JP6729255B2 - メタルマスクの製造方法 - Google Patents
メタルマスクの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6729255B2 JP6729255B2 JP2016193819A JP2016193819A JP6729255B2 JP 6729255 B2 JP6729255 B2 JP 6729255B2 JP 2016193819 A JP2016193819 A JP 2016193819A JP 2016193819 A JP2016193819 A JP 2016193819A JP 6729255 B2 JP6729255 B2 JP 6729255B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface side
- protective film
- laser
- metal mask
- metal substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 73
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 73
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 20
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 2
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Description
1)前記金属基板の第1面側にエッチングにより凹部を形成する工程。
2)前記凹部を含む前記第1面側、及び前記金属基板の第2面側に保護膜を形成する工程。
3)前記保護膜が形成された前記凹部、または前記第2面側で前記凹部に対向する部分にレーザを照射し、開口部を形成する工程。
4)前記第1面側の保護膜、及び第2面側の保護膜を除去する工程。
1a、51a、61a・・・ハーフエッチングされた金属基板
2、52・・・・レジスト
2a、52a、52b・・・レジストパターン
3a、53a、53b・・・スペース部
5a、55a・・・凹部
6a、6b・・・保護膜
7、47、57・・・・開口部
10、50・・・メタルマスク
15・・・露光光
16・・・フォトマスク
17a・・遮光膜パターン
20、70・・・レーザ装置
21、71・・・レーザ光
22、72・・・デブリ
23、73・・・ドロス
40・・・金属基板
41・・・小孔側スリット
42・・・大孔側スリット
56・・・保護層
Claims (5)
- 金属基板にレーザを用いて開口部(貫通孔)を形成するメタルマスクの製造方法であって、次の1)、2)、3)、4)の工程を順次含むことを特徴とするメタルマスクの製造方法。
1)前記金属基板の第1面側にエッチングにより凹部を形成する工程。
2)前記凹部を含む前記第1面側、及び前記金属基板の第2面側に保護膜を形成する工程。
3)前記保護膜が形成された前記凹部、または前記第2面側で前記凹部に対向する部分にレーザを照射し、開口部を形成する工程。
4)前記第1面側の保護膜、及び第2面側の保護膜を除去する工程。 - 前記保護膜は水溶性であることを特徴とする請求項1に記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記第2面側の保護膜の形成は、保護シートの貼り付けによることを特徴とする請求項1、または2に記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記レーザを照射する条件は、前記第1面側の保護膜を近接面として照射するときのエネルギー密度が、前記金属基板を近接面として照射するときのエネルギー密度よりも小さいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記レーザのパルス幅を10ピコ秒より短い超短パルスで発振して照射することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のメタルマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016193819A JP6729255B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | メタルマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016193819A JP6729255B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | メタルマスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018053345A JP2018053345A (ja) | 2018-04-05 |
JP6729255B2 true JP6729255B2 (ja) | 2020-07-22 |
Family
ID=61835474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016193819A Active JP6729255B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | メタルマスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6729255B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112424972A (zh) * | 2018-08-29 | 2021-02-26 | 悟勞茂材料公司 | 掩模的制造方法、掩模及框架一体型掩模 |
KR101986526B1 (ko) * | 2018-10-10 | 2019-06-07 | 주식회사 티지오테크 | 마스크의 제조 방법 |
CN110699637B (zh) * | 2019-10-17 | 2021-03-23 | 昆山国显光电有限公司 | 掩膜版的制作方法、掩膜版和显示面板的制作方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01298113A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-12-01 | Hajime Watanabe | レーザー光による加工用の塗布剤 |
JP2010005629A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | Si基板のレーザ加工方法 |
JP2011071038A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機el用マスククリーニング方法、有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置および有機elディスプレイ |
JP5486936B2 (ja) * | 2010-01-25 | 2014-05-07 | 株式会社ボンマーク | レーザ加工によるメタルマスクの化学研磨方法 |
JP6123301B2 (ja) * | 2013-01-11 | 2017-05-10 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、金属マスク付き樹脂層、及び有機半導体素子の製造方法 |
JP6155650B2 (ja) * | 2013-01-11 | 2017-07-05 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法 |
JP6130147B2 (ja) * | 2013-01-11 | 2017-05-17 | 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 | 構造体及び構造体の製造方法 |
JP6229344B2 (ja) * | 2013-07-22 | 2017-11-15 | 大日本印刷株式会社 | メタルマスクの製造方法 |
-
2016
- 2016-09-30 JP JP2016193819A patent/JP6729255B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018053345A (ja) | 2018-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI588276B (zh) | 成膜遮罩之製造方法 | |
JP4495643B2 (ja) | 薄膜蝕刻方法及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法 | |
US20200199732A1 (en) | Deposition mask, method for manufacturing the same, and method for repairing the same | |
JP6729255B2 (ja) | メタルマスクの製造方法 | |
TW201833052A (zh) | 藉由電磁輻射及後續蝕刻製程將至少一個凹槽導入材料的方法 | |
TWI424479B (zh) | 利用飛秒雷射圖案化多晶氧化銦錫之方法 | |
JP2005286317A5 (ja) | ||
TWI682825B (zh) | 成膜遮罩之製造方法 | |
JP2005244203A5 (ja) | ||
JP2008216958A (ja) | 絶縁体からなるマザー基板(絶縁マザー基板)にアラインマークを形成することを含む液晶表示装置の製造方法。 | |
JP6229344B2 (ja) | メタルマスクの製造方法 | |
TW201520349A (zh) | 成膜遮罩及其製造方法 | |
JP5761651B2 (ja) | 硬化システムおよびその方法 | |
JP3779119B2 (ja) | 高強度超短パルスレーザー加工方法 | |
JP2002124380A (ja) | 有機発光膜の加工方法 | |
JP3305670B2 (ja) | フォトマスクの修正方法 | |
KR20130106676A (ko) | 미세금속전극 제조방법 | |
KR102056789B1 (ko) | 실리카 파티클을 이용한 실리콘 패턴 제조 방법 및 그 방법으로 제조된 디바이스 | |
KR100795802B1 (ko) | 평판 표시 장치의 제조방법 | |
JP4130707B2 (ja) | 印刷マスク、印刷マスク用プラスチック板および印刷マスクの製造方法 | |
JP2007013133A5 (ja) | ||
KR102212422B1 (ko) | 희생층을 이용한 광 유도 전사 방법 | |
KR102122426B1 (ko) | 레이저와 희생 층을 이용한 코팅 막 패터닝 방법 | |
Okamoto et al. | Micromachining of ITO film by LD-pumped SGH YAG laser | |
JP5009352B2 (ja) | 透明導電膜を有する基板の製造方法、レーザパターニング装置およびパターニング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190821 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200615 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6729255 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |