JP5009352B2 - 透明導電膜を有する基板の製造方法、レーザパターニング装置およびパターニング方法 - Google Patents
透明導電膜を有する基板の製造方法、レーザパターニング装置およびパターニング方法 Download PDFInfo
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ここで、前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる。
ここで、前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる。
前記基板のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記基板にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を前記投影光学系により照射し、前記透明導電膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングする。
ここで、前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる。
・ITO:4〜5×10−6/K、
・アクリル樹脂,ポリカーボネイト樹脂:6×10−5/K
である。
Claims (11)
- 透明導電膜が成膜された基板を配置し、
局所排気を行う排気孔が開けられた局所排気手段の一面を、前記基板に成膜された透明導電膜に近接して設置し、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気し、
前記排気孔は前記局所排気手段の一面であって照射されるレーザ光の光路の周りに複数個設けられ、前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、
前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記透明導電膜面にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を照射し、前記透明導電膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングし、
前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる
透明導電膜を有する基板の製造方法。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記一面に設けられ、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記透明導電膜のレーザ光照射面に不活性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項1記載の透明導電膜を有する基板の製造方法。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記一面に設けられ、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記透明導電膜のレーザ光照射面に前記透明導電膜との反応性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項1記載の透明導電膜を有する基板の製造方法。 - 透明導電膜上に金属膜が成膜された基板を配置し、
局所排気を行う排気孔が開けられた局所排気手段の一面を、前記基板に成膜された金属膜に近接して設置し、
前記透明導電膜および前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気し、
前記排気孔は前記局所排気手段の一面であって照射されるレーザ光の光路の周りに複数個設けられ、前記透明導電膜および前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、
前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記金属膜面にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を照射し、前記透明導電膜および前記金属膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングし、
前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる
透明導電膜を有する基板の製造方法。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記一面に設けられ、
前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記金属膜のレーザ光照射面に不活性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項4記載の透明導電膜を有する基板の製造方法。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記一面に設けられ、
前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記金属膜のレーザ光照射面に前記透明導電膜との反応性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項4記載の透明導電膜を有する基板の製造方法。 - レーザ光を発生するレーザ発生器と、
前記レーザ発生器から照射されるレーザ光の光路の周りに局所排気を行う複数個の排気孔が開けられた局所排気手段と、
前記レーザ光が照射される透明導電膜を有する基板を固定すると共に、前記局所排気手段の前記排気孔を有する一面を前記透明導電膜に近接して設置し、前記レーザ光照射面近傍を局所的に減圧可能に設けられたステージと、
前記レーザ光をパターン成形するマスクと、
前記レーザ光が透過する投影光学系と、を備え、
前記基板のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記基板にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を前記投影光学系により照射し、前記透明導電膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングし、
前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる
レーザパターニング装置。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記局所排気手段の一面に設けられ、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記透明導電膜のレーザ光照射面に不活性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項7記載のレーザパターニング装置。 - 前記局所排気手段には、前記排気孔の内周側にガス導入を行うガス導入孔が前記局所排気手段の一面に設けられ、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気して局所的に減圧し、
さらに前記レーザ光照射直前に前記ガス導入孔より前記透明導電膜のレーザ光照射面に前記透明導電膜との反応性ガスを導入し、
前記レーザ光を照射する
請求項7記載のレーザパターニング装置。 - 透明導電膜が成膜された基板を配置し、
局所排気を行う排気孔が開けられた局所排気手段の一面を、前記基板に成膜された透明導電膜に近接して設置し、
前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気し、
前記排気孔は前記局所排気手段の一面であって照射されるレーザ光の光路の周りに複数個設けられ、前記透明導電膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、
前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記透明導電膜面にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を照射し、前記透明導電膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングし、
前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる
透明導電膜を有する基板のパターニング方法。 - 透明導電膜上に金属膜が成膜された基板を配置し、
局所排気を行う排気孔が開けられた局所排気手段の一面を、前記基板に成膜された金属膜に近接して設置し、
前記透明導電膜および前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記排気孔より排気し、
前記排気孔は前記局所排気手段の一面であって照射されるレーザ光の光路の周りに複数個設けられ、前記透明導電膜および前記金属膜のレーザ光照射面近傍の雰囲気を前記複数個の排気孔より排気することにより局所的に減圧し、
前記排気により局所的に減圧された雰囲気下で、前記金属膜面にマスクを介してパターン成形された前記レーザ光を照射し、前記透明導電膜および前記金属膜の前記レーザ光照射部分を前記基板上から除去してパターニングし、
前記透明導電膜は前記基板上に樹脂層を介して形成され、前記透明導電膜は前記樹脂層より線膨張係数が小さな材料からなる
透明導電膜を有する基板のパターニング方法。
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