JP2018012806A - 反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 - Google Patents
反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018012806A JP2018012806A JP2016144372A JP2016144372A JP2018012806A JP 2018012806 A JP2018012806 A JP 2018012806A JP 2016144372 A JP2016144372 A JP 2016144372A JP 2016144372 A JP2016144372 A JP 2016144372A JP 2018012806 A JP2018012806 A JP 2018012806A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- forming
- composition
- polyhydric alcohol
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- PWQLFIKTGRINFF-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)OC(N(CC1)CCC1O)=O Chemical compound CC(C)(C)OC(N(CC1)CCC1O)=O PWQLFIKTGRINFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
Description
当該反転パターン形成用組成物は、[A]ポリシロキサンと[B]溶媒として多価アルコールとを含有する。当該反転パターン形成用組成物は、好適成分として、[C]含窒素化合物及び/又は[D]水を含有していてもよく、本発明の効果を損なわない範囲において、その他の任意成分を含有していてもよい。以下、各成分について説明する。
[A]ポリシロキサンは、加水分解性基を有するシラン化合物を含有する化合物の加水分解縮合物を含む。[A]ポリシロキサンとしては、例えば下記式(1)で表される構造を有する化合物等が挙げられる。
構造単位Uxは、例えば4つの加水分解性基を有するシラン化合物が加水分解縮合することにより形成される。
RAで表される炭素数1〜20の1価の有機基としては、例えば炭素数1〜20の鎖状炭化水素基、炭素数3〜20の脂環式炭化水素基、炭素数1〜20のオキシ炭化水素基等が挙げられる。
[A]ポリシロキサンは、その他の構造単位として、上記式(1)で表される構造単位以外の構造単位を含有していてもよい。そのような構造単位としては、例えばヘキサメトキシジシラン、ビス(トリメトキシシリル)メタン、ポリジメトキシメチルカルボシラン等の複数のケイ素原子を含むシランモノマー等に由来する構造単位、加水分解性ホウ素化合物、加水分解性アルミニウム化合物、加水分解性チタン化合物等に由来する構造単位などが挙げられる。
当該反転パターン形成用組成物は、[B]溶媒として多価アルコールを含む。[B]溶媒として多価アルコールを含むことで、反転パターン形成用組成物の塗工膜の平坦性及び保存安定性に優れる。当該反転パターン形成用組成物が上記構成を備えることで、上記効果を奏する理由については必ずしも明確ではないが、例えば平坦性については、多価アルコールが、複数のヒドロキシ基を有し極性が高いため、[A]ポリシロキサンとの相互作用により、その分散を促進していること、保存安定性については、水素結合のネットワークの形成により[B]溶媒のミクロ構造化が生じ、[A]ポリシロキサンの加水分解性基への溶媒、水等の攻撃が抑制されること等が挙げられる。
n−ペンタン、iso−ペンタン、n−ヘキサン、i−ヘキサン、n−ヘプタン、iso−ヘプタン、2,2,4−トリメチルペンタン、n−オクタン、iso−オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素;
ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン、メチルエチルベンゼン、n−プロピルベンセン、iso−プロピルベンセン、ジエチルベンゼン、iso−ブチルベンゼン、トリエチルベンゼン、ジ−iso−プロピルベンセン、n−アミルナフタレン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素などが挙げられる。
メタノール、エタノール、n−プロパノール、iso−プロパノール、n−ブタノール、iso−ブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノール、n−ペンタノール、iso−ペンタノール、2−メチルブタノール、sec−ペンタノール、tert−ペンタノール、3−メトキシブタノール、n−ヘキサノール、2−メチルペンタノール、sec−ヘキサノール、2−エチルブタノール、sec−ヘプタノール、3−ヘプタノール、n−オクタノール、2−エチルヘキサノール、sec−オクタノール、n−ノニルアルコール、2,6−ジメチルヘプタノール−4、n−デカノール、sec−ウンデシルアルコール、トリメチルノニルアルコール、sec−テトラデシルアルコール、sec−ヘプタデシルアルコール、フェノール、シクロヘキサノール、メチルシクロヘキサノール、3,3,5−トリメチルシクロヘキサノール、ベンジルアルコール、フェニルメチルカルビノール、ジアセトンアルコール、クレゾール等のモノアルコールなどが挙げられる。
エチルエーテル、iso−プロピルエーテル、n−ブチルエーテル、n−ヘキシルエーテル、2−エチルヘキシルエーテル等のアルキルエーテル;
エチレンオキシド、1,2−プロピレンオキシド、ジオキソラン、4−メチルジオキソラン、ジオキサン、ジメチルジオキサン、テトラヒドロフラン、2−メチルテトラヒドロフラン等の環状エーテル;
2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−n−ブトキシエタノール、2−n−ヘキソキシエタノール、2−フェノキシエタノール、2−(2−エチルブトキシ)エタノール等のアルコキシエタノール;
エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル等のエチレングリコールジアルキルエーテルなどの多価アルコールジエーテル;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールジ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ヘキシルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル;ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル等のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル;プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル等の多価アルコールエーテルが挙げられる。
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸iso−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸iso−ブチル、酢酸sec−ブチル、酢酸n−ペンチル、酢酸sec−ペンチル、酢酸3−メトキシブチル、酢酸メチルペンチル、酢酸2−エチルブチル、酢酸2−エチルヘキシル、酢酸ベンジル、酢酸シクロヘキシル、酢酸メチルシクロヘキシル、酢酸n−ノニル、ジ酢酸グリコール、酢酸メトキシトリグリコール、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル等の酢酸エステル;
γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン;
ジエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート;
エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート等の多価アルコールアセテート;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート等のジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートなどの多価アルコール部分エーテルアセテート;
シュウ酸ジエチル、シュウ酸ジ−n−ブチル、マロン酸ジエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル等の多価カルボン酸ジエステル;
酢酸n−ノニル酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸アミル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸n−ブチル、乳酸n−アミル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸n−ブチル、プロピオン酸iso−アミル等のモノカルボン酸エステルなどが挙げられる。
[C]含窒素化合物は、窒素原子を有する化合物である。当該反転パターン形成用組成物は、[C]含窒素化合物を含有すると、上記効果を維持しつつ、反転プロセスにおいてエッチング選択性をより向上させることができる。[C]含窒素化合物は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
モノ(シクロ)アルキルアミン類;ジ(シクロ)アルキルアミン類;
トリ(シクロ)アルキルアミン類;
置換アルキルアニリン又はその誘導体;
エチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノジフェニルアミン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2−(3−アミノフェニル)−2−(4−アミノフェニル)プロパン、2−(4−アミノフェニル)−2−(3−ヒドロキシフェニル)プロパン、2−(4−アミノフェニル)−2−(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、1,4−ビス(1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチル)ベンゼン、1,3−ビス(1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチル)ベンゼン、ビス(2−ジメチルアミノエチル)エーテル、ビス(2−ジエチルアミノエチル)エーテル、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−イミダゾリジノン、2−キノキサリノール、N,N,N’,N’−テトラキス(2−ヒドロキシプロピル)エチレンジアミンN,N,N’,N’’N’’−ペンタメチルジエチレントリアミン等が挙げられる。
N−t−ブトキシカルボニル−4−ヒドロキシピペリジン、N−t−ブトキシカルボニル−2−カルボキシ−4−ヒドロキシピロリジン、N−t−ブトキシカルボニル−2−カルボキシピロリジン等のN−t−ブトキシカルボニル基含有アミノ化合物;
N−t−アミロキシカルボニル−4−ヒドロキシピペリジン等のN−t−アミロキシカルボニル基含有アミノ化合物;
N−(9−アントリルメチルオキシカルボニル)ピペリジン等のN−(9−アントリルメチルオキシカルボニル)基含有アミノ化合物;
ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズアミド、ピロリドン、N−メチルピロリドン、N−アセチル−1−アダマンチルアミン等が挙げられる。
イミダゾール類;ピリジン類;ピペラジン類;
ピラジン、ピラゾール、ピリダジン、キノザリン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペリジンエタノール、3−(N−ピペリジノ)−1,2−プロパンジオール、モルホリン、4−メチルモルホリン、1−(4−モルホリニル)エタノール、4−アセチルモルホリン、3−(N−モルホリノ)−1,2−プロパンジオール、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン等が挙げられる。
当該反転パターン形成用組成物は、[D]水を含有してもよい。[D]水を含有すると、当該反転パターン形成用組成物の保存安定性が向上する。また、[D]水を含有すると、ケイ素含有膜の成膜時の硬化が促進され、緻密な膜を得ることができ、溶媒耐性や酸素系ガスエッチング耐性を向上することができる。
当該反転パターン形成用組成物は、上記[A]〜[D]成分以外にも、その他の任意成分を含有していてもよい。その他の任意成分としては、例えば界面活性剤、コロイド状シリカ、コロイド状アルミナ、有機ポリマー等が挙げられる。当該反転パターン形成用組成物がその他の任意成分を含有する場合、その含有量の上限としては、[A]ポリシロキサン100質量部に対して、2質量部が好ましく、1質量部がより好ましい。
当該反転パターン形成用組成物の調製方法は特に限定されず、例えば[A]ポリシロキサンと[B]溶媒及び必要に応じて[C]含窒素化合物、[D]水等を所定の割合で混合し、好ましくは、得られた混合溶液を孔径0.2μmのフィルターでろ過することにより調製することができる。
当該反転パターン形成方法は、基板の上面側にマスクパターンを形成する工程(以下、「マスクパターン形成工程」ともいう)と、上記マスクパターンの少なくとも凹部に、当該反転パターン形成用組成物を塗工する工程(以下、「塗工工程」ともいう)と、上記塗工工程により形成されたシリコン含有部を硬化させる工程(以下、「硬化工程」ともいう)と、上記マスクパターンを除去する工程(以下、「除去工程」ともいう)とを備える。
本工程では、基板の上面側にマスクパターンを形成する。マスクパターンを形成する方法としては、例えば以下のレジスト下層膜形成工程、レジストパターン形成工程及びレジスト下層膜パターン形成工程を行う方法等が挙げられる。
本工程では、基板の上面側にレジスト下層膜を形成する。
本工程では、上記レジスト下層膜の上面側にレジスト中間膜を形成する。
本工程では上記レジスト下層膜又は上記レジスト中間膜の上面側にレジストパターンを形成する。本工程において、レジストパターンを形成する方法としては、例えばレジスト組成物を用いる方法、ナノインプリントリソグラフィー法を用いる方法等の従来の公知の方法で形成することができる。
本工程では、レジストパターンをマスクとして、レジスト下層膜のエッチングを行う。このエッチングの方法としては、ドライエッチング、ウエットエッチング等が挙げられる。
本工程では、上記マスクパターンの少なくとも凹部に、当該反転パターン形成用組成物を塗工する。具体的には、当該反転パターン形成用組成物が、回転塗工、流延塗工、ロール塗工等の適宜の塗工手段によって、上記基板等の上に塗工されて、上記マスクパターンの間隙に埋め込まれる。本工程では当該反転パターン形成用組成物を用いることで、優れた平坦性を有する塗工膜を形成することができる。
本工程では、上記塗工工程により形成されたシリコン含有部を硬化させる。この硬化の方法としては、例えば焼成する方法等が挙げられる。この焼成条件は、組成物の配合組成によって適宜調整されるが、焼成温度としては通常80℃以上250℃以下、好ましくは80℃以上200℃以下である。この焼成温度が、80℃以上180℃以下である場合には、後述の平坦化工程、特にウェットエッチバック法による平坦化加工を円滑に行うことができる。なお、この加熱時間は通常10秒以上300秒以下、好ましくは30秒以上180秒以下である。また、得られる膜の平均厚みは特に限定されないが、通常10nm以上1,000nm以下であり、好ましくは20nm500nm以下である。
本工程では、上記マスクパターンを除去する。これにより反転パターンが形成される。
[A]ポリシロキサンの溶液0.5gを30分間250℃で焼成することで、[A]ポリシロキサンの溶液0.5gに対する固形分の質量を測定し、[A]ポリシロキサンの溶液の固形分濃度(質量%)を算出した。
重合体のMwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により東ソー社のGPCカラム(「G2000HXL」2本、「G3000HXL」1本及び「G4000HXL」1本)を使用し、以下の条件により測定した。
溶出溶媒:テトラヒドロフラン
流量:1.0mL/分
試料濃度:1.0質量%
試料注入量:100μL
カラム温度:40℃
検出器:示差屈折計
標準物質:単分散ポリスチレン
後述する各合成例において、下記式(M−1)〜(M−5)で表される化合物(以下、「化合物(M−1)〜(M−5)」ともいう)を単量体として用い、[A]ポリシロキサンの合成を行った。
化合物(M−1):テトラメトキシシラン
化合物(M−2):メチルトリメトキシシラン
化合物(M−3):エチルルトリエトキシシラン
化合物(M−4):ジメチルジメトキシシラン
化合物(M−5):ジエチルジエトキシシラン
シュウ酸1.78gを水57.18gに加熱溶解させて、シュウ酸水溶液を調製した。その後、化合物(M−1)21.72g(50モル%)、化合物(M−2)19.13g(50モル%)、及びプロピレングリコールモノエチルエーテル200.17gを入れたフラスコに、冷却管と、調製したシュウ酸水溶液を入れた滴下ロートをセットした。次に、上記フラスコをオイルバスにて70℃に加熱した後、シュウ酸水溶液をゆっくり滴下し、70℃で12時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してから、エバポレーターにセットして減圧濃縮し、樹脂溶液300gを得た。この樹脂溶液中における固形分をポリシロキサン(A−1)とした。得られた樹脂溶液中の固形分濃度は13.3質量%であった。また、ポリシロキサン(A−1)の重量平均分子量(Mw)は1,500であった。
下記表1に記載の種類及び使用量の単量体を用いた以外は、合成例1と同様の操作を行うことによって、下記表1に示すポリシロキサン(A−2)〜(A−5)をそれぞれ合成した。合成に用いた単量体の合計質量は、40gとした。表中の「−」は、該当する成分を用いなかったことを示す。得られたポリシロキサンのMwの値を表1に合わせて示す。
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド9.46gを水28.39gに加熱溶解させて、テトラアンモニウムヒドロキシド水溶液を調製した。その後、調製したテトラアンモニウムヒドロキシド水溶液37.85g及びメタノール97.07gを入れたフラスコに、冷却管と、化合物(M−1)26.21g(60モル%)及び化合物(M−4)13.79g(40モル%)を入れた滴下ロートをセットした。次に、オイルバスにて40℃に加熱した後、上記滴下ロートから、単量体の混合物をゆっくり滴下し、60℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを10℃以下に冷却した。
下記表1に記載の種類及び使用量の単量体を用いた以外は、合成例6と同様の操作を行うことによって、下記表1に示すポリシロキサン(A−7)を合成した。用いた単量体の合計質量は、40gとした。
[実施例1〜20並びに比較例1]
下記表2に記載の割合で、上記各合成例で得られたポリシロキサン(A−1)〜(A−7)、[B]溶媒、[C]含窒素化合物及び[D]水を用いて、実施例1〜19並びに比較例1の反転パターン形成用組成物(J−1)〜(J−19)並びに(j−1)を調製した。表2中の[B]溶媒の含有比は、当該反転パターン形成用組成物における[B]溶媒の質量%である。なお、表2中の「−」は、該当する成分を用いなかったことを示す。
B−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
B−2:プロピレングリコールモノエチルエーテル
B−3:テトラエチレングリコール(標準沸点:327℃)
B−4:グリセリン(標準沸点:290℃)
B−5:トリエチレングリコール(標準沸点:287℃)
B−6:2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール(標準沸点:264℃)
B−7:ジプロピレンレングリコール(標準沸点:231℃)
B−8:1,4−ブタンジオール(標準沸点:230℃)
B−9:2−メチル−1,3−プロパンジオール(標準沸点:214℃)
B−10:1,3−ブタンジオール(標準沸点:207℃)
B−11:1,2−ブタンジオール(標準沸点:193℃)
B−12:プロピレングリコール(標準沸点:188℃)
C−1:N−t−ブトキシカルボニル−4−ヒドロキシピペリジン
上記調製した各反転パターン形成用組成物をシリコンウェハ(基板)上に、スピンコーター(東京エレクトロン社の「CLEAN TRACK ACT12」)を用い、スピンコート法により塗布した。その後、215℃で1分間加熱(焼成)し、平均厚み200nmの反転パターン形成用組成物膜を形成して、反転パターン形成用組成物膜が形成された基板を得た。
実施例1〜20並びに比較例1の反転パターン形成用組成物について、下記方法に従って評価した。
上記形成された反転パターン形成用組成物膜を光学顕微鏡で観察し、塗布ムラが見られない場合は「A」(良好)と、塗布ムラが見られる場合は「B」(不良)と評価した。
上記形成された反転パターン形成用組成物膜を、エッチング装置(東京エレクトロン社の「TACTRAS」)を用いて、CF4=60sccm、PRESS.=50MT、HF RF=500W、LF RF=100W、DCS=300V、RDC=50%、30sec条件にて処理し、処理前後の平均膜厚からエッチング速度(Å/秒)を算出し、フッ素系ガスによるエッチング容易性を評価した。エッチング速度が8.5(Å/秒)以上の場合は「A」(極めて良好)と、8.0(Å/秒)以上8.5(Å/秒)未満の場合は「B」(良好)と、7.5(Å/秒)以上8.0(Å/秒)未満の場合は「C」(やや良好)、7.5(Å/秒)未満の場合は「D」(不良)と評価した。
上記形成された反転パターン形成用組成物膜を、エッチング装置(東京エレクトロン社の「TACTRAS」)を用いて、O2:400sccm、PRESS.=45MT、HF RF=400W、LF RF=0W、DCS=0V、RDC=50%、60sec条件にて処理し、処理前後の平均膜厚から(Å/秒)を算出し、3.5未満の場合は「A」(極めて良好)と、3.5以上4.0未満の場合は「B」(良好)と、4.0以上4.5未満の場合は「C」(やや良好)、4.5以上の場合は「D」(不良)と評価した。
上記調製した反転パターン形成用組成物を−15℃及び40℃の条件下で7日間保管し、重量平均分子量(Mw)を評価した。上記2条件下の重量平均分子量(Mw)の差が100未満の場合は「A」(極めて良好)と、100以上150未満の場合は「B」(良好)と、150以上200未満の場合は「C」(やや良好)、200以上の場合は「D」(不良)と評価した。
上記調製した各反転パターン形成用組成物を、深さ100nm、幅10μmのレジスト下層膜のトレンチパターンが形成されたシリコン基板上に、スピンコーター(東京エレクトロン社の「CLEAN TRACK ACT12」)を用い、スピンコート法により塗布した。スピンコートの回転速度は、それぞれ、上記平均厚み180nmの反転パターン形成用組成物膜を形成する場合と同じ回転速度とした。その後、215℃で1分間加熱(焼成)し、反転パターン形成用組成物膜が形成された基板を得た。
この反転パターン形成用組成物膜で被覆された上記シリコン基板の断面形状を走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社の「S−4800」)にて観察し、この反転パターン形成用組成物膜の上記トレンチパターンの中央部分における高さと、上記トレンチパターンの端から5μmの場所の非トレンチパターン部分における高さとの差(ΔFT)を平坦性の指標とした。平坦性は、このΔFTが60nm未満の場合は「A」(極めて良好)と、60nm以上65nm未満の場合は「B」(やや良好)と65nm以上70nm未満の場合は「C」(良好)と、70nm以上の場合は「D」(不良)と評価した。
2;レジスト下層膜
3;レジスト中間膜
5;反転パターン形成用組成物膜
21;レジスト下層膜パターン
31;レジスト中間膜パターン
41;レジストパターン
51;反転パターン
Claims (11)
- ポリシロキサンと溶媒とを含有し、
上記溶媒が、多価アルコールを含む反転パターン形成用組成物。 - 上記多価アルコールの標準沸点が、180℃以上350℃以下である請求項1に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記多価アルコールが、2価アルコールである請求項1又は請求項2に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記多価アルコールの炭素数が、4以上20以下である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記多価アルコールのヒドロキシ基が、1級ヒドロキシ基、2級ヒドロキシ基又はこれらの組み合わせである請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記多価アルコールが、エーテル結合を有する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記溶媒中の上記多価アルコールの含有率が、0.1質量%以上30質量%以下である請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物。
- 上記溶媒が、多価アルコール部分エーテルアセテート、多価アルコールエーテル又はこれらの組み合わせをさらに含む請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物。
- 基板の上面側にマスクパターンを形成する工程と、
上記マスクパターンの少なくとも凹部に、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の反転パターン形成用組成物を塗工する工程と、
上記塗工工程により形成されたシリコン含有部を硬化させる工程と、
上記マスクパターンを除去する工程と
を備える反転パターン形成方法。 - 上記マスクパターン形成工程が、
基板の上面側にレジスト下層膜を形成する工程と、
上記レジスト下層膜の上面側にレジストパターンを形成する工程と、
上記レジストパターンをマスクとしたエッチングにより上記レジスト下層膜にパターンを形成する工程と
を備える請求項10に記載の反転パターン形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016144372A JP2018012806A (ja) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016144372A JP2018012806A (ja) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018012806A true JP2018012806A (ja) | 2018-01-25 |
Family
ID=61019925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016144372A Pending JP2018012806A (ja) | 2016-07-22 | 2016-07-22 | 反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018012806A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017043344A1 (ja) * | 2015-09-09 | 2018-07-19 | 日産化学工業株式会社 | シリコン含有平坦化性パターン反転用被覆剤 |
WO2020036074A1 (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサン化合物を含有する組成物、その製造方法、コーティング剤及び被覆物品 |
CN113433795A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 南方科技大学 | 一种黑色矩阵的制备方法 |
-
2016
- 2016-07-22 JP JP2016144372A patent/JP2018012806A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017043344A1 (ja) * | 2015-09-09 | 2018-07-19 | 日産化学工業株式会社 | シリコン含有平坦化性パターン反転用被覆剤 |
WO2020036074A1 (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサン化合物を含有する組成物、その製造方法、コーティング剤及び被覆物品 |
JPWO2020036074A1 (ja) * | 2018-08-17 | 2021-08-10 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサン化合物を含有する組成物、その製造方法、コーティング剤及び被覆物品 |
JP7136208B2 (ja) | 2018-08-17 | 2022-09-13 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサン化合物を含有する組成物、その製造方法、コーティング剤及び被覆物品 |
CN113433795A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 南方科技大学 | 一种黑色矩阵的制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100709644B1 (ko) | 실리카계 막 및 그의 형성 방법, 반도체 장치의 절연막형성용 조성물, 및 배선 구조체 및 반도체 장치 | |
KR100710097B1 (ko) | 유기 실리카계 막 및 그의 형성 방법, 반도체 장치의절연막 형성용 조성물, 및 배선 구조체 및 반도체 장치 | |
KR101993006B1 (ko) | 패턴 형성 방법 및 폴리실록산 조성물 | |
US20070178319A1 (en) | Composition for forming porous film, porous film and method for forming the same, interlevel insulator film, and semiconductor device | |
US7893538B2 (en) | Organic silica film and method for forming same, composition for forming insulating film of semiconductor device and method for producing same, wiring structure and semiconductor device | |
KR101168452B1 (ko) | 절연막 형성용 조성물, 그의 제조 방법, 실리카계 절연막및 그의 형성 방법 | |
JP5999215B2 (ja) | ポリシロキサン組成物 | |
US10234762B2 (en) | Pattern-forming method | |
JP2010123992A (ja) | 低誘電率材料を調整するための組成物 | |
EP1705208A1 (en) | Composition for forming insulating film, method for producing same, silica insulating film and method for forming same | |
KR20070010011A (ko) | 중합체 및 그의 제조 방법, 절연막 형성용 조성물, 및절연막 및 그의 형성 방법 | |
KR101007819B1 (ko) | 절연막 | |
WO2012111729A1 (ja) | 二酸化ケイ素膜の製造方法 | |
WO2012008538A1 (ja) | ポリシロキサン組成物及びパターン形成方法 | |
US6930393B2 (en) | Composition for forming porous film, porous film and method for forming the same, interlayer insulator film, and semiconductor device | |
US7084505B2 (en) | Porous film, composition and manufacturing method, interlayer dielectric film, and semiconductor device | |
JP2018012806A (ja) | 反転パターン形成用組成物及び反転パターン形成方法 | |
JP4821404B2 (ja) | ポリマーおよびその製造方法、絶縁膜形成用組成物、絶縁膜の製造方法、ならびにシリカ系絶縁膜 | |
CN103189972A (zh) | 隔离结构的形成方法 | |
JP2000328004A (ja) | 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料 | |
KR20080042689A (ko) | 피막형성용 조성물 및 그것으로 형성되는 피막 | |
US7205338B2 (en) | Composition for forming porous film, porous film and method for forming the same, interlevel insulator film, and semiconductor device | |
JP6769069B2 (ja) | レジスト下層膜反転パターン形成方法 | |
JP2000309751A (ja) | 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料 | |
JP6565649B2 (ja) | ケイ素含有膜除去方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200218 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200317 |