JP6732622B2

JP6732622B2 - リングフレーム搬送機構

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Publication number: JP6732622B2
Application number: JP2016193733A
Authority: JP
Inventors: 暢行高田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-09-30
Filing date: 2016-09-30
Publication date: 2020-07-29
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Also published as: JP2018056487A

Description

本発明は、リングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構に関する。

リングフレームにはダイシングテープが貼着され、このダイシングテープを介してリングフレームの開口の内側でウエーハが支持されている。通常、この種のリングフレームにウエーハを支持する場合、ステージ上にリングフレームが載置されると共にリングフレームの開口の内側にウエーハが載置される。そして、リングフレーム及びウエーハに対して上方からダイシングテープが貼り付けられ、リングフレームから食み出したダイシングテープがカッターによってリングフレームの外縁に沿ってカットされる（例えば、特許文献１参照）。

また、リングフレームは、搬送機構によってリングフレームストッカーからステージに搬送されている。搬送機構の吸引パッドでリングフレームが吸引保持されて、リングフレームがステージの上方まで搬送されてステージ上に載置される。このとき、リングフレームストッカー内にはリングフレームが積み重ねられており、リングフレーム同士が貼り付いたまま２枚同時に搬送される場合がある。リングフレームの搬送先では、吸引パッドによるステージ上へのリングフレームの載置時に、吸引パッドの高さを確認することで複数のリングフレームの同時搬送を検出する構成が提案されている。

特開２０００−０７７３６２号公報

しかしながら、上記搬送機構では搬送先のステージへのリングフレームの載置時に複数のリングフレームの同時搬送が検出されるが、リングフレームの搬送動作が無駄になってしまっていた。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、２枚以上のリングフレームが保持されたことを検出して、複数のリングフレームの同時搬送を防止することができるリングフレーム搬送機構を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様のリングフレーム搬送機構は、リングフレームストッカーに積み重ねて収容しているリングフレームを上から取り出すリングフレーム搬送機構であって、積み重ねられたリングフレームの上面を吸引保持する少なくとも３つの吸引パッドを備えるリングフレーム保持手段と、リングフレームの側面外側からリングフレームを挟んで検出光を発光する発光部と検出光を受光する受光部とを備えた透過型光学センサでリングフレームを検出する検出手段と、該リングフレーム保持手段および該検出手段を昇降させる昇降手段とを備え、該検出手段は、該吸引パッドで吸引保持されたリングフレームよりもリングフレームの１枚分下の高さ位置に該発光部と該受光部を対向させ、該受光部が該検出光を受光できないとき該検出手段は、該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを検出して通知する通知手段を備える。

この構成によれば、リングフレームストッカーから持ち上げられたリングフレームの１枚分下の高さ位置で検出光がリングフレームに遮られると、２枚以上のリングフレームが持ち上げられた状態が検出される。リングフレームを保持した時点で２枚以上のリングフレームが検出されるため、複数のリングフレームが同時搬送されることがない。複数のリングフレームの同時搬送が早期に防止され、リングフレーム搬送機構による搬送動作が無駄になることがない。

本発明の一態様のリングフレーム搬送機構は、リングフレームストッカーに積み重ねて収容しているリングフレームを上から取り出すリングフレーム搬送機構であって、積み重ねられたリングフレームの上面を吸引保持する少なくとも３つの吸引パッドを備えるリングフレーム保持手段と、リングフレームの側面外側からリングフレームを挟んで検出光を発光する発光部と検出光を受光する受光部とを備えた透過型光学センサでリングフレームを検出する検出手段と、該リングフレーム保持手段および該検出手段を昇降させる昇降手段とを備え、該検出手段は、該吸引パッドでリングフレームが持ち上げられた該リングフレームストッカーにおいて、次のリングフレームの高さ位置に該発光部と該受光部を対向させ、該受光部が該検出光を受光したとき該検出手段は、該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを検出して通知する通知手段を備える。

この構成によれば、リングフレームストッカーで次のリングフレームが搬送される高さ位置で検出光が受光されると、リングフレームストッカーに次のリングフレームが存在しないとして、２枚以上のリングフレームが持ち上げられた状態が検出される。リングフレームを保持した時点で２枚以上のリングフレームが検出されるため、複数のリングフレームが同時搬送されることがない。複数のリングフレームの同時搬送が早期に防止され、リングフレーム搬送機構による搬送動作が無駄になることがない。

本発明の一態様のリングフレーム搬送機構において、該リングフレーム保持手段が吸引保持したリングフレームの下面に平行にエアを噴出するエアノズルを備え、該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを該検出手段が検出したとき、該通知手段に代わって該エアノズルからエアを噴出させ該吸引パッドが吸引保持するリングフレームと該吸引パッドが保持していないリングフレームとの間にエアを進入させ下側のリングフレームを落下させ１枚のリングフレームを該リングフレーム保持手段に吸引保持させる。

本発明の一態様のリングフレーム搬送機構において、該検出手段は、リングフレームの面方向で直交するＸ方向とＹ方向とで該リングフレームの中心から均等な距離を離間してＸ方向とＹ方向とにそれぞれ少なくとも１つずつ計２つ配設されており、該昇降手段により所定の高さに位置付けられた該少なくとも２つの検出手段のうちいずれか１つが検出光を受光した場合、該リングフレームストッカーに収容されるリングフレームが傾いていると判断する傾き判断部を備える。

本発明によれば、２枚以上のリングフレームが保持されたことを検出することで、複数のリングフレームの同時搬送を防止して搬送動作の無駄を無くすことができる。

第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構の斜視図である。第１の実施の形態の検出手段の高さ位置の説明図である。第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。第３の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構の上面模式図である。第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。

以下、添付図面を参照して、第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構について説明する。図１は、第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構の斜視図である。図２は、第１の実施の形態の検出手段の高さ位置の説明図である。なお、図１では、リングフレーム搬送機構の一例を示しており、リングフレーム搬送機構は、リングフレームを搬送可能な構成であれば、どのように構成されていてもよい。

図１に示すように、リングフレーム搬送機構２０は、リングフレームストッカー１０に積み重ねて収容されたリングフレームＦを上から取り出して、テープマウンタ（不図示）に向けて搬送するように構成されている。リングフレームＦは、テープマウンタにおいてダイシングテープ（不図示）が貼着されて、ダイシングテープを介してウエーハ（不図示）を支持するために使用される。また、使用済みのリングフレームＦは、リングフレームＦの下面からダイシングテープが剥がされて、再びリングフレームストッカー１０に積み重ねて収容されることでウエーハの搬送に再利用されている。

リングフレームストッカー１０のステージ１１には、リングフレームＦが載置される載置面１２が形成されており、載置面１２にはリングフレームＦの内側に沿うように等間隔に４本のポール１３が立設されている。リングフレームＦの開口に各ポール１３が入り込むことで、各ポール１３の外周面に沿って載置面１２上にリングフレームＦが下から順に積み重ねられている。複数のリングフレームＦは外形を揃えた状態でリングフレームストッカー１０に収容されており、リングフレーム搬送機構２０によって一番上に位置するリングフレームＦから順番に持ち上げられて搬送される。

ところで、上記したようにリングフレームＦが使い回されるため、リングフレームＦの下面にダイシングテープの糊が残っていると、リングフレームストッカー１０に積み重ねられたリングフレームＦ同士が貼り付いてしまう場合がある。このため、リングフレームストッカー１０からリングフレームＦを上から取り出す際に２枚以上のリングフレームＦが同時に持ち上げられる場合があった。また、リングフレームＦの下面に糊が残っていない場合であっても、リングフレームＦの表面が平滑である場合にはリンキング現象等によって同様な不具合が生じていた。

そこで、本実施の形態のリングフレーム搬送機構２０では、リングフレームＦを保持したときに検出手段４５によって２枚以上のリングフレームＦが持ち上げられたことを検出するようにしている。これにより、リングフレームＦがリングフレーム搬送機構２０に持ち上げられた時点で、複数のリングフレームＦの同時搬送を防止することができる。リングフレームＦ同士の貼り付きやリンキング現象によって複数のリングフレームＦが同時搬送されることがなく、リングフレーム搬送機構２０による無駄な搬送動作を防止することができる。

リングフレーム搬送機構２０は、昇降手段２１によってリングフレーム保持手段４１が昇降され、旋回手段３１によってリングフレーム保持手段４１が旋回されることで、リングフレーム保持手段４１で保持したリングフレームＦを搬送している。昇降手段２１は、立設プレート２２の前面に配置された高さ方向で平行な一対のガイドレール２３と、一対のガイドレール２３にスライド可能に設置されたモータ駆動の昇降テーブル２４とを有している。昇降テーブル２４の背面側には不図示のナット部が形成されており、このナット部にはボールネジ２５が螺合されている。

ボールネジ２５の一端部には駆動モータ２６が連結されており、駆動モータ２６には高さ認識部としてのエンコーダ２７が設けられている。駆動モータ２６によってボールネジ２５が駆動されることで、リングフレーム保持手段４１がガイドレール２３に沿って昇降される。このとき、エンコーダ２７で検出した高さ位置に基づいてリングフレーム保持手段４１の高さ位置が調節されている。また、昇降手段２１には、リングフレームストッカー１０における各リングフレームＦの高さ位置が記憶されており、リングフレームＦが取り出される度に１段ずつ低い位置にリングフレーム保持手段４１が位置づけられて、次のリングフレームＦが取り出される。

旋回手段３１は、昇降テーブル２４に取り付けられた旋回モータ３２と、旋回モータ３２の出力軸に固定されたアーム３３とを有している。アーム３３の先端から真下に連結部３４が延びており、アーム３３には連結部３４を介してリングフレーム保持手段４１が連結されている。旋回モータ３２によってアーム３３が駆動されることで、アーム３３の先端に支持したリングフレーム保持手段４１が旋回される。このように、旋回手段３１でリングフレームストッカー１０の真上にリングフレーム保持手段４１が位置付けられ、昇降手段２１でリングフレーム保持手段４１が昇降されてリングフレームストッカー１０からリングフレームＦが取り出される。

リングフレーム保持手段４１は、上面視長方形状の保持プレート４２の四隅に吸引パッド４３が設けられ、各吸引パッド４３によってリングフレームストッカー１０に積み重ねられたリングフレームＦの上面を吸引保持している。保持プレート４２の短手方向の幅寸法はリングフレームストッカー１０のポール間隔よりも狭く形成され、保持プレート４２の長手方向の幅寸法はリングフレームストッカー１０のポール間隔よりも広く形成されている。これにより、リングフレームストッカー１０のポール１３に保持プレート４２が干渉せずに、各吸引パッド４３でリングフレームＦが吸引保持される。

保持プレート４２の長手方向の両端には、リングフレームストッカー１０から取り出されたリングフレームＦの有無を検出する検出手段４５が設けられている。検出手段４５は、発光部４６から検出光を発光して受光部４７で受光する透過型光学センサを備えている。リングフレームＦの側面外側からリングフレームＦを挟むように、保持プレート４２の一端側に発光部４６が配設され、保持プレート４２の他端側に受光部４７が配設されている。また、検出手段４５は、吸引パッド４３で吸引保持されたリングフレームＦよりも、リングフレームＦの１枚分下の高さ位置で発光部４６と受光部４７とを対向させている。

より詳細には、図２に示すように、吸引パッド４３でリングフレームＦが吸引保持された状態で、リングフレームＦの厚さ方向の中心高さよりも、リングフレームＦの１枚分の厚みｔだけ下がった高さに発光部４６と受光部４７が位置付けられている。このため、吸引パッド４３で１枚のリングフレームＦが持ち上げられると、発光部４６からの検出光が受光部４７に受光されてリングフレームＦの正常搬送が検出される。一方で、吸引パッド４３で２枚以上のリングフレームＦが持ち上げられると、発光部４６からの検出光がリングフレームＦに遮られて受光部４７で検出光が検出されずに複数のリングフレームＦの同時搬送が検出される。

このように、検出手段４５による検出光の受光状態に応じて、リングフレーム保持手段４１によってリングフレームＦが保持された時点で、２枚以上のリングフレームＦが持ち上げられたことを検出することが可能になっている。また、検出手段４５は、リングフレーム保持手段４１が２枚以上のリングフレームＦを吸引保持したことを検出して搬送エラーとして通知する通知手段４９を有している。通知手段４９は、搬送エラーを通知するものであればよく、例えば、音声通知、表示通知、発光通知の少なくとも１つも用いてオペレータに通知すればよい。

続いて、図３を参照して、リングフレーム搬送機構による搬送動作について説明する。図３は、第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。

図３Ａに示すように、リングフレームストッカー１０のステージ１１には、ポール１３に位置決めされた多数のリングフレームＦが積み重ねられている。リングフレームストッカー１０の上方までリングフレーム保持手段４１が移動され、リングフレームＦの真上にリングフレーム保持手段４１の４つの吸引パッド４３が位置付けられる。このとき、検出手段４５の発光部４６及び受光部４７は、リングフレームＦの真上から外れてリングフレームＦよりも径方向外側に位置付けられている。そして、昇降手段２１によってリングフレーム保持手段４１が降ろされて、吸引パッド４３がリングフレームＦに近づけられる。

図３Ｂに示すように、昇降手段２１によって吸引パッド４３がリングフレームＦの上面に当接するまで降ろされると、吸引パッド４３によってリングフレームＦが吸引保持される。このとき、リングフレームＦの径方向外側の発光部４６及び受光部４７は、吸引パッド４３で吸引保持されたリングフレームＦａよりも１枚下のリングフレームＦｂの高さに位置付けられている。このように、吸引パッド４３が最上位のリングフレームＦａに当接したときに、上から２番目のリングフレームＦｂの高さ位置で発光部４６と受光部４７が水平方向で対向している。

図３Ｃに示すように、昇降手段２１によって吸引パッド４３でリングフレームＦａが持ち上げられると、リングフレームＦａよりも１枚下の位置で発光部４６から受光部４７に向けて検出光が発光される。受光部４７で検出光が受光されない場合には、リングフレームＦａの下面に貼り付いたリングフレームＦｂに検出光が遮られているとして、複数のリングフレームＦの同時搬送が検出されて通知手段４９から搬送エラーが通知される。一方で、受光部４７で検出光が受光された場合には（図２参照）、リングフレームＦａの直下に検出光を遮るものがないとして、リングフレームＦの正常搬送が検出されて搬送動作が継続される。

以上のように、第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構２０によれば、リングフレームストッカー１０から持ち上げられたリングフレームＦの１枚分下の高さ位置で検出光がリングフレームＦに遮られると、２枚以上のリングフレームＦが持ち上げられた状態が検出される。リングフレームＦを保持した時点で２枚以上のリングフレームＦが検出されるため、複数のリングフレームＦが同時搬送されることがない。複数のリングフレームＦの同時搬送が早期に防止され、リングフレーム搬送機構２０による搬送動作が無駄になることがない。

図４を参照して、第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構について説明する。図４は、第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。なお、第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構は、１枚多く持ち上げられたリングフレームを検出する代わりに、リングフレームストッカーのリングフレームが１枚少ないことを検出する点で第１の実施の形態と相違している。すなわち、リングフレームストッカーから１枚だけ搬送された場合には、リングフレームストッカーに残っているはずの次のリングフレームの存在を監視して、複数のリングフレームの同時搬送を検出している。したがって、第１の実施の形態と相違する点についてのみ説明し、共通する構成については説明を省略する。

図４Ａに示すように、リングフレーム保持手段５１は、上面視長方形状の保持プレート５２の四隅に吸引パッド５３が設けられ、保持プレート５２の長手方向の両端に検出手段５５が設けられている。検出手段５５は、吸引パッド５３よりも十分に低い高さ位置で発光部５６と受光部５７とを対向させている。そして、検出手段５５は、吸引パッド５３でリングフレームＦａが持ち上げられたリングフレームストッカー１０で、次のリングフレームＦｂが搬送される高さ位置に発光部５６と受光部５７を位置づけている。この場合、昇降手段（不図示）が各リングフレームＦの高さ位置を記憶しており、昇降手段で発光部５６と受光部５７の高さが調節される。

吸引パッド５３で１枚のリングフレームＦａが持ち上げられると、リングフレームストッカー１０に次のリングフレームＦｂが残っている。このとき、発光部５６から検出光が発光されると、リングフレームストッカー１０に残された次のリングフレームＦｂに遮られて受光部５７で受光されない。このため、１枚ずつリングフレームＦを搬送したときに残っているはずのリングフレームＦｂが、リングフレームストッカー１０に存在しているとしてリングフレームＦの正常搬送が検出される。このように、受光部５７で検出光が受光されない場合には搬送動作が継続される。

一方で、図４Ｂに示すように、吸引パッド５３で２枚以上のリングフレームＦａ、Ｆｂが持ち上げられると、リングフレームストッカー１０から次のリングフレームＦｂが無くなる。このとき、発光部５６から検出光が発光されると、リングフレームストッカー１０に検出光を遮るものがなく受光部５７で検出光が受光される。このため、１枚ずつリングフレームＦを搬送したときに残っているはずのリングフレームＦｂが、リングフレームストッカー１０に存在していないとして複数のリングフレームＦの同時搬送が検出される。このように、受光部５７で検出光が受光された場合には通知手段５９から搬送エラーが通知される。

なお、図４Ｃに示すように、発光部５６及び受光部５７の高さ位置が吸引パッド５３に近いと、リングフレームストッカー１０に残されたリングフレームＦで検出光が遮光される他、同時に持ち上げられた複数のリングフレームＦによっても検出光が遮光されてしまう。このため、リングフレームＦの正常搬送と複数のリングフレームＦの同時搬送を区別することができない。このため、発光部５６及び受光部５７の高さ位置は、同時に持ち上げられた複数のリングフレームＦによって検出光が遮られることがないように、吸引パッド５３よりも十分に低い高さに設定されている。

以上のように、第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構によれば、リングフレームストッカー１０で次のリングフレームＦｂが搬送される高さ位置で検出光が受光されると、リングフレームストッカー１０に次のリングフレームＦが存在しないとして、２枚以上のリングフレームＦが持ち上げられた状態が検出される。リングフレームＦを保持した時点で２枚以上のリングフレームＦが検出されるため、複数のリングフレームＦが同時搬送されることがない。複数のリングフレームＦの同時搬送が早期に防止され、リングフレーム搬送機構による搬送動作が無駄になることがない。

図５を参照して、第３の実施の形態のリングフレーム搬送機構について説明する。図５は、第３の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。なお、第３の実施の形態のリングフレーム搬送機構は、吸引パッドで複数のリングフレームを持ち上げた場合に、エアの噴出によって余分なリングフレームを分離させる点で第１の実施の形態と相違している。したがって、第１の実施の形態と相違する点についてのみ説明し、共通する構成については説明を省略する。また、以下の説明では、第１の実施の形態のリングフレーム搬送機構にエアノズルを備える構成について説明するが、第２の実施の形態のリングフレーム搬送機構にエアノズルを備えてもよい。

図５Ａに示すように、リングフレーム保持手段６１は、上面視長方形状の保持プレート６２の四隅に吸引パッド６３が設けられ、保持プレート６２の長手方向の両端に検出手段６５が設けられている。検出手段６５は、吸引パッド６３で吸引保持されたリングフレームＦよりも、リングフレームＦの１枚分下の高さ位置で発光部６６と受光部６７とを対向させて、複数のリングフレームＦの同時搬送を検出する。また、保持プレート６２の長手方向の両端には、リングフレーム保持手段６１によって吸引保持されたリングフレームＦの下面に平行にエアを噴出する一対のエアノズル６４が設けられている。

図５Ｂに示すように、リングフレーム保持手段６１に２枚以上のリングフレームＦが吸引保持されたことが検出手段６５に検出されたとき、通知手段（図１参照）に代わってエアノズル６４からリングフレームＦに向けてエアが噴出される。吸引パッド６３に吸引保持されたリングフレームＦａと吸引パッド６３に吸引保持されていないリングフレームＦｂとの間にエアが進入して、下側のリングフレームＦｂがリングフレームストッカー１０に落下する。これにより、リングフレーム保持手段６１に１枚のリングフレームＦａを吸引保持させることができる。

このとき、リングフレームストッカー１０のポール１３の上端よりも低い高さ位置で、エアノズル６４からエアを噴出することが好ましい。これにより、リングフレームＦａから外れたリングフレームＦｂをポール１３にガイドさせながら落下させて、リングフレームストッカー１０にリングフレームＦｂを適切に戻すことができる。このように、２枚以上のリングフレームＦが同時に持ち上げられたときに、エアノズル６４からのエアの噴出によって余分なリングフレームＦを落下させて、１枚のリングフレームＦだけをリングフレーム保持手段６１に吸引保持させることができる。

以上のように、第３の実施の形態のリングフレーム搬送機構によれば、エアノズル６４からのエアの噴射によって、リングフレームストッカー１０からリングフレームＦを１枚ずつ取り出して搬送することができる。

図６を参照して、第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構について説明する。図６は、第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構の上面模式図である。図７は、第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構による搬送動作の説明図である。なお、第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構は、リングフレームストッカーにリングフレームが傾いて収容されていることを検出手段で検出する点で、第１の実施の形態と相違している。したがって、第１の実施の形態と相違する点についてのみ説明し、共通する構成については説明を省略する。

図６に示すように、リングフレーム保持手段７１の保持プレート７２は、Ｘ方向に延びる板状物７３とＹ方向に延びる板状物７４を交差させた上面視十字形状に形成され、Ｘ方向及びＹ方向の板状物７３、７４の両端には吸引パッド７５が設けられている。Ｘ方向及びＹ方向の板状物７３、７４の短手方向の幅寸法はリングフレームストッカー１０のポール間隔よりも狭く、Ｘ方向及びＹ方向の板状物７３、７４の長手方向の幅寸法はリングフレームストッカー１０のポール間隔よりも広く形成されている。これにより、リングフレームストッカー１０のポール１３に保持プレート７２が干渉せずに、各吸引パッド７５でリングフレームＦが吸引保持される。

Ｘ方向及びＹ方向の板状物７３、７４の長手方向の両端には、リングフレームストッカー１０から取り出されたリングフレームＦを検出する検出手段８１、８５が設けられている。Ｘ方向の検出手段８１は、板状物７３のＸ方向の中心線から外れた位置で発光部８２と受光部８３とを対向させており、吸引パッド７５よりも低い高さ位置に発光部８２と受光部８３とを位置づけている。また、Ｙ方向の検出手段８５は、板状物７４のＹ方向の中心線から外れた位置で発光部８６と受光部８７とを対向させており、吸引パッド７５よりも低い高さ位置に発光部８６と受光部８７とを位置づけている。

なお、検出手段８１、８５は、第１の実施の形態のように、吸引パッド７５で吸引保持されたリングフレームＦよりも、リングフレームＦの１枚分下の高さ位置で発光部８２、８６と受光部８３、８７とを対向させてもよい。また、第２の実施の形態のように、吸引パッド７５よりも十分に低い高さ位置で発光部８２、８６と受光部８３、８７とを対向させてもよい。また、検出手段８１、８５は、リングフレームＦの面方向で直交するＸ方向とＹ方向とでリングフレームＦの中心から均等な距離を離間してＸ方向とＹ方向とにそれぞれ少なくとも１つずつ計２つ配設されていればよい。

図７Ａに示すように、検出手段８１、８５には、リングフレームストッカー１０に収容されたリングフレームＦが傾いているか否かを判断する傾き判断部８９が接続されている。傾き判断部８９では、検出手段８１、８５による検出光の受光状態に応じてリングフレームＦの傾きを判断している。具体的には、リングフレーム保持手段７１が昇降手段（不図示）によって降ろされて、最上位のリングフレームＦが載置された所定の高さ位置に検出手段８１、８５が位置付けられる。リングフレームＦが傾いていない場合には、発光部８２、８６から発光された検出光がリングフレームＦで遮られて受光部８３、８７で受光されない。

一方で、図７Ｂに示すように、リングフレームＦが傾いている場合には、最上位のリングフレームＦａと次のリングフレームＦｂの間に僅かな隙間が生じている。このため、発光部８２、８６のいずれか一方から発光された検出光が、リングフレームＦａ、Ｆｂの隙間を通過して受光部８３、８７のいずれかに受光される。傾き判断部８９は、検出手段８１、８５のいずれか１つが検出光を受光することで、リングフレームストッカー１０に収容されたリングフレームＦが傾いていると判断する。このように、複数のリングフレームＦの同時搬送を検出する検出手段８１、８５を用いてリングフレームＦの傾きが判断させることができる。

以上のように、第４の実施の形態のリングフレーム搬送機構によれば、リングフレームストッカー１０内のリングフレームＦの傾きを検出することができる。よって、リングフレームＦの傾きを修正することで、リングフレームストッカー１０からリングフレームＦが取り出し難くなることがない。

なお、第１−第４の実施の形態では、リングフレーム保持手段が４つの吸引パッドを備える構成にしたが、この構成に限定されない。リングフレーム保持手段は、少なくとも３つの吸引パッドを備えていればよい。

また、第１−第４の実施の形態では、昇降手段がボールねじ式の移動機構で構成されたが、この構成に限定されない。昇降手段は、リングフレーム保持手段及び検出手段を昇降可能であればよく、例えば、リニアモータ式の移動機構やラックアンドピニオン式の移動機構で構成されてもよい。

また、第３の実施の形態では、リングフレーム保持手段が一対のエアノズルを備える構成にしたが、この構成に限定されない。リングフレーム保持手段は、単一のエアノズルを備えてもよいし、３つ以上のエアノズルを備えてもよい。また、エアノズルは、リングフレームに対して外側からエアを噴出する構成に限らず、リングフレームに対して内側からエアを噴出する構成にしてもよい。

また、第４の実施の形態では、リングフレーム搬送機構がＸ方向及びＹ方向で対向するように２つの検出手段を備える構成にしたが、この構成に限定されない。検出手段は、リングフレームの中心から均等な距離を離間してＸ方向とＹ方向とにそれぞれ少なくとも１つずつ計２つ配設されていればよい。

また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記各実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明をテープマウンタにリングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構に適用した構成について説明したが、２枚以上のリングフレームの同時搬送を防止できる他の装置に適用することが可能である。

以上説明したように、本発明は、複数のリングフレームの同時搬送を防止して搬送動作の無駄を無くすことができるという効果を有し、特に、テープマウンタにリングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構に有用である。

１０リングフレームストッカー
２０リングフレーム搬送機構
２１昇降手段
３１旋回手段
４１、５１、６１、７１リングフレーム保持手段
４３、５３、６３、７５吸引パッド
４５、５５、６５、８１、８５検出手段
４６、５６、６６、８２、８６発光部
４７、５７、６７、８３、８７受光部
４９、５９通知手段
６４エアノズル
８９傾き判断部

Claims

リングフレームストッカーに積み重ねて収容しているリングフレームを上から取り出すリングフレーム搬送機構であって、
積み重ねられたリングフレームの上面を吸引保持する少なくとも３つの吸引パッドを備えるリングフレーム保持手段と、リングフレームの側面外側からリングフレームを挟んで検出光を発光する発光部と検出光を受光する受光部とを備えた透過型光学センサでリングフレームを検出する検出手段と、該リングフレーム保持手段および該検出手段を昇降させる昇降手段とを備え、
該検出手段は、該吸引パッドで吸引保持されたリングフレームよりもリングフレームの１枚分下の高さ位置に該発光部と該受光部を対向させ、
該受光部が該検出光を受光できないとき該検出手段は、該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを検出して通知する通知手段を備えるリングフレーム搬送機構。
リングフレームストッカーに積み重ねて収容しているリングフレームを上から取り出すリングフレーム搬送機構であって、
積み重ねられたリングフレームの上面を吸引保持する少なくとも３つの吸引パッドを備えるリングフレーム保持手段と、リングフレームの側面外側からリングフレームを挟んで検出光を発光する発光部と検出光を受光する受光部とを備えた透過型光学センサでリングフレームを検出する検出手段と、該リングフレーム保持手段および該検出手段を昇降させる昇降手段とを備え、
該検出手段は、該吸引パッドでリングフレームが持ち上げられた該リングフレームストッカーにおいて、次のリングフレームの高さ位置に該発光部と該受光部を対向させ、
該受光部が該検出光を受光したとき該検出手段は、該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを検出して通知する通知手段を備えるリングフレーム搬送機構。
該リングフレーム保持手段が吸引保持したリングフレームの下面に平行にエアを噴出するエアノズルを備え、
該リングフレーム保持手段がリングフレームを２枚以上吸引保持したことを該検出手段が検出したとき、該通知手段に代わって該エアノズルからエアを噴出させ該吸引パッドが吸引保持するリングフレームと該吸引パッドが保持していないリングフレームとの間にエアを進入させ下側のリングフレームを落下させ１枚のリングフレームを該リングフレーム保持手段に吸引保持させる請求項１又は請求項２記載のリングフレーム搬送機構。
該検出手段は、リングフレームの面方向で直交するＸ方向とＹ方向とで該リングフレームの中心から均等な距離を離間してＸ方向とＹ方向とにそれぞれ少なくとも１つずつ計２つ配設されており、
該昇降手段により所定の高さに位置付けられた該少なくとも２つの検出手段のうちいずれか１つが検出光を受光した場合、該リングフレームストッカーに収容されるリングフレームが傾いていると判断する傾き判断部を備える請求項１から請求項３のいずれかに記載のリングフレーム搬送機構。