形分とは該組成物から溶媒を取り除いた残りの割合である。
固形分中に占める上記加水分解性シラン、その加水分解物、及びその加水分解縮合物(ポリシロキサン)の割合は、50乃至100質量%、又は80乃至100質量%である。
該組成物中の上記加水分解性シラン、その加水分解物、及びその加水分解縮合物(ポリシロキサン)の濃度は、0.5乃至20.0質量%である。
本発明はレジストの露光後に用いられる塗布用組成物であるため、マスクを通じてレジストを露光し、その現像中又は現像後に上記組成物が充填される。
これにより後のドライエッチング工程で、ガス種の選定により、レジストを選択的にドライエッチング除去して充填した加水分解縮合物(ポリシロキサン)による新たなパターンが形成される。
例えば、4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−プロパノール等を用いることができる。
この場合、変性ポリシロキサンは加水分解性シランを加水分解し縮合したポリシロキサンをアルコール及び酸と反応させ、脱水により生じた生成水を、反応系外に除去することにより製造されていてよい。そしてこのような機構を備えた装置で合成したものを用いることができる。
上記の酸は、酸解離定数(pka)が−1乃至5、好ましくは4乃至5である有機酸を用いることができる。例えば、酸は、トリフルオロ酢酸、マレイン酸、安息香酸、イソ酪酸、酢酸等、中でも安息香酸、イソ酪酸、酢酸等を例示することができる。
また、酸は、70乃至160℃の沸点を有する酸が好ましい。例えば、トリフルオロ酢酸、イソ酪酸、酢酸等が挙げられる。
上記の酸は、酸解離定数(pka)が4乃至5であるか、又は沸点が70乃至160℃であるか、いずれかの物性を有するものが好ましい。即ち、酸性度が弱いものか、又は酸性度は強くても沸点が低いものを用いることができる。
そして、酸としては酸解離定数、沸点の性質からいずれの性質を利用することも可能であるが、両方の性質を持つ酢酸は好ましく用いることができる。
ポリシロキサンは、加水分解性シラン(i):加水分解性シラン(ii)がモル比として0:100乃至50:50、又は10:90乃至50:50の割合の範囲で用いることができる。
またハロゲン化アルキル基として、上記の基をフッ素、塩素、臭素、又はヨウ素等のハロゲン原子で置換した有機基が挙げられる。
また、アルコキシアリール基としては、上記アリール基が下に挙げるようなアルコキシ基を置換基として有する有機基が挙げられる。
またこれらのフッ素、塩素、臭素、又はヨウ素等のハロゲン原子が置換した有機基が挙げられる。
アクリロイル基を有する有機基としては、アクリロイルメチル、アクリロイルエチル、アクリロイルプロピル等が挙げられる。
メタクリロイル基を有する有機基としては、メタクリロイルメチル、メタクリロイルエチル、メタクリロイルプロピル等が挙げられる。
メルカプト基を有する有機基としては、エチルメルカプト、ブチルメルカプト、ヘキシルメルカプト、オクチルメルカプト等が挙げられる。
シアノ基を有する有機基としては、シアノエチル、シアノプロピル等が挙げられる。
式(1)の加水分解性シランの加水分解縮合物(ポリシロキサン)は、重量平均分子量1000乃至1000000、又は1000乃至100000の縮合物を得ることができる。これらの分子量はGPC分析によるポリスチレン換算得られる分子量である。
GPCの測定条件は、例えばGPC装置(商品名HLC−8220GPC、東ソー株式会社製)、GPCカラム(商品名ShodexKF803L、KF802、KF801、昭和電工製)、カラム温度は40℃、溶離液(溶出溶媒)はテトラヒドロフラン、流量(流速)は1.0ml/min、標準試料はポリスチレン(昭和電工株式会社製)を用いて行うことができる。
また、加水分解は加水分解触媒を用いることが出来るが、加水分解触媒を用いずに行うこともできる。加水分解触媒を用いる場合は、加水分解性基の1モル当たり0.001乃至10モル、好ましくは0.001乃至1モルの加水分解触媒を用いることができる。
加水分解と縮合を行う際の反応温度は、通常20乃至110℃である。
加水分解し縮合させる際に触媒を用いることができる。
加水分解触媒としては、金属キレート化合物、有機酸、無機酸、有機塩基、無機塩基を挙げることができる。
加水分解触媒としての無機酸は、例えば塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、リン酸等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は単独で使用してもよいし、また二種以上の組み合わせで使用することもできる。界面活性剤が使用される場合、その割合としては、縮合物(ポリオルガノシロキサン)100質量部に対して0.0001乃至5質量部、または0.001乃至5質量部、または0.01乃至5質量部である。
上記のとおり、本発明の組成物はレジストパターン上被覆するための組成物であり、より詳細にはラインアンドスペースのレジストパターン上に被覆するための組成物である。上記組成物は粗と密なパターンエリア(ライン部)のレイアウトを有するレジストパターン上に被覆される。
また、上記レジストパターンは、ナノインプリントで形成されたパターンを用いることができる。
すなわち、工程(1)のレジストの形成を、半導体基板上にレジスト下層膜が形成され、その上にレジストを形成する工程(1−1)として行うことができる。
上記工程(1−1)で用いられるレジスト下層膜は上層レジストの露光時の乱反射を防止するものであり、また、レジストとの密着性を向上する目的で用いるものであり、例えばアクリル系樹脂やノボラック系樹脂を用いることができる。レジスト下層膜は半導体基板上に膜厚1乃至1000nmの被膜を形成することができる。
次いで、現像液によって現像が行なわれる。これにより、例えばポジ型フォトレジストが使用された場合は、露光された部分のフォトレジストが除去され、フォトレジストのパターンが形成される。
しかしながら、本発明の組成物ではポリシロキサン中のシラノール基の割合を特定範囲に設定することで、半導体基板上に形成されたレジストパターンを該組成物で被覆する時に平坦な被覆面が得られるため良好なパターンの反転が行われる。
テトラエトキシシラン53.9g(50mol%)、メチルトリエトキシシラン46.1g(50mol%)およびアセトン100gを500mlのフラスコに入れ、そのフラスコ内の混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、0.01mol/Lの塩酸32.6gをその混合溶液に滴下した。滴下後、85℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で4時間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、その反応溶液に4−メチル−2−ペンタノールを100g加え、アセトン、水及び塩酸、並びに反応副生物であるエタノールを反応溶液から減圧留去し濃縮して、共加水分解縮合物(ポリシロキサン)の4−メチル−2−ペンタノール溶液を得た。固形分濃度は140℃における固形残物換算で13質量%となるように調整した。
作成したポリマー溶液15gに対し酢酸を20mg加えた。150℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で24時間反応させた。GPCによる重量平均分子量Mwはポリスチレン換算で3700であった。得られたポリシロキサンはシラノール基の一部が4−メチル−2−ペンタノールでキャッピングされたポリシロキサンであった。
テトラエトキシシラン22.2g(30mol%)、メチルトリエトキシシラン44.4g(70mol%)およびアセトン100gを500mlのフラスコに入れ、そのフラスコ内の混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、0.01mol/Lの塩酸21.2gをその混合溶液に滴下した。滴下後、85℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で4時間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、その反応溶液に4−メチル−2−ペンタノールを100g加え、アセトン、水及び塩酸、並びに反応副生物であるエタノールを反応溶液から減圧留去し濃縮して、共加水分解縮合物(ポリシロキサン)の4−メチル−2−ペンタノール溶液を得た。固形分濃度は140℃における固形残物換算で13質量%となるように調整した。
作成したポリマー溶液15gに対し酢酸を20mg加えた。150℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で48時間反応させた。GPCによる重量平均分子量Mwはポリスチレン換算で5300であった。得られたポリシロキサンはシラノール基の一部が4−メチル−2−ペンタノールでキャッピングされたポリシロキサンであった。
テトラエトキシシラン22.2g(30mol%)、メチルトリエトキシシラン44.4g(70mol%)およびアセトン100gを500mlのフラスコに入れ、そのフラスコ内の混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、0.01mol/Lの塩酸21.2gをその混合溶液に滴下した。滴下後、85℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で4時間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、その反応溶液に2−プロパノールを100g加え、アセトン、水及び塩酸、並びに反応副生物であるエタノールを反応溶液から減圧留去し濃縮して、共加水分解縮合物(ポリシロキサン)の2−プロパノール溶液を得た。固形分濃度は140℃における固形残物換算で13質量%となるように調整した。
作成したポリマー溶液15gに対し酢酸を20mg加えた。150℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で12時間反応させた。GPCによる重量平均分子量Mwはポリスチレン換算で6000であった。得られたポリシロキサンはシラノール基の一部が2−プロパノールでキャッピングされたポリシロキサンであった。
テトラエトキシシラン22.2g(30mol%)、メチルトリエトキシシラン44.4g(70mol%)およびアセトン100gを500mlのフラスコに入れ、そのフラスコ内の混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、0.01mol/Lの塩酸21.2gをその混合溶液に滴下した。滴下後、85℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で4時間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、その反応溶液に1−メトキシ−2−プロパノールを100g加え、アセトン、水及び塩酸、並びに反応副生物であるエタノールを反応溶液から減圧留去し濃縮して、共加水分解縮合物(ポリシロキサン)の1−メトキシ−2−プロパノール溶液を得た。固形分濃度は140℃における固形残物換算で13質量%となるように調整した。
作成したポリマー溶液15gに対し酢酸を20mg加えた。150℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で12時間反応させた。GPCによる重量平均分子量Mwはポリスチレン換算で4000であった。得られたポリシロキサンはシラノール基の一部が1−メトキシ−2−プロパノールでキャッピングされたポリシロキサンであった。
テトラエトキシシラン53.9g(50mol%)、メチルトリエトキシシラン46.1g(50mol%)およびアセトン100gを500mlのフラスコに入れ、そのフラスコ内の混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、0.01mol/Lの塩酸32.6gをその混合溶液に滴下した。滴下後、85℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で4時間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、その反応溶液に4−メチル−2−ペンタノールを100g加え、アセトン、水及び塩酸、並びに反応副生物であるエタノールを反応溶液から減圧留去し濃縮して、共加水分解縮合物(ポリシロキサン)の4−メチル−2−ペンタノール溶液を得た。固形分濃度は140℃における固形残物換算で13質量%となるように調整した。GPCによる重量平均分子量Mwはポリスチレン換算で1400であった。得られたポリシロキサンはシラノール基の一部が4−メチル−2−ペンタノールでキャッピングされたポリシロキサンであった。
ポリマー中のシラノール基比率、および4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノールおよび2−プロパノールのキャッピング比率は1HNMRにて算出した。測定はJNM−ECA500(JEOL製)を用いて行った。まずトリエトキシメチルシランのメチルプロトンの化学シフト値(0.0−0.3ppm)の積分比を取り基準とした。4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノールおよび2−プロパノールのメチンプロトンの化学シフト値は3.8ppm付近に検出されるが、シラノール基との脱水縮合反応によりケイ素原子と結合を形成した場合、すなわちシラノール基に対してキャッピング反応が起こった場合、メチンプロトンの化学シフト値が4.2ppm付近に移動する。4.2ppm付近に移動したメチンプロトンの積分比を測定し、先に測定したトリエトキシメチルシランのメチルプロトンの積分比を比較することで、ポリマー中のケイ素原子1個に対する4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノールおよび2−プロパノールのキャッピング比率を算出した。
上記合成例1乃至合成例4及び比較合成例1で得られたポリマー溶液を1−メトキシ−2−プロパノール、2−プロパノールまたは1−メトキシ−2−プロパノールにて希釈し、塗布液を得た。表1に示すポリマーの含有割合は、ポリマー溶液ではなく、ポリマー溶液から溶剤を除いた固形分の含有割合を示す。各成分の含有割合は質量部で表す。表1中では、4−メチル−2−ペンタノール、2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロパノールをそれぞれMIBC、IPA、PGMEと略記する。
〔塗布液の平坦化性〕
(Si基板上での平坦化性評価)
実施例1乃至4、比較例1における各被覆用ポリシロキサン組成物について、下記のように平坦化性評価を行った。その評価結果を表1に示す。
溝の深さ220nm、幅800nmの段差基板上に、スピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて、実施例1乃至4、比較例1の各被覆用ポリシロキサン組成物(塗布組成物)を塗布し、その後110℃のホットプレート上で1分間乾燥することにより、被覆用ポリシロキサン組成物による膜を形成した。被覆用ポリシロキサン組成物による膜の膜厚は120nmとした。次いで、得られた被覆用ポリシロキサン組成物の膜について、断面SEMにより断面の形状を観察し平坦化性を評価した。深さ220nm、幅800nmの溝パターンを観察し、溝底部を基準として最も膜厚の低い箇所と最も膜厚が高い箇所の膜厚を測定し、膜厚差を算出し、膜厚差が少ないものほど平坦化性が良好と評価した。また評価に使用したSEM写真を図1乃至5に記載する。
次に、ナノインプリントによりパターニングされた基板上での平坦化性を評価した。
(ナノインプリント用光硬化レジストの準備)
ナノインプリント用レジストは一般的なアクリル系光ナノインプリント用レジストを用いた。石英基板上にスピンコートし、100℃のホットプレートで1分間仮焼成を行い、光ナノインプリント用被膜を得た。
ナノインプリント装置は、NM−0801HB(明昌機構株式会社製)を使用した。
用いたモールドはシリコン製であり、パターン寸法は500nmとした。モールドは事前にオプツール(登録商標)HD(ダイキン工業株式会社製)に浸漬し、温度が90℃、湿度が90RH%の高温高湿装置を用いて2時間処理し、純水でリンス後、エアーで乾燥させたものを使用した。
前述の光ナノインプリント用被覆膜にシリコンモールドを接着させた状態で、光ナノインプリント装置に設置した。光ナノインプリントは、常時23℃の条件で、a)10秒間かけて1000Nまで加圧、b)高圧水銀ランプを用いて500mJ/cm2の露光、c)10秒間かけて除圧、d)モールドと基板を分離して離型、というシーケンスで行った。
実施例1乃至4、比較例1における各被覆用ポリシロキサン組成物について、下記のように平坦化性評価を行った。その評価結果を表3に示す。
前述のナノインプリント基板上に、スピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて、実施例1乃至4、比較例1の各被覆用ポリシロキサン組成物(塗布組成物)を塗布し、その後110℃のホットプレート上で1分間乾燥することにより、被覆用ポリシロキサン組成物(塗布組成物)による膜を形成した。被覆用ポリシロキサン組成物による膜の膜厚は120nmとした。次いで、得られた被覆用ポリシロキサン組成物膜について、断面SEMにより断面の形状を観察し平坦化性を評価した。最も膜厚の低い箇所と最も膜厚が高い箇所の膜厚を測定し、膜厚差を算出し、膜厚差が少ないものほど平坦化性が良好と評価した。
Claims (27)
- 加水分解性シランの加水分解縮合物からなるポリシロキサンが有するシラノール基の一部がキャッピングされている変性ポリシロキサンと、溶媒とを含み、該変性ポリシロキサン中の全Si原子に対するシラノール基の割合が40モル%以下である、レジストパターンに塗布される組成物。
- 上記全Si原子に対するシラノール基の割合が5乃至40モル%である変性ポリシロキサンを含む請求項1に記載の組成物。
- 上記全Si原子に対するシラノール基の割合が10乃至25モル%である変性ポリシロキサンを含む請求項1に記載の組成物。
- 上記ポリシロキサンが有するシラノール基がアルコールとの反応により、シラノール基の割合が所望の割合となるように調整されている変性ポリシロキサンを含む請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の組成物。
- 上記アルコールが、1価アルコールである請求項4に記載の組成物。
- 上記アルコールが、4−メチル−2−ペンタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、又は2−プロパノールである請求項4に記載の組成物。
- ポリシロキサンとアルコール及び酸との脱水反応物からなる変性ポリシロキサンを含む請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の組成物。
- 上記変性ポリシロキサンは、加水分解性シランの加水分解縮合物からなるポリシロキサンをアルコール及び酸と反応させ、脱水により生じた水を反応系外に除去することにより、製造されてなる、請求項7に記載の組成物の製造方法。
- 酸が、4乃至5の酸解離定数を有する酸である請求項7に記載の組成物。
- 酸が、4乃至5の酸解離定数を有する酸である請求項8に記載の組成物の製造方法。
- 酸が、70乃至160℃の沸点を有する酸である請求項7に記載の組成物。
- 酸が、70乃至160℃の沸点を有する酸である請求項8に記載の組成物の製造方法。
- ポリシロキサンが式(1):
(式(1)中、R1はアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルコキシアリール基、アルケニル基、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する有機基を示し、且つSi−C結合によりケイ素原子と結合しているものであり、R2はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン基を示し、aは0乃至3の整数を示す。)で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物である請求項1乃至請求項7、請求項9又は請求項11のうちのいずれか1項に記載の組成物。 - ポリシロキサンが式(1):
(式(1)中、R1はアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルコキシアリール基、アルケニル基、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する有機基を示し、且つSi−C結合によりケイ素原子と結合しているものであり、R2はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン基を示し、aは0乃至3の整数を示す。)で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物である請求項8、請求項10又は請求項12のうちのいずれか1項に記載の組成物の製造方法。 - ポリシロキサンが、式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)の加水分解縮合物、又は式(1)(式中、aが0である。)で表される加水分解性シラン(i)と式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)との共加水分解縮合物である請求項13に記載の組成物。
- ポリシロキサンが、式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)の加水分解縮合物、又は式(1)(式中、aが0である。)で表される加水分解性シラン(i)と式(1)(式中、aが1である。)で表される加水分解性シラン(ii)との共加水分解縮合物である請求項14に記載の組成物の製造方法。
- ポリシロキサンは、加水分解性シラン(i):加水分解性シラン(ii)がモル比として0:100乃至50:50の割合を有する請求項15に記載の組成物。
- ポリシロキサンは、加水分解性シラン(i):加水分解性シラン(ii)がモル比として0:100乃至50:50の割合を有する請求項16に記載の組成物の製造方法。
- レジストパターン上に被覆するための請求項1乃至請求項7、請求項9、請求項11、請求項13、請求項15又は請求項17のうちのいずれか1項に記載の組成物。
- レジストパターン上に被覆するための請求項8、請求項10、請求項12、請求項14、請求項16又は請求項18のうちのいずれか1項に記載の組成物の製造方法。
- ラインアンドスペースのレジストパターン上に被覆するための請求項1乃至請求項7、請求項9、請求項11、請求項13、請求項15、請求項17又は請求項19のうちのいずれか1項に記載の組成物。
- ラインアンドスペースのレジストパターン上に被覆するための請求項8、請求項10、請求項12、請求項14、請求項16、請求項18又は請求項20のうちのいずれか1項に記載の組成物の製造方法。
- レジストパターンが、ナノインプリントで形成されたパターンである請求項1乃至請求項7、請求項9、請求項11、請求項13、請求項15、請求項17、請求項19又は請求項21のうちのいずれか1項に記載の組成物。
- レジストパターンが、ナノインプリントで形成されたパターンである請求項8、請求項10、請求項12、請求項14、請求項16、請求項18、請求項20又は請求項22のうちのいずれか1項に記載の組成物の製造方法。
- 基板上にレジスト膜を形成する工程(1)、レジスト膜を露光し続いて現像し、レジストパターンを形成する工程(2)、現像中又は現像後のレジストパターン上に請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の組成物を塗布する工程(3)、レジストパターンをエッチングにより除去してパターンを反転させる工程(4)を含む半導体装置の製造方法。
- 工程(1)の前に、基板上にレジスト下層膜を形成する工程(1−1)を含む請求項25に記載の製造方法。
- 工程(3)の後に上記組成物の硬化物からなる塗膜の表面をエッチバックしてレジストパターンの表面を露出する工程(3−1)を含む請求項25又は請求項26に記載の製造方法。
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